DE2449263A1

DE2449263A1 - Strahlteiler fuer elektronenstrahlarbeitsmaschinen

Info

Publication number: DE2449263A1
Application number: DE19742449263
Authority: DE
Inventors: Auf Nichtnennung Antrag
Original assignee: Steigerwald Strahltecknik GmbH
Current assignee: Steigerwald Strahltecknik GmbH
Priority date: 1974-10-16
Filing date: 1974-10-16
Publication date: 1976-04-22
Also published as: JPS5165498A; FR2287966B3; FR2287966A1; US4080546A; GB1525014A

Description

24A9263

on*

Steigerwald Strahltechnik GmbH

8000 München 7o Anwaltsakte 2 5 876

Haderunstraße la 14. Oktober IS 74

Strahlteiler für Elektronenstrahl-Arbeirsmaschinen

Die Erfindung betrifft einen Strahlteiler für Elektronenstrahlarbeitsmaschinen, mit einem quer zum Strahl anzuordnenden Strahlteilergitter, das eine Reihe von mit gegenseitigem Abstand nebeneinander verlaufenden Stegen zur Abschattung der darauf auftreffenden Strahlanteile aufweist.

Bei der Elektronenstrahl-Perforation von synthetischem haterial, insbesondere Kunstleder, ist es vorteilhaft, wenn gleichzeitig mit einer Vielzahl von Einzelstrahlen gearbeitet wird. Es ist bekannt, einen Elektronenstrahl von verhältnismäßig großem Querschnitt durch Strahlteiler zu unterteilen; diese Stranlteiler bestehen im einfachsten Fall aus Blecnen mit einex^ entsprechenden Anzahl von Löchern. Allgemein kann man solche Strahlteiler so auffassen, daß sie aus einer · Anzaril von Stegen bestehen, die die Strahlung abschatten, und aus einer Anzahl von zwischen den Stegen liegenden freien Abständen, durch die : ■-- . - ' - 2 -

609817/1017

!entsprechende Anteile des Strahls durchtreten können. FCir die

j Massenperforation mit hohen Arbeitsgeschwindigkeiten ist es ins-

[ besondere zweckmäßig, einen Linienstrahl zu erzeugen, diesen in j einen linienförmigen Brennfleck an der Arbeitsstelle zu fokusieren j und vor der Arbeitsstelle einen Strahlteiler anzuordnen, der den ; Linienstrahl in einer Anzahl von im Querschnitt annähernd punktförmigen Einzelstrahlen unterteilt. Bei hohen Arbeitsgeschwindigkeiten 'wird meist das zu perforierende Material kontinuierlich durch die Arbeitsstelle bewegt, und der Strahl wird während der Perforationsimpulse entsprechend der Drehungsgeschwindigkeit

•^: des Material abgelenkt; in diesem Fall sind naturgemäß die Zwi-

: schenräume zwischen den Stegen lang genug auszubilden, um die

I
seitliche Strahlbewegung zu gestatten. · :

Die Stege werden von den auf sie auftreffenden Strahlanteilen so stark erwärmt, daß selbst bei Verwendung hochschmelzenden Materials, insbesondere Wolfram, die Gefahr des Durchschmelzens besteht. Außerdem werden die Stege von den bei der Bearbeitung anfallenden Abfallprodukten verunreinigt. Die verhältnismäßig hohe Temperatur der Stege sorgt zwar für eine gewisse Selbstreinigung; dennoch hat sich nach einer gewissen Zeit, die bei der Perforation von synthetischen Kunststoffen nur Minuten betragen kann, so viel Material auf den Stegen abgelagert, daß die gewünschte Aufteilun^sgeometrie nicht mehr vorhanden ist. Derartige Schwierigkeiten machen häufige Betriebsunterbrechungen notwendig, die wegen des in der Bearbeitungskammer erforderlichen Vakuums umständlich und zeitraubend sind. Vielfach hat man deshalb von der Verwendung

609817/1017

[ von Strahlteilern Abstand genommen.

Die Erfindung geht von der Aufgabe aus, einen Strahlteiler zu schaffen, der einen industriemäßigen Dauerbetrieb einer Ei-aktro

nenstrahl-Arbeitsmaschine nicht behindert.

