DE2360148C3 - - Google Patents
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/28—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring contours or curvatures
- G01B7/287—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring contours or curvatures using a plurality of fixed, simultaneously operating transducers
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Messung des Oberflächenprofils eines Teils
einer Maschine nach dem Oberbegriff des Patentanspruches 1.
Eine bekannte Vorrichtung (DE-OS 2029973)
dieser Art, mit der eine Messung unabhängig von der Zahl der Unebenheiten eines Oberflächenprofils
durchführbar sein soll, hat eine auf einem Rahmen angeordnete, nicht ausdehnbare flexible Schlinge, die
mit einem vorgegebenen bogenförmigen Teil mit der zu messenden Oberfläche in gleitende Berührung
bringbar ist, während die Mitte des Werkstücks in einer festen Lage in bezug auf den Rahmen gehalten
wird. Ein Meßfühler berührt dabei die Schlinge, so daß auf diese Weise die Oberfläche eines sich in der
Schlinge drehenden Körpers abgetastet werden kann. Ein berührungsfreies Messen komplizierter Oberflächenprofile
ist mit dieser bekannten Vorrichtung nicht möglich, zumal auch nähere Abgaben über den speziellsn
Aufbau des Meßfühlers fehlen.
Eine andere bekannte Vorrichtung zur Messung von Oberflächenprofilen (US-PS 2417062) hat zwar
eine Meßfühlereinheit aus mehreren Meßfühlern, die in der Form von Stiften mittels Federn und Führungen
lu an ein Oberflächenprofil anlegbar sind. Diese bekannte
Vorrichtung, mit der ebenfalls kein berührungsfreies Messen möglich ist, hat aber keinen Belag,
der an einen zu messenden Abschnitt anlegbar ist. Bekanntlich findet im Laufe der mechanischen Bearbeitung
von Teilen unvermeidlich ein Verschleiß der Arbeitsflächen des Werkzeuges statt, der die Bearbeitungsgenauigkeit
negativ beeinflußt; deshalb ist es zur zeitlichen Stabilisierung der Bearbeitungsgenauigkeit
notwendig, die Bearbeitungsbedingungen mit dem
2» Zustand der Arbeitsflächen des Werkzeuges periodisch
in Übereinstimmung zu bringen.
Eine immer breiter werdende Anwendung findet bei Fertigbearbeitungsvorgängen das mechanische
Schleifläppen von Präzisionsflächen derjenigen Teile,
2> bei denen der Zustand der Arbeitsfläche der Läppscheiben, z. B. die Aufrechterhaltung der Planheit der
Arbeitsfläche, die Genauigkeit der Bearbeitung der Teile von Maschinen bestimmt.
Zur Zeit ermöglicht es praktisch keine Vorrichtung,
ίο unter den Bedingungen industriellen Einsatzes berührungsfrei
den Zustand der Arbeitsflächen von Läppscheiben in gewünschter Weise zu kontrollieren. In
der Praxis werden oft Präzisionslineale verwendet, die mit einer Meßuhr mit einem Taststift versehen sind.
ij Eine besonders vervollkommnete Konstruktion
weist unter diesen Präzisionslinealen ein Lineal auf, das es mittels eines über das Lineal automatisch verschiebbaren
induktiven Meßfühlers gestattet, das Profil der Arbeitsfläche einer Läppscheibe auf MiIIi-
4Ii meterpapier im erforderlichen Maßstab aufzuzeichnen.
Ein Nachteil der bekannten derartigen Vorrichtungen besteht darin, daß sie zur Messung des Profils der
Arbeitsfläche des Werkzeuges bei der Fertigbearbei-
•r> tung der Teile unmittelbar unter den Bedingungen industriellen
Einsatzes ungeeignet sind. Die Schaffung einer geeigneten Vorrichtung ist mit eine Reihe von
Schwierigkeiten verbunden; zu diesen Schwierigkeiten gehören z. B. das Vorhandensein eines Läppgemi-
i(> sches auf der zu kontrollierenden Fläche, die Schwingung
der Läppscheiben usw. Eine Vorrichtung zur Messung des Oberflächenprofils eines Teils einer Maschine
sollte also folgenden Anforderungen genügen: Zunächst sollte sie eine eindeutige Abhängigkeit
V) der Ausgangsgröße von der Eingangsgröße (Fehlen
einer Hysterese) besitzen.
