DE2420496C3 - Schwimmerbetätigter Sensor zur Überwachung des spezifischen Gewichts einer Flüssigkeit - Google Patents
Schwimmerbetätigter Sensor zur Überwachung des spezifischen Gewichts einer FlüssigkeitInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft einen schwimmerbetätigten
Sensor, der völlig in eine Flüssigkeit untertauchbar ist, deren spezifisches Gewicht Änderungen
unterworfen ist, und der auf Änderungen im spezifischen Gewicht über einen vorbestimmten Minimalwert
anspricht sowie einen magnetisch betriebenen Blattfederschalter, einen toroidal ausgebildeten
Schwimmer, einen Ring-Permanentmagneten, der vom Schwimmer getragen und zum Betätigen des Schalters
in bestimmten Stellungen des Schwimmers in bezug auf den Schalter wirksam ist und ein axiales Traggestell für
den Schwimmer aufweist. Das Problem, tlas spezifische
Gewicht einer Lösung so konstant wie möglich zu halten, wenn ein Teil der Lösung in einer Bchundlungsstelle
mit einem Material reagieren muß, das in die Lösung eingeführt wird, wodurch die Zusammensetzung
tier Lösung und damit ihr spezifisches Gewicht verändert wird, tritt gewöhnlich bei Metallätzsystemen
auf. bei denen eine Atzlosung mit einem Metallgegenstand in Kontakt gebracht wird. Das ist beispielsweise
der Fall, wenn beim Abätzen eines Teils des Metalls das verbrauchte Ätzmittel durch frisches ersetzt wird, um
eine annähernd gleichmäßige Dauerätzwirkung auf das Metall zu erreichen.
Genaue Kontrolle der Ätzmenge ist insbesondere bei der Herstellung gedruckter elektronischer Schallkarten
wichtig, um scharfe Begrenzungslinien des Schaltmuslers
zu erreichen, das auf der erhalten gebliebenen Metallfolie abgegrenzt wird. Dies ist äußerst schwierig,
wenn eine Miniaturisierung der Schaltkarte wichtig ist, insofern, als die Breite der erhalten gebliebenen
Leitungsteile so klein wie möglich gehalten werden muß. ebenso wie der Abstand zwischen den Leitungsteilen.
Zur gewerbsmäßigen Herstellung ist man daher bestrebt, den Ätzvorgang zu automatisieren, um eine
große Anzahl von Schaltkarten in kürzester Zeit und mit geringstmöglicheni Arbeitsaufwand zu bearbeiten.
Bei dem Versuch, die Konzentrationsänderungen auszugleichen und dabei Schwankungen im Grad der
Ätzung zu vermeiden, sind verschiedene Sensor-Arten verwendet worden, um die Zugabe neuer Lösung zu
steuern. Dazu sind sowohl fotometrische als auch gravimetnsche Sensoren herangezogen worden. Diese
bekannten Systeme verfügen jedoch nicht über ausreichende Empfindlichkeit, um völlig zufriedenstellende
Ergebnisse zu erreichen.
Aus der GB-PS 13 07 530 ist eine Vorrichtung zum Anzeigen der Dichte eines flüssigen oder gasförmigen
Mediums bekannt, die von entgegengesetzt wirkenden Permanentmagneten zum Ergänzen oder Verändern
des Auftriebs eines Schwimmers Gebrauch macht, um die Empfindlichkeit der Vorrichtung hinsichtlich Änderungen
in der Dichte des Mediums zu verändern.
Die Literaturstelle aus H. Hart, »Kontinuierliche
Flüssigkeitsdichtemessung«, enthält die allgemeine Angabe, daß eine durch eine bestimmte Dichteänderung
(A,,) verursachte Gewichtsänderung (Δ FJdirekt proportional
dem Volumen (V) des Meßgefäßes ist und die Empfindlichkeit durch ein Vergrößern des Meßgefäßvolumens
erhöht werden kann. Weiterhin behandelt diese Literaturstelle Eintaucharäometer mit der Erklärung,
daß die Aräometermasse (ni\) vergrößert und der Spindelquerschnitl (A.sp) verkleinert wird. In diesem
Zusammenhang wird auch ausdrücklich zugegeben, daß die Nachweisenipfindlichkeit über den Meßbereich
nicht konstant ist.
