DE2342900C3 - Vorrichtung zum Aufgeben und Abnehmen von hinsichtlich ihrer Oberflächenbeschaffenheit plan zu bearbeitenden Werkstücken auf eine drehantreibbare bzw. von einer drehantreibbaren Stirnbearbeitungsscheibe einer Oberflachenendbearbeitungsm aschine - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Aulge- und Abnehmen von hinsichtlich ihrer Oberflächenichaffenheit plan zu bearbeitenden Werkstücken auf eine drehantreibbare bzw von einer drehantreibbaren Stirnbearbeitungsscheibe e.ner Oberflächenendbearbeitunesmaschine, insbesondere einer Läpp- oder Poliermaschine bestehend aus einem seitlich von der Bearbeitungsscheibe angeordneten Antrieb in Form einer strömungsmittelbetätigten Kolben-Zylinder-Anordnung aus einem Werkstückhalter und aus einem Arm der mit einem Ende am Antrieb schwenkbar „„gelenkt ist und mit seinem anderen Ende den Werkstückhalter trägt, wobei der Werkstückhalter zum Halten der Werkstücke unter vorbestimmten Bearbeitunesdruck in Richtung der Bearbeitungsscheibe zustellbar ist und der Werkstückhalter durch den Antrieb von der Bearbeitungsscheibe abhebbar und über den Arm von der Bearbeitungsscheibe wegschwenkbar ist.

Eine derartige Vorrichtung wird insbesondere bei Läpp- und Poliermaschinen vorgesehen, mit denen ein Siliziumplättchen als elektronisches Bauteil plan bearbeitet wird. Solche Plättchen sind zwischen 0.127 und 0381 mm dick und haben einen scheibenförmigen Umfang. Für ihren Einsatz in der Elektronikindustrie müssen diese Plättchen planparallele und hochglanzpolierte Oberflächen aufweisen, wobei die Oberflächenbearbeitung aus Gründen der Gleichmäßigkeit automatisch und unter gesteuerten Bedingungen durchgeführt werden jollt-j.

Für die Oberflächenbearbeitung der Plättchen werden rotierende scheibenförmige Bearbeitungswerkzeuge vorgesehen. Dabei werden nach einer herkömmlichen Vorgehensweise die Plättchen mit Wachs am Werkzeughalter befestigt und gegen die rotierende Stirnbearbeitungsscheibe eine bestimmte Zeitlang gedrückt Um eine maximale Ausstoßleistung zu erhalten, sollte der auf die Plättchen während des Bearbeitungsvorganges wirkende Druck relativ hoch sein. Höhere Drücke erzeugen jedoch zwischen den Plättchen und der Stirnbearbeitungsscheibe eine höhere Reibung und damit Wärme, so daß das die Plättchen am Werkstückhalter befestigende Wachs leicht wegschmilzt Eine Verbesserung dieser Vorgehensweise besteht darin, die Plättchen mittels Unterdruck am Werkstückhalter zu befestigen. Obschon hierdurch bei höheren Temperaturen und damit höheren Abtragleistungen gearbeitet werden kann, haben die mit Unterdruck arbeitenden Vorrichtungen nach wie vor den Nachteil, daß die verschiedenen Arbeitsschritte, wie das Aufgeben. Umdrehen, Andrücken, Zurückbringen und Waschen der Plättchen, während sie sich auf dem Werkstückhalter befinden, sowie das Abnehmen derselben mit zum Teil erheblichen manuellen Arbeiten verbunden ist

