DE1564855C3

DE1564855C3 - Verfahren zur Herstellung von Kontaktierungsstreifen für Halbleiterbauelemente

Info

Publication number: DE1564855C3
Application number: DE1564855A
Authority: DE
Inventors: Fritz 7105 Grossgartach Stork
Original assignee: Telefunken Patentverwertungs GmbH
Current assignee: Telefunken Patentverwertungs GmbH
Priority date: 1966-06-15
Filing date: 1966-06-15
Publication date: 1975-04-30
Also published as: DE1564855B2; DE1564855A1

Description

Die Erfindung betrifft eiri Verfahren zur Herstellung von Kontaktierungsstreifen für Halbleiterbauelemente, die aus durch Holmen miteinander verbundenen Sprossen bestehen, auf denen serienweise die Elektroden der Halbleiterbauelemente kontaktiert werden, wobei der Streifen während der Fertigung in Magazinen transportiert und gehaltert wird.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Kontaktierungsstreifen anzugeben, der leicht in einem Aufnahmemagazin gehaltert werden kann. Zur Lösung dieser Aufgabe wird vorgesehen, daß die Holmen in bestimmten Bereichen mit Hilfe der Photoätztechnik derart behandelt werden, daß Teile aus ihnen ausgebogen und als Führungs- und Halterungselemente in den Magazinen verwendet werden können.

Es wurden bereits Kontaktierungsstreifen für Halbleiterbauelemente vorgeschlagen (DT-OS 1514 827), die leiterförmig ausgebildet sind, wobei die Sprossen zur Aufnahme bzw. zur Kontaktierung der Halbleiterbauelemente dienen. Je nach der Zahl der für jedes Bauelement vorgesehenen Sprossen können mit derartigen Streifen serienweise Dioden, Planartransistoren und integrierte Schaltungen kontaktiert werden. Zur Erläuterung ist in F i g. 1 ein derartiger Kontaktierungsstreifen dargestellt. Zur Kontaktierung jedes Bauelementes, in diesem Fall handelt es sich um Planartransistoren 7, sind drei Sprossen 4,5 und 6 vorgesehen, die über die Holmen-1 und 2 miteinander verbunden sind. Auf die Sprosse 5. wird der Planartransistor mit seinem Kollektorkörper aufgelöst, die Basis- und die Emitterelektroden werden mit Hilfe dünner Zuleitungsdrähte 8 und 9 mit den Sprossen 4 bzw. 6 elektrisch leitend verbunden. In die Holmen 1 und 2 sind Löcher 3 zum Transport des Kontaktierungsstreifens in den Fertigungsgeräten eingebracht worden.

Im Verlauf des weiteren Fertigungsverfahrens wird im Anschluß an die Kontaktierung der Halbleiterbauelemente der Holmen 2 des Kontaktierungsstreifens abgeschnitten, und alle auf dem Streifen untergebrachten Planartransistoren werden durch Eintauchen des Streifens in Gießharz oder in einen anderen geeigneten, isolierenden Stoff eingebettet. Durch Abtrennen des anderen Holmen 1 werden die fertig eingegossenen Bauelemente dann vereinzelt; die Sprossen können ent-

ao weder als Elektrodenzuleitungen verwendet oder mit solchen eines Gehäusesockels verbunden werden.

Es sind auch Kontaktierungsstreifen vorgeschlagen worden, bei denen für jeden Planartransistor nur zwei Sprossen vorgesehen sind. Durch das Auftrennen einer

as der beiden Sprossen werden dann gleichfalls drei Kontaktierungsteile für die drei Elektroden des Bauelementes geschaffen. Es können auch Streifen verwendet werden, die nur einen Holmen aufweisen. Wiederum andere Streifen für integrierte Schaltungen werden so viele Sprossen oder Sprossenteile aufweisen, wie das

Bauelement zu kontaktierende Elektroden aufweist. j

Um wieder auf den Kontaktierungsstreifen nach I

F i g. 1 zurückzukommen, werden derartige Streifen vorteilhaft beim Transport oder bei verschiedenen Fertigungsschritten, beispielsweise bei der Eingießung der Elemente in Gießharz, in Magazinen aufbewahrt, durch diese Magazine wird gleichzeitig eine unsachgemäße Lagerung der Streifen in den Fertigungspausen vermieden.