Nach der Erfindung wird diese Aufgabe gelöst mit einem Strahlteiler der eingangs angegebenen Art, der dadurch gekennzeichnet ist, daß das Stegmaterial.im Betrieb gegen vor_clem vom Strahl nicht beaufschlagtes Stegmaterial austauschbar ist.

\ Durch diese Austauschbarkeit des Stegmaterials während des Be-

j triebs der Maschine können ersichtlich die beschriebenen Ver- ^:

schmutzungsprobleme beherrscht werden; außerdem ist es grundj sätzlich möglich, die Austauschvorgänge so rasch auszuführen, ! daß auch die Erhitzung des Stegmaterials in erträglichen Grenzen bleibt.

Eine einfache Ausführungsmöglichkeit der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß die in der Stegrichtung zur Verfügung stehende Steglänge ein Mehrfaches der in dieser Richtung gemessenen Abmessung des Stranlquerschnitts beträgt, und daß die Stege in ihrer Richtung bewegbar sind. Auf diese Weise können wahlweise neue Abschnitte des Stegmaterials in den Stranlauftreffbereich gebracht werden. Die Stege bestehen im einfacnsten Fall aus Draht und sind relativ zu einer Strahl-Durchtrittsöffnung eines Strahlteiler-Grundkörpers weiterüewegbar . Das gesamte Gitter

609817/1017

-H-

aus nebeneinanaerliegenden Stegen oder Drähten kann dabei auf !zwei verschiedene Weisen gebildet werden: Im ersten Fall können. die Stege von parallelen getrennten Drahtabschnitten gebildet sein, die gemeinsam in ihrer Richtung weiteroewegbar sine, bei : dieser Ausf ührungsfprm wird also eine Art Drahtkamm weitergezogen .' oder auf- und abgewickelt. Im zweiten Fall werden mehrere Stege von einem einzigen Draht gebildet, der über Umlenkeinrichtungen hin und her über die Strahl-Durchtrittsöffnung gespannt ist. 3ei dieser Ausführungsform werden ein· und dieselben Abschnitte der Drähte mehrfach verwendet, so daß diese Ausführungsform vorwie-

[ gend für Anwendungen geeignet ist, bei denen die thermischen Problerne im Vordergrund stehen; durch Kühlung der Umlenkeinricntungen kann man leicht für eine ausreichende Kühlung der Drähte sorgen. Bei beiden Ausführungsmöglicnkeiten können die Stege oder Dränte auf dem Strahlteiler-Grundkörper aufliegen, und der Grundkörper

kann kühlbar sein, so daß auf diese Weise eine intensive Kühlung j ι ■

der Drähte und der Stege sichergestellt ist. Um ein Verrutschen .der Drähte zu verhindern, ist es zweckmäßig, daß» der Strahlteiler-Grundkörper mit Führungen für den Draht versehen ist. · j

Eine weitere mögliche Ausführungsform des erfindungsgemäßen : Strahlteilers ist dadurch gekennzeichnet, daß mehrere im Betrieb gegeneinander austauschbare Strahlteiler-Gitter vorgesehen sind. Diese Ausführungsform wird sich hauptsächlich dann empfehlen, wenn die Kühlprobleme weniger bedeutsam sind, beispielsweise also: dann, wenn die einzelnen Strahlteiler-Gitter jeweils mit Kühlein-'. •richtungen versehen sind. Die Einsatzdauer eines einzelnen Strahl-

609817/1017

_: 2U9263

ι ■.'■■'■-■"■■

j teiler-Gitters richtet sich dann riacn der zu erwartenaen 7er-I schmutzung.

Mechanisch besonders einfach· ist eine Ausf ührungsf ora,"· bev der mehrere Strahlteiler-Gitter mit gegenseitigem Abstand in einer gemeinsamen Strahlteiler-Einheit angeordnet sind, die relativ zum

Strahl bewegbar ist. Der Austausch der einzelnen Strahlteiler-Gitter erfolgt bei dieser Ausführungsform einfach durch Beilegen ' der gesamten Strahlteilereinheit. Eine solche Strahlteilereinheit ^! mit mehreren Gittern ist auch hinsichtlich der Kühlung besondex^s vorteilhaft. Sie kann als Ganzes entweder mit einem stationären Kühlkörper in Wärmeaustausch stehen und beim Weiterbevegen an diesen Kühlkörper entlanggleiten oder die Strahlteilereinheit selbst ist mit einer Kühleinrichtung versehen,· insbesondere in Form von