Aus der US-PS 30 32 937 ist es weiter bekannt, mittels einer pneumatischen Kolbenzylinderanordnung eine Andruckplatte von der Läppscheibe abzuheben und anschließend mittels einer anderen Einrichtung aus dem Zugriffsbereich der Läppscheibe wegzuschwenken. Dabei verbleiben die Werkstücke auf der Läppscheibe, wobei nur ihre unbearbeiteten Oberflächen zugänglich sind. Eine Reinigung der bearbeiteten Oberflächen mittels beispielsweise Wasser kann daher nicht vorgenommen werden, es sei denn, die Werkstücke werden von Hand abgehoben, umgedreht und dann mit dem Wasser besprüht Eine weitere, mit der bekannten Vorrichtung verbundene Schwierigkeit liegt darin, daß die Werkstücke gezielt so auf der Läppscheibe angeordnet werden müssen, daß sie direkt unterhalb der in Arbeitsstellung zurückgeschwenkten Andruckplatte zu liegen kommen. Es .versteht sich, daß die genaue Positionierung der Werkstücke in hohem Maße von der

Geschicklichkeit und Erfahrung des die Maschine bedienenden Arbeiters abhängt und daß hiermit nicht unerhebliche Rüst- und Nachstellzeiten verbunden sind.

Demgegenüber liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung dir eingangs erwähnten Gattung zu schaffen, mit der sich das Umdrehen, Andrücken, Zurückbringen und Reinigen der Werkstükke mechanisch durchführen läßt und das Autgeben und Abnehmen der Werkstücke vom Werkstückhalter wesentlich vereinfacht ist. >°

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß mit der hin- und herschiebbaren Kolbenstange der Kolben- und Zylinderanordnung des Antriebs eine Zahnstange verbunden ist, die mit einem an dem einen Ende des Arms befestigten Ritzel in Eingriff steht, so daß der die Werkstücke aufnehmende Werkstückhalter um einen parallel zur Stirnfläche der Bearbeitungsscheibe liegenden Schwenkzapfen bei Verschiebung der Zahnstange unter Schwenkung um 180° aus der Arbeitslage in eine umgekehrte Lage bewegbar ist, und daß ein vom Antrieb unabhängig angetriebener Motor für die Zustellung des Werkstückhalters zwischen dem Ende des Armes und dem Werkstückhalter angeordnet ist.

Bei der Erfindung wird somit in an sich bekannter Weise das Werkstück mittels einer Druckdifferenz am Werkstückhalter befestigt Der Werkstückhalter übernimmt dabei gleichzeitig die Aufgabe, die Werkstücke unter einem bestimmten Bearbeitungsdruck gegen die Bearbeitungsscheibe zu halten. Hierfür ist ein gesonderter Antrieb vorgesehen. Des weiteren ist der Werkstückhalter an einem Arm befestigt, an dessen Ende ein Ritzel vorgesehen ist, das mit einer Zahnstange kämmt Diese Zahnstange wird von einer Kolbenzylinderanordnung betätigt und führt zu einem Umschwenken des Armes bzw. Werkzeughalters um 180°, so daß die Werkstücke in der ausgeschwenkten Lage von oben zugänglich werden. Im Gegensatz zu der bekannten Läppmaschine liegen bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung die bearbeiteten bzw. polierten oder geläppten Oberflächen der Werkstücke frei zugänglich vor, so daß sie sich mit einer Flüssigkeit wie Wasser, leicht reinigen lassen. Außerdem bereitet das Anordnen der Werkstücke vor Bearbeitung wie auch deren Abnahme nach Bearbeitung wegen des frei zugänglichen Werk.stückhalters keinerlei Schwierigkeiten. Die einzelnen Arbeitsabläufe hinsichtlich des Umschwenkens des Werkstückhalters von der Bestückungslage in die Arbeitslage sowie das Andrücken der Werkstücke gegen die Bearbeitungsscheibe, das Abheben der so Werkstücke von der Bearbeitungssdtieibe und das besagte Reinigen kann leicht automatisch vorgenommen werden; lediglich für das Aufgeben und Abnehmen der Werkstücke auf den bzw. vom Werkstückhalter ist ein Arbeiter erforderlich, an den keine besonderen Anforderungen hinsichtlich Geschicklichkeit und Erfahrung gestellt virerden brauchen.

Weitere Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Merkmalen der Unteransprüche.