Aus der CH-PS 2 11 330 ist ein magnetisch verändertes
Aräometer mit einem nicht untergetauchten Schwimmer bekannt. Da entgegengesetzt wirkende
magnetische Einrichtungen zweck Veränderns der Empfindlichkeit des Schwimmers verwendet werden,
liegt eine Ähnlichkeit mit der aus der GB-PS 13 07 530 bekannten Einrichtung vor.
Die entgegengehaltenen Konstruktionen haben den Nachteil einer unvermeidlichen Änderung der Empfindlichkeit.
Das heißt, daß die Effektivität der Magneten mit Bezug auf die Empfindlichkeit streng von der
relativen Entfernung zwischen dem Magneten im Schwimmer und dem permanent angebrachten Magneten
abhängt. Deshalb tritt eine Ungleichmäßigkeit des empfindliehkeitsandernden Effekts bei den Lehren des
Standes der Technik auf, und der Effekt ist nur für eine bestimmte Stellung des Schwimmers am größten.
Da die von entgegengesetzt wirkenden Magneten
Gebrauch machenden und in den Entgegenhaltungen dargestellten Vorrichtungen oder Anordnungen die
Empfindlichkeit des Geräts verändern, können derartige Anordnungen nicht ein Ergebnis erzielen, welches
J1 -Jf dem minimalen numerischen Verhältnis zwischen
Schwimmervolumen und effektiver Dichte basiert. Ein Schwimmer mit einem Verhältnis von beispielsweise
1 :1 und einem sehr geringen Unterschied zwischen Schwinimerdiehie und Dichtigkeit des gerade erfühlten
flüssigen oder gasförmigen Mediums wird durch kleine Änderungen in der Dichte eines derartigen Mediums
beeinträchtigt und kann (in einer besonderen Stellung) empfindlich gemacht werden, indem im Sinne der
Entgegenhaltungen entgegengesetzt wirkende Magnete zur Vergrößerung der Empfindlichkeit in einer
derartigen Stellung verwendet werden. Die Stellungsänderung eines derartigen Schwimmers, d.h. seine
Laufstrecke mit einer geringen Änderung der Mediumsdichte, wird jedoch relativ unbedeutend sein verglichen
mit einem verschiedenartigen Schwimmer, der den gleichen sehr geringen Unterschied zwischen seiner
Dichte und der Mediumsdichte besitzt, jidoch ein
Volumen-zu-Dichte-Verhältnis von 200 : 1 nach dem Anmeldungsvorschlag.
Da eine ausreichende Empfindlichkeit der zum Überwachen des spezifischen Gewichtes einer Flüssigkeit
beispielsweise ein Grunderfordernis für eine gute automatisierte Steuerung eines Ätzvorganges darstellt,
ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine gravimetrische Schervorrichtung zu schaffer., die
sensibler auf Veränderungen im spezifischen Gewicht der zu untersuchenden Flüssigkeit anspricht als die
bisherigen, wobei dieser Sensor von vereinfachtem und robustem mechanischem Aufbau sowie insbesondere
frei von vorstehenden mechanischen Verbindungen, Zapfen oder ähnlichen durch Ätzung oder Reibung
angreifbaren Teilen sein soll.
Zur Lösung dieser Aufgabe wird bei einem schwimmerbetätigten Sensor zur Überwachung des
spezifischen Gewichts einer Flüssigkeit vorgeschlagen, daß das Traggestell eine rohrförmige Hülse aus
nichtmagnetischem Material und Scheibenteile umfaßt, die an den gegenüberliegenden Enden der Hülse
abnehmbar befestigt sind, daß der Schwimmer ein geschlossenes hohles Toroid ist und der Ringmagnet in
konzentrischer Beziehung mit dem Schwimmer in diesem ortsfest befestigt ist und der Schwimmer und der
Magnet auf der Hülse axial in freier Gleitbeziehung auf dieser zwischen den Scheibenleiien aufgenommen sind
und der Blattfederschalter im Inneren der Hülse in stationärer Beziehung zu ihr angebracht ist und
elektrische Leitungen aufweist, die durch wenigstens eines der Scheibenteile herausführen, daß der Schwimmer
mit dem Magneten ein solches Verdrängungsvolumen und kombiniertes Gewicht hat, daß die wirksame
Dichte ungefähr der der Flüssigkeit bei dem vorbestimmten minimalen spezifischen Gewichtswart entspricht,
daß der Schwimmer weiterhin eine axiale Abmessung besitzt, die wesentlich kürzer als die Länge
der Hülse ist, und daß das Gesamtverdrängungsvolumen in cm1 ein numerisches Verhältnis von wenigstens
200 : 1 relativ zum vorbestimmten minimalen spezifischen Gewichtswert aufweist.
