DE3921467C2 - Vorrichtung zum Aufbringen des Metalles aus chemisch reduktiven Metallisierungslösungen in Durchlaufanlagen auf Teile - Google Patents
Vorrichtung zum Aufbringen des Metalles aus chemisch reduktiven Metallisierungslösungen in Durchlaufanlagen auf TeileInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung gemäß dem Oberbegriff
des Anspruchs 1. Derartige Vorrichtungen werden zum Metallisieren
von Teilen aus Kunststoff eingesetzt, insbesondere zum
Metallisieren der erwähnten, mit Bohrungen versehenen
Leiterplatten. Dazu werden die Kunststoffoberflächen mit einer
Metallschicht versehen, nachdem diese Oberflächen vorher gereinigt
und aktiviert wurden. Auf diese Weise werden z. B. die Wandungen
der o. g. Bohrungen von Leiterplatten für gedruckte Schaltungen mit
einer Kupferschicht versehen. Man spricht hier von
"Durchkontaktieren", weil dabei die auf beiden Seiten der
Kunststoff-Trägerplatte angebrachten Kupferkaschierungen und evtl.
dazwischen liegende Kupferschichten (bei Multilayern) über die
Metallisierung der Bohrungswände oder Innenflächen miteinander
leitend verbunden werden. Dieses Metallisieren erfolgt in chemisch
reduktiven Metallisierungslösungen derart, daß die chemischen
Bestandteile des entsprechenden Bades auf der Oberfläche der
Platten Wasserstoff absondern und daß dieser Wasserstoff ein
Potential bildet, welches seinerseits den Niederschlag der
Metallisierung zur Folge hat.
Es dauert jedoch eine gewisse Zeit bis sich der vorgenannte
Wasserstoff gebildet hat. Dies spielte dann keine oder nur eine
unwesentliche Rolle, sofern der Prozeß des Durchkontaktierens von
Leiterplatten - wie bisher fast ausschließlich praktiziert - in
Anlagen durchgeführt wurde, in denen die Platten senkrecht an
Traggestellen befestigt, oder - ebenfalls senkrecht - in Tragkörbe
eingestellt, durch die verschiedenen Behandlungslösungen geführt
wurden. Dabei ist jeweils eine Mehrzahl von Platten gleichzeitig
in der Behandlungslösung eines Prozeßschrittes. Die Zeitdauer des
Prozeßschrittes ist hierbei von untergeordneter Bedeutung.
Neuerdings wird der Prozeß jedoch auch in Durchlaufanlagen
vorgenommen, in denen Leiterplatten in horizontaler Lage durch die
verschiedenen Behandlungslösungen transportiert werden. Die
Leiterplatten werden dazu lediglich vom Stapel abgenommen, in der
horizontalen Lage durch die Anlage hindurch geführt und am Ausgang
wieder auf Stapel abgelegt. Hierbei wird gegenüber der erläuterten
vertikalen Aufhängung oder Einstellung solcher Leiterplatten
erheblich an Arbeitspersonal und damit an Arbeitszeit gespart.
Beim horizontalen Durchlauf von Teilen, wobei insbesondere an die
genannten Leiterplatten gedacht ist, besteht jedoch beim
Prozeßschritt der chemischen Metallisierung die Schwierigkeit, daß
eine relativ lange Zeit benötigt wird, bis sich der Wasserstoff
und damit das Potential bildet und danach eine ausreichend dicke
Metallschicht auf dem Teil abgeschieden ist. Um diese Behandlungszeit
zu erreichen, muß nachteiligerweise der Anlagenabschnitt für
die Metallisierung entsprechend lang ausgebildet werden. Es wurde
deshalb versucht, Bäder für die chemische Metallisierung zu
entwickeln, welche die geforderte Dicke des Metallniederschlags in
einer kürzeren Zeit ermöglichen. Dies ist zwar vom Prinzip her
gelungen, doch sind diese Bäder in der Praxis schwer stabil zu
halten. Auch kommt es beim Einsatz leicht zu Metallabscheidungen
in Bereichen, wo sie unerwünscht sind, z. B. an den Behälterwänden.
