DE2420496A1

DE2420496A1 - Schwimmerbetriebener sensor zur ueberwachung des spezifischen gewichts einer fluessigkeit

Info

Publication number: DE2420496A1
Application number: DE2420496A
Authority: DE
Inventors: James A Johnson; Raymond A Letize
Original assignee: MacDermid Inc
Current assignee: MacDermid Inc
Priority date: 1973-05-03
Filing date: 1974-04-25
Publication date: 1974-11-21
Also published as: NL7402366A; DE2420496B2; IL43928A0; JPS5425505B2; JPS503690A; FR2228248A1; DE2420496C3; FR2228248B3; IT1004311B; AU6410774A; US3922511A; BE810725A

Description

. Schwimmerbetriebener Sensor zur überwachung des spezifischen Gewichts einer Flüssigkeit

Die vorliegende Erfindung betrifft das Problem, das spezifische Gewicht einer Lösung so konstant wie möglich zu halten, unter Bedingungen, bei denen ein Teil der Lösung in einer Behandlungsstelle mit einem Material reagieren muß, das in die Lösung eingeführt wird, wodurch die Zusammensetzung der Lösung und damit ihr spezifisches Gewicht verändert werden. Dieses Problem tritt gewöhnlich in Metallätzsystemen auf, bei denen eine Ätzlösung mit einem Metallgegenstand in Kontakt gebracht wird, z.B. zum Ablösen eines Teils des Metalls und in denen periodisches Ableiten von verbrauchtem Ätzmittel und Ersetzung durch frisches Ätzmittel vorgenommen werden, um eine annähernd gleichmäßige Dauerätzwirkung auf das Metall zu erreichen.

Bei der typischen Herstellung gedruckter elektronischer Schaltkarten mit Hilfe der Subtraktionsmethode werden Teile einer Kupferfolxenplattxerung auf einem nicht leitenden Substrat kurzzeitig abgedeckt, um ein gewünschtes Schaltmuster zu markieren.

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und der Schaltkartenrohling wird dann in ein Ätzbecken oder noch üblicher in einen Spritz-Ätzer getaucht. Dann wird Ätzlösung aus einem Becken gepumpt und über die Oberfläche der Karte gesprüht bzw. gespritzt, um vorstehende Kupferfolie abzulösen. Nach dem Absp^ühlen der Karte wird die kurzzeitige Abdeckung entfernt, und es bleibt eine gedruckte leitfähige Schaltung der gewünschten Form auf dem nichtleitenden Substrat stehen.

Genaue Kontrolle der Ätzmenge bei einem solchen Vorgang ist wichtig, um scharfe Begrenzungslinien des Schaltmusters zu erreichen, das auf der erhalten gebliebenen Metallfolie abgegrenzt wird. Dies ist äußerst schwierig, wenn eine Miniaturisierung der Schaltkarte wichtig ist, insofern, als die Breite der erhalten gebliebenen Leitungsteile so klein wie möglich gehalten werden muß, ebenso wie der Abstand zwischen den Leitungsteilen. Zur gewerbsmäßigen Herstellung wird der Ätzvorgang automatisiert, um eine große Anzahl von Schaltkarten in kürzester Zeit und mit geringstmöglichem Arbeitsaufwand zu bearbeiten.

Eine Vielzahl von Ätzmitteln wird allgemein benutzt, darunter saure, neutrale und alkalische Mittel_o Zum Ätzen von Kupfer werden z.B. als typische Ätzmittel Salzsäure, Chloreisen, Kupferchlorid, überschwefelsaures Ammonium, ammoniakhaltiges Chlorit und ammoniakhaltiges Kupferchlorid verwendet. Die erfolgreiche gewerbsmäßige Durchführung des Ätzzyklus hängt sehr von dem Ätzgrad ab, und der Ätzgrad hängt seinerseits von der Zusammensetzung der Ätzlösung ab_o Ununterbrochenes Ableiten und Auffüllen der Ätzlösung ist unwirtschaftlich und unpraktisch, so daß derartige Systeme im allgemeinen entweder im Stufenverfahren durchgeführt werden, wobei das Ätzbad einfach abgesetzt wird, wenn der Ätzgrad ein vorbestimmtes Mindestniveau erreicht hat; oder die Auf- oder Nachfüllung eines TeiJs des Ätzmittels wird ganz periodisch durchgeführt. Wenn die Perioden

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des Ableitens und Erneuerns zu häufig sind, entsteht natürlich ein starkes Schwanken im Grad der Ätzung während der Periode, wodurch eine Überwachung per Hand erforderlich wird, was sich für eine automatische Durchführung nicht eignet. Bei einem Versuch, die Grad-Veränderungen auszugleichen und die Schwankungen im Grad der Ätzung zu vermeiden, sind verschiedene Sensor-Arten verwendet worden, um die Zugabe neuer Lösung zu steuern. Dabei sind sowohl fotometrische als auch gravimetrische Sensoren verwendet worden. Diese bekannten Systeme verfügen jedoch nicht über ausreichende Empfindlichkeit, um völlig zufriedenstellende Ergebnisse zu erreichen.