Die Vorteile dieses neuen Sensors sind vor allem darin zu sehen, dall der Sensor bei jedem vorgewählten
spezifischen Eigengewichtswert innerhalb eines vorgebenen Grenzwertes arbeitet, wobei die Empfindlichkeit
im gesamten Laufbereich gleichmäßig groß ist.
Dabei können alle elektrischen Teile des Sensors so angeordnet sein, daß sie völlig und ständig abgeschlossen
sind, wodurch es möglich wird, in dem vorgewühlten Arbeitsbereich des Sensors Veränderungen vorzunehmen,
ohne daß sein elektrischer Teil beeinträchtigt wird. Weitere Einzelheiten der Erfindung sind anhand des
in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiels im einzelnen näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1 eine vergrößerte Ansicht eines Ausführungsbeispiels
der erfindungsgemäßen Sensoreinheit, wobei zur Vereinfachung des Verständnisses Teile aufgebrochen
und im Schnitt dargestellt sind, und
F i g. 2 eine Draufsicht, ebenfalls teilweise im Schnitt, entlang der Linie 3-3 in F i g. 1 mit Einzelheiten des
Schwimmelements der Sensoreinheit.
Am Beispiel der Überwachung einer Ätzlösung soll die Funktion des erfindungsgemäßen Sensors dargestellt
werden.
Es wird angestrebt, daß die Unterschiede zwischen den oberen und unteren Werten der vorbestimmten
spezifischen Gewichte einer Ätzlösung auf Werte beschränkt werden, die dem Abzug und Ersatz von nicht
mehr als 10 Vol-°/o der Gesamtmenge an Ätzlösung in dem Behälter während jedes Ergänzungsvorgangs
entsprechen. Es ist ersichtlich, daß der durchschnittliche Ätzgrad abhängig ist von dem Unterschied im
spezifischen Gewicht den ausgewählten Höchst- und Mindestwerten und daß infolgedessen, je kleiner der
Unterschied im spezifischen Gewicht ist, um so
jo angenäherter eine stetige Ätzrate erreicht wird. Bei
bestimmten Verfahren wird eine Schwankungsbreite von weniger als 5% des Lösungsvolumens in dem
Behälter angestrebt; dies erfordert jedoch sehr viel zuverlässiger ansprechende gravimetrische Sensoren
als die, die bisher vorhanden sind. Die hier beschriebene Sensoreinheit stellt daher in dieser Hinsicht eine
wesentliche Verbesserung dar.
Ein Sensor 38 für spezifisches Gewicht (Fig. 1) umfaßt einen zylindrischen Käfig, der in diesem Fall aus
•ίο einer mit Löchern versehenen rohrförmigen Außenwand
42 besteht, die an ihren gegenüberliegenden Enden durch Scheibenteile 44, 46 verschlossen ist. Die
Gesamtheit von Wand 12 und Scheiben 44, 46 wird durch eine zentrale rohrförmige Hülse 48 zusammenge-
ΑΊ halten und bildet ein Traggestell für die Arbeitsteile des
Sensors 38. Ein Ende der Hülse 48 ist in ein Gewindeloch 50 in der unteren Scheibe 46 eingeschraubt.
Das obere Ende 48 ist ebenso durch eine Öffnung 52 in der oberen Scheibe 44 eingeschraubt. Das
obere Ende der Hülse ragt über die Scheibe 44 vor und nimmt eine Dichtung 54 und eine Kreuzlochscheibe 56
auf. Dieses vorspringende obere Ende der Hülse 48 dient zur Befestigung eines gewöhnlichen wasserdichten
elektrischen Verbindungsstöpsels 58, mit dem die obenerwähnte Leitung 40 verbunden ist.
Die Hülse 48 besteht aus nichtmagnelischein
Material, z. B. siranggepreßtem Kunststoffrohr. In der
Hülse 48 ist ein üblicher hermetisch abgeschlossener magnetischer Blattfederschalter 60 axial enthalten.