Ein Ausfühirungsbeispiel der Erfindung wird nachfol- «So gend anhand der Zeichnung und unter Bezugnahme auf eine Poliermaschine näher erläutert Es zeigen

F i g. 1 eine Draufsicht einer die Erfindung enthaltenden Poliermaschine,

F i g. 2 eine teilweise geschnittene Seitenansicht der Poliermaschine der F i g. i,

F i g. 3 eine teilweise geschnittene Seitenansicht des erfindungsgeinäßen Werkstückhalters in vergrößertem

Maßstab, und

F i g. 4 eine schematische Darstellung der Steuerung für den Werkstückhalter der F i g. 3.

Die zur Veranschaulichung der Erfindung ausgewählte Poliermaschine ist in Fig. 1 in Draufsicht dargestellt Die Werkstücke sind dünne Siliziumplättchen od. dgl., die als elektronische Bauteile verwendet werden und scheibenförmig ausgebildet sind. Die flachen Oberflächen der Plättchen müQen auf eine vorbestimmte Feinheit poliert werden. Bei dem zum Erzeugen solcher Polierfeinheit an den Plättchen berechneten Polierzyklus und der zum Beschicken und Entladen eines Werkstückhalters benötigten Zeit wurde bei der dargestellten Maschine bestimmt, daß eine einzelne Polierscheibe mit vier Arbeitsstationen leicht von einer Bedienungsperson bedient werden kann.

So besteht die in F i g. 1 dargestellte Maschine aus einem Rahmen 10, an welchem eine um eine vertikale Achse drehbare und durch einen entsprechenden Motor 12 (Fig.2) angetriebene Stirnbearbeitungsscheibe in Form einer Polierscheibe angebracht ist. Eine Schalttafel 13 erstreckt sich über der Polierscheibe in der Nähe der vier Arbeitsstationen 14,15, 16 und 17 und enthält vier Sätze manuell betätigbarer Schalter, von denen nur ein Satz 18 im Umriß dargestellt ist Für jede Station ist ein Satz Schalter vorgesehen. Eine getrennte Hauptschalttafel 19 ist an einem Ständer 20 angeordnet, der die Sätze 18 der Schalter für die Arbeitsstationen trägt. Die Hauptschalttafel enthält nicht dargestellte Schalter zum Steuern von :(1) dem Motor 12 zum Antrieb der Polierscheibe 11, (2) einer Unterdruckpumpe zum Erzeugen des zum Halten der Plättchen am Werkstückhalter verwendeten Unterdrucks, (3) einer Poliermittelpumpe, um der Polierscheibe Schleif- oder Poliermittel für das Polieren zuzuführen und (4) einen Hauptschalter, der die elektrische Energieversorgung der Maschine steuert. Diese Steuerungen bilden keinen Teil dieser Erfindung und werden daher nicht im einzelnen beschrieben, obwohl sie für den zufriedenstellenden Betrieb der Maschine als Ganzes notwendig sind.

Die vier Arbeitsstationen 14, 15, 16 und 17 und ihre Steuerungen sind identisch, und daher wird zur Abkürzung nur die Arbeitsstation 17 beschrieben. Diese Arbeitsstation ist in Seitenansicht in F i g. 2 dargestellt und vergrößert und teilweise geschnitten in F i g. 3. Wie in Fig.2 gezeigt ist, besteht sie aus einem vertikal angeordneten pneumatischen Drehantrieb 21, der im wesentlichen aus einem pneumatischen Zylinder 22 (F i g. 3) besteht, dessen Stange 23 eine Zahnstange 24 trägt Die Zahnstange 24 kämmt mit einem Ritzel 25, dessen Achse mit einem Arm 26 verbunden ist Ein in Fig.2 mit 27 bezeichneter Werkstückhalter ist an einem Ende des Armes über einen durch Druckdifferenz betätigten Antrieb befestigt. Der Arm liegt in einer Lage über der Polierscheibe 11 und drückt die Werkstücke auf die Oberfläche der Polierscheibe und befindet sich in einer anderen Lage, die mit gestrichelten Linien in F i g. 2 dargestellt ist, im wesentlichen 180° von der ersten Lage entfernt und trägt den Werkstückhalter 27 in umgekehrter Stellung, so daß die Werkstücke auf der Oberseite des Werkstück halters ruhen und leicht auf dem Werkstückhalter angeordnet und von diesem abgenommen werden können.

