DE2503374B2 - Verfahren zur herstellung von kohlenstoffschiffchen fuer die aluminiumverdampfung - Google Patents
Verfahren zur herstellung von kohlenstoffschiffchen fuer die aluminiumverdampfungInfo
- Publication number
- DE2503374B2 DE2503374B2 DE19752503374 DE2503374A DE2503374B2 DE 2503374 B2 DE2503374 B2 DE 2503374B2 DE 19752503374 DE19752503374 DE 19752503374 DE 2503374 A DE2503374 A DE 2503374A DE 2503374 B2 DE2503374 B2 DE 2503374B2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- carbon
- boats
- aluminum
- titanium
- ships
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/52—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbon, e.g. graphite
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
- C04B41/5053—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials non-oxide ceramics
- C04B41/5062—Borides, Nitrides or Silicides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
- C04B41/51—Metallising, e.g. infiltration of sintered ceramic preforms with molten metal
- C04B41/5133—Metallising, e.g. infiltration of sintered ceramic preforms with molten metal with a composition mainly composed of one or more of the refractory metals
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/81—Coating or impregnation
- C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
- C04B41/87—Ceramics
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/81—Coating or impregnation
- C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
- C04B41/88—Metals
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/243—Crucibles for source material
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
Für die Herstellung von Kondensator- und Dekorationsfolien wird Aluminium bei Temperaturen von etwa
15000C und Drücken von etwa 10 ~5 Torr verdampft.
Für diese Verdampfung werden widerstandserhitzte Verdampfungsschiffchen eingesetzt, die aus druckgesintertem
Hartmetall oder Kohlenstoff bzw. Graphit bestehen.
Erstere zeichnen sich durch gleichmäßigere und höhere Verdampfungsraten sowie wesentlich größere
Standzeiten gegenüber den Kohlenstoffschiffchen aus. So gelingt die Herstellung der Kondensatorfolien mit
wesentlich höheren Anforderungen an die Gleichmäßigkeit der Schicht bisher fast ausschließlich mit Hilfe
dei Hartmetallschiffchen.
Der Vorteil der Kohlenstoffschiffchen liegt in ihrem vergleichsweise niederen Preis. Durch die heftige
Hochtemperaturreaktion zwischen Aluminium und Kohlenstoff unter Bildung von Aluminiumkarbid kommt
es schon nach relativ kurzen Zeiten zu einer Abnahme der Verdampfungsrate und im Extremfall zur Zerstörung
des Kohlenstoffverdampferschiffchens. Hierdurch ist die Standzeit begrenzt.
Es ist zwar bekannt, daß durch die Wahl geeigneter Kohlenstoffmaterialien die Reaktion mit dem Aluminium
hinauszuschieben ist. So hat sich gezeigt, daß sich insbesondere hochdichte und feinkörnige Kohlenstoffe,
welche über eine geringe Porosität und insbesondere sehr kleine Poren verfügen, wesentlich günstiger
verhalten. Jedoch ist die Herstellung derartiger Kohlenstoffmaterialicn durch wiederholtes Imprägnieren
und Nachverkoken bzw. Graphitieren relativ aufwendig und stellt keine befriedigende Lösung dar, da
die Karbidbildung durch diese Maßnahmen nicht verhindert, sondern nur verzögert werden kann.
Es ist weiter bekannt, Kohlenstoffschiffchen mit karbidischen und anderen Schutzschichten zu versehen,
wie beispielsweise mit Titankarbid, Hafniumkarbid, Tantalkarbid oder auch Kalziumzirkonat CaZrCh
(DT-PS 11 93 854). Diese Schutzschichten hciben sich in
der Praxis nicht durchsetzten können.
Zur Herstellung derartiger karbidischer Schutzschichten werden z. B. Titan, Zirkonium, Hafnium,
Vanadium, Tantal und weitere Metalle in Form ihrer Oxide auf die Oberfläche eines Kohlestabes gebracht
und anschließend zu ihren Karbiden reduziert (US-PS 26 65 229).
Ein grundsätzliches Problem bei Schutzschichten ist bekanntlich das unterschiedliche Ausdehnungs verhaken
von Substrat und Schutzschichtmaterial. Im Falle der Verwendung des Verdampfungsschiffchens für die
Aluminluniverdampfung kommt erschwerend hinzu,
daß derartige Schiffchen direkt und schnell erhitzt werden, so daß sie großen thermischen Schockbelastungen
ausgesetzt sind. Andererseits ist die Schutzschicht keinen mechanischen Beanspruchungen unterworfen.
Sie kann somit relativ locker auf dem Substrat verankert
Der im Anspruch 1 angegebenen Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Kohlenstorfschiffchen
mit einer Schutzschicht zu schaffen, das die genannten Nachteile nicht aufweist und die technischen Vorteile
des Sinterschiffchens mit den wirtschaftlichen Vorteilen des Kohlenstoffschiffchens vereint Es ist insbesondere
Aufgabe der Erfindung, die Schutzschicht so aufzubauen, daß sich ihr Ausdehnungsverhalten mit dem des
Substratmaterials verträgt und daß die Schicht andererseits für das flüssige Aluminium undurchlässig ist.
