DE2325723A1 - Verfahren zum auftragen der kupfersulfidschicht eines photoelementes bzw. einer sperrschichtphotozelle auf der basis von kadmiumsulfid - Google Patents

Verfahren zum auftragen der kupfersulfidschicht eines photoelementes bzw. einer sperrschichtphotozelle auf der basis von kadmiumsulfid

Info

Publication number
DE2325723A1
DE2325723A1 DE2325723A DE2325723A DE2325723A1 DE 2325723 A1 DE2325723 A1 DE 2325723A1 DE 2325723 A DE2325723 A DE 2325723A DE 2325723 A DE2325723 A DE 2325723A DE 2325723 A1 DE2325723 A1 DE 2325723A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
layer
sulfide
potential
copper
photoelement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE2325723A
Other languages
English (en)
Other versions
DE2325723C3 (de
DE2325723B2 (de
Inventor
Duy Thuoc Nguyen
Wolfgang Palz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Societe Anonyme de Telecommunications SAT
Original Assignee
Societe Anonyme de Telecommunications SAT
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Societe Anonyme de Telecommunications SAT filed Critical Societe Anonyme de Telecommunications SAT
Publication of DE2325723A1 publication Critical patent/DE2325723A1/de
Publication of DE2325723B2 publication Critical patent/DE2325723B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2325723C3 publication Critical patent/DE2325723C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/0248Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
    • H01L31/0256Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by the material
    • H01L31/0264Inorganic materials
    • H01L31/0328Inorganic materials including, apart from doping materials or other impurities, semiconductor materials provided for in two or more of groups H01L31/0272 - H01L31/032
    • H01L31/0336Inorganic materials including, apart from doping materials or other impurities, semiconductor materials provided for in two or more of groups H01L31/0272 - H01L31/032 in different semiconductor regions, e.g. Cu2X/CdX hetero- junctions, X being an element of Group VI of the Periodic Table
    • H01L31/03365Inorganic materials including, apart from doping materials or other impurities, semiconductor materials provided for in two or more of groups H01L31/0272 - H01L31/032 in different semiconductor regions, e.g. Cu2X/CdX hetero- junctions, X being an element of Group VI of the Periodic Table comprising only Cu2X / CdX heterojunctions, X being an element of Group VI of the Periodic Table
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/31Coating with metals
    • C23C18/38Coating with copper
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02104Forming layers
    • H01L21/02365Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
    • H01L21/02367Substrates
    • H01L21/0237Materials
    • H01L21/024Group 12/16 materials
    • H01L21/02406Sulfides
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02104Forming layers
    • H01L21/02365Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
    • H01L21/02518Deposited layers
    • H01L21/02521Materials
    • H01L21/02568Chalcogenide semiconducting materials not being oxides, e.g. ternary compounds
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02104Forming layers
    • H01L21/02365Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
    • H01L21/02612Formation types
    • H01L21/02617Deposition types
    • H01L21/02623Liquid deposition
    • H01L21/02628Liquid deposition using solutions
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/543Solar cells from Group II-VI materials

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Photovoltaic Devices (AREA)