Der Vorgang der Ausbildung eines Potentials auf der Kunststoffoberfläche,
das, wie oben beschrieben, durch die Abscheidung von
Wasserstoff entsteht, kann dadurch beschleunigt werden, daß mit
Hilfe einer externen Quelle eine Fremdspannung an die bereits mit
einem Kupferüberzug versehenen Bereiche der Teile angelegt wird.
Beschrieben sind derartige Verfahren in den Patentschriften
JP-A62-250178 und US-PS 4671968. Beide Veröffentlichungen
beschreiben die Anwendung des Verfahrens in Vorrichtungen, in
denen die zu beschichtenden Teile von oben her in einen
Behandlungsbehälter eingehängt werden und für die Zeitdauer des
durchzuführenden Prozesses an gleicher Stelle verbleiben.
Es liegt zwar nahe, das Prinzip auch auf Anlagen zu übertragen,
in denen Teile, z. B. Leiterplatten, im horizontalen Durchlauf
behandelt werden. Eine sinngemäße Übertragung der in den beiden
genannten Schriften beschriebenen Methode bringt jedoch nicht den
mit der vorliegenden Erfindung angestrebten und erreichten Effekt.
Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Vorrichtung
aufzuzeigen, mit der die Initialisierung der Abscheidung des
Metalls aus einer chemisch reduktiven Metallisierungslösung in
Anlagen auf Teile, die im horizontalen Durchlauf behandelt werden,
beschleunigt wird, um die Verweildauer der Teile im Bad zu
reduzieren und damit auch eine Reduzierung der Baulänge des Moduls
dieser Behandlungsstation zu erreichen.
Die Lösung dieser Aufgabe wird in den Merkmalen des Anspruchs 1
gesehen. Hiermit wird für das Starten, d. h. Beginn der Metallabscheidung
aus einem chemisch reduktiven Bad an der Oberfläche des
betreffenden Teiles (Substrates) an diesem bereits bei seinem
Eintreten in das Bad ein Potential zur Verfügung gestellt, so daß
sofort mit diesem Eintreten des Teiles in das Bad die
Metallabscheidung beginnen kann.
Das Potential wird also nicht erst hergestellt, wenn sich das
Teil vollständig in der Behandlungslösung befindet, sondern ist
schon vorhanden, wenn das Teil in die Behandlungslösung einläuft.
Hierdurch wird erheblich an Zeit gespart. Bei den mit
konstanten Transportgeschwindigkeiten betriebenen Durchlaufanlagen
wirkt sich diese Zeitersparnis direkt in der Anlagenlänge aus,
d. h. es kann durch die erfindungsgemäße Vorrichtung bei Erzielung
des gewünschten Metallisierungsgrades bzw. -niederschlages die
Länge dieses Behandlungsabschnittes kürzer gestaltet werden. Dies
reduziert die Herstellungskosten des Moduls eines solchen
Behandlungsabschnittes und reduziert ferner auch den Raumbedarf
innerhalb eines Gebäudes, was weiter zur Kostenreduzierung
beiträgt.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann angewandt werden bei
Teilen, die an ihrer Oberfläche schon teilweise mit Metall bedeckt
sind, wie es z. B. bei mit Kupfer kaschierten Leiterplatten aus
Kunststoff gegeben ist. Beim Verfahrensschritt der Metallisierung
der Bohrlochwandungen kann nun das elektrische Potential an dem
bereits mit Kupfer bedeckten Bereich kontaktiert werden, worauf
hier und auch in den noch nicht mit Metall bedeckten Bohrlochwandungen
sofort die Metallabscheidung aus dem Bad einsetzt.
Zur Lösung dieser Aufgabe ist zunächst die Verwendung einer
externen Spannungsquelle gemäß Anspruch 2 vorgesehen. Dies ist ein
konstanter oder ein pulsierender Gleichstrom. Es empfiehlt sich
hierzu Anspruch 3, um entsprechende Einstellmöglichkeiten zu
haben.