Dieser Blattfederschalter 60 wird an seinem unteren Ende auf einem rohrförmigen Abstandhalter 62
gehalten, der seinerseits auf einem Verschlußstöpsel 64 ruht, der in das untere Ende der Hülse 48 eingeschraubt
ist. Elektrische Leitungen 66 sind mit den entsprechen-
b5 den vorspringenden Enden der Blattfederteile in jedem
Ende des Schalters 60 verlötet, und diese Leitungen 66 sind mit Anschlüssen im oberen Ende der Hülse 48
verbunden und greifen in entsprechende Anschlüsse des
Stöpsels 58 ein. Wie in I ι μ. I dargestellt, isl der
Blattfederschalter W) von einem Ivp. hei dem die
Blattledei k on 1.1 k te 68 bei öl leiiein Schaller ganz normal
\ oneinander entlenil sind, und der Si halter 60 kann den
elektrischen Kreis schließen, wann immer ein magnctisches
I ekl um die beulen UlaHlcderlcilc des Schallers βθ
herum angelegt wird, wodurch diese veranlagt werden,
sieh gegenseitig gegen eine normale I ederspaniuing
.iii/u/iehen. Dadurch und der elektrische Kreis
geschlossen, in dem sich der Schalter 60 befindet, und im
vorliegenden I all der Kreis tier Pumpe 24. so dall diese
/ti laufen beginnt.
Der Sensor 38 enthält einen loroidalen Schwimmer 70. der wie eine Achse um die Hülse 48 verläuft. Der
Schu immer 70 ist hohl und besteht, wie I i g. 1 und 2
erkennen lassen, aus inneren und äußeren zylindrischen Wänden 72, 74. die durch toroidale Platten 76, 78
konzentrisch voneinander entfernt gehallen werden. Diese Planen 76, 78 verschließen die Luden ties
Schwimmers 70 hermelisch und bilden dadurch eine geschlossene Kammer 80. in der ein Ringmagnet 82 in
geeigneter Weise an der Innenwand 72 angebracht isl.
Die Innenwand 72 hat einen ausreichend größeren Durchmesser als die I lülse 48. so dall der Schwimmer 70
leichi aiii der Hülse 48 zw ischen den Scheiben 44,46 ;iul
und ab gleiten kann entsprechend ilen Veränderungen
im spezifischen Gewicht der zu überwachenden Lösung.
Line Arretiermutter 84 am unteren l'.nde der Hülse 48
bildet eine Auflage, aiii der dei Schwimmer 70
normalerweise gehalten wird, bis sein Aul trieb aus
reicht, um ihn an der Hülse 48 hochsteigen zu lassen.
Wenn der Schwimmer 70 auf steigt, wird vier
Ringmagnet 82 in Verbindung mit der I 'bcrlappting der
Blatüedeneile des Schalters 60 gebracht und veranLil.it
diese dadurch, sich gegenseitig anzuziehen und somit den elektrischen Kreis zu schließen.
Der Auftrieb des Schwimmers 70 ist abhängig vom spezifischen Gewicht der Lösung, in die die Sensorein
heit eingetaucht ist. so dall Vergrößerungen und
Verminderungen des spezifischen Gewichts ein Aulsteiger, ur.d ein -\bsinken des Schwimmers 70 innerhalb der
dur^h de· Käfig gegebenen Grenzen verursachen.
D;'s Gewxht des Schwimmers 70 kann verändert
werden durch Hinzufugen oder Lntfernen körnigen Materials w;e z.B. Bleikugeln 86 in der Kammer 80
durch einen l-.ingangsstöpsel 88. der in der oberen
Endplatte 76 des Schwimmers 70 angebracht ist. Aul diese W jise kann der Punkt, an dem der Λ vif trieb des
Sehw i:- :t.-rs 70 diesen zum Aufsteigen an der Hülse 48
veranUilii. so eingestellt werden, dall er einem
gegebenen spezifischen Gewicht der Losung entspricht.