• i

Kühlkanälen, die über flexible Schläuche mit einem Kühlmittel

durchs tr örnbar sind. ■ i

Für besonders lange Betriebszeiten, beispielsweise eine volle Schichtzeit von 8 Stunden bei der industriellen Massenperforation

t von Kunstleder ist es zweckmäßig,'wenn mehrere der beschriebenen

Strahlteilereinheiten mit je mehreren Strahlteiler-Girtern gegen

einander austauschbar vorgesehen und ohne Betriebsunterbrechung :

¹ i

der Maschine über eine Vakuumschleuse in den Strahl-Aroeixsraum ein- und ausschleusbar sind. Bei dieser Ausführungsform kann eine¹ erste Strahlteilereinheit, die gereinigt werden muß, ohne Betriebsunterbrechung über die Vakuumschleuse aus dem Gerät ontnom-

men und gereinigt werden, während eine zweite Strahlteilereinneit '

609817/1017

im Gerät weiterarbeitet.

;Da bei den beschriebenen Strahlteilereinheiten ein Verschleiß im

!wesentlichen nur an den Stegen der Stranlteiler-Gitter* auftritt, list es zweckmäßig, die Verschleißteile für sich auswechseloar zu

i λ

jjnachen; zu diesem Zweck weist die Strahlteilereinheit einen Grund-Ikörper nfit mehreren dem Strahlquerschnitt entsprechenden Stranl-

iDurchtrittsöffnuhgen auf, und die Strahlteiler-Gitter sind jeweils als Exnsatz ausgebildet, der unter Uberdeckung einer Durchtrittsöffnung lösbar an dem Grundkörper befestigbar xst.

bei den beschriebenen Strahlteiler-Gittern ist es am ein- ; I

jfachsten, wenn die Stege aus im Querschnitt runden Drähten gebil-

:det sind. Dieser runde Querschnitt der Stege führt auch zu einem |höheren Strömungswiderstand des Gitters, der wegen der verhältnis-

jmäßig großen Gasmengen, die bei der Bearbeitung -entwickelt werden t ·

'können, zweckmäßig ist. Dieser erwünschte hohe Strömungswiderstand kann im allgemeinen auch deshalb leicht erzielt werden, weil bei den meisten Perforationsaufgaben der Abstand zwischen den herzu- _; !stellenden Perforationslöchern erneolich größer ist als der Durchmesser, eines Perforationsloches; demgemäß beträgt dann bei dem ; Gitter die Stegbreite ein Mehrfaches des Stegabstandes. ;

Vielfach wird es möglich sein, die Standzeit des Strahlteilers dadurch zu erhöhen, daß eine Reinigungseinrichtung für das auf der !Beaufschlagung durch den Strahl entfernte Stegmaterial vorgesehen ■

ist, so daß dieses Material nach der Reinigung wieder verwendet werden kann. .. ₇

609817/101.7

! Eine beträchtlicne Erhöhung der Standzeit wie auch des Strö.T.ungs-'Widerstandes kann ferner dadurch erreicht werden, daß vor der ϊ dem Strahl abgewandten Seite des Strahlteilers eine vom Strahl ! durchtrennbare weitertransportierbare Abschirmfolie vdrge-senen ist.

609817/1017

Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbeispieicn in Verbindung mit den Zeichnungen näher besenrieben, wobei alle sich vom Stand der Technik unterscheidenden Merkmale von erfindungswesentlicher Bedeutung sein können. ·

Es zeigt:

• ·■:

Figur 1 eine schematische Draufsicht auf einen erfindungsgemäßen Strahlteiler, , '

Figur 2 eine ähnliche Draufsicht wie Figur 1 bei einer anderen Ausführungsform, ·

' Figur 3 eine andere Ausfunrungsform einer Umlenkeinrichtung \ .für die Verwendung oei dem Strahlteiler nach Figur 2 ,

Figur U eine ganz senematische teilweise geschnittene Jar lung einer anderen Ausführungsform beim Einsatz in einer Elektronenstrahl-Arbeitsmaschine, wobei eine Strahlteilereinheit im Schnitt nach der Linie IV-IV der Figur 5 dargestellt ist, '

Figur 5 ' eine in Richtung des Pfeils V vorgesehene Draufsieht auf die Strahlteilereinneit nach Figur 4 , .

