DE2332269A1 - Positioniervorrichtung fuer leiterrahmen - Google Patents

Positioniervorrichtung fuer leiterrahmen

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DE2332269A1
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DE19732332269
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Fumio Arai
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Hitachi Ltd
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Hitachi Ltd
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67144—Apparatus for mounting on conductive members, e.g. leadframes or conductors on insulating substrates

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DE2722397A1 (de) * 1977-05-17 1978-11-30 Siemens Ag Verfahren zur justierung einer halbleiterscheibe relativ zu einer belichtungsmaske bei der roentgenstrahl- fotolithografie und eine vorrichtung zur durchfuehrung dieses verfahrens

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