Eine vereinfachte Vorrichtung zur Durchführung der Erfindung
ist Gegenstand des Anspruches 4. Hier wird die im Bad vorhandene,
interen Spannungsquelle ausgenutzt.
Die Merkmale des Anspruches 5 stellen eine besondere
vorteilhafte Aufbringung des betreffenden Potentials auf die
Teile bei ihrem Einlauf in das Bad, bzw. den Badbehälter dar,
wobei die Übertragung des Potentials nicht durch die
kontinuierlich erfolgende Bewegung der zu metallisierenden Teile
beeinträchtigt wird.
Die Erfindung ist nachstehend anhand der Zeichnungen näher
erläutert. In der Zeichnung zeigt
Fig. 1 schematisch das Abscheidungsverhalten
eines chemisch reduktiven Metallisierungsbades,
Fig. 2 schematisch eine erste Ausführungsform
einer Vorrichtung nach der Erfindung,
Fig. 3 schematisch eine weitere Ausführungsform
einer Vorrichtung nach der Erfindung.
Die Geschwindigkeit, mit der aus einem chemisch reduktiven Bad
Metall auf der Oberfläche von Substraten abgeschieden wird, ist
nicht konstant. Nach dem Benetzen der Oberfläche mit dem Bad
vergeht eine gewisse Zeit, bis die Metallabscheidung beginnt
(siehe oben). Nach dem sogenannten "Starten" der Abscheidung wird
zunächst relativ viel Metall pro Zeiteinheit abgeschieden, die
Dicke der Schicht nimmt also verhältnismäßig schnell zu. Dieses
Schichtdickenwachstum nimmt dann aber wieder stetig ab. In Fig. 1
ist schematisch dieses Abscheidungsverhalten eines chemischen
reduktiven Metallisierungsbades aufgezeigt. Dabei bedeutet 1 die
Achse der Behandlungszeit T für das Substrat in der Lösung,
während 2 die Achse für die Zunahme der Schichtdicke S des
abgeschiedenen Metalls darstellt. Der Kurvenverlauf 3 zeigt den
charakteristischen Verlauf des Schichtdickenwachstums, in
Abhängigkeit von der Behandlungszeit, ohne Anwendung des
Verfahrens, ein Potential durch eine Fremdstromquelle
aufzubringen, während die Kurve 4 diese Verhältnisse bei Anwendung
des Verfahrens wiedergibt. Die Charakteristik der Kurven
entspricht dem Verhalten üblicher chemisch reduktiver
Metallisierungsbäder. Bei ihnen geht das Schichtdickenwachstum
nach Erreichen einer bestimmten Schichtdicke gegen Null.
Der o. g. Vorteil des Verfahrens ist aus den beiden Kurven klar
erkennbar. Er ist besonders von Bedeutung, wenn in dem chemisch
reduktiven Metallisierungsgrad nur eine sehr dünne Metallschicht
abgeschieden wird, die dann in einem nachfolgenden
Behandlungsschritt auf galvanischem Weg eine Verstärkung erfährt.
Dabei wird dann aus dem ganzen Kurvenverlauf für die Schichtdicke
nur der durch die Linie 5 dargestellte Anteil genutzt. Um diese
Schichtdicke zu erreichen, ist bei Anwendung des Verfahrens gemäß
Kurve 4 der Zeitaufwand 6 wesentlich geringer als der Zeitbedarf
6′ ohne Anwendung des Verfahrens mit dem Abscheidungsverlauf
entsprechend Kurve 3.
Leiterplatten, die mit diesen Verfahrensschritten, chemische
Metallisierung/galvanische Verstärkung, behandelt wurden und bei
denen das Behandlungsergebnis ungenügend ist, weil z. B. in den
Bohrlöchern die Kupferschicht lückenhaft aufgebracht ist, werden
ein zweites Mal behandelt, wobei sie wieder alle Prozeßstufen
durchlaufen. Hierbei ist die erfindungsgemäße Vorrichtung, bei
Anwendung des beschriebenen Verfahrens, von besonderem Vorteil,
weil erfahrungsgemäß auf dem im galvanischen Bad abgeschiedenen
Kupfer die Abscheidung im chemischen Metallisierungsbad besonders
schwer einsetzt.