Figur 6 eine ebenfall-s in Richtung des Pfeils V der Figur 4 genommene Draufsicht auf einen Strahlteilereinsatz« der in Figur 1 verwendeten Art,

609817/1017 - ⁹ -

!Figur 7 eine ebenfalls in Richtung des Pfeils V der Fi^ur 4 i genommene Draufsicht auf eine bei der Stra.nltoilerein-I heit nach Figur H verwendete Klemmleiste,

! ■ ι

Figur 8 eine vergrößerte Schnittdarstellung nach der Linie VIII VIII der Figur 6.

809817/1017

J Der in Figur 1 dargestellte Strahlteiler enthält einen Stranl- ! teilergrundkörper 2, der insbesondere aus Kupfer bestehen kann und eine Strahl-Durchtrittsöffnung 4 aufweist. Außerhalb der

Strahl-Durcntrittsöffnung ist der Grundkörper mit Kü.iikanälor. ö ^v !
' versehen, durch die ein Kühlmittel geleitet werden kann. Auf dc.u Grundkörper 2 liegen in Führungen 8 parallel ausgespannte Drahtabschnitte Io auf, die Stege des Str-ahlteilers bilden und sich quer über die Strahl-Durchtrittsöffnung 4 erstrecken. Der Querschnitt des aufzuteilenden. Elektronenstrahls ist durcn αie gestrichelte Linie 12 angedeutet. Der aus den Drahtabschnitten Io J gebildete Drahtvorhang wird gemeinsam in Richtung des Pfeils 14 mit Hilfe einer Auf- und Abwickeleinrichtung 16 weiterbewegt. Der Antrieb der Auf- und Abwickeleinrichtung 16 ist nicht dargestellt. Die Drähte Io können von einem aufgewickelten Drahtvorrat (nicht dargestellt) entnommen werden. Auf der rechten Seire der Figur 1 ist noch eine Ausrichtwalze 18 dargestellt, die luit Führungsnuten für die Drähte Io versehen istj diese Ausrichtwalzn kann auch als Wickelvorrat für die Drahtabschnitte Io ausgebildet sein.

Figur 2 zeigt eine Ausführungsform, die ähnlicn wie nach Figur ausgebildet ist, jedoch nicnt einen Vorhang aus mehreren parallen Drahtabscnnitten Io verwendet, sondern einen einzigen Draht 2o, der über Umlenkeinrichtungen 22,24 hin und her über die Straai-Durchtrittsöffnung 2o4 gespannt ist. Auch hier kann der Stranlteiler-Grundkörper 2o2 Führungen für die Drähte enthalten; in der Figur sind derartige Führungen jedoch nicht dargestellt. Auch

609817/1017

BAD ORIGiNAL

- 11 -

j *ist der Strahlteiler-GfuncKörper 2o2 wieder mit Kühlkanälen 2oG j versehen. Der Elektronenstranl-Querschnitt ist durch die gestrichelte Linie 212 angedeutet. Die Umlenkeinrichtungen 22 und bestehen nach Figur 2 jeweils aus mehreren Rollen 25 bzw. 23, die' _t jeweils auf einer gemeinsamen Welle 3o bzw. 32 sitzen. Das (nicht dargestellt) freie Ende des Drahtes 2o kommt von einer ; Dtfahtspule her, und der Anfang des Drahtes ist auf der als breitere Aufwickelspule ausgebildeten Rolle 2 6a der Umlenkeinrichtung 22 befestigt. Es ist auch möglich, statt der einzelnen Rollen eine einheitliche Walze zu verwenden; eine solche Walze 34 ist

S in Figur 3 im Axialschnitt dargestellt.

:

j Da bei der Ausführungsform nach Figur 2 ein und dieselben Abschnitte des Drahtes 2o mehrfach über die Strahl-Durchtritts-

S öffnung 2o4 wandern, also mehrfach benutzt werden, ist an der rechten Umlenkeinrichtung 24 eine Reinigungseinrichtung 3 6 in Form einer Drahtbürste vorgesehen. Während des Betriebes wird durch Drehen der 'Welle 3o der Draht 2o kontinuierli.cn oder diskontinuierlich weitertransportiert, so daß die von dem Draht gebildeten Stego über der Strahl-Durchtrittsöffnung 2o4 in ihrer Richtung weiterbewegt werden, wobei das jeweils beaufschlagte Stegmaterial-ausgetauscht wird.