In Fig.3 ist zu sehen, daß der Zylinder 22 des pneumatischen Drehantriebs 21 doppeltwirkend ist und zu gegenüberliegenden Seiten eines darin befindlichen Kolbens 31 führende Anschlüsse 29 und 30 aufweist. Unterhalb des Zylinders 22 erstreckt sich eine Stange

absenkt, (5) der Motor 41 wird betätigt, um die Werkstücke gegen die zuvor in Drehung versetzte Polierscheibe zu drücken und sie gegen dieselbe bis zum Ende des Poliervorganges zu halten (automatisch), (6) ein zweiter (noch im folgenden zu beschreibender) Zeitgeber betätigt den Antrieb 41, um die Werkstücke von der Polierscheibe abzuheben (automatisch), (7) der Arm 26 kehrt in seine Ausgangslage zurück (automatisch), (8) ein gesprühter Wasserstrahl wird eingeschal-

32, an der ein Anschlag 33 angebracht ist, dessen Aufgabe darin besteht, Endschalter 34 und 35 an den Enden der auf- und abgehenden Bewegung der Stange 32 zu betätigen. Diese Schalter steuern bestimmte Arbeitsgänge der Station, wie im einzelnen im folgenden beschrieben wird.

Der Werkstückhalter 27 besteht, wie deutlich in F i g. 3 gezeigt ist, aus einer Platte 36 mit vorzugsweise

kreisförmigem Umriß und einer flachen Oberfläche 37, „ ,_, .... „„,.._

auf der die Werkstücke 38 durch Druckdifferenz io tet, um die Werkstücke abzuwaschen (automatisch), (9) gehalten werden. Hierfür ist die Oberfläche 37 mit der Unterdruck wird abgeschaltet (manuell) und (10) die ausgenommenen Bereichen unter den Werkstücken 38
versehen, die über Durchlässe 39 mit einer Unterdruckquelle verbunden sind.

Die Platte 36 ist an einer Kolbenstange 40 eines doppeltwirkenden, durch Druckdifferenz betätigten Antriebs 41 befestigt, der Anschlüsse 42,43 zum Leiten eines unter Druck stehenden Strömungsmittels zur einen oder anderen Seite des Kolbens 44 aufweist. Der

Werkstücke werden vom Werkstückhalter 27 abgenommen (manuell).

Bei dem in F i g. 4 dargestellten Steuerschema ist eine Druckluftquelle an die Zuführleitung 45 für eine Arbeitsstation angeschlossen, von der die Druckluft über eine Leitung 46 zu einem Magnetventil 47 und dann je nach Stellung dieses Magnetventils zu den Anschlüssen 42 und 43 des Antriebs 41 geleitet wird.

Antrieb 41 ist am Ende des Arms 26 befestigt und daher 20 dessen Aufgabe darin besteht, den Werkstückhalter 27

gegen die Polierscheibe 11 zu bewegen. Eine zweite

mit demselben bewegbar. Es ist zu erkennen, daß der Arm 26 um 180° geschwenkt wird, um den Werkstückhalter 27 umzudrehen, so daß die Werkstücke leicht auf den Werkstückhalter aufgegeben und von demselben

Leitung 46a leitet Druckluft zu einem Magnetventil 48, das einen kleinen durch Druckdifferenz betätigbaren Antrieb eines Wasserventils 49 steuert, das seinerseits

abgenommen werden können. Es ist auch zu erkennen, 25 das Sprühwasser einer Wasserleitung 50 steuert. Die

daß der Werkstückhalter 27 gegen die Polierscheibe bewegt und gehalten wird, um die Werkstücke gegen dieselbe zu pressen und so das Polieren zu beschleunigen. Schließlich ist es erwünscht, daß die noch auf dem