Da die Empfindlichkeit der zum Überwachen des Zustandes der Ätzlösung verwendeten Mittel ein Grunderfordernis für eine gute automatisierte Steuerung des Ätzvorganges darstellt, ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine gravimetrische Sensorvorrichtung zu schaffen, die wesentlich besser auf Veränderungen im spezifischen Gewicht der Ätzlösung anspricht als die bisherigen, wobei dieser Sensor von vereinfachtem mechanischen Aufbau, frei von vorstehenden mechanischen Verbindungen, Zapfen oder ähnlichen durch Ätzung oder Reibung angreifbaren Teilen und infolgedessen wenig empfindlich ist.

Zur Lösung dieser Aufgabe wird bei einem schwimmerbetriebenen Sensor zur Überwachung des spezifischen Gewichts einer Flüssigkeit vorgeschlagen, daß er einen magnetisch betriebenen Schalter , einen Schwimmer, einen Permanentmagneten, der vom Schwimmer getragen wird, um bei bestimmten Stellungen des Schwimmers in bezug auf den Schalter diesen Schalter zu betätigen, sowie ein Traggestell enthält, daß Schalter und Schwimmer so auf dem Traggestell angebracht sind, um eine Relativbewegung zwischen ihnen zu ermöglichen, wobei eine Veränderung im spezifischen Gewicht der Flüssigkeit eine solche Relativbewegung auslöst und Betätigung des Schaltern bewirkt wird, und daß der Schwimmer eine Dichte hat, die angenähert derjenigen der Flüssigkeit unter den vorbestimmten

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Miniraum-Bedingungen für das spezifische Gewicht entspricht, v/ob ei der Schwimmer ein in cm ausgedrücktes Volumen hat, das in einem zahlenmäßigen Verhältnis von mindestens 200 zu 1 zu der vorbestimmten Minimum-Bedingung für das spezifische Gewicht steht.

Die Vorteile dieses neuen Sensors sind vor allem darin zu sehen, daß der Sensor bei jedem vorgewählten spezifischen Eigengewichtswert innerhalb eines vorgegebenen Grenzwertes arbeitet.

Dabei können alle elektrischen Teile des Sensors so angeordnet sein, daß sie völlig und ständig abgeschlossen sind, wodurch es möglich wird, in dem vorgewählten Arbeitsbereich des Sensors Veränderungen vorzunehmen, ohne daß der elektrische Teil des Sensors beeinträchtigt wird.

Weitere Einzelheiten der Erfindung sind anhand des in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiels im Einzelnen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung eines typischen Kupfer-Ätzsystems entsprechend dem, das gewöhnlich zur Herstellung gedruckter Schaltkarten verwendet wird, in das ein Sensor entsprechend der vorliegenden Erfindung eingebaut ist;

Fig. 2 eine vergrößerte Ansicht eines Ausführungsbeispiels der verbesserten Sensoreinheit, wobei zur Vereinfachung des Verständnisses Teile aufgebrochen und im Schnitt dargestellt sind; und

Fig. 3 eine Draufsicht, ebenfalls teilweise im Schnitt, entlang der Linie 3-3 in Fig. 2 mit Einzelheiten des Scawimmelements der Sensoreinheit.

Die schematische Darstellung der Fig. 1 zeigt ein zusammenhängendes Kupfer-Atζsystem eines Typs, der zur Herstellung

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von gedruckten Schaltkarten aus kupferplattierten Kunststoff-Substratfolien geeignet ist.

Der Spritzätzer 10 umfaßt einen Tank oder eine Ätzkammer 12, durch die Schaltkarten B mit Hilfe eines Förderers 14 transportiert werden, wähimd eine Ätzlösung aus einer Reihe von Sprühköpfen 16 auf sie aufgesprüht bzw. gespritzt wird. Die Atzlösung sammelt sich in einem Behälter 18 am Boden der Kammer 12 und wird durch eine Pumpe 20 ständig wieder zunSprühkopf 16 zurückgeleitet.