Die Behandlung der Leiterplatten im Durchlauf, in horizontaler
Lage, unter Anwendung der Erfindung, ergibt noch einen weiteren
Vorteil. Es wurde eingangs erläutert, daß bei dieser Art der
Metallisierung sich an der Oberfläche der zu metallisierenden
Teile Wasserstoffgas bildet. Werden die zu behandelnden, mit
Bohrungen versehenen, Leiterplatten gemäß dem Stand der Technik in
senkrechter Lage aufgehängt oder gestellt, so bleibt zumindest ein
Teil dieses Wasserstoffgases in den waagerecht verlaufenden
Bohrungen und steigt nicht nach oben auf. Dies aber verhindert,
zumindest aber reduziert die Aufbringung der Metallisierung auf
den Innenflächen dieser Bohrungen. Liegen dagegen derartige
Platten im Bad horizontal, so verlaufen dann die Bohrungen der
Platte vertikal und das sich an der Innenfläche der Bohrungen
bildende Wasserstoffgas kann ungehindert nach oben aufsteigen.
Damit wird die Metallisierung dieser Innenflächen qualitativ
besser als bei im Bad hängenden Platten.
Die erfindungsgemäßen Vorrichtungen zur künstlichen Aufbringung
des Potentials auf die zu metallisierenden Teile bei ihrem Eingang
in das Bad werden nachstehend erläutert:
Im Ausführungsbeispiel der Fig. 2 sind im Behälter 7 für das
chemisch reduktive Metallisierungsbad 8 Transportwalzen 9
angeordnet, zwischen denen die zu metallisierenden Teile, z. B.
Leiterplatten 10 in Pfeilrichtung 11 bewegt werden. Eine externe
Spannungsquelle 12 ist mit einem Pol 13 mit dem Walzenpaar 9′ der
in der Behandlungsfolge vorhergehenden Station 7′ verbunden,
während der andere Pol 14 zu einer der Metallisierungslösung
angeordneten Elektrode 15 geführt ist. Diese bevorzugte
Ausführungsform hat den Vorteil, daß eine externe, bei Wunsch auf
die jeweils gewünschte Spannungshöhe einstellbare Spannungsquelle
vorhanden ist.
Ferner ist für diese Ausführungsform, aber auch für die
nachstehend erläuterte Ausführungsform gemäß Fig. 3 der Vorteil
gegeben, daß das die Leiterplatte kontaktierende Walzenpaar 9′ in
einem trockenen Bereich oder in einem Bereich mit neutraler
Flüssigkeit, z. B. Spülwasser angeordnet werden kann. Trotzdem
weist die Oberfläche der Leiterplatte 10 sofort bei ihrer
Benetzung mit der Metallisierungslösung das erforderliche
elektrische Potential zur Metallabscheidung auf.
Die Wandung des Behälters 7 besteht bevorzugt aus Kunststoff.
Sie kann aber gegebenenfalls auch aus Metall hergestellt sein und
damit die Funktion der Elektrode 15 übernehmen. Da die
Stromrichtung von der Elektrode 15, bzw. im zuletzt genannten
Fall von der metallischen Behälterwandung ausgeht, ist ein
Abscheiden der metallisierenden Lösung an der Behälterwandung
vermieden.
Fig. 3 zeigt schematisch die alternative Variante einer
internen Spannungsquelle, wobei das elektrische Potential von der
Oberfläche einer schon in der Behandlung weiter fortgeschrittenen
Leiterplatte 10′ mit Hilfe eines Schleifkontaktes 16 abgenommen
und ebenfalls zu dem kontaktierenden Walzenpaar 9′ zu Beginn, bzw.
vor dem Eingang des Bades 8 geführt ist. Der Schleifkontakt 16
befindet sich (in Transportrichtung 11 betrachtet) am Ende oder
nahe dem Ende des Behälters 7, wobei sich bereits genügend Wasserstoff
am behandelten Teil gebildet hat und daher ein
entsprechendes Potential besteht. An dieser Stelle ist im übrigen
schon eine Metallisierung aufgetragen. Mit dem Pfeil 11 ist wieder
die Transportrichtung für das Behandlungsgut 10, 10′ angegeben.