I im der Sensoreinheit 38 eine empfindlichkeit /u
geben, die geeignet ist. praktisch einen Dauerzustand im
Ätzgrad des vorbeschriebenen Ätzsystems zu schaffen.
soll der Sensor völlig in den liehäller 18 einer
Ät/kammer eingetaucht sein Zusätzlich wird sorgfällig
eine Heziehiing /wischen dem Gesamtgewicht des
Schw iminerlcils 70 und dem Verdi ängungsvolunien des
Schwimmers hergestellt. Ls isl klar. dall, wenn der
Schwimmer 70 in die Aiillageslcllung auf der Arretierung
84 absinken mull (L ig. I). wenn die Sensoi einheit 18 iiniergetaiichl ist. die lic/ichuiig /wischen dem
(iew iclit der Schw iinnici cinheil 70 und seinem (iesami
volumen eine wirksame Dichte erzeugen muli, die
mindestens äquivalent oder geringfügig groller isl als
das spezifische Gewicht der Lösung. Wenn das
spc/ilische Gewicht der Losung wechselt. /.Ii. wenn
sein C ic·wichI infolge ί\α· Aullösiing von Kiiplermetall in
dem oben beschriebenen At/pro/cl! ansteigt, steigt das
Gewicht des Koiisiantvoluinens tier I lüssigkeit. das
vom Schwimmer 70 verdrängt wird, entsprechend an und erzeugt eil.en Ncllo Aiillriebs-Lflekl aiii den
Sehw immer 70. Unter der Voraussetzung, dall das Volumen und das Gewicht des Schwimmers 70 genau
gewählt sind, veranlaßt dies den Schwimmer 70 aufzusteigen, sobald ein voi bestimmtes Ansteigen im
spezifischen Gewicht tier Losung eintritt. für viele
Anwendungen, z. H. das beschriebene Älzsysteiu. sollte
die gewünschte empfindlichkeit des Sensors 38 derart sein, daß eine Veränderung von ungefähr 0.002 im
spezifischen ladungsgewicht festgestellt wird, entsprechend
der vorliegenden Lrfindung kann dies erreicht werden, indem zwei I akloren miteinander verbunden
werden. Listens, die wirksame Schwimmerdichte wird äquivalent /u einem vorbestimmten Minimum an
spezifischem Gewicht der zu überwachenden Lösung gehalten, und zweitens, das Schw imniervoluuien. ausgedrückt
in cm', wird so bemessen, dall ein zahlenmäßiges
Verhältnis von mindestens 200 : 1 zu dem derail vorgewählten Minimum an spezifischem Gewicht
entsteht.
Zur Erläuterung wird nachfolgend ein praktisches Beispiel eines Kuplei -At/systems beschrieben, bei dem
eine ammoniakhaltige Kupferchlorid-Ätzlösung mit einem pH-Wert von etwa 9.0 und einem ursprünglichen
Kupfergehalt von 0.135 kg/l in dem Behälter der Ätzlösung zu Beginn der Behandlung vorhanden ist. Zu
ätzende Schaltkarten werden dann mit Hilfe eines I örderers durch den Sprit/Ätzer geleitel, wie oben
beschrieben und dabei mit dieser Ätzlösung besprüht Unter Verwendung eines 57-Liter-Versuchsmiltcl-Bchältcrs
wurde eine Reihe verschiedener Sehwimmerar ten getestet, um Arbeitsgrenzen des Sensor Blattfederschalter
in Verbindung mit einer Pumpe entsprechend der oben beschriebenen Pumpe 24 zu untersuchen. Die
L.rgebnisse dieser Versuche sind in folgender Tabelle dargestellt:
| Schwimmer | Schwimmer- | Spezifische! | aus | Empfindlichkeit | Volumen |
| gewicht in g | volumen | s Gewicht | 1,155 | Veränderung | |
| in cm! | der Ätzlösung | 1,172 | der Ätzmittellösung | ||
| 1,172 | im Behälter | ||||
| 1,176 | (spezifisches Gewicht) | (%) | |||
| 58.58 | 50,15 | Schwimmerschalter | 1.186 | 0,013 | 20 |
| 59.66 | 50,13 | an | 1.182 | 0,018 | 17 |
| 201,80 | 170,00 | 1,168 | 0,015 | 13 | |
| 285.00 | 240,00 | 1,190 | 0,012 | 10 | |
| 51Z00 | 430,20 | 1,187 | 0.004 | 3 | |
| 538.00 | 454.40 | 1.188 | 0,002 | V/2 | |
| 1,190 | |||||
| 1,184 |
Wie sich .ms dieser Tabelle
angemessene Empfindlichkeit der
angemessene Empfindlichkeit der
ergibt, w ird eine Sensoreinheit erreicht,
wenn das Schwinimervolunien, gemessen in cm1,
ein numerisches Verhältnis von etwa 200 : I /u dem
gewählten Minimum an spezifischem Gewicht erreicht. Bessere Empfindlichkeit der Einheit wird erreicht, wenn
das eben genannte Verhältnis höher ist. wobei eine gute
praktische Behandlung bei einem Verhältnis von um 350 : ] bis 400 : I erreicht wird. Es können noch höhere
Verhaltnisse verwendet werden, die selbstverständlich
die Empfindlichkeit steigern; dies hat jedoch den Nachteil, daß die Einheit sehr sperrig w ird.