Das Niveau der Ätzlösung im Behälter 18 wird mit Hilfe eines Abfluß- bzw. Überlaufrohres 22 im wesentlichen konstant gehalten. Durch eine Stufe einer zweistufigen Pumpe 24, die in das Abflußrohr 22 führt, wird die Atzlösung jedoch von Zeit zu Zeit abgezogen. Die abgezogene Lösung wird dann durch eine geeignete Leitung 26 in einen Sammelbehälter 28 für verbrauchte Ätzlösung gepurgdb. Gleichzeitig mit dieser Ableitung führt ein anderer Teil der Pumpe 24 eine gleiche Menge frischer Atzlösung aus einem Speichertank 30 durch eine Leitung 32 und eine Zuflußdüse 34 in die Ätzkammer ein_o Die Betätigung der Pumpe 24 zur Ableitung der verbrauchten Atzlösung und zur Zufuhr frischer Atzlösung wird automatisch durch ein elektrisches Steuerpult 36 gesteuert, mit dem ein Sensor 38 für das spezifische Gewicht über eine Leitung 40 verbunden ist. Bei automatischer Betätigung signalisiert der Sensor 38 der Steuereinheit 36, daß die Doppelpumpe 24 angetrieben werden muß, wenn immer das spezifische Gewicht der Lösung über einen bestimmten Wert ansteigt, und die Pumpe läuft weiter, bis der Sensor der Steuereinheit anzeigt, daß das spezifische Gewicht der Lösung infolge des Abzuges verbrauchter Ätzlösung und Äuffüllens mit frischer Ätzlösung auf einen anderen vorbestimmten Wert reduziert worden ist„

Es soll erreicht werden, daß die Unterschiede zwischen den oberen und unteren Werten der vorbestimmten spezifischen Gewichte auf Werte beschränkt werden, die dem Abzug und Ersatz

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von. nicht mehr als 10 Vol./έ der Gesamtmenge an Ätzlösung in dem Behälter während jeder Betätigungsperiode entsprechen. Es ist klar, daß der durchschnittliche Ätzgrad abhängig ist von dem Unterschied im spezifischen Gewicht zwischen den ausgewählten Höchst-und Mindestwerten und daß infolgedessen, je kleiner der Unterschied im spezifischen Gewicht ist, um so angenäherter eine stetige Ätzrate erreicht wird. Bei einer bevorzugten Behandlungsform wird eine Auswechslung von weniger als 5 /a des Lösungsvolumens in dem Behälter angestrebt? dies erfordert jedoch sehr viel zuverlässiger ansprechende gravimetrisch^ Sensoren als die, die bisher vorhanden sind. Die hier beschriebene Sensoreinheit stellt daher in dieser Hinsicht eine wesentliche Verbesserung dar.

Der eigentliche Sensor 38 für spezifisches Gewicht (Pig. 2) umfaßt einen zylindrischen Käfig, der in diesem Fall aus einer mit Löchern versehenen rohrförmigen Außenwand 42 besteht, die an ihren gegenüberliegenden Enden durch Scheiben 44, 46 verschlossen ist. Die Gesamtheit von Wand 42 und Scheiben 44, 46 wird durch eine zentrale rohrförxnige Hülse 48 zusammengehalten und bildet ein Traggestell für die Arbeitsteile des Sensors. Ein Ende der Hülse 48 ist in ein Gewindeice h 50 in der unteren Endwand 46 eingeschraubt. Das obere Ende der Hülse 48 ist ebenso durch eine Öffnung 52 in der oberen Scheibe 44 eingeschraubt. Das obere Ende der Hülse ragt über die Endwand 44 vor und nimmt eine Dichtung 54 und eine Kreuzlochscheibe 56 auf_o Dieses vorspringende obere Ende der Hülse 48 dient zur Befestigung eines gewöhnlichen v/a ss er dichten elektrischen Verbindungsstöpsels 58, mit dem die oben erwähnte Leitung 40 verbunden ist.