Sie sollte auch eine hohe Selektivität aufweisen. Der Meßfühler sollte nur auf die Änderung der Größe reagieren,
die durch diesen Meßfühler gemessen wird.
ho Es sollte eine minimale Änderung der Daten unter dem Einfluß von Außenfaktoren (Temperatur,
Schwingungen und anderes) auftreten. Es sollte eine bestimmte Art der Abhängigkeit zwischen der Ausgangs-
und der Eingangsgröße bestehen.
ι,-, Es ist dabei eine lineare Abhängigkeit vorzuziehen.
I is sollten auch eine hohe Empfindlichkeit, eine hohe
zeitliche Stabilität der Mcßkcnnlinie und eine Richtungsgebundenheit der Wirkung vorhanden sein,
d. h., es sollte kein Einfluß der Last in dem Ausgangsstromkreis
des Meßfühlers auf den Zustand des Eingangsstromkreises vorliegen; bestimmte dynamische
Daten, z. B. eine minimale Zeitkonstante, sollten einstellbar sein; schließlich sollte eine hohe Überlastbarkeit
bzw. ein höchstzulässiges Verhältnis zwischen der Eingangsgröße und dem Nennwert sowie eine Beständigkeit
ganz allgemein gegenüber mechanischen, thermischen, elektrischen und anderen überbelastungen
bestehen.
Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art anzugeben,
die eine berührungsfreie Messung auch komplizierter
Oberflächenprofile in kurzer Zeit bei einfachem Aufbau ermöglicht.
Diese Aufgabe wird bei einer Vorrichtung nach dem Oberbegriff des Patentanspruches 1 erfindungsgemäß
dadurch gelöst, daß die Meßfühlereinheit aus einer Gruppe von mehreren Meßfühlern !: esteht, und
daß der Belag an seiner dem Teil zugewandten Seite Kontakte trägt, deren jeder mit jeweils einem der auf
der anderen Seite des Belags angeordneten Meßfühler zusammenwirkt.
Die Erfindung ermöglicht eine berührungsfreie (beispielsweise induktive) Messung, so daß die eigentlichen
Meßfühler ortsfest angeordnet werden können, was nicht nur die Halterung der Meßfühler vereinfacht,
sondern auch zu einem geringeren Verschleiß führt.
Weiterhin können mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung Messungen gleichzeitig und praktisch an
beliebig vorgegebenen Oberflächenprofilen durchgeführt werden, da die Messungen bis zur Lage des biegsamen
Belags möglich und auch komplizierte Oberflächenprofile meßbar sind, indem der Werkstoff und
der Aufbau des biegsamen Belags geeignet gewählt und dieser Belag mehr oder weniger elastisch und
nachgiebig ausgeführt wird.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung ermöglicht also
eine berührungsfreie (pneumatische, induktive, kapazitive und andere) Messung, da es ausreicht, die Größe
der Verschiebung eines jeden beweglichen Kontaktes in bezug auf den entsprechenden Meßfühler zu messen,
der ortsfest angeordnet werden kann, was auch für die konstruktive Ausführung der Vorrichtung bequem
ist.
Eine andere Weiterbildung der Erfindung besteht darin, daß der biegsame Belag ein Band ist; dieses
Band kann in einfacher Weise unterhalb der zu messenden Fläche angeordnet sein und die Kontakte tragen,
auf deren Lage die Meßfühler ansprechen.
In einer anderen Weiterbildung der Erfindung ist eine Einrichtung zum Andrücken des biegsamen Bandes
an den zu messenden Abschnitt des Teils während der Messung sowie zum Abheben des Bandes nach
der Messung vorgesehen.
Dies liefert eine Möglichkeit, auf einfache Weise das Relief eines Teils während dessen Bewegung als
auch dessen Stillstands zu messen. Dies ist besonders bei einer aktiven Kontrolle von Werkstücken im Maschinenbau
vorteilhaft, in ^w ':<■■ i der mechanischen
Bearbeitung eine Information über den Augenblicksbzw. Istwert der Abmessungen des zu bearbeitenden
Teils oder über die Größe und den Charakter des Verschleißes des Werkzeuges erhalten werden muß.
Eine weitere Ausgestaltung der Erfindung wird dadurch erreicht, daß die Einrichtung zum Andrücken
des bießsamen Bands eine Kammer mit einem durch das biegsame Band gebildeten elastischen Boden aufweist,
der von einem der Kammer zuführbaren äußeren Druckmittel an das Teil anlegbar ist.
Schließlich ist es zweckmäßig, daß das biegsame Band ein Gummiband ist, das im gedehnten Zustand
beidseitig mit einer Messingfolie verklebt ist.
Damit werden optimale Elastizitätseigenschaften sowie eine hohe Widerstandsfähigkeit des biegsamen
Bands gewährleistet.
in Nachfolgend wird die Erfindung anhand der Zeichnung
näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1 eine schematische Darstellung der Gesamtansicht der erfindungsgemäßen Vorrichtung in der
Stellung, in der die Fläche einer Läppscheibe unter den Bedingungen industriellen Einsatzes gemessen
wird, und
Fig. 2 ein grundsätzliches Schema der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Messung des Oberflächenprofils.
Es sei hier die Anwendung der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Kontrolle des Radialprofils der Arbeitsfläche
einer Läppscheibe in einer Läppmaschine bei der Fertigbearbeitung von Teilen betrachtet.
Die Genauigkeit der geometrischen Form des in
Die Genauigkeit der geometrischen Form des in
:> einer Werkzeugmaschine zu bearbeitenden Teiles ist von dem Zustand der Arbeitsfläche der Läppscheibe
abhängig. Im Laufe der mechanischen Fertigbearbeitung findet ein gegenseitiger Verschleiß der Arbeitsfläche
der Läppscheibe und der zu bearbeitenden Flä-
Hi ehe des Teiles statt.
Die Ausgangsfläche oder abgenutzte Fläche der Läppscheibe weist Abweichungen von der Planheit
von 0,001 bis zu 0,005 mm bei einem Durchmesser von 500-700 mm auf. Die Form der abgenutzten Ar-
Γ) beitsfläche der Läppscheibe wird durch die Verteilung
der mechanischen Arbeit, die für den Verschleiß aufgewendet wird, über die Fläche der Läppscheibe bestimmt
und ist von der Kinematik der Arbeitsorganc des Stellgliedes der Läppmaschine, den technologisehen
und dynamischen Parametern eines konkreten Läppvorganges abhängig, der in der vorliegenden
Maschine verwirklicht wird. Da die abgenutzte Arbeitsfläche der Läppscheibe in bezug auf die Drehachse
der Läppscheibe symmetrisch ist, reicht für de-
-!> ren Bewertung die Information über das Profil der
Arbeitsfläche der Läppscheibe in deren Radialschnitt aus. Um die erforderliche geometrische Form der zu
bearbeitenden Flächen der Teile herzustellen, werden die kinematischen Daten für das Einrichten der Läpp-
jd maschine automatisch mit Hilfe einer speziellen Einrichtung
oder von dem Maschinenf ührer selbst ausgehend von dem Zustand der Arbeitsfläche der
Läppscheibe gewählt.
Die Vorrichtung zur Messung des Profils der Fläche enthält ein Basiselement, das in Form eines Präzisions-Meß-Lineals
1 (Fig. 1, 2) ausgeführt ist. Das Lineal 1 ist in Form eines Flachstabs ausgeführt, dessen
der zu messenden Fläche zugewandte Seite eine Ebene mit Abweichungen von der Planheit von 0,001
W) bis 0,002 mm darstellt. Das Lineal 1 wird mittels einstellbarer
Stützen 2, 3 parallel zu der Ausgangsarbeit einer Läppscheibe 4 aufgestellt und bildet eine Basisfläche
5.
Dij einstellbaren Stützen 2, 3 werden außerhalb
hj der Arbeitsfläche der Läppscheibe 4 angeordnet; sie
ermöglichen die Verschiebung des Lineals 1 senkrecht zur Ausgangsfläche der Läppscheibe 4 im Bereich der
maximal zulässieen Größe des Verschleißes dieser
Läppscheibe 4. Auf der Basisfläche 5 des Lineals 1 sind gleichmäßig zur Messung der Abweichungen der
Längenabmessungen Kerne 6 mit Spulen 7 von Meßfühlern 8 vorgesehen. Die der zu messenden Fläche
der Läppscheibe 4 zugewandte Stirnfläche jedes Kernes 6 stellt ei,ic geläppte Flachebene dar, deren Abweichung
von der Planheit in einem Bereich von 0,5 bis 1 μΐη liegt, und sie ist parallel zur Basisfläche 5
des Lineals I mit einer Genauigkeit von 0,5 bis 1 μιη
aufgestellt. Praktisch liegt die zu messende Größe der Abweichung von der Planheit der Arbeitsfläche der
Läppscheibe 4 infolge des Verschleißes dieser Arbeitsfläche im Laufe des Läppens im Bereich von
20 μίτι bis 1,5 mm. Die anzuwendende Meßfühlereinheit
sollte eine lineare Ausgange kennlinie aufweisen, die im genannten Bereich liegt. Das wird durch eine
Differenz-Anschaltung der Spulen 7 sowie die Wahl der Größe der Speisespannung und der Größe des Widerstandes
in den Spulen 7 erreicht. Die minimale Anzahl der Meßfühler 8 beträgt drei, während die
maximale Anzahl dieser Meßfühler 8 durch die Abmessungen der Läppscheiben 4 und der Meßfühlereinheit
selbst sowie auch durch die erforderliche Meßgenauigkeit bestimmt wird.
Im vorliegenden Ausführungsbeispiel werden sechs Meßfühler 8 verwendet. Anker 9 der Meßfühler 8
sind auf einem biegsamen Gummi-Belag 10 untergebracht. Der biegsame Belag 10 besteht aus einem elastischen
Gummiträger mit einer Dicke von 1,5 bis 2 mm, auf welchen im ausgedehnten Zustand beidseitigeine
Messingfolie mit einer Dicke von 20 bis 30 μιη aufgeklebt ist. Der biegsame Belag 10 ist im ausgedehnten
Zustand zwischen den Stirnflächen von zwei rechteckigen Rahmen 11 eingespannt. In diesem Zustand
sind auf den biegsamen Belag von einer Seite, gemäß der Anordnung der Meßfühler 8 auf der Basisfläche
5 des Lineals 1, die Anker 9 der Meßfühler 8 aufgeklebt, die als Flachkörper mit einer Höhe von
2,5 mm und mit einer Außenlinie, die der Außenlinie der Stirnfläche der Kerne 6 der induktiven Meßfühler
8 entspricht, aus demselben Werkstoff wie die Kerne öder Meßfühler 8 ausgeführt sind. Von der anderen
Seite sind an den Belag 10 unterhalb jedes Ankers 9 Hartlegierungs-Kontakte oder Füße 12 aus einer
Hartlegierung angeklebt, die als zylindrische Körper mit einem Durchmesser von 3 mm und einer
Höhe von 5 mm mit einer Toleranz von 0,5 μπι bezüglich
der Höhe ausgeführt sind. Die genannten Teile werden derart angeklebt, daß die freien Stirnflächen
der Anker 9 und der Kontake 12 in entsprechenden Ebenen liegen, die zu den freien Stirnflächen der Rahmen
11 parallel angeordnet sind, weiche Stirnflächen im zusammengebauten Zustand Abweichungen in bezug
auf die Nichtplanparallelität von weniger als 1 μιη aufweisen. Auf der oberen Stirnfläche des Rahmens
11, die der Basisfläche 5 des Lineals 1 zugewandt ist, sind Befestigungselemente 13, 14 untergebracht, die
als zylindrische Körper mit einem Durchmesser von 10 mm und mit einer Toleranz in der Höhe in bezug
auf die genannte Stirnfläche des Rahmens 11 von 0,001 mm ausgeführt sind. In der Ausgangs- oder Anfangsstellung
der Befestigungselemente 13, 14 in bezug auf die geläppten Flächen wird der Rahmen 11
planparallel zu der Basisfläche 5 des Lineals 1 derart angeordnet, daß der Luftspalt zwischen dem Anker 9
und dem Kern 6 jedes Meßfühlers 8 in der Ausgangsstellung 0,01 mm beträgt. In der Ausgangsstellung
wird der Rahmen 11 mit Hilfe von zwei zylindrischen Federn 15, 16 gehalten, deren eines Ende an der Ba
sisfläche 5 des Lineals 1 und deren anderes Ende an Grund zylindrischer Führungsschienen 17 befestig
sind. Der Grund jeder Führungsschiene 17 ist mittel j eines Kugelgelenkes 18 mit der oberen Stirnfläche de
Rahmens 11 verbunden. Das freie Ende jeder Füh rungsschiene 17 kann sich vertikal im Bereich von 1
bis 15 mm in einer speziellen durchgehenden zylindri
sehen Nut des Lineals 1 verschieben. Um eine Beruh
ι» rung des Kontaktes 12 aus einer Hartlegierung mi den zu kontrollierenden Abschnitten der Arbeitsflä
ehe der Läppscheibe 4 während der Messung herzu stellen, wird ein pneumatisches Belastiingssyst ^m vcr
wendet, das aus einer Druckluftquelle 19, einen elektromagnetischen Regelventil 20 und einer herme
tischen Kammer besteht. Als Boden der hermetischei Kammer dient der rechteckige Rahmen 11 mit den
ausgedehnten elastischen Belag 10. Seitenwände 2 der Kammer sind aus gewelltem Gummi ausgeführt
2" Alle Stoßstellen zwischen der Seitenwand 21 de
Kammer und der Basisfläche 5 des Lineals 1 sowii der oberen Stirnfläche der Kammer sind sorgfälti;
durchgeleimt. Ein versuchsweise in der Kammer ge wählter Druck von 2 bis 3 kp/cm2 gewährleistete eil
dichtes Anliegen der geläppten Flächen der Kontakt 12 an die Arbeitsfläche der Läppscheibe 4 im Bereicl
der Größen des linearen Verschleißes der Arbeitsflä ehe der Läppscheibe 4 von 0,02 bis 1,5 mm. Die Si
gnale von jedem Meßfühler 8 werden dem Eingan]
jo eines speziellen elektronischen Blocks zugeführt, de
aus einer stabilisierten Speisequelle 22, Filterverstär kern 23 für jeden Meßfühler 8, einem Analog-Code
Umsetzer 24, einem Ziffernregister 25 eines Steuer generators 26, einer Lichtsignaltafel 27 und eine
π Steuerschaltung 28 besteht.
Zur Reinigung des zu kontrollierenden Abschnitte der Arbeitsfläche der Läppscheibe 4 von dem Läpp
gemisch ist die Vorrichtung mit speziellen Metallbür sten-Kratzern 29 versehen, die radial entlang des L
neals 1 angeordnet sind.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung hat folgend Arbeitsweise:
A. Arbeitsvorbereitung der Vorrichtung 4- (Einrichten der Vorrichtung)
Die Vorrichtung zur Kontrolle des Profils der Ar
beitsfläche der Läppscheibe 4 wird auf einem Bett 31
der Läppmaschine (nicht gezeigt) an drei Punkte derart angebracht, daß das Lineal 1 der Vorrichtunj
durch die Mitte der Läppscheibe 4 geführt und zwi crhi*n RirVitrino^n ^1 rlf>r I ännmacrliinp anopnrrfnp
b „^ ——π ο
wird.
Mittels der einstellbaren Stützen 2, 3 wird das Li neal 1 parallel zur Ausgangsfläche der Läppscheibe
aufgestellt.
In der Ausgangsstellung wird der mit dem biegsa men Belag 10 mit seinen Befestigungelementen 13
14 versehene rechteckige Rahmen 11 auf der Basis fläche 5 des Lineals 1 angeordnet. Dann wird das Re
bo gelventil 20 eingeschaltet, und der hermetische
Kammer wird Druckluft zugeführt. Der mit dem bieg samen Belag 10 versehene Rahmen 11 senkt sich bi
zur Berührung der Kontakte 12 mit der Ausgangsflä ehe der Läppscheibe 4 (die Läppscheibe 4 ist ortsfes
b5 angebracht). Anschließend werden die Meßfühler
eingeschaltet, und der Maschinenführer zeichnet di Größe des Signals am Ausgang jedes Filterverstärker
23 von jedem Meßfühler 8 auf. Dann wird der Antrie
zur Drehung der Läppscheibe 4 eingeschaltet, und durch die Einstellung des Filterverstärkers 23 jedes
Meßfühlers 8 wird eine durch das Schlagen einer Spindel 32 der Läppscheibe hervorgerufene Störung
beseitigt. Danach wird der Läppscheibe 4 das Läppgemisch zugeführt. Durch die Einstellung des Filterverstärkers
23 jedes Meßfühlers 8 wird eine Störung beseitigt, die durch das Vorhandensein von Schlamm
und Läppkörnern, welche von den Bürsten 29 gefegt wurden, auf der Oberfläche der Läppscheibe 4 verursacht
wird. Damit endet die Arbeitsvorbereitung der Vorrichtung. Diese Phase sei mit Einrichten der Vorrichtung
bezeichnet. Das Einrichten der Vorrichtung wird einmal bei der Aufstellung einer neuen Läppscheibe
4 durchgeführt.
B. Messungen
Die Kontrolle der Form der Arbeitsfläche der Läppscheibe 4 wird wie folgt durchgeführt: Der Steuergenerator
26 der Steuerimpulse wird eingeschaltet, der Taktimpulse an die Steuerschaltung 28 abgibt und
die Arbeit der Vorrichtung im Arbeitszustand synchronisiert. Die Steuerschaltung 28 gibt einen Steuerimpuls
zur Einschaltung des Regelventils 20 ab, und nach der Einschaltung dieses Regelventils wird
Druckluft unter Druck der hermetischen Kammer zugeführt. Dann wird eine Pause von 40 ms für die Beendigung
der Übergangsprozesse im mechanischen System der Vorrichtung eingelegt. Anschließend
schließt die Steuerschaltung 28 aufeinanderfolgend jeden Kanal (Meßfühler 8) an den Analog-Code-
Umsetzer 24 an. Das Signal von jedem Meßfühler 8 läuft durch den Filterverstärker 23 und den Analog-Code-Umsetzer
24, wird dem Ziffernregister 25 zugeführt und dort an entsprechenden Ziffernstellen aufgezeichnet.
Nachdem die Information von allen Meßfühlern 8 in dein Ziffernregister 25 aufgezeichnet
ist, wird das Regelventil 20 durch die Steuerschaltung 28 abgeschaltet. Dabei bleibt die Aufzeichnung im
Ziffernregister 25 bis zur nächsten Messung erhalten. Der Maschinenführer kann die Information über das
Radialprofil der Arbeitsfläche der Läppscheibe 4 durch die Einschaltung der Lichtsignaltafel 27 gewinnen,
an der im entsprechenden Maßstab die nach fünf Punkten approximierte Abweichung des Radialprofils
der Läppscheibe 4 von der Geradiinigkeit dargestellt ist.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann zur Kontrolle der Form einer beliebigen Fläche verwendet
werden. In diesem Fall sollte die Außenlinie der Basisfläche des Lineals 1 der Außenlinie der zu kontrollierenden
Fläche entsprechen, und die Basisfläche sollte eine Form aufweisen, die der zu kontrollierenden
idealen Fläche entspricht. Die Anordnung der zu kontrollierenden Punkte (Meßfühler) entspricht den
angenommenen Bedingungen für die Approximation des Makroreliefs der Fläche.
Obwohl in der Beschreibung ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung für den besonderen
Fall der Messung des Verschleißes der Läppscheibe erläutert wurde, ist die Erfindung allgemein anwendbar.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (7)
1. Vorrichtung zur Messung des Oberflächenprofils eines Teils einer Maschine während dessen
Bewegung als auch bei dessen Stillstand, mit einem gegen den zu messenden Abschnitt anlegbaren
biegsamen Belag und mit einer Meßfühlereinrichtung zur Ermittlung ihrer Entfernung bis zum unter
ihr liegenden Abschnitt des Belags, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßfühlereinheit aus
einer Gruppe von mehreren Meßfühlern (8) besteht, und daß der Belag (10) an seiner dem Teil
(4) zugewandten Seite Kontakte (12) trägt, deren jeder mit jeweils einem der auf der anderen Seite
des Belags (10) angeordneten Meßfühler (8) zusammenwirkt.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf der den Meßfühlern (8) zugewandten
Seite des Belags (10) mehrere Anker (9), die jeweils einem der Meßfühler (8) zugeordnet
sind, jeweils einem der Kontakte (12) gegenüberliegend befestigt sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Anker (9) berührungsfrei
mit dem zugeordneten induktiv arbeitenden Meßfühler (8) zusammenwirken.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der
biegsame Belag ein Band (10) ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4 gekennzeichnet durch eine Einrichtung zum Andrücken des
biegsamen Bands (10) an den zu messenden Abschnitt des Teils (4) während der Messung sowie
zum Abheben des Bands (10) nach der Messung.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zum Andrükken
des biegsamen Bands (10) eine Kammer mit einem durch das biegsame Band (10) gebildeten
elastischen Boden aufweist, der von einem der Kammer zuführbaren äußeren Druckmittel an das
Teil (4) anlegbar ist.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das biegsame
Band (10) ein Gummiband ist, das im gedehnten Zustand beidseitig mit einer Messingfolie verklebt
ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19732360148 DE2360148A1 (de) | 1973-12-03 | 1973-12-03 | Vorrichtung zur messung von oberflaechenprofilen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19732360148 DE2360148A1 (de) | 1973-12-03 | 1973-12-03 | Vorrichtung zur messung von oberflaechenprofilen |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2360148A1 DE2360148A1 (de) | 1975-06-12 |
DE2360148B2 DE2360148B2 (de) | 1980-02-21 |
DE2360148C3 true DE2360148C3 (de) | 1980-10-23 |
Family
ID=5899722
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19732360148 Granted DE2360148A1 (de) | 1973-12-03 | 1973-12-03 | Vorrichtung zur messung von oberflaechenprofilen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE2360148A1 (de) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5335567A (en) * | 1976-09-13 | 1978-04-03 | Shinetsu Chem Ind Co | Apparatus for measuring thickness of semiconductor wafer |
DE3807488C1 (de) * | 1988-03-08 | 1989-08-10 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De |
-
1973
- 1973-12-03 DE DE19732360148 patent/DE2360148A1/de active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2360148A1 (de) | 1975-06-12 |
DE2360148B2 (de) | 1980-02-21 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
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