Description

Societe Anonyme de Telecommunications Paris / Frankreich
Verfahren zum Auftragen der Kupfersulfidschicht eines Photoelementes bzw. einer Sperrschichtphotozelle auf der Basis von Kadmiumsulfid
Die Erfindung "betrifft ein Verfahren zur verbesserten Herstellung von Sonnenbatterien aus Kadmiumsulfid (CdS), die eine Schicht aus Kupfersulfid (CUpS) tragen.
Derartige Elemente sind bereits bekannt, siehe insbesondere die von der Division Recherche Electronique de la Clevite Corporation am 30. Dezember 1966 herausgegebene Veröffentlichung mit dem Titel: "Study of thin film large area photovoltaic solar energy converter"^ dieser Artikel stammt von F.A. Shirland, J.Re.Hietanen und 1W.K* Dower und wurde für die National Aeronautics und Space Administration verfaßt O
In der französischen Patentschrift Nr0 1 562 165 sind.
30
technologische Verfahren beschrieben, um in optimaler Weise die Übergänge bzw. Sperrschichten zwischen den die einzelnen Schichten des Photoelementes bildenden unterschiedlichen chemischen Milieus zu verwirklichen; bei den einzelnen Schichten handelt es sich um eine Silberschicht als erste Elektrode des Photoelementes, eine Zinkschicht, die den Kontaktwiderstand zwischen der Silberelektrode und der CdS-Schicht vermindert, die CdS- und CUpS-Schichten, die die aktiven Schichten des Photo elementes sind, eine zweite Elektrode in Form eines die empfindliche Oberfläche des Photoelementes netzartig überziehenden Gitters und eine Schutzschicht,- die die empfindliche Oberfläche des Photoelementes gegen äußere Angriffe bzw. Einflüsse schützt. ·
Die .vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Bildung der CupS-Schicht bei der Herstellung von Photoelementen bzw. Sperrschicht-Photozellen, und zwar für' die Fälle, in denen die CupS-Schicht durch Umbildung der die Oberfläche bildenden CdS-Schicht erhalten wird, indem das Element in einer kupferionenhaltige Lösung eingetaucht wird.
Bei dem in der französischen Patentschrift 1 562 163 beschriebenen Verfahren wird die Cu-S-Schicht dadurch erhalten, daß das Element während seiner Herstellung drei Sekunden lang bei 90° C in eine Lösung eingetaucht wird, die je Liter 80° Cu Cl enthält. Bei dem bekannten Verfahren findet eine beträchtliche Verkupferung der Cu2S-Schicht statt. Diese Verkupferung ist nachteilig, da dadurch die energetische Ausbeute bzw. der energetische Wirkungsgrad des Elementes herabgesetzt wird.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zu schaffen, mit dem die Bildung der Cu^S-Schicht ohne Verkupferung der Oberfläche dieser Schicht erfolgt.
Zur Lösung dieser Aufgabe ist das Verfahren zur Bildung der Kupfersulfidschicht eines Photoelementes bzw» einer Sperrschicht-Photozelle auf der Basis von !Cadmiumsulfid durch
309851/0798
Eintauchen des Elementes in eine kupferionenhaltige Lösung dadurch gekennzeichnet, daß das sich in der Herstellung befindliche Element während des Eintauchens in die kupferionenhaltige Lösung auf einem konstanten Potential gehalten wird, das mindestens gleich dem Potential einer aus reinem Kupfer "bestehenden Elektrode ist,. die in die gleiche Lösung eingetaucht ist.
Das Verfahren ist gemäß weiterer Erfindung dadurch gekennzeichnet, daß die kupferionenhaltige Lösung auf ein Liter Wasser 25 g CuI, 500 g KI und eine kleine Menge Bromhydrazin enthält.
Die Erfindung wird im folgenden anhand der beiliegenden Zeichnung näher beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1 in schematischer Darstellung eine Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens;
Fig. 2 in schematischer Darstellung eine Vorrichtung'zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens in abgewandelter Form, und
Fig. 3 eine Diagrammkurve, welche die Veränderungen des zwischen dem Photoelement, dessen Potential nicht fixiert ist, und einer aus reinem Kupfer bestehenden Elektrode gemessenen Potentials repräsentiert, wobei das Photoelement und die reine Kupferelektrode in ein und dieselbe kupferionenhaltige Lösung eingetaucht sind*
Gemäß Fig. 1 ist die Sperrschichtphotozelle bzw. das Photo^ element 1, die bzw. das gerade hergestellt wird, in eine kupferionenhaltige Lösung 2 eingetaucht. In die gleiche Lösung 2 ist außerdem eine aus reinem Kupfer bestehende Elektrode 3 eingehängt. Der Anschluß 4 der Elektrode 3 ist direkt über den überbrückenden Draht 5 an den Anschluß 6 des Photoelementes bzw. der Sperrschicht-Photozelle 1 angeschlossen. Das Potential des Photoelementes muß demzufolge
30985 1/0798
während der gesamten Zeit des Eintauchens in die Lösung gleich dem Potential der aus reinem Kupfer bestehenden.Elektrode "bleiben. -
Bei Fehlen der durch den Draht 5 hergestellten Verbindung verändert sich das Potential des Photoelementes 1 zeitabhängig gemäß der in Fig, 3 dargestellten Kurve 7? während das Bezugspotential Null das Potential einer aus reinem Kupfer bestehenden Elektrode ist, die in das gleiche Bad eingetaucht ist. Die Kurve 7 zeigt, daß das Potential des Photoelementes, bezogen auf das Nullpotential der aus reinem Kupfer bestehenden Elektrode, negativ ist.
Bei Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird das Potential des Photoelementes, bezogen auf das Potential der aus reinem Kupfer bestehenden Elektrode, gezwungen, während des Eintauchens in die Lösung 2 konstant und gleich einem Wert zu bleiben, der entweder Null oder positiv ist. Die in Fig. 1 dargestellte Anordnung entspricht dem Fall einer auf Null gehaltenen Spannung, während die in Fig» 2 dargestellte Anordnung dem Fall einer positiv gehaltenen Spannung entspricht. Bei der Anordnung gemäß Fig. 2 entsprechen die einzelnen Elemente den Elementen gemäß Fig. 1, Der Anschluß des Photoelementes 1 ist an den Pluspol 7 einer Spannungsbatterie 8 angeschlossen, deren Minuspol 9 mit dem Anschluß der aus reinem Kupfer bestehenden Elektrode 3 in Verbindung steht.
309851/0798

Claims (2)