Die Kohlenstoffschiffchen können dabei sowohl aus sogenannter Hartbrandkohle als auch aus Elektrogra
phit bestehen.
Die metallische Schutzschicht besteht vorzugsweise aus Titan, Zirkon, Hafnium, Tantal oder aus mehreren
Elementen ;eser Gruppe. Aus der Gruppe der Nitride
wird vorteilhafterweise Titannitrid. Bornitrid. Zirkonnitrid. Hafniumnitrid oder Tantalivtrid verwendet.
Die Metallschicht wird durch Flamm- oder Plasmaspritzen aufgebracht, wobei es sich auf die Haftung du
Schicht entscheidend auswirkt, daß die Oberfläche des Kohlenstoffschiffchens zunächst aufgerauht wird, bei
spielsweise durch Sandstrahlen. Zur Herstellung der Nitridschicht nach dem erfindungsgemäßen Verfahren
wird das Kohlenstoff schiffchen zuerst wie oben beschrieben mit einer Metallschicht versehen: darauf
erfolgt eine Azotierung der Metallteilchen durch Behandlung in einer Stickstoffatmosphäre bzw. einer
stickstoffhaltigen Atmosphäre bei Temperaturen zwischen 800 und 14000C, vorzugsweise bei 1100- 12000C.
Bei der Azotierungsbehandlung findet mit der Umwandlung der Metalle in Nitride ein Reaktionssintern
statt, so daß letztlich eine weitgehend impermeable Schicht resultiert. Sowohl für die Permeabilität als auch
die Widerstandsfähigkeit der Schutzschicht gegenüber dem flüssigen Aluminium ist es nicht erforderlich, daß
die einzelnen Metallpartikeln völlig durchazotiert sind. Dies ist besonders vom wirtschaftlichen Standpunkt von
großem Vorteil, weil es sich bei dieser Reaktion um einen diffusionskontrollierten Prozeß handelt. Für den
Pro?eß ist entscheidend, daß zunächst die Oberfläche des Kohlenstoffsubstrates aufgerauht bzw. aufgemürbt
wird. Hierdurch gelingt hinsichtlich des Flammspritzens eine bessere Verankerung der Metallpartikeln auf der
Oberfläche.
Mit einer Metallschicht versehene Kohlenstoffschiffchen haben bereits eine wesentlich höhere Standzeit als
unbeschichtete Schiffchen und können in dieser Ausführung in vielen Fällen eingesetzt werden. Eine
weitere Verbesserung der Standzeiten ergibt sich für Kohlenstoffschiffchen mit einer Nitridschutzschicht.
Die Erfindung wird nachstehend anhand von 2 Beispielen erläutert:
Zwei Kohlenstoffschiffchen mit einer Abmessung von 10 χ 1,5 cm wurden nach Sandstrahlen durch Flamm-
spritzen mit Titan beschichtet Eines der beiden
Schiffchen wurde sodann bei HOO0C während einer Stunde einer strömenden Stickstoffatmosphäre ausgesetzt
Hierbei wurde das Titan mit einer gelben Titannitridschicht überzogen.
Diese Schiffchen wurden vergleichend zu einem nicht beschichteten Kohlenstoffschiffchen mit 2 g Aluminiumpulver
beaufschlagt Sodann wurde mit sämtlichen drei Schiffchen in einem Hochtemperatur-Vakuumofen
bei 1500QC das Aluminium verdampft Hierbei wurde das reine Kohlenstoffschiffchen bereits nach wenigen
Minuten zerstört, während mit den beschichteten Schiffchen dieselbe Verdampfung dreimal wiederholt
werden konnte, ohne daß hierbei an den Schiffchen ein Angriff zu erkennen war. Daraus folgt daß auch die
aufgespritzte Metallschicht allein eine Schutzwirkung ausübt Jedoch nach Lagerung beider Versuchsschiffchen
an Luft erfolgte bei dem lediglich mit Titan gespritzten Schiffchen eine völlige Zerstörung des
Kohlenstoffsubstratmaterials. Dies ist ein Hinweis darauf, daß das Aluminium das Kohlenstoffsubstrat
während der Versuche durchtränkte und Aluminiumkarbid gebildet wurde. Im Gegensatz dazu wurde an
dem zweiten Schiffchen, bei welchem eine Titannitridschicht vorlag, auch nach langer Lagerung keine
Veränderung beobachtet
Ein Kohlenstoffschiffchen, wie unter Beispiel 1
beschrieben, wurde mit Zirkon gespritzt und anschließend unter gleichen Bedingungen azotiert Bei der
Untersuchung des Angriffs von Aluminium unter gleichen Bedingungen wie oben beschrieben wurde
dasselbe Ergebnis erzielt wie mit dem Titannitridschiffchen.