Es ist zwecks besserer Kühlung auch möglich, die Umlenkeinricn-

tungen kühlbar auszuführen; dies ist besonders leicht erreichbar bei walzenartigen Umlenkeinrichtungen nach Art der in Figur 3 gezeigten Walze 34.

• ■ 609817/1017

; Figur 4 zeigte eine Ausführungsform, bei der mehrere Strahlteiicr-ι Gitter 38 mit gegenseitigem Abstand in einer gemeinsamen 3tr^n-

teilereinheit 4o angeordnet sind. Diese Einheit 4o ist auf einer Schiene 42 mit Hilfe eines Kettenantriebes 44 relativ*zu dem · -^ Strahl in Richtung des Pfeils 48 bewegbar, so daß dadurch im 3e- '-trieb mehrere Strahlteiler-Gitter 3 8 nacheinander als Strahiteilex^s am Strahl 46 eingesetzt werden können. Die Strahlteilereinheit 4o ist mit einer Kühleinrichtung versehen, die aus Kühlkanälen 48 und flexiblen Anschlußschläuchen 5o besteht. -Die Schläuche

sind vakuumdicht aus der Arbeitskammer 5 2 herausgeführt und dienen zur Zu- und Ableitung eines Kühlmittels. Stattdessen oder ■ ' j zusätzlich kann die Strahlteilereinheit 4o auch durch den Kontakt mit der Schiene 4 2 gekühlt werden; in diesem Fall ist diese

. Schiene 4 2 als stationärer Kühlkörper auszubilden, der mit der

ί Einheit 4o in Wärmeaustausch steht. < ■

j In der Arbeitskammer 5 2 ist eine weitere Stranlteilereinheit I

auf der Schiene 42 vorgesehen, die ebenso ausgebildet ist wie die erste Strahlteilereinheit 4o.und gegen diese austauschbar ist. Ferner ist eine nient dargestellte Vakuumschleuse vorgesehen, über die die nicht mehr benutzte und- zu reinigende Stranlteilereinheit aus der Arbeitskammer 52 ausgeschleust wercien kann, ohne daß dazu der Betrieb unterbrochen werden muß. In gleicher . Weise kann eine gereinigte Strahlteilereinheit dann über -die nicht dargestellte Vakuumschleuse wieder in die Arbeitskammer 5 eingeführt werden . Die Ausführung derartiger Ein- und Aus- ^: Schleuseeinrichtungen bereitet dem Fachmann keine Schwierigkeiten; ..„.auf eine nähere Beschreibung wird deshalb hier verzichtet.

609817/1017 -i3-

!■Der in Figur 4 dargestellte Llekxronenstranl 4 5 ist rr.it eine.-: j linien- oder Dandformigen Querschnitt zu denken, dessen ^rü.jte !Abmessung senkrecnt zur Zeichenebene stent. Der durch aas jeweils !im Stranlweg liegende Strahlteiler-Gitter 38 in EinzeLstranlen aufgeteilte Strahl 46 trifft auf ein zu perforierenaes Vier ks tile κ S6, das auf einen zylindrischen Werkstückträger 58 mit Hilfe einer Schablone 6o befestigt ist und durch Drehung des Werkszücktrüriers 5.8 in Richtung des Pfeils 62 weiterbewegt wird. Der Strahl 46 wird dabei durch nicht dargestellte Ablenkeinricntungen mitDewegt, ¹ so daß bei jedem Impuls eine im wesentlichen gerade Perforaticnsbohrung 64 entsteht. Der beim Perforieren von der Bearbeitung3-stelle weggeschleuderte Schmutz 6 6 wird zum größten Teil von einer· Abschirmfolie 68 aufgefangen, die vor dem Strahl abgewandten Seite des Strahlteilers angeordnet ist. Die Abschirraf olie 6 8 wird von einer Vorratsrolle 7o auf eine Aufnahmerolle 72 kontinuierlich oder diskontinuierlich abgewickelt. Die Folie ist so dünn, daß

! sie von dem Strahl ohne merkliche Beeinträchtigung der Strahli
intensität durchschossen wird.