Die Hülse 48 besteht aus nichtmagnetischem Material, z.B. stranggepreßtem Kunststoffrohr. In der Hülse ist ein üblicher hermetisch abgeschlossener magnetischer Blattfederschalter 60 axial enthalten. Dieser Blattfederschalter 60 wird an seinem unteren Ende auf einem rohrförmigen Abstandhalter 62 gehalten,

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der seinerseits auf einem Verschlußstöpsel 64 ruht, der in das untere Ende der Hülse 48 eingeschraubt ist. Elektrische Leitungen 66 sind mit den entsprechenden vorspringenden Enden der Blattfederteile an jedem Ende des Schalters verlötet, und diese Leitungen sind mit Anschlüssen im oberen Ende der Hülse verbunden und greifen in entsprechende Anschlüsse des Stöpsels 58 ein. Itfie in Fig. 2 dargestellt, ist der Blattfederschalter von einem Typ, bei dem die Blattfederkontakte 68 bei offenem Schalter ganz normal voneinander entfernt sind, und der Schalter kann den elektrischen Kreis schließen, wann immer ein magnetisches Feld um die beiden Blattfederteile des Schalters herum angelegt wird, wodurch diese veranlaßt werden, sich gegenseitig gegen eine normale Federspannung anzuziehen. Dadurch wird der elektrische Kreis geschlossen, in dem sich der Schalter befindet, und im vorliegenden Fall der Kreis der Pumpe 24, so daß diese zu laufen beginnt.

Der Sensor 38 enthält einen toroidalen Schwimmer 70, der wie eine Achse um die Hülse 48 verläuft. Der Schwimmer 7O ist hohl und besteht, wie in Fig. 2 und 3 erkennen läßt, aus inneren und äußeren zylindrischen Wänden 72, 74, die durch toroidale Platten 76, 78 konzentrisch voneinander entfernt gehalten v/erden. Diese Platten verschließen die Enden des Schwimmers hermetisch und bilden dadurch eine geschlossene Kammer 80, in der ein Ringmagnet 82 in geeigneter Weise an der Innenwand 72 angebracht ist.

Die Innenwand 72 hat einen ausreichend größeren Durchmesser als die Hülse 48, so daß die Schwimmereinrichtung 70 leicht auf der Hülse zwischen den Scheiben 44, 46 auf und ab gleiten kann entsprechend den Veränderungen im spezifischen Gewicht der zu überwachenden Lösung. Eine Arretiermutter 84 am unteren Ende der Hülse 48 bildet eine Auflage, auf der der Schwimmer 70 normalerweise gehalten wird, bis sein Auftrieb ausreicht, um ihn an der Hülse hochsteigen zu lassen. Wenn der Schwimmer aufsteigt, wird der Ringmagnet 82 in Verbindung mit der Überlappung

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der Blattfederteile des Schalters 60 gebracht und veranlaßt diese dadurch, sich gegenseitig anzuziehen und somit den elektrischen Kreis zu schließen.

Der Auftrieb des Schwimmers 70 ist abhängig vom spezifischen Gewicht der Lösung, in die die Sensoreinheit eingetaucht ist, so daß Vergrößerungen und Verminderungen des spezifischen Gewichts ein Aufsteigen und ein Absinken des Schwimmers 7O innerhalb der durch den Käfig gegebenen Grenzen verursachen.

Das Gewicht des Schwimmers 70 kann verändert werden durch Hinzufügen oder-Entfernen körnigen Materials wie z.B. Bleikugeln 86 in Kammer 80 durch einen Eingangsstöpsel 88, der in der oberen Endplatte 76 des Schwimmers angebracht ist. Auf diese Weise kann der Punkt, c-:i dem der Auftrieb des Schwimmers 70 diesen zum Aufsteigen an der Hülse 48 veranlaßt, so eingestellt werden, daß er einem gegebenen spezifischen Gewicht der Lösung entspricht.

Um der Sensoreinheit 38 eine Empfindlichkeit zu geben, die geeignet ist, praktisch einen Dauerzustand im Ätzgrad des vorbeschriebenen Atzsystems zu schaffen, soll der Sensor völlig in den Behälter 18 einer Mtzkammer eingetaucht sein= Zusätzlich wird sorgfältig eine Beziehung zwischen dem Gesamtgewicht des Schwimmerteils 70 und dem Verdrängungsvolumen des Schwimmers hergestellt. Es ist klar, daß, wenn der Schwimmer 70 in die Auflagestellung auf der Arretierung 84 absinken mui3 (Fig. 2), wenn die Sensoreinheit 38 untergetaucht ist, die Beziehung zwischen dem Gev/icht der Schwimmereinheit 70 und seinem Gesamtvolumen eine v/irksame Dichte erzeugen muß, die mindestens äquivalent oder geringfügig größer ist c.ls das spezifische Gewicht der Lösung. Wenn das spezifische Gewicht der lösung wechselt, z.B. wenn sein Gewicht infolge der Auflösung von Kupfermetall· in dem oben beschriebenen Ätzprozeß ansteigt, steigt das Gewicht des Konstantvolumens der Flüssigkeit, das