Zuführleitung 45 ist mit einem Ventil 51 verbunden, das den Zutritt von Druckluft zum Zylinder 22 des Drehantriebs 21 (F i g. 2) für den Arm 26 steuert. Die Ventile 47, 48 und 51 werden magnetisch geöffnet und

Werkstückhalter befindlichen Werkstücke mit Wasser 30 durch Rückhohlfedern geschlossen. Die Magneten besprüht werden, um Poliermittel abzuwaschen, das werden ihrerseits durch Zeitgeber 52, 53 und 54 eventuell noch an ihnen haftet. Die Einrichtungen, durch gesteuert, wobei der Zeitgeber 52 den Polierzyklus die die Bewegungen des Drehantriebs 21 und des steuert und manuell auf die zum Polieren eines Antriebs 41 und das Aufgeben von Sprühwasser Werkstückes erforderliche Zeitdauer einstellbar ist und gesteuert werden, werden im folgenden unter Bezug- 35 die Zeitgeber 53 und 54 mit fester Zeitdauer eingestellt nähme auf die schematische Darstellung der F i g. 4 sind und zum Erzeugen einer kleinen Verzögerung bei

der Zufuhr des elektrischen Stromes der durch sie betätigten Magnetventile ausgelegt sind. Jede Arbeitsstation hat einen handbetätigten »Ein«-Schalter 55, der

beschrieben.

Wenn Druckluft im allgemeinen in Werkstätten und Fabriken, wo das Polieren durchgeführt wird, verfügbar

ist, wird als Antriebsströmungsmittel für den Drehan- 40 die gesamte elektrische Ausrüstung der Station steuert

trieb 21 und den Antrieb 41 Druckluft verwendet. Obwohl hydraulische Energie ebenfalls verwendet werden kann, erfordert sie die Verwendung einer besonderen Pumpe, eines Speichers und von Filtern,

und einen manuell betätigten »Zyklus«-Schalter 56, der den Zeitgeber 52 zum Auslösen des Polierzyklus in Betrieb setzt.
Der Arbeitsablauf der Maschine ist folgender: zu

welche sämtlich die Kosten der Maschine erhöhen. 45 Beginn befindet sich der Drehantrieb 21 in der Lage, in

Darüber hinaus ist die Antriebskraft für das Wasserven- welcher sein Kolben und die daran befestigte Zahnstan-

til für das Sprühwasser ebenso Druckluft, die durch ein ge 24 in ihrer untersten Stellung sind. Die Platte 36 des

Magnetventil gesteuert wird, um die Verwendungeines Werkstückhalters befindet sich daher in ihrer umge-

großen Magnetventils zur Steuerung des Sprühwassers drehten Lage radial entfernt von der Polierscheibe 11

zu vermeiden. Zur Abkürzung sind die Bauteile der 50 und ist fertig zum Aufgeben. Der Unterdruck ist durch

Maschine und ihre Steuerung schematsich in Fig.4 den handbetätigten Schalter 57 ausgeschaltet, der das

dargestellt. Magnetventil 57a für den Unterdruck der Platte 36

Der Arbeitsablauf eines vollen Zyklus an einer steuert. Die Werkstücke werden auf die Platte 36 auf die Station ist folgender unter der Voraussetzung, daß die von dem Unterdruck beeinflußbaren Bereiche gelegt. Polierscheibe in Drehung versetzt wurde und daß 55 Wenn die Platte gefüllt ist, wird der Einschalter 55 für Poliermittel auf die sich drehende Scheibe fließt: (1) auf die Arbeitsstation eingeschaltet, um die elektrischen

den Werkstückhalter werden von Hand Werkstücke Organe der Arbeitsstation in Betrieb zu setzen, worauf

aufgegeben, (2) der Unterdruck wird eingeschaltet, um der Unterdruckschalter 57 eingeschaltet wird, um die

die Druckdifferenz zu erzeugen, durch die die Werkstücke durch Differenzdruck an der Platte 36 zu

