DE2300740A1

DE2300740A1 - Regler zur kontrolle der durchflussrate eines druckmittels zu einem hydrostatischen lager

Info

Publication number: DE2300740A1
Application number: DE2300740A
Authority: DE
Inventors: Jan Van Roojen
Original assignee: Ingersoll Milling Machine Co
Current assignee: Ingersoll Milling Machine Co
Priority date: 1972-02-28
Filing date: 1973-01-08
Publication date: 1973-09-06
Also published as: JPS4899541A; US3758175A

Description

OR-INQ. Dll-L.-ΙΝβ. M. »C. OII-L..PHVS.DR.

HÖGER - STELLRECHT-GRIESSBACH - HAECKER PATENTANWÄLTE IN STUTTBAHT 2300/40

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The Ingersoll Milling Machine Company 707 Fulton Avenue
Rockford, Uli 61101, USA

Regler zur Kontrolle der Durchflußrate eines Druckmittels zu einem hydrostatischen Lager

Die Erfindung betrifft einen Regler zur Steuerung und Kontrolle der kontinuierlichen Durchflußrate eines Druckmittels zu dem Druckkissen (Lagerausnehmung) eines hydrostatischen Lagers und durch das Lagerspiel (Schwellenabstand).

Ein Regler dieser Art ist bekannt aus der US-PS 3 442 560. Bei der bekannten Anordnung fließt Druckmittel von einer Druckquelle zu einem hydrostatischen Lagerkissen und passiert dabei zunächst durch radiales Ausströmen in sämtlichen Richtungen einen dünnen

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Spalt, der definiert ist von einer steifen Wand und einer axial "abbiegbaren Wand, die ihrerseits gebildet ist von einem Diaphragma bzw. einer Membran, die als Folge von Druckänderungen nach vor und zurück abgebogen wird, wobei gleichzeitig eine Änderung der Spaltbreite erfolgt; diese Druckänderungen sind verursacht durch Veränderungen in der sich auf das hydrostatische Lager auswirkenden Belastung und übertragen sich auf die Membran. In diesem Zusammenhang bezieht sich die Erfindung noch auf weitere Verbesserungen bei einem solchen den Druckmitteldurchfluß steuernden Regler, wobei die steife Wand gebildet ist von einer Platte, die angrenzend an die Membran und von außen einstellbar im Gehäuse montiert ist, so daß zur Erleichterung der Herstellung der den Spalt bildende Teile und zur Einstellung eines Spaltes mit der gewünschten hochgenauen und kritischen Breite vor Inbetriebnahme eine anfängliche Spaltbreite durch Einstellmittel unter Einwirkung auf die steife Wand vorgenommen werden kann.

Aufgabe der Erfindung ist es, bei einem solchen Regler während des Arbeitens unerwünschte Schwingungen zu unterdrücken, die in diesem Falle als Vibrationen der Membran auftreten, wenn unterschiedliche Belastungsänderungen des hydrostatischen Lagers ausgeglichen werden müssen.

Zur Lösung dieser Aufgahe geht die Erfindung aus von einem Regler der eingangs genannten Art und besteht erfindungsgemäß darin, daß der Regler ein einenmit einer Druckquelle für ein Druckmittel in Verbindung stehenden Einlaß und einen zum Druckkissen führenden Auslaß aufweisendes Gehäuse umfaßt, daß eine das Gehäuse im Inneren teilende und eine Zwischenwand bildende elastische und axial abbiegbare Membran und eine der Membran gegenüber und im Abstand angeordnete steife Wand vorgesehen sind,

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wobei zwischen den Mittelbereichen beider eine Begrenzung in Form eines dünnen Spaltes gebildet ist, durch welchen das Druckmittel vom Einlaß in alle radialen Richtungen zum Auslaß strömt und wobei die Membran auf auf Belastungsänderungen des hydrostatischen Lagers zurückzuführende Druckänderungen im Auslaß mit einer Änderung der Spaltbreite und damit der Durchflußrate des Druckmittels anspricht, daß auf der anderen Seite der Membran im Gehäuse ein mit der Druckquelle in Verbindung stehender und eine hydraulische Unterstützung für die Membran bezüglich entgegengesetzt gerichteter Druckänderungen auf der Spaltseite bildender Hohlraum vorgesehen ist, mit Mitteln (Spalt), die den Fluß des Druckmittels zwischen dem Hohlraum und der Druckquelle einen Widerstand entgegensetzen und damit eine eine unerwünschte axiale Vibration der Membran verhindernde Dämpfungswirkung erzeugen .