  1. Patentansprüche
    ί1. !Verfahren zur Bildung der Kupfersulfidschicht eines Photoelementes bzw. einer .Sperrschicht-Photozelle auf der Basis von !Cadmiumsulfid durch Eintauchen des Elementes in eine kupferionenhaltige Lösung, dadurch gekennzeichnet, daß das sich in der Herstellung "befindliche Element während des Eintauchens in die kupferionenhaltige Lösung auf einem konstanten Potential gehalten wird, das mindestens gleich dem Potential einer aus reinem Kupfer bestehenden Elektrode, die in dieselbe Lösung eingetaucht ist.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
    die kupferionenhaltige Lösung auf ein Liter Wasser ' 25-g.CuI, 500 gr KI sowie als reduzierendes Agens vorzugsweise Bromhydrazin enthält„
    309851/QiBB
    Leerseite
DE19732325723 1972-06-06 1973-05-21 Verfahren zur Bildung einer Kupfersulfidschicht auf einer Kadmiumsulfidschicht bei der Herstellung einer Sperrschicht-Photo zelle Expired DE2325723C3 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR7220214 1972-06-06
FR7220214A FR2188303B1 (de) 1972-06-06 1972-06-06

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2325723A1 true DE2325723A1 (de) 1973-12-20
DE2325723B2 DE2325723B2 (de) 1976-07-15
DE2325723C3 DE2325723C3 (de) 1977-03-03

Family

ID=

Also Published As

Publication number Publication date
NL166158B (nl) 1981-01-15
NL166158C (nl) 1981-06-15
GB1386226A (en) 1975-03-05
NL7307862A (de) 1973-12-10
JPS4957783A (de) 1974-06-05
FR2188303B1 (de) 1977-04-01
US3884779A (en) 1975-05-20
JPS5120274B2 (de) 1976-06-23
FR2188303A1 (de) 1974-01-18
DE2325723B2 (de) 1976-07-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE1639152C3 (de) Sonnenzellenbattene und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE2517939C2 (de) Verfahren zur Herstellung einer für Infrarotstrahlung empfindlichen Photodiode
DE2722045A1 (de) Verfahren zur herstellung duenner halbleiterschichten und -laminate sowie von solarzellen und danach erhaltene schichten, laminate und bauelemente, insbesondere solarzellen
DE1521625A1 (de) Verfahren zur Herstellung von Halbleiterstueckchen kleiner raeumlicher Abmessungen
DE3340874A1 (de) Verfahren zum herstellen einer solarzelle
DE3113130A1 (de) Cadmiumsulfidphotoelement und verfahren zu seiner herstellung
DE2042883A1 (de) Halbleiterbauelement mit heterogenem Übergang und Verfahren zu seiner Herstel lung
DE1614995B1 (de) Verfahren zum Herstellen von Aluminiumkontakten an planaren Halbleiteranordnungen
DE2334164A1 (de) Sonnenbatterieelement und verfahren zu seiner herstellung
DE2325723A1 (de) Verfahren zum auftragen der kupfersulfidschicht eines photoelementes bzw. einer sperrschichtphotozelle auf der basis von kadmiumsulfid
DE2325723C3 (de) Verfahren zur Bildung einer Kupfersulfidschicht auf einer Kadmiumsulfidschicht bei der Herstellung einer Sperrschicht-Photo zelle
DE2606994A1 (de) Photodetektor und verfahren zu seiner herstellung
DE112016006557B4 (de) Verfahren zur Herstellung einer CdTe-Dünnschichtsolarzelle
DE2106762C3 (de) Verfahren zur Herstellung eines isolierten elektrischen Drahtes durch elektrophoretische Beschichtung
DE1002472B (de) Verfahren zum Anloeten von Elektroden an einen Halbleiter
DE3151212A1 (de) Halbleiterelement
DE2532971C3 (de) Verfahren zur Herstellung eines Trocken-Elektrolytkondensators
DE3542116A1 (de) Photovoltaische zelle
DE2319643A1 (de) Verfahren zur herstellung von photoelementen bzw. sperrschichtphotozellen auf der basis von kadmiumsulfid
DE2147291C3 (de) Kapazitätsdiode mit einem großen Kapazitätshub und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE2216338A1 (de) Feld-Effekt Transistor mit einer Gate-Elektrode aus Polysilizium mit geringem elektrischem Widerstand
DE1614146B2 (de) Verfahren zum entfernen von unerwuenschten alkaliionen aus einer isolierenden schicht
DE2514610C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Verbindung von Zellen eines elektrochemischen Generators mit Zwangsumlauf
DE1764756A1 (de) Duennschicht-Feldeffekt-Halbleiterbauelement
DE2056277A1 (de) Spannungsabhangiges Kapazitatsbauele ment und Verfahren zu dessen Herstellung

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
E77 Valid patent as to the heymanns-index 1977
8339 Ceased/non-payment of the annual fee