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vom Schwimmer 70 verdrängt wird, entsprechend an und erzeugt einen isTetto-Äuftriebs-Effekt a.uf den Schwimmer. Unter der Voraussetzung, daß das Volumen und das Gewicht des Schwimmers genau gewählt sind, veranlaßt dies den Schwimmer aufzusteigen, sobald ein vorbestimmtes Ansteigen im spezifischen Gewicht der Lösung eintritt. Für viele Anwendungen, z.B_o das beschriebene i-itzsystem, sollte die gewünschte Empfindlichkeit des Sensors derart sein, daß eine Veränderung von ungefähr 0,002 im spezifischen Lösungsgewicht festgestellt wird. Entsprechend der vorliegenden Erfindung kann dies erreicht werden, indem zwei Faktoren miteinander verbunden werden. Erstens, die wirksame Schwimmerdichte wird äquivalent zu einem vorbestimmten Minimum an spezifischem Gewicht der zu überwachenden Lösung gehalten, und zweitens, das Schwimmervolumen, ausgedrückt in cm , wird so bemessen, daß ein zahlenmäßiges Verhältnis von mindestens 200:1 zu dem derart vorgewählten Minimum an spezifischem Gewicht entsteht.

Zur Erläuterung wird nachfolgend ein praktisches eines Kupfer-Ätzsystems beschrieben, bei dem eine ammoniakhaltige Kupfer chlor id-lit ζ lösung mit einem pH-Wert von etwa 9,0 und einem ursprünglichen Kupfergehalt von 0,135 kg/1 in dem Behälter der Ätzlösung zu Beginn der Behandlung vorhanden it;:. Su ätzende Schaltkarten werden dann mit Hilfe eines Förderers durch den Spritz-iitzer geleitet, wie oben beschrieben und dabei mit dieser iitzlösung besprüht. Unter Verwendung eines 57 Liter Versuchsmittel-Behälters wurde eine Reihe verschiedener Schwimmerarten getestet, um Ärbeitsgrenzen des Sensor Blattfederschalters in Verbindung mit einer Pumpe entsprechend der doen beschriebenen Pumpe 24 zu untersuchen. Die Ergebnisse dieser Versuche sind in folgender Tabelle dargestellt.:

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TABELLE 1	S'chwiraraer-	Spezifis	cli es	Erapf indl i ch-	Volumen
Schwinuaer-	voluiriGn in	Gewicht	der	keit
gevricht in	cm-	litzlösun		^spezifisches	Verände
		Schwimme ter	rschal-	Gewicht)	rung der Ätzmittei-
					lösung im
			el U S		Behälter
	50,15	1,158	1,155	0,013	20;έ
58,58	50, 13	1,190	1,172	0,018	17 -,Z
59,66	17C,. OO	1, IS 7	1,172	0,015	13,0
201,30	240,0O	1,188	1,176	0,012	1Ο>ί
285,00	430,20	1,190	1,136	0,004	3%
512,00	454,40	1, 184	1,182	0,002	1 1/2/ό
538,OO

Wie sich aus dieser Tabelle ergibt, wird eine angemessene Empfindlichkeit der Sensoreinheit erreicht, wenn das Schwimmervolumen,

gemessen in cm , ein numerisches Verhältnis von etwa 200 : 1 zu dem gewählten Minimum an spezifischem Gewicht ersieht. Bessere Empfindlichkeit der Einheit wird erreicht, wenn das eben genannte Verhältnis höher ist, wobei eine gute praktische Behandlung bei einem Verhältnis von um 350:1 bis 400:1 erreicht wird. Es können noch höhere Verhältnisse verwendet werden, die selbstverständlich die Empfindlichkeit steigern; dies hat jedoch den Nachteil, daß die Einheit sehr sperrig wird.