Es ist selbstverständlich klar, dall ähnliche Ergebnisse unter anderen Bedingungen für spezifisches Gewicht
er/ielt werden können, indem Volumen und Gewicht
iles .Schwimmerglieds des Sensors einem bestimmten
gewählten spezifischen Cicwicht zugeordnet werden. Es ist ersichtlich, dall der Sensor so geformt ist, dall das
Sehwimmerglied leicht ersetzt werden kann, um das
Volumen des verwendeten Schwimmers zu verändern, ohne ilen Blattfederschalter zu beeinträchtigen. Ebenso
können Veränderungen am Seliwimmergewicht vorgenommen
werden, indem Bleischrot in die Schwimmerkammer zugegeben oder aus ihr entfernt wird, um auf
diese Weise die Anpassungfühigkeil des Sensors an verschiedene Losunjieii und Grude der Empfindlichkeit
so groll wie möglich zu machen.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
809B38/347
Claims (3)
1. Schwiniiiierbctäligtcr Sensor, der völlig in eine
Flüssigkeit untertauchbar ist. deren spezifisches r>
Gewicht Änderungen unterworfen ist, und der auf Änderungen im spezifischen Gewicht über einen
vorbestimmten Minimalwert anspricht sowie einen magnetisch betriebenen Blattfederschalter, einen
toroidal ausgebildeten Schwimmer, einen Ring-Per- iu
manentmagneten, der vom Schwimmer getragen und zum Betätigen des Schalters in bestimmten
Stellungen des Schwimmers in bezug auf den Schalter wirksam ist, und ein axiales Traggestell für
den Schwimmer aufweist, dadurch gekenn- i"> zeichnet, daß das Traggestell eine rohrförmige
Hülse (48) aus nichtmagnetischem Material und Scheibenteile (44, 46) umfaßt, die an den gegenüberliegenden
Enden der Hülse (48) abnehmbar befestigt sind, daß der Schwimmer (70) ein geschlossenes >o
hohles Toroid ist und der Ringmagnet (82) in konzentrischer Beziehung mit dem Schwimmer (70)
in diesem ortsfest befestigt ist und der Schwimmer (70) und der Magnet (82) auf der Hülse (48) axial in
freier Gleilbeziehung auf dieser zwischen den r> Scheibenteilen (44, 46) aufgenommen sind und der
Blattfederschalter (60) im Inneren der Hülse (48) in stationärer Beziehung zu ihr angebracht ist und
elektrische Leitungen (66) aufweist, die durch wenigstens eines der Scheibenteile (44, 46) herausführen,
daß der Schwimmer (70) mit dem Magneten (82) ein solches Verdrängungsvolumen und kombiniertes
Gewicht hat, daß die wirksame Dichte ungefähr der der Flüssigkeit bei dem vorbestimmten
minimalen spezifischen Gewichtswert entspricht, s> daß der Schwimmer (70) weiterhin eine axiale
Abmessung besitzt, die wesentlich kurzer als die Länge der Hülse (48) ist, und daß das Gesamtverdrängungsvolumen
in cm1 ein numerisches Verhältnis
von wenigstens 200 : I relativ zum vorbestimmten minimalen spezifischen Gewichtswert aufweist.
2. Sensor nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß das numerische Verhältnis des Gesamtvcrdrängungsvolumens
zwischen etwa 350: 1 und 400 : I liegt. r>
3. Sensor nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß der Blattfeder-Schalter (60) ein hermetisch
abgeschlossener ist.
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| C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
| 8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |