DE2355240C3 - Verfahren zum Anordnen einer Kathode und einer Gitterelektrode in genauem Abstand zueinander - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Anordnen einer Kathode bezüglich einer gelochten Gitterelektrode in einer solchen endgültigen Lage, daß die emittierende Oberfläche der an einem Träger befestigten Kathode genau im vorgeschriebenen Abstand zur gegenüberliegenden Flüche der Gitterelektrode liegt, indem zunächst zwischen diesen beiden Flächen ein vorläufiger Abstand hergestellt wird, der dann auf den vorgeschriebenen endgültigen Abstand verändert wird.

Es gibt eine Bauart von Elektronenkanonen, bei welcher sich die Oberfläche der elektronenemittierenden Schicht einer Kathode in einem axialen Abstand 5 zu einem Steuergitter (G 1-Gitter) befindet. Die Kathode und das Gitter sind mittels gläserner Trägerstäbe zusammengehalten und elektrisch voneinander isoliert. Die Elektronenkanone enthält außerdem einen Kaihodenträger und mindestens ein zusätzliches Gitter, das sogenannte Schirmgitter oder C2-Gitier. welches im Abstund zum Sicucrgitlcr liegt. Wenn die emittierende Oberfläche de: Kathode zu nahe am SteuL-rgiiter ist. dann können sich zwischen diesem Gitter und der Kathode Lichtbogen ausbilden und die Einsatzspannung des Schirmgitters kann sich ändern. Eine sehr geringe Änderung des Abstandes S von z. B. etwa 25 μ kann eine Änderung der Schirmgitter-Einsaliispannung der Elektronenkanone von etwa 40 Volt zur Folge haben.

Die Einhaltung des vorgeschriebenen Abstandes .S' zwischen der emittierenden Kathodenfläche und der gegenüberliegenden Gitierelektrodenflächc beim Zusammenbau der Elektronenkanone ist schwierig, da sich der Abstand zwischen diesen beiden Flächen in den meisten Fällen nicht direkt beobachten läßt. Ausstülpungen an der Gitterelektrode, die zur Unterdrückung von Streuemissionen aus der Kathode notwendig sind, oder andere Besonderheiten der Konfiguration der Elektronenkanone versperren die Sicht auf den einzuhüllenden Zwischenraum, so daß eine optische Projektion dieses Raums zur Beobachtung des Abstandes zwischen den Elektrodenflächen meist unmöglich ist.

Das Einbringen eines genau bemessenen Distanzstücks unmittelbar zwischen die einander zugewandten Elektrodenflächen ist problematisch, da ein solches Disti'nzstück nach der endgültigen Festlegung von Kathode und Gitterelektrode wegen der Konfiguration der Elektrodenanordnung kaum mehr entfernt werden könnte. Ein Distanzhalter in Form eines an einer der beiden Elektrodenflächen fest angeordneten Anschlags, auf den sich die andere Elektrodcnfläche abstützt, scheidet ebenfalls aus, da er den ordnungsgemäßen Betrieb der Elektronenkanone stören oder gar verhindern würde Aus der USA-Patentschrift 35 33 147 ist es bekannt, anstelle der Kathode zunächst ein Provisorium in die Anordnung einzubringen, welches an seiner vorderen Stirnfläche eine Anschlagnase aufweist, deren Höhe genau dem vorgeschriebenen Abstand .9 entspricht. Diese provisorische Kathode wird der Giiterelektrodenfläche so weit angenähert, bis die Anschlagnase gegen diese Fläche stößt, worauf der Abstand zwischen der Stirnfläche der provisorischen Kathode und einem Bezugsort mittels einer Meßvorrichtung durch das Loch der Gitterelektrode hindurch gemessen wird. Anschließend wird die provsorische Kathode wieder entfernt, und an ihrer Stelle wird die endgültige Kathode eingeführt, wobei die Meßvorrichtung nun den Abstand zwischen der emittierenden Kathodenfläche und dem Bezugsort mißt. Sobald der gleiche Meßwert wie zuvor beim Provisorium erreicht wird, wird die Kathode festgelegt. Nachteilig bei diesem Verfahren ist, daß die Meßvorrichtung von der der Kathode abgewandten Seite her durch das gesamte Elektrodensystem greifen muß, welches neben dem Steuergitter und dem Schirmgitter meist auch noch relativ lange Fokussierungselektroden enthält. Da die von der Meßvorrichtung zu durchdringende Öffnung im Steuergitter und auch im Schirmgitter meist sehr klein ist, muß die Meßsonde nicht nur sehr lang sondern auch äußerst dünn ausgebildet werden, welches zu lechnologischen Problemen und zur Gefahr von Beschädigungen führt. Schließlich sind bei dem bekannten Verfahren zwei getrennte Meßwerterfassungen erforderlich, wobei die beiden Meßwerte abgelesen oder registriert werden

müssen, um sic miteinander vergleichen /u können. Es besteht also auch die Gefahr, daß Ablesefehler und Registricrungsfehler in das Verfahren mit eingehen.

Aus der deutschen Patentschrift 7 40 384 ist ein Verfahren der eingangs beschriebenen Gattung bekannt. bei welchem die Kathode zunächst an ihrem Trager befestigt wird, wobei die topfförmig ausgebildete Gitterelektrode über den Kathodenträger gestülpt wird. Der Boden des Elektrodentopfes ist derart abgestuft, daß nach dem Aufstülpen nur sein Rand auf -o der Oberflüche des Kathodenträgers aufliegt, wahrend der miniere, mit dem Elektrodenloch versehene Teil des Topfbodens so weit zurückspringt, daß er außer Berührung mit der emittierenden Fläche der auf dem Träger sitzenden Kathode bleibt. Die Maße des ij Elektrodentopfes werden so gewählt, daß sich nach seiner Aufstülpung zwischen dem mittleren Teil des Topfbodens und der emittierenden Kaihodenfläche ein vorläufiger Abstand ergibt, der mit Sicherheit kleiner als der endgültige vorgeschriebene Abstand ist. Dieser vorläufige Abstand wird dann auf optische Weise mittels eines durch das Elektrodenloch blickenden Mikroskops gemessen. Anschließend wird durch Eindrücken von Vertiefungen in den sich auf den Kathodenlräger stützenden Teil des Topfbodens der Träger um eine solche Strecke /urückverschoben, daß die Stirnfläche der Kathode den gewünschten Abstand von der Elektrode nriffnung erhält.

Dieses bekannte Verfahren hat jedoci ebenfalls verschiedene Nachteile. Die mikroskopische Messung -0 des vorläufigen Abstandes erfolgt dadurch, daß das Mikroskop zunächst auf das Steuergitter als Gegenstandsebene und dann auf die Kathodenfläche als Gegenstandsebene eingestellt wird. Da das Mikroskop nur auf die der Kathodenfläche abgewandte Seite des Steuergitters blicken kann, ist die Differenz /wischen diesen beiden Stellungen nur ein indirektes Maß für den Abstand zwischen der Kathodenfläche und der ihr gegenüberliegenden Gitterelektrodenfläche. Toleranzen in der Dicke der Gitterelektrode führen also zu entsprechend großen Fehlern bei der Einstellung des endgültigen Abstandes. Ferner ist das Zurückschieben des Kathodenträgers mit der darauf sitzenden Kathode durch Verformung des Topfbodens ein nicht genau icproduzierbares Verfahren, denn nach dem Fortnehinen des Verformungsdrucks kann eine von Fall zu Fall unterschiedliche Elastizität zumindest des verformten Materials zu einer gewissen Rückkehrbewegung führen, die den eingestellten Abstand wieder verfälscht.

Die Aufgabe der Erfindung bestem darin, ein Verfahren der gattungsgemäßen Art so auszugestalten, daß die Einstellung des endgültigen Abstandes zwischen der emittierenden Kathodenfläche und der gegenüberliegenden Fläche der Gitterelektrode genauer reproduzierbar ist.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Kathodentrager vor dem Einsetzen der Kathode in seiner endgültigen Lage bezüglich der Gitterelektrode befestigt wird, daß der vorläufige Abstand zwischen der emittierenden Kathodenfläche und der gegenüberliegenden Gitterelektrodenfläche mittels einer zwischen die beiden Flächen» eingebrachten Abstandslehre auf ein bekanntes Maß eingestellt wird, welches größer ist als der vorgeschriebene endgültige Abstand, daß die Abstandslehre anschließend aus dem Bereich zwischen den Flächen entfernt wird, daß unter Einschieben der Kathode in den Kathodenträger der vorläufig eingestellte Abstand um den Differenzbetrag zwischen dem bekannten Maß und dem vorgeschriebenen Abstand vermindert wird und daß die Kathode anschließend im Kathodenträger festgelegt wird.

Bei der Erfindung erfolgt also die Einstellung des vorläufigen Abstandes zwischen der emittierenden Kathodenfläche und der gegenüberliegenden Fläche der Gitterelektrode mitteis einer zwischen diese Flächen eingebrachten Abstandslehre auf ein Maß, welches erstens genau bekannt ist und zweitens größer als der vorgeschriebene endgükige Abstand ist. Die Toleranzen in der Dicke der Gitterelektrode gehen also nicht in die Bestimmung des vorläufigen Abstandes mit ein, da diese Bestimmung direkt bezüglich derjenigen Flächen erfolgt, auf die sich auch der endgültige Abstand beziehen soll. Ein weiterer Vorteil der Finstellung eines vorläufigen Abstandes mittels einer Abstandslehre besteht darin, daß man diesen Abstand durch Verwendung eines Meßklotzes oder eines Kalibers immer gleich groß machen kann, hierdurch ist auch das Maß der notwendigen Abstandsverminderung immer gleich groß, so daß es besonders genau reproduzierbar durch feste Anschläge eingehalten werden kann. Es braucht keine Ablesung oder Registrierung von sich von Fall zu Fall ändernden Meßwerten zu erfolgen, so daß auch nicht die Gefahr besteht, daß Ablese- oder Registrierungsfehler in das Verfahren mit eingehen.

Die Erfindung und vorteilhafte Ausgestaltungen werden nachstehend anhand von Zeichnungen näher erläutert.

Fig. 1 zeigt einen Axialschnitt durch ein Elektronenstrahlsystem, welches sich mit dem Verfahren nach der Erfindung zusammensetzen läßt;

Fig. 2 zeigt einen Querschnitt durch eine Vorrichtung zum Zusammensetzen des in Fig. 1 gezeigten Slrahlsystems;

Fig. 3 zeigt vergrößert einen Längsschnitt durch einen Teil der in F i g. 2 dargestellten Vorrichtung.

Die Fig. 1 zeigt den teilweisen Aufbau 20 für ein .Strahlsystem 21 mit nebeneinanderliegenden Elektronenkanonen vor der Vereinigung mit einem Käfig (nicht dargestellt) und einem Röhrenfuß (nicht gezeigt). Das Strahlsystem 21 enthält 3 Elektronenkanonen 22a, 226, 22c die im dargestellten Fall alle in der Schnittebene der Fig. 1 angeordnet sind. Die 3 Elektronenkanonen haben ein gemeinsames Steuergitter 23 (G !-Gitter), ein gemeinsames Schirmgitter 24 (G 2-Gitter), eine gemeinsame erste Beschleunigungs- und Fokussierelektrode 25 (G 3-Gitter), eine gemeinsame zweite Beschleunigungsund Fokussierelekirode 26 fC4-Gitter), und eine gemeinsame Abschirmkappe (nicht dargestellt). Alle diese Teile sind im Abstand hintereinander fest auf zwei gläsernen Trägerstäben 27a und 276 (Fig. 1 und 3) angeordnet. Das Gl-Gitter 23 und das G2-Gitter 24 sind 2 dicht aneinander angeordnete Platten mit jeweils 3 kleinen miteinander fluchtenden Löchern 28a, 28b und 28c bzw. 29a, 296 und 29c Das G4-Gitter 26 enthält 3 öffnungen 26', deren jede mit der Achse einer jeweils zugeordneten Elektronenkanone und mit den fluchtenden Löchern der Gitter 23 und 24 ausgerichtet ist.

Jede Elektronenkanone enthält außerdem eine gesonderte Kathode 31, die an einer Kathoden-Traghülse 32 befestigt ist. Diese Kathodenhülsen 32 sind ihrerseits an den beiden Glasstäben 27a und 276 befestigt. )ede Kathode 31 ist an ihrem vorderen Ende 33 durch eine Kappe 34 abgeschlossen, die stirnseitig einen Belag 35 aus elektronenemittierendem Material

trägt. Die äußere bzw. emittierende Oberfläche 36 des Belags 35 auf der Kathode 31 hai einen genau festgelegten Abstand S von derjenigen Oberfläche 37 des GI-Gitters 23, die die Löcher umgibt und dem Belag 35 gegenüberliegt.

In den Fig. 2 und 3 sind wesentliche Teile einer Vorrichtung dargestellt, die sich mit »Aufspann· und Einstellmaschine« bezeichnen läßt. Die Maschine enthält einen Support 39 für den Strahlsystcmaufbau und einen zweiten Support 40 für die Kathode (jeweils mit Doppelpfeilen in F i g. 3 angedeutet), eine Meßsondenvorrichtung 41 und eine Schweißvorrichtung 42. Alle diese Teile sind auf einem Rahmen 43 (Fig. 2) angeordnet.

Die Maschine ist so ausgelegt, daß sie eine Elektronenkanone und eine Kathode zum Zwecke ihrer Zusammensetzung nach dem erfindungsgemäßen Verfahren auf einer zentralen Maschinenachse 44 getrennt führen kann. Da jeder Strahlsystemaufbau 3 Elektronenkanoncn 22a, 22b und 22c enthält, ist die Maschine dazu ausgelegt, die Achse jeder Elektronenkanone jeweils mit der Maschinenachse 44 auszurichten.

Ein Meßkopf 73 enthält eine erste Meßlehre 8t und eine zweite Meßlehre 82 (Fig. 3) Die Meßlehre 81 erstreckt sich vom Meßkopf 73 längs der Maschinenachse 44 in Richtung eines in der Maschine aufgespannten Strahlsystemaufbaus 20. Die zweite Meßlehre erstreckt sich vom Meßkopf 73 ebenfalls längs der Maschinenachse 44 in Richtung auf die emittierende Oberfläche 36 einer Kathode 31, die ebenfalls in der Maschine aufgespannt ist und mit dem Aufbau 20 vereinigt werden soll.

Die erste Meßlehre 81 ist eine mit Luft arbeitende Lenre. Wie in Fig. 3 zu erkennen ist, hat die erste Meßlehre 81 eine Düse 83, die sich vom Meßkopf 73 aus in Richtung auf das Gl-Gitter 23 erstreckt. Die Meßlehre 81 ist Teil einer Luftmeßanordnung. Bei Bewegung der Düse 83 relativ zur Oberfläche 37 des C 1-Gitlers 23 ändert sich der Rückdruck innerhalb der ersten Meßlehre 81. Es läßt sich daher auf einem Druckmesser 84 eine Anzeige erhalten, die ein Maß für den Abstand zwischen dem Ende der Düse 83 und der gegenüberliegenden Oberfläche 37 des Gl-Gitters 23 ist.

Die zweite Meßlehre ist ein isolierter Stab 85. der sich vom Meßkopf 73 aus in Richtung der Kathode 31 erstreckt. Der isolierte Stab 85 ist Teil einer Kapazitäts-Meßanordnung 86. Diese Anordnung 86 besteht aus einer Kapazitätsmeßbrücke und einem Nullinstrument wie an sich bekannt.

Die F i g. 3 zeigt die gegenseitige Anordnung des C 1-Gitters 23, des Meßkopfes 73, der ersten Meßlehre 81, der zweiten Meßlehre 82 und der Kathode 31 nach Einstellung einer Bezugsdistanz X.

Die Schweißanordnung 42 enthält 4 Druckluftzylin- der 88a bis 88c/ zur Bewegung von 4 Schweißpistolen 89a bis S9d, die radial auf die Stelle gerichtet sind, wo die Kathode 31 und die Kathodenhülse 32 aneinander befestigt werden.

Zur Durchführung des in Rede stehenden Verfahrens mittels der beschriebenen Maschine wird ein teilweise zusammengesetzter Aufbau 20 in die Aufspannvorrichtung 55 gesetzt, und eine Kathode 31 wird auf dem Kathodenhalter 67 angeordnet Die Fig.3 zeigt die beabstandete Anordnung der Kathode 31 und des Aufbaus 20, bevor die Kathode 31 mit dem genauen Abstand S in die Kathodenhülse 32 gesetzt wird. Der Aufbau 20 befindet sich in der (vom G4-Gitter 26 gehalten) Aufspannvorrichtung 55. Die Achse der ersten Elektronenkanone 22,·) fällt mit der Maschinenachse 44 zusammen, die Gittcrlüchcr 26' sind konzentrisch über die Aufspanndorne 57 gesetzt, und der Mansch 30 des G4Gitlers ist gegen die dafür vorgesehene Fläche 58 der Aufspannvorrichtung 55 geklemmt. Eine Kathode

31 sitzt auf dem Kathodcnhaltcr 67 in der Achse 44. wo sie von einem axial in ihren Innendurchmesser greifenden Dorn 68 gehalten wird. Der Sockel am offenen Ende der Kathode 31 stößt gegen eine Schulter des Dorns 68 des Kathodeiihaltcrs 67.

Zunächst wird mittels des Vorschubs 39 der Aufbau 20 über die erste Meßlehrc 81 geschoben, bis diese so nahe an der Fläche 37 des G 1-Gitters 23 liegt, daß das Nullinstrument für die erste Meßlehre 81auf Null zeigt. Beim Nullausschlag des Instruments für die erste Meßlehre 81 hat ein mittlerer Bezugspunkt 92 des Meßkopfes 41 einen Abstand V von der Fläche 37 des Gl Gitters 23.

Anschließend wird mittels des Vorschubs 40 die Kathode 31 in Richtung auf die zweite Meßlehre 82 bewegt. Wenn die Kathode 31 einen genau festgelegten Abstand vom Ende der zweiten Meßlehre 82 hat. liefert das Nullinslrument für die Kapazitäts-Meßanordnung der zweiten Meßlehre einen Nullausschlag. Bei diesem Nullausschlag des zur Meßlehrc 82 gehörenden Instruments hat die clcktronenemittierendc Oberfläche 36 der Kathode einen Abstand Z vom mittleren Bezugspunkt 92 des Meßkopfes 41.

Die Summe der beiden Abstände Kund Z ist gleich einer definierten Distanz X. Die Genauigkeit dieser Distanz X liegt innerhalb einer Toleranz von etwa 5 μ Nun wird der Support 39 zurückbewegt, um den Aufbau 20 von der ersten Meßlehrc 81 des Meßkopfes 73 fortzubewegen. Hierauf wird die Meßsondenvorrichtung 41 aus dem Raum zwischen dem Elcktronenaufbau 20 und der Kathode 31 entfernt, was durch Absenken mittels der in Fig. 2 gezeigten Gleitführung 71, 72 geschieht. Dann wird der Aufbau 20 mittels des ersten Supports 39 wiederum vorgeschoben, und zwar um eine Strecke X minus dem gewünschten Abstand S gegen einen vorangestellten Anschlag. Bei dieser Position befindet sich die Kathode 31 innerhalb der Kathodenhülse 32. wobei die emittierende Oberfläche 36 im genauen Abstand 5 von der Fläche des G 1-Gitters 23 ist. Bei dem oben beschriebenen Strahlsystemaufbau mit nebeneinanderliegenden Elektronenkanonen ist der Abstand X =10 cm ±2.5 μ und der Abstanc S= 127 μ ± 2,5 μ.

Nach dieser Einstellung des Abstandes S werden die Druckluftzylinder 88a bis SSd betätigt, um die Schweißpistolen 89a bis 89c/ in Kontakt mit dei Kathodenhülse 32 zu bringen, und die Schweißvorrich tung wird veranlaßt, die Kathode 31 unter Aufrechter haltung des genauen Abstandes 5 an der Kathodenhüls«

32 festzuschweißen.

Nach Anbringen einer zweiten Kathode 31 arr Kathodenhalter wird der Maschinenzyklus wiederholt um diese zweite Kathode ebenfalls unter Einhaltung de: genauen Abstandes 5 in die zweite Elektronenkanom fest einzusetzen. Das Einsetzen der dritten Kathode ii die dritte Elektronenkanone 22c erfolgt ebenfalls in dei gleichen Weise, wie sie für die erste und zweite Kathodt beschrieben ist.

Vorstehend wurden zur Einstellung des ersten unc des zweiten Bezugsabstandes Meßlehren beschrieben die auf Luftmessung und Kapazitätsmessung beruhen Es können für den gleichen Zweck jedoch auch anden

Meßgeräte verwendet werden, z. B. ein von Hand gehaltenes Mikrometer oder ein Meßklotz. Wichtig ist lediglich, daß die Meßeinrichtung eine bis auf 5 μ genaue Messung liefert und die gemessenen Teile nicht beschädigt. Ein Mikrometer oder ein Meßklotz kann die s emittierende Oberfläche berühren, jedoch muß die gesamte Oberfläche des emittierenden Belags berührt werden, und es darf nur ein niedriger Oberflächendruck ausgeübt werden, damit der Belag nicht beschädigt wird. Die Abstände V und Z können auch direkt als ein einziger Abstand X gemessen werden. Auch dies läßt sich mittels eines von Hand gehaltenen Mikrometers durchführen.

Die Erfindung ist nicht auf eine bestimmte Kathodenbauart beschränkt, sondern läßt sich im Zusammenhang mit jeder beliebigen Kathode anwenden, die in einem

genauen Abstand von einem Gitter anzuordnen ist. Das beschriebene Verfahren ist nicht nur geeignet für die beschriebenen Kathoden mit einem Belag aus emittierendem Material, sondern z. B. auch für Vorratskathoden, bei welchen sich das emittierende Material innerhalb eines porösen Metalls befindet.

Die Erfindung ist auch nicht auf einen bestimmten Typ von Strahlsystemen beschränkt, sondern eignet sich gleichermaßen für Strahlsysteme mit einer einzigen Elektronenkanone, mit im Dreieck angeordneten Elektronenkanonen oder mit den beschriebenen in einer Reihe angeordneten Elektronenkanonen.

Auch liegt es im Bereich der Erfindung, die Abstände V und Z(F ig. 3) von Punkten auf derselben Seite des Bezugspunkts 92 zu messen. In einem solchen Fall ist die Bezugsdistanz Xdie Differenz der Abstände VundZ

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims (3)

Patentansprüche:

1. Verfahren zum Anordnen einer Kathode bezüglich einer gelochten Gitterelektrode in einer solchen endgültigen Lage, daß die emittierende Oberfläche der an einem Träger befestigten Kathode genau im vorgeschriebenen Abstand zur gegenüberliegenden Fläche der Gitterelektrode liegt, indem zunächst zwischen diesen beiden Flächen ein vorläufiger Abstand hergestellt wird, der dann auf den vorgeschriebenen endgültigen Abstand verändert wird, dadurch gekennzeichnet, daß der Kathodenträger (32) vor dem Ansetzen der Kathode (31) in seiner endgültigen Lage bezüglich der Gitterelektrode (23) befestigt wird, daß der vorläufige Abstand zwischen der emittierenden Kathodenfläche (36) und der gegenüberliegenden Gitterelektrodenfläche (37) mittels einer zwischen die beiden Flächen eingebrachten Abstandslehre (73) auf ein bekanntes Maß (X) eingestellt wird, welches größer ist als der vorgeschriebene endgültige Abstand (S), daß die Abstandslehre anschließend aus dem Bereich zwischen den Flächen entfernt wird, daß unter Einschieben der Kathode in den Kathodenträger der vorläufig eingestellte Abstand um den Differenzbetrag (X-S) zwischen dem bekannten Maß und dem vorgeschriebenen Abstand vermindert wird und daß die Kathode anschließend im Kathodenträger festgelegt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Einstellung des vorläufigen Abstandes (X/¹ die emittierende Kathodenfläche (36) und die gegenüberliegende Gitterelektrodenfläche (37) in bestimmte Abstände (Kund Z)zu einer durch die Abstandslehre (73) gehenden Bezugslinie (92) gebracht werden, deren Summe gleich dem bekannten Maß (AVist.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Gitterelektrode (23) und der Kathodenträger (32) in festgelegter Relativlage zueinander auf eine mit einer verschiebbaren Plattform (47) versehene erste Schlittenanordnung (39) gebracht werden, daß die Kathode (31) auf eine zweite Schlittenanordnung (40) gebracht wird, daß der vorläufige Abstand (X) durch Verstellung einer oder beider dieser Schlittenanordnungen eingestellt wird, daß die Verminderung des vorläufigen Abstandes auf den endgültig vorgeschriebenen Abstand ('S,)durch Verschiebung der verschiebbaren Plattform um den Differenzbetrag erfolgt.