Werkstücke am Werkstückhalter gehalten werden 60 halten. Als nächstes wird der Zyklusschalter 56

(manuell), (3) ein Schalter wird gedreht, um den eingeschaltet, um den Zeitgeber 52 in Betrieb zu setzen

Zeitgeber für den Polierzyklus einzuschalten (manuell), und die automatische Folge der Arbeitsgänge auszulö-

(4) der Arm wird bis zu einem positiven Anschlag sen.

geschwenkt wo der Werkstückhalter die Werkstücke Das Einschalten des Zeitgebers 52 betätigt eine Reihe

gerade oberhalb der Polierscheibe hält. Das Gewicht 65 von Schaltern 58, 59, 60 und 61, die zurückgestellt

des Werkstückhalters und die Abwesenheit Jeglicher werden, wenn der Zeitgeber die Zeit abgemessen hat.

unter Druck stehender Luft im Antrieb 41 bewirken, daß Der Schalter 58 ist ein Halteschalter Wr den Zeitgeber

der Werkstückhalter sich langsam auf die Polierscheibe 52, so daß der handbetätigte Zyklusschaltcr 56 während

des Polierzyklus nicht heruntergedrückt gehalten werden muß. Der Schalter 59 setzt einen Magneten 62 des Ventils 51 in Betrieb, damit dieses Ventil Druckluft zur Unterseite des Drehantriebs 21 leitet und so die Zahnstange 24 anhebt, um das Ritzel 25 zu drehen und den Arm 26 in Richtung der Polierscheibe 11 zu schwenken. Wenn die Zahnstange 24 das Ende ihres Hubes erreicht, wird der Endschalter 34 betätigt, um den Zeitgeber 53 in Betrieb zu setzen, der nach dem Abmessen der Zeit einen Magneten 63 des Magnetventils 47 in Betrieb setzt, um Druckluft zum Anschluß 42 des Antriebs 41 zu leiten und so die Platte 36 des Werkstückhalters in Richtung der Polierscheibe 11 zu bewegen und sie mit einem vorbestimmten Druck gegen die Polierscheibe zu halten. Weil die Polierscheibe zuvor in Drehung versetzt wurde, und in Bewegung bleibt, bis die Maschine abgeschaltet wird, beginnt der Poliervorgang und wird fortgesetzt bis der Zeitgeber 52 die Zeit abgemessen hat.

Wenn der Zeitgeber 52 die Zeit gemessen hat, werden die Schalter 58 und 59 geöffnet, und der Schalter 60 wird geschlossen, um einen Magneten 68 des Ventils 51 in Betrieb zu setzen, damit das Ventil Druckluft zur Oberseite des Zylinders 22 leitet, der die Zahnstange 24 absenkt und die Platte 36 des Werkstückhalters von der Polierscheibe 11 abhebt. Gleichzeitig mit dem Einschalten des Schalters 60 wird ein Schalter 61 durch den Zeitgeber 52 geschlossen, wodurch ein Magnet 65 des Ventils 47 in Betrieb gesetzt wird, um die Druckluft von S der Platte 36 zu entfernen und diese in Bezug auf ihren Zylinder anzuheben.