Die Metallisierungslösung bildet hier den Gegenpol zu dem elektrischen
Potential auf der Oberfläche der Leiterplatte 10, 10′.
In beiden vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispielen der
Erfindung ist der Vorteil gegeben, daß die Aufbringung des
Potentials auf das betreffende Teil mittels Transportwalzen trotz
der kontinuierlichen Bewegung der Teile in Pfeilrichtung 11
problemlos erfolgt.
Claims (5)
1. Vorrichtung zum Aufbringen des Metalles chemisch reduktiver Metallisierungslösungen
(8) in Durchlaufanlagen auf Teile (10), insbesondere mit Bohrungen versehene
Leiterplatten, deren Oberfläche bereits teilweise mit einer leitenden Schicht
versehen ist, wobei der Durchlauf der Teile durch die Anlage in horizontaler Lage
mittels Transportwalzen (9) erfolgt, dadurch gekennzeichnet, daß an dem schon mit
einer leitenden Schicht versehenen Bereich der Teile über unmittelbar vor dem
Behälter (7) mit der Metallisierungslösung (8) angeordnete Transportwalzen (9′)
eine elektrische Spannung angelegt wird, zu der die Metallisierungslösung (8) den
Gegenpol bildet.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als elektrische Spannungsquelle
eine externe Spannungsquelle (12) vorgesehen ist, deren einer Pol (13)
über die Transportwalzen (9′) mit der Oberfläche des in das Bad einlaufenden zu
metallisierenden Teiles (10), insbesondere Substrates, und deren anderer Pol (15)
mit der Behandlungslösung (8) kontaktiert ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch eine Einstellmöglichkeit des
Betrages der Spannung der externen Spannungsquelle (12).
4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als interne elektrische
Spannungsquelle das Bad (8) selbst dient, wobei als der eine Pol die Oberfläche
eines der sich innerhalb des Bades befindlichen Teile (10′) dient, an der die Metallisierung
schon begonnen hat, wobei diese Oberfläche mit der Oberfläche des in das
Bad einlaufenden, zu metallisierenden Teiles kontaktiert ist, während das Bad den
Gegenpol darstellt.
5. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die die zu metallisierenden Teile (10) kontaktierenden Walzen (9′)
sich in einem trockenen Bereich oder in einem Bereich mit neutraler Flüssigkeit vor
dem Eingang des betreffenden Bades (8) bzw. seines Behälters befinden.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19893921467 DE3921467C2 (de) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | Vorrichtung zum Aufbringen des Metalles aus chemisch reduktiven Metallisierungslösungen in Durchlaufanlagen auf Teile |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19893921467 DE3921467C2 (de) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | Vorrichtung zum Aufbringen des Metalles aus chemisch reduktiven Metallisierungslösungen in Durchlaufanlagen auf Teile |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3921467A1 DE3921467A1 (de) | 1991-01-03 |
DE3921467C2 true DE3921467C2 (de) | 1993-12-02 |
Family
ID=6383972
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19893921467 Expired - Lifetime DE3921467C2 (de) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | Vorrichtung zum Aufbringen des Metalles aus chemisch reduktiven Metallisierungslösungen in Durchlaufanlagen auf Teile |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3921467C2 (de) |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4671968A (en) * | 1985-04-01 | 1987-06-09 | Macdermid, Incorporated | Method for electroless deposition of copper on conductive surfaces and on substrates containing conductive surfaces |
-
1989
- 1989-06-30 DE DE19893921467 patent/DE3921467C2/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3921467A1 (de) | 1991-01-03 |
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