Ein geeignetes Magazin ist in F i g. 2 dargestellt. Ein Aufnahmekörper 10 weist einen Schlitz 11 auf, dessen Tiefe etwa der Breite eines Holmen entspricht und in den die Kontaktierungsstreifen gemäß Fig. 1 senkrecht eingeschoben werden. In dem Schlitz 11 befindet sich eine Nut 12, die zur Aufnahme der Transport- und Halterungselemente auf dem Kontaktierungsstreifen vorgesehen ist, so daß der Kontaktierungsstreifen nicht unten aus dem Magazin herausfallen kann. Es hat sich nun erwiesen, daß es nicht möglich ist, in den Holmen des Kontaktierungsstreifens Sicken einzupressen, da sich sonst die Streifen infolge des Materialflusses verziehen. Bei einem Einpressen der Sicken in den Ausgangsblechstreifen, also bevor aus diesem die Sprossen und die Holme herausgearbeitet werden, würde ein teuerer und aufwendiger Justiervorgang erforderlich sein. Bei der Fertigung derartiger Streifen muß berücksichtigt werden, daß die Sprossen oft kaum breiter sind als die Materialstärke des Streifens; außerdem werden an die Streifen hohe Toleranzanforderungen gestellt.

Aus diesen Gründen ist man dazu übergegangen, die Streifen nach dem bekannten Photoätzverfahren herzustellen und an Stelle der Sicken Teile aus dem Holmen freizuätzen und aus diesem auszubiegen. Der Vorteil der Erfindung besteht darin, daß diese Transport- und Aufnahmeelemente nach der Fertigstellung des Streifens in einem unkomplizierten Arbeitsgang aus dem Holmen herausgearbeitet werden können, ohne daß die Streifen verbogen werden. Die geforderten

Toleranzen können bei der Verwendung derartiger Streifen voll eingehalten werden.

Die Erfindung soll noch an Hand einiger Ausführungsbeispiele näher erläutert werden.

In F i g. 3 wird in der Draufsicht und im Schnitt ein Ausführungsbeispiel des Kontaktierungsstreifens gezeigt. Aus dem Holmen 1 wurden Teile 13 mit Hilfe der Phptoätztechnik freigeätzt und anschließend ausgebogen. Dabei ist die ausgebogene Zunge 14 sq breit, daß sie in die Nut 12 des Magazins 10 (F i g. 2) paßt. Die Teile 13 sind rechteckförmig, und zu ihrer Herstellung wurden an drei Seiten der Rechtecke schmale Bereiche ausgeätzt, so daß die freigelegten Bereiche mit einem einfachen Biegewerkzeug aus dem Holmen herausgebogen oder herausgdrückt werden können.

Eine andere Ausführungsform der Führungs- und Halterungszungen für Kontaktierungsstreifen zeigt Fig.4. Hierbei wurden aus dem Holmen des Kontaktierungsstreifens schmale Halbkreisringe 15 herausgeätzt, und anschließend wurden die halbkreisförmigen Zungen 16 aus dem Kontaktierungsstreifen herausgebogen.

In F i g. 5 ist noch eine weitere Ausführungsform der Halterungselemente dargestellt, wobei zwei einander entgegengerichtete Zungen 14a und 146 aus dem Holmen des Kontaktierungsstreifens herausgeätzt und ausgebogen werden. Beide abgewinkelten Zungen verlaufen dann in der Nut des Magazins so, daß die Nutkante nicht mehr mit dem Zungenende in Berührung kommt, sondern die Kanten am Rücken 17 der ausgeboge.nen Zungen schleifen. Auf diese Weise wird ein Verkanten oder Verklemmen der ausgebogenen Teile in der Führungsnut des Magazins vermieden. '

Neben den hier beschriebenen Formen sind auch andere Formen der Führungselemente denkbar. Bedeutungsvoll ist jedoch bei all diesen Arten von Führungselementen deren Herstellung mit Hilfe der Photoätzung. Die Abmessungen der Führungs- und Halterungselemente entsprechen dabei in etwa denen der Führungsnut in dem Aufnahmemagazin.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Verfahren zur Herstellung von Kontaktierungsstreifen für Halbleiterbauelemente, die aus durch Holmen miteinander verbundenen Sprossen bestehen, auf denen serienweise die Elektroden von Halbleiterbauelementen kontaktiert werden, wobei die Streifen während der Fertigung in Magazinen transportiert und gehaltert werden, dadurch gekennzeichnet, daß die Holmen in bestimmten Bereichen mit Hilfe der Photoätztechnik derart behandelt werden, daß Teile aus ihnen ausgebogen und als Führungs- und Halterungselemente in den Magazinen verwendet werden können.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in den Holmen Bereiche derart freigeätzt werden, daß diese an einer Kante noch mit dem Holmen verbunden sind und aus diesem ausgebogen werden.

3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Holmen rechteckförmige Bereiche auf drei Seiten freigeätzt und dann aus dem Holmen ausgebogen werden.

4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß halbkreisförmige Bereiche auf dem Holmen freigeätzt und aus diesem ausgebogen werden.

5. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß jeweils zwei benachbarte Zungen auf dem Holmen freigeätzt und aus diesem derart ausgebogen werden, daß die ausgebogenen Zungen einander entgegengerichtet sind und zwischen ihnen ein schmaler Steg im Holmen verbleibt.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Abmessungen der ausgebogenen Zungen den Abmessungen der seitlich in den Aufnahmeschlitz des Magazins eingebrachten Nut entsprechen.