.Der Aufbau der in Figur 4 ,dargestellten Strahlteilereinheiten ^i;to und 54 wird in den Figuren 5 bis 8 weiter erläutert. Die Strahlteilereinheit 4o hat einen Grundkörper 74, der insbesondere aus Kupfer besteht und mehrere dem Strahlquerschnitt entsprechende Strahl-Üurchtrittsöffnungen 7 6 aufweist. Jedes Strahlteiler-Gitter ist einem Einsatz 78 ausgebildet, der unter Überdeckung einer Durchtrittsöffnung 76 lösbar an dem Grundkörper 74 befestigt werden kann. Zu diesem Zweck sind Klemmleisten 8o vorgesehen, die ^:

- 14 -

609817/1017

BAD ORIGINAL

I ■ ■

I mit Hilfe von Schrauben 82 befestigt werden. Zur genauen !Positionierung sind am Grundkörper Vertiefungen 84 vorgesehen, !die mit entsprechenden (nicht dargestellten) Erhöhungen am Ein-

''satz 78 zusammenwirken. ··· ^

Wie Figur 8 zeigt, bestehen bei der dargestellten Ausführungει

form die Stege aus im Querschnitt runden Drähten 86, wobei die,

Stegbreite ein Kehrfaches des Stegabstandes beträgt. Die Drähte j sind auf dem Einsatz 78 mit Hartlot 88 befestigt, dessen Ober-I fläche 9o glatt abgearbeitet ist. '- '

Bei einer praktischen Ausführungsform der in den Figuren 4 DiG

j dargestellten Strahlteiler-Hinrichtung für eine Elektror.enstrahli maschine zum Perforieren von Kunstleder kann die Stegbreite im ! Bereicn von o,4 bis 1,5 mm liegen, und die Stegabstände können o,o5 bis o,2 mm betragen. Der Abstand der Strahlteiler-Stege von dem zu bearbeitenden Werkstück 5 6 kann im Bereich von 2 bis Ib mm liegen. Je nach Einsatzart sind natürlich auch andere Werte möglich.

Die Stege bestanden aus Wolframdraht von 2 mm Durchmesser und erreichten im Betrieb eine Temperatur bis zu 2ooo°C. Die Künlung war so ausgelegt, daß das durch die Kühlkanäle zirkulierende Kühlwasser stets eine Temperatur unter loo C hatte. Durch die Verwendung der Abschirmfolie ü8 konnte die Standzeit pro Strahlteiler-Einsatz auf etwa das Achx- bis Zehnfache des Wertes ohne = Abschirmfolie erhöht werden. Bei der Elektronenstrahl-Perforation

609817/1017

BAD ORIGINAL

von Kunstleder konnte auf die^a V.'eise in kontinuierlicuer. χ<*Ζ mit einer Standzeit von etwa 2o Minuten pro Strahlteiler-Eiasatz erarbeitet werden.

Die Reinigung der aus der Arbeitskammer 52 entfernten Strahl-

ί teilerexnheiten kann rait Kochdruck-Wasserstrahl erfolgen, wobei I

gegebenenfalls zusätzlich wirkende abrasive Reinigungsmittel zugesetzt werden können.

I · ■

■ ■/

Andere Ausfuhrungsformen sind möglich, ohne 'den Rahmen der Er-

j findung zu verlassen.

609817/1017

BAD QRÜ3INAL

Claims

Patentansprüche

1. )Strahlteiler für Elektronenstrahl-Arbeitsmaschineii, mit einem quer zum Strahl anzuordnenden Strahlteiler-Gitter·, das eine Reihe von mit gegenseitigem Anstand nebeneinander verlaufenden Stegen zur Abschattung der darauf auftreffenden Strahlanteile aufweist, dadurch gekennzeichnet, daio das Stegrnateriai im betrieb gegen vor__aem vom Strahl nicht beaufschlagtes Sreg;natörial austauschbar ist.

2. Strahlteiler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die j in der Stegrichtung zur Verfügung stehende Steglänge ein Mehrfaches der in dieser Richtung gemessenen Abmessung des Stranl- ! querschnitts beträgt, und daß die Stege in ihrer Richtung bewegbar sind .

3. Strahlteiler nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, äaß die Stege aus Draht (lo;2o;86 ) bestehen und relativ zu einer

- 17 -

609817/1017

BAD ORIGSNAt.

Strahl-Durchtrittsöffnung (H;2o4;76) eines Strahlteiler-Grunakörpers (2;2o2;74) weiterbewegbar sind.