Nach Beendigung der Rückschwenkung des Arms 26 wird der Endschalter 35 durch den Anschlag 33 betätigt, um einen Magneten 66 des Ventils 48 in Betrieb zu

ίο setzen. Die Luft von dem Ventil 48 betätigt dann das Wasserventil 49, so daß Wasser auf die polierten Werkstücke gesprüht wird. Ein Zeitgeber 54 wird gleichzeitig mit dem Magneten 66 in Betrieb gesetzt, und wenn die vorgegebene Zeit abgelaufen ist, wird ein Schalter 67 geöffnet, um den Magneten 66 abzuschalten und so durch die mittels Federn rückgestellten Ventile 48 und 49 das Sprühwasser abzuschalten. Dann wird der Schalter 57 für den Unterdruck geöffnet, um die Druckdifferenz an den Werkstücken auszugleichen, und

ίο die polierten Werkstücke werden anschließend abgenommen und durch zu polierende Werkstücke ersetzt. Der Bedienungsmann geht dann zur nächsten Station, deren Zeit abgelaufen ist, und die zum Abnehmen der polierten Werkstücke und zum Aufgeben zu polierender

aj Werkstücke bereit ist.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (3)

Patentansprüche:

1. Vorrichtung zum Aufgeben und Abnehmen von hinsichtlich ihrer Oberflächenbeschaffenheit plan zu bearbeitenden Werkstücken auf eine drehantreibbare bzw. von einer drehantreibbaren Stirnbearbeitungsscheibe einer Oberflächenendbearbeitungsmaschine, insbesondere einer Läpp- oder Poliermaschine, bestehend aus einem seitlich von der Bearbel· «° tungsscheibe angeordneten Antrieb in Form einer strömungsmittelbetätigten Kolben-Zyiinder-Anordnung, aus einem Werkstückhalter und aus einem Arm, der mit einem Ende am Antrieb schwenkbar angelenkt ist und mit seinem underen Ende den Werkstückhalter trägt, wobei der Werkstückhalter zum Halten der Werkstücke unter vorbestimmten Bearbeitungsdruck in Richtung der Bearbeitungsscheibe zustellbar ist und der Werkstückhalter durch den Antrieb von der Bearbeitungsscheibe abhebbar und über den Arm von der Bearbeitungsscheibe wegschwenkbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß mit der hin- und herschiebbaren Kolbenstange (23) der Kolben- und Zylinderanordnung (22,31) des Antriebs (21) eine Zahnstange (24) *5 verbunden ist, die mit einem an dem einen Ende des Arms (26) befestigten Ritzel (25) in Eingriff steht, so daß der die Werkstücke (38) aufnehmende Werkstückhalter (27) um einen parallel zur Stirnfläche der Bearbeitungsscheibe (11) liegenden Schwenkzapfen bei Verschiebung der Zahnstange (24) unter Schwenkung um 180° aus der Arbeitslage in eine umgekehrte Lage bewegbar ist, und daß ein vom Antrieb (21) unabhängig angetriebener Motor (41) für die Zustellung des Werkstückhalters (27) zwischen dem Ende des Arnves (26) und dem Werkstückhalter (27) angeordnet ist

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß im Verschiebeweg der Kolbenstange (23) ein Schalter (35) angeordnet und diesem ein in einer Druckluftleitung (46a) angebrachtes solenoidgesteuertes Ventil (48, 66) nachgeschaltet ist, und daß durch das solenoidgesteuerte Ventil (48,66) ein luftgesteuertes Wasserventil (49) in der Druckluftleitung (46a) schaltbar ist, derart, daß bei umgekehrter Lage des WerkstUckhalters (27) den Werkstücken (38) über eine Flüssigkeitsleitung (50) eine Sprühflüssigkeit zum Reinigen der Werkstücke (38) zuführbar ist

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Werkstückhalter (27) zur Aufnahme einer Vielzahl von Werkstücken (38) geeignet ist und jede Werkstückaufnahme mit einer Unterdruckleitung (39) verbunden ist, daß zur Steuerung des Unterdruckes manuell betätigbare Schalter (55, 57) vorgesehen sind, und daß im Verschiebeweg der Kolbenstange (23) ein weiterer Schalter (34) angeordnet ist, durch den über ein Zeitglied (53) und ein Magnetventil (47, 63) in zeittaktmäßiger Beziehung zur Lage des Werkstückhalters (27) über der Bearbeitungsscheibe (11) der Motor (41) steuerbar ist