Es ist selbstverständlich klar, daß ähnliche Ergebnisse unter anderen Bedingungen für spezifisches Gewicht erzielt werden können, indem Volumen und Gewicht des Schwimmerglieds des Sensors einem bestimmten gewählten spezifischen Gewicht zugeordnet werden. Es ist ersichtlich, daß der Sensor so geformt ist, daß das Schwimmerglied leicht ersetzt werden kann, um das Volumen des verwendeten Schwimmers zu verändern, ohne den Blattfederschalter zu beeinträchtigen. Ebenso können Veränderungen am Schwimmergewicht vorgenommen werden, indem Bleischrot in die Schwimmerkammer zugegeben oder aus ihr entfernt wird, um auf diese Weise die Anpassungsfähigkeit des Sensors an ver s chi ede⁷ Lösungen und Grade der Empfindlichkeit so groß wie möglich zu machen.

409847/1042 Patentansprüche:

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Claims

Patentansprüche

Schwimmerbetriebener Sensor zur überwachung des spezifischen Gewichts einer Flüssigkeit durch Untertauchen in eine Flüssigkeit, der auf Veränderungen des spezifischen Gewichts der Flüssigkeit unter vorbestimmten Minimum-Bedingungen anspricht, dadurch gekennzeichnet, daß er einen magnetisch betriebenen Schalter (60), einen Schwimmer (70) , einen Permanartmagneten (82) , der vom Schwimmer getragen wird, um bei bestimmten Stellungen des Schwimmers in bezug auf den Schalter diesen Schalter zu betätigen, sowie ein Traggestell (48) enthält, daß Schalter und Schwimmer so auf dem Traggestell (48) angebracht sind, um eine Relativbewegung zwischen ihnen zu ermöglichen, wobei eine Veränderung im spezifischen Gewicht der Flüssigkeit eine solche Relativbewegung auslöst und Betätigung des Schalters bewirkt wird, und daß der Schwimmer eine Dichte hat, die angenähert derjenigen der Flüssigkeit unter den vorbestimmten Minimum-Bedingungen für das spezifische Gextficht entspricht, wobei der Schwimmer ein in cm ausgedrücktes Volumen hat, das in einem zahlenmäßigen Verhältnis von mindestens 200:1 zu der vorbestimmten Minimum-Bedingung für das spezifische Gewicht steht.
2. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das zahlenmäßige Verhältnis des Schwimmervolumens Zum Mindest spezifischen Gewicht zwischen etwa 350:1 und 400:1 liegt.
3. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß der magnetisch betriebene Schalter (60) ein hermetisch abgeschlossener Blattfederschalter ist.

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4. Sensor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Schwimmer (70) toroidal ausgebildet ist und daß der Schalter (60) axial zu dem aus einem Toroid bestehenden Traggestell (48) angebracht: ist, was eine Bewegung des Schwimmers entlang dem Blattfederschalter ermöglicht.
5. Sensor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Traggestell aus einer Mittelhülse (48) und Endteilen (44,46) besteht, die an entgegengesetzten Enden der Hülse angebracht sind, wobei der toroidale Schwimmer (70) sich auf der Hülse axial zwischen den Endteilen bewegen kann und der Blattfederschalter (60) in der Hülse angebracht ist.
6. Verfahren um in einem ununterbrochen betriebenen chemischen Ätzsystem mit einer Zone, durch die Metallteile in Kontakt mit einer Ätzlösung zur Entfernung überschüssigen Metalls von den Teilen hindurchgeleitet werden, automatisch einen im wesentlichen konstanten Ätzgrad auf diese Metallteile aufrechtzuerhalten durch periodisches Einführen frischer Ätzlösung in die Ätzzone und gleichzeitiges Abziehen einer gleichen Menge verbrauchter Ätzlösung aus dieser, dadurch gekennzeichnet, daß die Frequenz und die Länge des periodischen Einführens und Ableitens der Lösung durch Pumpen (24) bewirkt werden, die durch schwimmerbetriebene Sensoren (38) gesteuert werden, wobei ein Sensor aus einem magnetisch betriebenen Schalter (60), einem Traggestell (48) und einem Schwimmer (70) mit einem eingebauten Permanentmagneten (82) besteht, wobei ferner Schalter und Schwimmer auf dem Traggestell derart angebracht sind und miteinander zusammenwirken, daß Veränderungen im spezifischen Gewicht der Lösung den Schwimmer veranlassen, sich relativ zu dem Schalter zu bewegen und dessen Betätigung zu bewirken; und wobei der Schwimmer eine Dichte, die äquivalent zu dem vorbestimmten Minimum an spezifischem Gewicht ist und ein in cm ausgedrücktes Volumen hat, das xn einem zahlenmäßigen Verhältnis von mindestens 200:1 zu dem vorbestimmten Mindest spezifischen Gewicht steht.

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