. Strahlteiler nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Stege von parallelen getrennten Drahtabschnitten (lo) gebildet sind, die gemeinsam in ihrer Richtung weiterbewegbar sind (Figur 1) . , -

j 5 . Strahlteiler nach Anspruch 3, dadurch gekennzeicnnet, daß ! mehrere Stege von einem einzigen Draht (2o) gebildet sind,

der über Umlenkeinrichtungen (22,24) hin und her über die j Strahl-Durchtrittsöffnung (2o4) gespannt ist (Figur 2).

j 6. Strahlteiler nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die

ι .Umlenkeinrichtungen kühlbar sind .

j 7. Strahlteiler nach einem der Ansprüche 3 bis δ, gekennzeichnet durch Auf- und Abwickeleinrichtungen (16) für den Drah"c (lo).

8. Strahlteiler nach einen der Ansprüche 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Draht (lo;2o) auf dem Strahlteiler-Grund-

j . körper (2;2o2) aufliegt , und daß der Strahlteiler-GrunüKÖrper kühlbar ist. · ·

9. Strahlteiler nach einem der Ansprüche 3 bis 8, dadurch gekenn-. zeichnet, daß der Strählteiler-Grundkörper (2) Fährungen ic) · für den Draht (lo) aufweist.

609817/1017 ~^lß "

BAD ORIGINAL

lo. Strahlteiler nach Anspruch 1, dadurch geKennzeicr.net, au,i mehrere in Betrieb gegeneinander austauschbare Strahlteilor-Gitter (38) vorgesehen sind (Figur 4) . '

ill. Strahlteiler nach Anspruch Io, dadurch gekennzeichnet, daß

j mehrere Strahlteiler-Gitter (38) mit gegenseitigem Abstand in einer gemeinsamen Strahlteilereinheit (4o,5o) angeordnet sind,' die relativ zum Strahl.(46) bewegbar ist (Figur 4).

ι ·

■ 12. Strahlteiler nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlteilereinheit (4o,54) mit einem stationären KQhI-j körper in Wärmeaustausch steht.

: 13. Strahlteiler nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, j daß die Strahlteilereinheit (4o₃54) selbst eine Kühleinriohj tung (48,5o) aufweist.

14. Strahlteiler nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dais die Kühleinrichtung Kühlkanäle (48) aufweist, die über flexible Schläuche (5o) mit einem Kühlmittel durcnströrnbar sind.

15. Strahlteiler nach einem der Ansprüche 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere gegeneinander austauscn^are Strahlteilereinheiten (4o,54) mit je mehreren Strahlteiler>-3ittern (38) vorgesehen und ohne Betriebsunterbrechung der Maschine über eine Vakuumschleuse in den Strahlarbeitsraum (52) ein- und ausschleusbar sind.

609817/1017

BAD ORiGiNAL

2U9263

- 13 -

^:16. Stranlteiler nach einein der Ansprüche 11 bis 15, d laugen „_-.-ι kennzeichnet, daß die Strahlteilerei.nneit (40) einen Graaukörper (7U) xnit menreren dem Strahlquerscanitt f.'iitsprc-cr.oriuv.:! Strahl-Durchtrittsöffnungen (76) aufweist und aa.a «die Stranltreiler-Gitter (38) jeweils in einem Einsatz (78) ausgebilcet sind, der unter ÜberdecKung einer Durchtrittsöffnung (7c) lös-

bar an dem Grundkörper (74) befe-stigbar ist.

|17. Strahlteiler nach einem der Ansprüche 11 bis 16, dadurch gekennzeichnet , daß die Stege aus im Querschnitt runden Drunten (86.) gebildet sind.

1.8. Strahlteiler nach- einera der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Stegbreite ein Mehrfaches des Stegabstandes beträgt.

19. Strahlteiler nacn einen der vornergehenden Ansprüche, gexenn- \ zeichnet durch eine Reinigungseinrichtung (35) für das aus der Beaufschlagung durcn den Strahl entfernte Stegmateriai und Wiederverwendung des gereinigten Stegmaterials . ■ ■

j 2o. Strahlteiler nach einem der vorhergehenden Ansprücne, dadurch gekennzeichnet, daß vor der dem Strahl abgewandten Seite des Strahlteilers eine vom Strahl durchtrennbare weitcrtranspor- ,

ι tierbare Abschirmfolie (68) vorgesehen ist (Figur 4).

609817/1017

BAD ORIGINAL