Gemäß der Erfindung errichtet man also auf der Seite der Membran, die der Spalt bildenden Seite der Membran gegenübe.r liegt, eine hydrostatisch wirkende Dämpfungsanordnung, die vorgespannt wird vor derselben Druckquelle, die auch der Durchflußbegrenzung (dem Arbeitsspalt) Druckmittel zuliefert. Die Erfindung betrifft i*¹ diesem Zusammenhang insbesondere einen Regler, der Druckmittel einem einzigen hydrostatischen Lagerkissen zuliefert, wobei in neuartiger Weise das unter Druck stehende Druckmittel sowohl der Dämpfungsanordnung als auch dem den Durchfluß des Druckmittels begrenzten Spalt unter sämtlichen Arbeitsbedingungen zugeführt wird.

Schließlich weist die Erfindung in einer weiteren Ausgestaltung noch einen Anschlag für die Membran auf, die ein absolutes Verschließen des Arbeitsspaltes bei anfänglichem Druckaufbau durch die Druckquelle verhindert.

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Weitere Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Un- :teransprüche und in diesen niedergelegt.

Im folgenden werden Aufbau und Wirkungsweise eines Ausführungsbeispiels der Erfindung anhand der Figuren im einzelnen näher erläutert. Dabei zeigen:

Fig. 1 einen Querschnitt entlang der Linie 1-1

eines Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Reglers zur Steuerung und Kontrolle der Druckmitteldurchflußrate,

Fig. 2 einen Schnitt entlang der Linie 2-2 der Fig. 1 und

Fig. 3 in perspektivischer Darstellung die bei dem erfindungsgemäßen Regler verwendete Membran.

Wie Fig. 1 zeigt, umfaßt die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Steuerung und Regelung des kontinuierlichen Fluß eines Druckmittels von einer geeigneten Druckquelle 11 ein Gehäuse 10; dabei liegt der Druck der Druckquelle üblicherweise über etwa

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35,2 kg/cm und das Druckmittel wird einer Ausnehmung bzw. einem sogen. Lagerkissen (pad) 12 zugeleitet, das in die Oberfläche 14 eines Lagers 16 eingelassen ist und auf diese Weise ein hydrostatisches Lager 15 bildet zur festen und reibungslosen Lagerung eines Elementes 17, beispielsweise eines schweren Arbeitstisches eines Maschinenwerkzeugs während der von dem Arbeitstisch durchgeführten Gleitbewegungen nach vorn und zurück entlang des Lagers. Das Lagerkissen kann von beliebiger gewünschter Gestalt sein, wobei die sich gegenüberliegenden, Lagerschwellen 13 und 14 bildende Flächen üblicherweise einen Abstand zwischen 0,00254 bis 0,0128 cm zueinander aufweisen, in

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Abhängigkeit von der Größe des Lagerkissens und der zu tragenden Last, Der Schwellenspielraum erlaubt ein kontinuierliches Hinausfließen des unter entsprechendem Druck stehenden Druckmittels in sämtliche Richtungen weg von dem Lagerkissen 12.

Die Vorrichtung 10 umfaßt ein von Seitenblöcken 18 und 19 gebildetes Gehäuse, die Seitenblöcke sind dabei getrennt durch eine Zwischenplatte 21 und eine weitere Platte 22, sämtliche vier Elemente 18, 19, 21 und 22 weisen flache umfangsmäßige Oberflächen auf und sind mit Hilfe von Schraubbolzen 23 fest zusammengespannt, die sich durch zueinander ausgerichtete Bohrungen erstrecken, die winkelmäßig zueinander im Abstand gehalten durch die vier Teile laufen. Die Zwischenplatte 21 bildet ein Diaphragma bzw. eine Membran, die die bewegliche Wand eines dünnen Spaltes 25 definiert, durch welchen entlang der Kanten Druckmittel von der Druckquelle 11 fließt und mit einer von der jeweiligen Spaltbreite abhängigen Geschwindigkeit der Lagerausnehmung 12 bzw. dem Lagerkissen zugeführt wird. Belastungsänderungen in der Lagerung erzeugen Druckschwankungen in dem Regler und verursachen ein axiales Abbiegen der Membran und entsprechende Änderungen in der Rate des begrenzten Durchflusses des Druckmittels zu dem Lagerkissen in einer später noch zu beschreibenden Weise.

Zu diesem Zweck besteht die in Fig. 2 gezeigte Membran aus einem elastischen Material wie beispielsweise Stahl und ist beispielsweise zwischen seinen äußeren Umfangen mit einem ringförmigen Teilbereich 26 ausgestattet, der bei einer Dicke von 0,3 cm beispielsweise ausreichend dünn ist, um der Membran die für eine einwandfreie Reaktion auf beim Betrieb auftretende Druckänderungen notwendige axiale Flexibilität verleiht. Der Zentralbereich der Oberfläche 27 der Zwischenplatte 21 steht mit einer

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gegenüberliegenden parallelen Oberfläche 28 im Bereich einer axial vorspringenden knopfartigen Erhebung 29 in Wirkverbindung; diese knopfartige Erhebung 29 befindet sich im Zentrum der Innenwandseite der Platte 22 und bildet einen Spalt 25 mit einer Dicke von üblicherweise etwa 0,02 cm(0,008 Zoll)vnd einer gleichmäßigen Dicke über den gesamten Spaltbereich. Die kreisförmige Form des Spaltes ist bestimmt von dem äußeren Umfang der knopfartigen Erhebung 29, die den inneren Wandbereich eines ringförmigen Hohlraumes 30 definiert, der über öffnungen 31 in der Platte 22 mit einer ringförmigen Ausnehmung 32 in der Innenseite des Seitenblockes 19 des Gehäuses in Verbindung steht. Unter Druck stehendes Druckmittel aus dieser Ausnehmung 32 wird dem Druckkissen 12 zugeleitet durch einen Durchlaß 33, einen Fitting 34 und eine Rohrleitung 35.

Der dünne Bereich 26 der Membran ist angeordnet zwischen dem dickeren äußeren Umfang der Zwischenplatte 21 und einem kreisförmigen zentralen knopfartig vorstehenden Bereich 37, der an der dem Spalt 25 gegenüberliegenden Seite der Membran axial vorspringt. Der Endteil 38 dieses knopfartigen Bereiches 37 ist von der gegenüberliegenden Innenseite 48 des anderen Seitenblocks 18 des Gehäuses dufich einen engen Spalt 39 getrennt, dem von der Druckquelle Druckmittel zugeführt wird und der ein axiales Abbiegen der Membran zusammen mit einer Dämpfungswirkung ermöglicht, wie sogleich erläutert werden soll. Dabei wird von der Druckquelle 11 Druckmittel über den. Spalt 39 und eine öffnung 40 im Mittelpunkt der Membran zu dem den Durchfluß begrenzenden Spalt 25 geführt. Auf der gegenüberliegenden Seite steht der Spalt 39 über die öffnung oder Bohrung 41 in der Innenseitenwand des Seitenblocks 18 des Gehäuses mit einem Durchlaß 42 in Verbindung, der sich über einen Fitting 43 und eine Rohrleitung 44 zur Druckquelle erstreckt.

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In diesem Zusammenhang sind Vorkehrungen getroffen für eine rückseitige Unterstützung der Membran auf der dem Spalt 25 gegenüberliegenden Seite, so daß die auf gegenüberliegenden Seiten der Membran ausgeübten Kräfte dann gleich sind, wenn sich das Lager 15 unter normaler Belastung befindet und die Breite des Spaltes 25 so ist, daß das gewünschte Schwellenspiel 20 aufrechterhalten wird. Zu diesem Zweck steht der Spalt 39 um seine äußere Peripherie herum mit einer ringförmigen Ausnehmung 45 in Verbindung und setzt so die Rückseite des dünnen Bereiches 26 der Membran dem Druck der Druckquelle aus. Sichergestellt wird die Druckzuführung bzw. die Zuführung des Druckmittels hierzu durch einen begrenzten Durchlaß 46 zwischen der Ausnehmung 45 und dem Einlaßdurchlaß 42 für das Druckmittel.

Unter der Annahme, daß das Lager 15 sich unter normaler Belastung befindet und die auf entgegengesetzte Seite der Membran ausgeübten Kräfte sich im Gleichgewicht befinden, erzeugt der Durchfluß des Druckmittels durch den Spalt 25 einen Kissendruck der Lagerung, der ausreichend ist, um den gewünschten Schwellenabstand bzw. das gewünschte Schwellenspiel 20 zu erzeugen. Vergrößert sich jetzt der Druck der Belastung auf die Lagerung und verringert sich auf diese Weise das Schwellenspiel 20, dann wird dieser ansteigende Druck auf die Ausnehmung 32 zurückreflektiert und von dort zum Spalt 25, was zu einer"Abbiegung der Membran und damit zu einer Vergrößerung des Spaltes 25 führt. Dies ermöglicht wiederum einen Anstieg im Durchfluß des Druckmittels zu dem Lagerkissen und einen davon hergeleiteten Anstieg im Druck, der ausreichend ist, um die angestiegene Belastung ins Gleichgewicht zu bringen und den gewünschten Schwellenabstand 20 wieder herzustellen.

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Diese Wirkungsweise kehrt sich um als Folge einer Abnahme der Lagerbelastung, die begleitet ist von einer Aufweitung des SchwellenspieIs und einer entsprechenden Abnahme der sich auf die Spaltseite der Membran auswirkenden Kraft. Unter dem sich auf die Rückseite der Membran auswirkenden konstanten Druck wird diese wieder abgebogen, und zwar diesmal axial in Richtung nach rechts der Fig. 1 - bei stärkerer Lagerbelastung erfolgt eine Abbiegung der Membran nach links, wie gleich ersichtlich ist - so daß die Spaltbreite der Spalte 25 reduziert wird, bis auch der Lagerkissendruck ausreichend reduziert worden ist, um die neue Belastung ins Gleichgewicht zu bringen.

Gemäß einem wesentlichen Merkmal der Erfindung sieht die Erfindung nunmehr zur Verhinderung einer Vibration der Membran, die auftreten kann oder könnte in Verbindung mit der Genauigkeit der von dem Regler hervorgerufenen Beeinflussung des Druckmittelflusses zu dem Lagerkissen, Mittel vor zur Erzeugung einer verstärkten Wirksamkeit bei der hydraulischen rückwärtigen Unterstützung der Membran bzw. beim Aufbau eines Gegendrucks zur Dämpfung der axialen Bewegungen der Membran. Zu diesem Zweck ist die die knopfartige Erhebung 37 aufweisende Seite 38 der Membran in diesem Bereich groß genug gemacht und in ausreichender Nähe zu der gegenüberliegenden Wand 48 angeordnet, so daß dem dünnen dazwischenliegenden Spalt 39 ein wesentlicher Widerstand mit Bezug auf den seitlichen, in Kantenrichtung fließenden, in den Spalt hinein-oder hinausfließenden Fluß des Druckmittels verliehen wird, ein solcher Fluß des Druckmittels ist, wie leicht einzusehen ist, für eine axiale Abbiegung der Membran bei den weiter vorn schon beschriebenen Belastungsänderungen notwendig. Ein solcher sich einer Öffnung bzw. Schließbewegung des Spaltes 39 widersetzender Widerstand führt zu einer hydrau-

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lischen Dämpfungswirkung, die sich als außerordentlich wirksam bei der Verhinderung nachteiliger Vibrationen der Membran unter wechselnden Lasteinflüssen bei Benutzung herausgestellt hat. Dabei hat sich weiter herausgestellt, daß eine Spaltbreite in der Größenordnung von etwa 0,00254 cm für den Spalt 39 erwünscht ist, verglichen mit der größeren Spaltbreite von 0,02 cm des Spaltes 25. Darüber hinaus sieht die Erfindung Mittel vor, die ein vollständiges Verschließen des Spaltes 25 und damit ein Unwirksamwerden des Reglers unter abnormen Bedingungen, wie beispielsweise dem anfänglichen Druckaufbau des Druckmittels verhindern. Zu diesem Zweck ist an der inneren Wand der Platte 22 eine ringförmige Rippe 50 angeformt und erstreckt sich in Richtung auf die Membran und bildet einen mit der Membran in Wirkverbindung tretenden Anschlag aus, um eine nach rechts verlaufende axiale Ausbiegung dieser Membran, wie Fig. 1 am besten entnommen werden kann, zu begrenzen,und zwar bis zu einer Stellung kurz vor dem vollständigen Verschließen des Spaltes 25. Auf diese Weise wird auch während des anfänglichen Druckaufbaus des Versorgungsdruckes bis zum vollen Arbeitswert die ganze Zeit ein Pfad für den Durchfluß des Druckmittels bis zum Druckkissen selbst aufrechterhalten.

Bei hydrostatischen Lagern ist bekannt, daß der Druckmitteldurchfli-S durch das Schwellenspiel 20 eine kubische Funktion der Filmdicke bzw. der Weite dieses Spiels ist. Es ist deshalb bei den bisher beschriebenen Einzellagern wichtig, daß die Breite des Spaltes 25 genauestens in Übereinstimmung mit der erwünschten Filmdicke dimensioniert wird, um der Gleit- bzw. Wegführungsbahngeometrie innewohnende Variationen zu ermöglichen, der Film muß jedoch dünn genug sein, um den Fluß des Druckmittels innerhalb vernünftiger Grenzen zu halten. Bei einem Gehäuse, welches aus so vielen Elementen besteht, wie soeben beschrieben, ist es jedoch schwierig und extrem kostspielig, die die Spaltwände

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definierenden Teile zu formen und maschinell zu bearbeiten und einen Spalt der gewünschten Breite zu erzeugen. Um diesen Schwierigkeiten zu begegnen, sind in Übereinstimmung mit einem weiteren Merkmal der ^Erfindung ,Vorkehrungen getroffen, die eine Einstellung der Spaltbreite nach Installation des Reglers in der Umgebung ermöglichen, in welcher er für eine Dauerbenutzung eingebaut ist.

Zu diesem Zweck ist die die äußere Wand 28 des Spaltes 25 bildende Platte 22 dünn genug gemacht, so daß sie aufgrund einer von außen einwirkenden Kraft axial abbiegbar bzw. verschiebbar ist und daß sie nach Einstellen des Spalts auf die gewünschte Breite in dieser fixierten Position verbleibt. Zwar kann eine axiale Äbbiegung der Platte 22 durch Einstellmöglichkeiten verschiedener Art erfolgen, es wird jedoch vorgezogen, eine selektiv und von Hand betätigbare Differentialverschraübungsanordnung 51 zu verwenden, um ein in einer Bohrung 53 in dem Seitenblock 19 gleitendes Kolbenelement 52 nach vorn zu schieben; das Kolbenelement 52 liegt mit seinem inneren Ende 54 gegen den Mittelpunkt der Einstellplatte 22 an. Das Kolbenelement ist stangenförmig ausgebildet und wird durch einen in einem Schlitz 56 in den Seitenblock 19 gelagerten Querzapfen an einer Drehbewegung gehindert, dabei ist dem Kolbenring noch eine abdichtende Ringdichtung 57 zugeordnet. Der äußere Endbereich des Kolbenelementes 52 ist mit einem Gewinde 58 versehen, welches in Wirkverbiridung steht mit einem Innengewinde einer Hülse 59, die selbst noch ein Außengewinde 61 mit gröberer Steigung aufweist und in das äußere Ende der Bohrung in dem Seitenblock 19 eingeschraubt ist. Um die Hülse 59 von Hand drehen zu können, ist ihr Kopf 60 mit einer Ausnehmung versehen; aufgrund der sich in ihren Steigungen nur geringfügig unterscheidenden Gewinde ist es möglich, das Kolbenelement mit extrem geringer

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Vorschubrate zu verschieben und auf diese Weise eine sehr feine axiale Einstellung der Spaltwand 28 und somit der Spaltbreite des Spaltes 25 zu bewirken.

Bei der Herstellung des so beschriebenen Reglers werden die Oberflächen der Seiten 18 und 19, der Trenn- bzw. Zwischenplatte 21 und der Platte 22 mit zweckmäßiger und vernünftiger Genauigkeit bearbeitet, um dem Spalt 25, dann, wenn die Teile zusammengebaut sind, eine etwas größere Breite zu verleihen "" als notwendig ist, um eine Durchflußrate zu erzeugen, die die gewünschte Filmdicke in der Lagerschwelle hervorruft.

Nachdem dann der Regler zur Verwendung in die jeweilige Maschine eingebaut ist und hydraulisch mit ihr verbunden ist, wie soeben beschrieben, wird das Kolbenelement 52 durch Einstellung der Differentialverschraubung 51 bis zum Anschlag mit dem Mittelpunkt der Platte 22 gebracht und dann die Vorschubbewegung noch so weit fortgeführt, bis das gelagerte Element 17 ausreichend angehoben ist, ur« für den gewünschten Schwellenabstand der Lagerung 15 zu sorgen.

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Regler zur Steuerung und Kontrolle der kontinuierlichen Durchflußrate eines Druckmittels zu dem Druckkissen (Lagerausnehmung) eines hydrostatischen Lagers und durch das Lagerspiel (Schwellenabstand), dadurch gekennzeichnet, daß der Regler ein einen mit einer Druckquelle für ein Druckmittel in Verbindung stehenden Einlaß (44, 43, 42} und einen zum Druckkissen (12) führenden Auslaß (33, 34, 35) aufweisendes Gehäuse (10, 18, 19) umfaßt, daß eine das Gehäuse im Inneren teilende und eine Zwischenwand (21) bildende elastische und axial abbiegbare Membran und eine der Membran gegenüber und im Abstand angeordnete steife Wand(22) vorgesehen sind, wobei zwischen den Mittelbereichen (28, 27) beider eine Begrenzung in Form eines dünnen Spaltes (25) gebildet ist, durch welchen das Druckmittel vom Einlaß in alle radialen Richtungen zum Auslaß strömt und wobei die Membran auf auf Belastungsänderungen des hydrostatischen Lagers (15) zurückführende Druckänderungen im Auslaß mit einer Änderung der Spaltbreite und damit der Durchflußrate des Druckmittels anspricht, daß auf der anderen Seite der Membran (21) im Gehäuse (18) ein mit der Druckquelle (11) in Verbindung stehender und eine hydraulische Unterstützung für die Membran bezüglich entgegensetzt gerichteter Druckänderungen auf der Spaltseite bildender Hohlraum (45) vorgesehen ist mit Mitteln (Spalt 39), die den Fluß des Druckmittels zwischen dem Hohlraum (45) und der Druckquelle (11) einen Widerstand entgegensetzen und damit eine eine unerwünschte axiale Vibration der Membran verhindernde Dämpfungswirkung erzeugen.

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2. Regler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Flußbegrenzung einen dünnen, von der Rückseite (38} der Membran (21) und einen gegenüberliegenden Wandbereich (48) des Gehäuses (18) gebildeten Spalt (39) umfassen, der ein hydraulisches, sich axialen Vibrationen der Membran (21) widersetzendes Dämpfungsglied darstellt.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das von der Druckquelle (11) kommende Druckmittel dem Mittelpunkt des ersten Spaltes (25) über eine sich durch die Membran (21) erstreckende Öffnung (40) zugeführt ist, derart, daß das Druckmittel durch diesen Spalt (25) in alle radialen Richtungen von der Öffnung (40) nach außen und dann zum Druckkissen (12) fließt.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-3, dadurch gekennzeichnet, daß das durch die Membranöffnung (40) fließende Druckmittel dieser Öffnung auch in Querrichtung dazu und durch den zweiten Spalt (39) zuführbar ist.
5. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1-4, dadurch gekennzeichnet, daß air Begrenzung der gegebenenfalls eine Schließung des ersten Spaltes (25) hervorrufenden Abbiegung der Membran (21) beim anfänglichen Druckaufbau in der Druckquelle (11) Anschlaganordnungen (ringförmige Rippe 50) vorgesehen sind, um einen kontinuierlichen Druckmittelf lüß von der Druckquelle (11) zum Lagerkissen (12) auch beim Druckaufbau aufrechtzuerhalten.
6. Begier nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 - 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Kohlraum zur hydraulischen Unterstützung der Membran (21) gebildet ist aus einer Ringnut

" (45) im Seitenblock (18) des Gehäuses (10), dem über einen

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begrenzenden Durchlaß (46) Druckmittel von der Druckquelle (11) zuführbar ist.
7. Regler nach einem oder mehreren der Ansprüche 1-6, dadurch gekennzeichnet, daß der Anschlag (50) einstückig mit der der Membran (21)gegenüberliegenden steifen Wand (22) ausgebildet ist.

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