Claims (2)
- Patentansprüche:' 1. Verfahren zur Herstellung von Kohlenstoffschiffchen for die AlHminiumverdampfung, deren Oberfläche ganz oder teilweise mit einem oder mehreren refrekiären Metallen, wie Titan, Zirkonium, Hanium oder Tantal und/oder mit deren Nitriden beschichtet ist, dadurch gekennzeichnet, daß eine Metallschicht aus Titan to und/oder Zirkonium und/oder Hafnium und/oder Tantal durch Flamm- oder Plasmaspritzen aufge bracht wird.
- 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallschicht zur Erzeugung einer Nitridschächt einer Stickstoffatmosphäre oder einer stickstoffhaltigen Atmosphäre bei 800 bis 14000C ausgesetzt und gesintert wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19752503374 DE2503374C3 (de) | 1975-01-28 | Verfahren zur Herstellung von Kohlenstoffschiffchen für die Aluminiumverdampfung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19752503374 DE2503374C3 (de) | 1975-01-28 | Verfahren zur Herstellung von Kohlenstoffschiffchen für die Aluminiumverdampfung |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2503374A1 DE2503374A1 (de) | 1976-08-05 |
DE2503374B2 true DE2503374B2 (de) | 1977-03-10 |
DE2503374C3 DE2503374C3 (de) | 1977-10-27 |
Family
ID=
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19516233C1 (de) * | 1995-05-03 | 1996-06-13 | Fraunhofer Ges Forschung | Verdampferschiffchen für den Einsatz in der PVD-Beschichtungstechnik |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19516233C1 (de) * | 1995-05-03 | 1996-06-13 | Fraunhofer Ges Forschung | Verdampferschiffchen für den Einsatz in der PVD-Beschichtungstechnik |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2503374A1 (de) | 1976-08-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2728555C2 (de) | Vormaterial für kohlefaserverstärkte Metalle und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE2233700C2 (de) | ||
DE3509465C2 (de) | Verfahren zur Herstellung poröser, nicht-verdampfbarer Gettereinrichtungen, so hergestellte Gettereinrichtungen und ihre Verwendung | |
DE60206207T2 (de) | Kappa- und gamma-A1203-Mehrfachbeschichtung,hergestellt durch chemische Gasphasenabscheidung bei niedrigen Temperaturen | |
DE2431448A1 (de) | Verfahren zum beschichten eines substrates | |
DE69301939T2 (de) | Elektrodenfolie für Elektrolytkondensator und Herstellungsverfahren | |
CH694164A5 (de) | Hochtemperatur-Komponente, insbesondere für eine Gasturbine, und Verfahren zu deren Herstellung. | |
DE3103129A1 (de) | Thermisch belastbares maschinenteil und verfahren zu dessen herstellung | |
CH667469A5 (de) | Verfahren zum aufbringen von schutzschichten. | |
DE2344936B2 (de) | Thermische Kathode für Elektronenröhren und Verfahren zu deren Herstellung | |
EP1706518B1 (de) | Schutzschicht fur eine aluminiumhaltige legierung fur den einsatz bei hohen temperaturen, sowie verfahren zur herstellung einer solchen schutzschicht | |
DE931624C (de) | Verfahren zur Herstellung eines Schutzueberzuges auf Molybdaen, Titan, Zirkonium oder mindestens 50% dieser Metalle enthaltende Legierungen | |
DE2624781B2 (de) | Elektronenemittierende Elektrode und Verfahren zu ihrer Herstellung | |
DE2831478C2 (de) | Elektrochemischer Meßfühler und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE2503374C3 (de) | Verfahren zur Herstellung von Kohlenstoffschiffchen für die Aluminiumverdampfung | |
DE2503374B2 (de) | Verfahren zur herstellung von kohlenstoffschiffchen fuer die aluminiumverdampfung | |
DE102004002303B4 (de) | Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Kohlenstoff/Kohlenstoff-Verbundwerkstoffes und danach hergestellter beschichteter Kohlenstoff/Kohlenstoff-Verbundwerkstoff | |
DE3519163C2 (de) | ||
DE1128923B (de) | Elektrode fuer Elektrolytkondensatoren und elektrochemische Prozesse und Verfahren zu deren Herstellung | |
DE2535569B2 (de) | Behälter für die Verdampfung von Metall | |
DE69115854T2 (de) | Rost zur thermischen Behandlung mit hoher Temperatur | |
DE1546051A1 (de) | Verfahren zum Aufbringen von UEberzuegen auf Hochtemperatur-Legierungen | |
EP0168736A2 (de) | Röntgendrehanode mit Oberflächenbeschichtung | |
DE1960836A1 (de) | Oxydische Deckschicht | |
DE889811C (de) | Thoriumoxyd-Paste-Kathode fuer elektrische Entladungsgefaesse |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
E77 | Valid patent as to the heymanns-index 1977 | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |