DE2261217B2

DE2261217B2 - Verfahren zum Herstellen von Gasentladungs-Anzeige- oder Speichervorrichtungen

Info

Publication number: DE2261217B2
Application number: DE19722261217
Authority: DE
Inventors: Peter Hans Haberland; Frank Min-Tsong Lay; Thomas Joseph Rhinebeck Murphy; Marvin Benjamin Skolnik; Oliver Sanders Spencer; Peter Richard Lake Katrine Wagner; Howard Lewis Whitaker; Donald Miller Wilson
Original assignee: International Business Machines Corp
Current assignee: International Business Machines Corp
Priority date: 1971-12-30
Filing date: 1972-12-14
Publication date: 1974-10-17
Also published as: SE389214B; FR2169912A1; FR2169912B1; GB1399548A; DE2261217C3; NL7215433A; DE2261217A1; NL174100B; CH543150A; NL174100C

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Gasentladungs-Anzeige und Speichervorrichtungen bzw. mit Gaseiitladu-'gsstrecken arbeitende Anzeigetafeln mit Speicherwirkung.

Gasentladungs-Anzeigetafeln dieser Art bestehen aus einer flachen Kammer, die mit einem ionisierbaren Gas gefüllt ist, und auf deren beiden Seiten sich parallele elektrische Leiter befinden, wobei die Leiter dereinen Seite orthogonal zu denen der anderen Seite verlaufen. Jeder Kreuzungspunkt stellt eine Entladungsstrecke dar, die selektiv zum Leuchten gebracht werden kann, indem man durch elektrische Signale auf zwei ausgewählten Leitungen am Kreuzungspunkt die Zündspannung überschreitet.

Solche Gasentladungs-Anzeigetafeln eignen sich sehr gut zur optischen Darstellung alphanumerischer und graphischer Daten, aber auch bei entsprechender Ausgestaltung zur Speicherung von Daten, die in den einmal ausgewählten Zellen der Ionisationszustand erhalten und abgefragt werden kann.

Die folgenden Betrachtungen sowie das später beschriebene Ausführungsbeispiel sind auf Gasentladungs-Anzeigetafeln beschränkt. Die Prinzipien gelten aber ebenso für Gasentladungs-Speichervorrichtungen in Tafelform.

Es ist bekannt, Gasentladungs-Anzeigetafeln herzustellen, indem man auf Trägerplatten aus Glas par allele Leiterstreifen aufbringt, diese dann mit einer dielektrischen Schicht bedeckt, und dann je zwei Plat ten mit sich kreuzenden, einander zugekehrten Leitern zusammenschweißt. Bei der Herstellung treuen jedoch häufig verschiedene Probleme auf: die dielektrische Schicht wird mitunter nicht gleichförmig, so daß innerhalb einer Anzeigetafel die Gaszellen unterschiedliche Eigenschaften haben können.

Aus der deutschen Offenlegungsschrift 2 041 938 ist bereits eine Gasentladungs-Anzeigetafcl bekannt, die aus zwei Glasplatten hergestellt ist, die auf ihrer Innenseite je einen Satz zueinander orthogonaler Leiter aufweisen, die durch eine dielektrische Schutzschicht aus Natronsiükatglas geschützt sind. Als Werkstoffe für die Leiter sind die Metalle Cu, Al, Au

und Ag sowie auch ZnO genannt. Aus der USA.-Patentschrift 3499167 ist die Herstellung solcher Leiter aus ZnO, Al, Au, Ag und Cu durch Photoätzverfahren bekannt.

In der älteren deutschen Patentanmeldung

ίο ρ 2 236 872.5 wurde bereits vorgeschlagen,-die Leiter als Schichtenleiter mit einer Schichtenfolge Chrom-Kupfer-Chrom im Photoätzverfahren herzustellen und die oberste Chromschicht teilweise in Chromoxid umzuwandeln. Dabei ist es aus der Kondensator-Her -

stellung (USA.-Patentschrift 3 457 615) bekannt, zur besseren Haftung eines Dielektrikums an einer metallischen Chromschicht auf deren Oberfläche einen

CrO-FiIm zu bilden.

Bei Gasentladungs-Anzeigetafeln i\m Cr-Cu-Cr-Leitern, die an sich schon sehr dünn sind und bei der Fertigung leicht mechanisch beschädigt werden können, ergeben sich bei der Herstellung jedoch insoweit Schwierigkeiten, daß bei den verwendeten hohen Temperaturen die Leiterstreifen im Laufe der verschiedenen Herstellung-Verfahrensschritte angegriffen werden, insbesondere an ihren Enden, die später der Kontaktgabe dienen sollen.

Die Erfindungsoll hier eine Verbesserung schaffen

und eine vereinfachte Herstellung von Gasentladungs-Anzeigetrieln ermöglichen, die gleichmäßige

elektrische und mechanische Eigenschaften aufweisen und einwandfreie Leitermuster haben.

Dies wird erfindungsgemäß dadurch verwirklicht, daß die Leiter so angebracht werden, daß sie alle in einem vorgegebenen Abstand von dem Rand der Trägerplatte enden und, daß die Leiter vor dem Aufbringen der dielektrischen Schicht einer oxydierenden Gasatmosphäre zur Bildung von Chromoxyd als Passivierungsschicht ausgesetzt werden, wobei die oxydierende Gasatmosphäre zu *iQ% aus Stickstoff, zu 20% aus Wasserstoff und Wasserdampf besteht.

Vorzugsweise geht man dabei so vor, daß die dielektrische Schicht derart aufgebracht wird, daß sie die auf den Trägerplatten angebrachten Leiter allseitig umgibt.

Damit erhält man eine Gasentladungs-Anzeige- oder Speichervorrichtung, bei der die durchsichtige oder durchscheinende die aus einem Chrom-Kupfer-Chrom-Laminat bestehenden Leiter bedeckende Schicht vorteilhafterweise aus einer in einem Trägermaterial aus Nitrozellulose-Polymer-Bindemittel in Amylacetat suspendierten Glasfritte durch Brennen erzeugt ist.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im folgenden an Hand von Zeichnungen beschrieben. Ef zeigt

Fig. 1 die schematische, perspektivische Darstellung einer üasentladungs-Anzeigetafel,

Fig. 2 die perspektivische Darstellung einer Trägerplatte aus der Anzeigetafel gemäß Fig. 1, mit aufgebrachtem Laminat für die Leiterstreifen,

Fig. 3 eine Schnittansicht der Trägerplatte mit Laminat gemäß Fig. 2,

Fig. 4 eine Schnittansicht der Trägerplatte gemäl Fig. 3 nach Ausbildung von parallelen elektrischer Leitern aus dem Laminat.

Fig. 5 eine Schnittansicht der Trägerplatte gemäl Fig. 4 nach Aufbringen der dielektrischen Schutz

Fig.'6 die perspektivische Darstellung einer unteren Trägerplatte mit einem Muster paralleler elektrisier Leiter, nach Aufbringen eines vorgeformten Dicbtungsrohmens und mehrerer Abstandshalter,

Fig. 7 die perspektivische Ansicht einer oberen

Trägerplatte mit einem Rohr zum Auspumpen und

Füllen der Kammer,

"' Fig- ^ ^emc Teilansicht einer Trägerplatte mit angegriffenen Leiterenden.

Die in F i g. 1 schematisch gezeigte Anzeige- oder Speichervorrichtung, im folgenden Anzeigetafel genannt, enthält eine obere Glasplatte 10 und in einem bestimmten Abstand von dieser und abgedichtet mit ihr verbunden, eine untere Glasplatte 12, die zwischen sich eine Kammer einsdüießen, die mit einem zum Leuchten anregbaren Gas gefüllt ist. Parallele elektrische Leiter 21 bis 28 sind auf der Unterseite der Glasplatte 10 angeordnet und dienen als Elektroden zur Zuführung eines elektrischen Signals zu einer Seite einer ausgewählten Entladungsstrecke. Außerdem sind parallele elektrische Leiter 31 bis 40 auf der Oberseite der Glasplatte 12 angeordnet und dienen als Elektroden zur Zuführung eines elektrischen Signals zur anderen Seite einer ausgewählten Entladungsstrecke oder Gaszelle. Eine Gaszelle ist jeder Bereich der Gasfüllung, der an einem Koordinatentchnittpunkt zwischen einem der oberen parallelen Leiter 21 bis 28 und einem der unteren parallelen Leiter 31 bis 40 liegt. Eine Gaszelle wird ausgewählt durch Anlegen eines elektrischen Signals an einen der parallelen Leiter 21 bis 28 und an einen der parallelen Leiter 31 bis 40. Die Gaszelle am Koordinatenschnittpunkt des ausgewählten Leiterpaares wird gezünde i. Zum Herstellen der in Fig. 1 gezeigten Anzeigetafel gehören zahlreiche Verfahrensschritte. In der anschließenden Beschreibung werden die Grundschritte des Verfahrens aufgeführt. Die Grundschritte können wie folgt zusammengefaßt werden:

1. Zwei Glasplatten, die z. B. aus Natron-Kalk-Silikat-Glas bestehen, werden auf die gewünschte Größe zugeschnitten. Die Platten überlappen sich nach Darstellung in Fig. 1 in der fertigen Anordnung zum größten Teil. Der Überlappungsbereich dient als Abbildungsteil der Anzeigetafel.

2. Ein erster dünner, etwa 1000 A dicker Film 70, Fig. 3, aus Chrom wird auf einer Seite einer jeden Glasplatte niedergeschlagen. Ein zweiter, elwa 10 000 A dicker Kupferfilm 71, F i g. 3, wird auf dem ersten Film niedergeschlagen. Ein dritter, etwa 1000 A dicker Chromfilm 72, Fig. 3, wird dann auf dem Kupferfilm einer jeden Glasplatte niedergeschlagen. Das Aufbringen dieser dünnen Schichten zur Bildung eines Laminates 60, Fig. 2, erfolgt vorzugsweise durch Aufdampfen im Vakuum. Aus später erklärten Gründen endet das Laminat 60 in einem vorgegebenen Abstand vor zwei gegenüberliegenden Kanten der Glasplatten, wie in F i g. 2 dargestellt.

3. In einem photolithographischen Verfahren wird das Laminat in mehrere parallele Leitungen (z.B. 31 bis 40, Fig. 4) umgewandelt, die als elektrische Leiter dienen. Die parallelen Leiter enden in einem vorgegebenen Abstand vor den Kanten der Glasplatten (Linie 45 in Fig. 1).

4. Die beiden Glasplatten werden in einer GasatmosDhärc erwärmt, die aus 90% Stickstoff und 1.11' ι Wasserstoff und Wasserdampf besteht. Die äußere Oberfläche des dritten, aus Chrom bestehenden Dünnf Ums wird dadurch zur Passivierung oxydiert, und die Chrornoxydaberfläche verhin-

den die Auflösung der laminierten parallelen Leiter in einer nachfolgenden Überzugsoperation.

5. Ein Glasbrei (Glasfritte) wird auf die parallelen Leiter einer jeden Glasplatte aufgetragen. Dabei

ίο handelt es sich vorzugsweise um Bleiglas. Der Glasbrei wird in gleichmäßiger Dicke durch Präzisionsgeräte aufgesprüht. Die beiden Glasplatten werden dann in einem Ofen so weit erwärmt, daß die Glasfritte zum Fließen kommt, so daß

is schließlich ein Glasüberzug80, F i g. 5, die parallelen Leiter vollständig bedeckt. Die parallelen Leiter enden, wie schon gesagt, in einem bestimmten Abstand vor den Kanten einer jeden Glasplatte, und da der Bleiglasüberzug über die

Enden dieser paralleler Leiter hinausgeht, bind die oberen, die seitlichen und auch die an den Enden liegenden Außenf!. ,»;hen eines jeden parallelen Leiters durch den Blej^lasüberzug 80 bedeckt. Die Enden der parallelen Leiter werden

=5 mit Glas überzogen, um bei den nachfolgenden

Erwärmungsschritten des Prozesses ein Angreifen und Zerstören der Endbereiche dieser Leiter zu verhindern.
Der Bleiglasüberzug verhindert außerdem eine

direkte Berührung der parallelen Leiter mit der Gasfüllung, wenn diese in die fertige Anzeigetafel eingefüllt wird.

Der Bleiglasüberzug dient weiterhin als dielektrische Schicht, an der sich Wandladungen an-

ir. sammeln können, wenn die parallelen Leiter als

Elektroden für den Betrieb der Anzeigetafel benutzt werden. Außerdem liefert der Bleiglas-Überzug eine gewisse mechanische Festigkeit und stützt die dünnen laminierten Leiter, wodurch diese thermischer und mechanischer Spannung und Stoßen während und nach der Herstellung widerstehen können.

(t. Die beiden Glasplatten werden am Umfang in einem bestimmten Abstand voneinander durch ein Dichtungsmaterial verbunden, wodurch sie

zwischen sich eine Kammer für die Gasfüllung bilden. Das Dichtungsmaterial ist vorzugsweise fein gemahlenes Bleiglas und wird in einem Zellulosebinder angeordnet, der in Form eine; rechteckigen Rahmens 90, Fig. 6, geschnitter

ist. Der innere Umfang des rechteckigen Rah mens hat die gewünschten Maße der Kammei für die Gasfüllung. Der Rahmen wird auf die di elektrische Schicht einer Glastafel gesetzt unc diese Tafel dann in einem Ofen erwäimt, bis de Zellulosebinder des Dichtungsmaterials ausge trieben ist, um Blasenbildung oder eine Ver dunkln.ig des Dichtungsmittels zu verhindern Mit dem Aufheizen werden auch mögliche Ver unreinigungen entfernt, die nachträglich in di< Gasfüllung eindringen könnten. Glasstäbe 91 92, 93, 94, Fig. 6, geeigneten Durchmesser sorgen für die richtige Höhe der Kammer um werden in gegebenen Abständen am innere

Umfang des Dichtungsrahmens angeordnci Diese Abstandsstäbe haben einen Abstand vo etwa 1,6 mm vom inneren Umfang des Dich tungsrahmens. Die andere Glasplatte wird au

die AbslaiKkstabe aufgesetzt, wobei der dielektrische Ble1gias.ubcr7.ug nach unten auf das Dichtungsmittel und die Abstandsstäbe zu liegen kommt. Ein hohle» Glasrohr 50. Fig. I, wird in eine Bohrung in der oberen Platte eingesetzt und Dichtungsmaterial 98, F i g. 7, um dieses Glasrohr hcrumgclegt. Das ganze wird dann in einen Ofen gesetzt, horizontal ausgerichtet und erwärmt, bis das ate Dichtungsmaterial dienende Bleiglas wieder verfließt. So werden die Glasplatten miteinander, und das Glasrohr mit der oberen Glasplatte gasdicht verbunden.

7. Das Glasrohr 50 wird an eine Vakuumpumpe angeschlossen. Die Kammer zwischen den beiden Glasplatten wird luftleer gepumpt und gleichzeitig die Tafel erwärmt, wodurch Feuchtigkeit und unerwünschte Gase, die aus dem Dichtungsmaterial entweichen, aus der Kammer entfernt werden. Nachdem die Kammer luftleer gepumpt ist, wird sie mit einem leuchtfähigen Gas gefüllt. Ah Gasfüllung kann ein einzelnes Gas oder auch ein Gemisch verschiedener Gase verwendet werden. Ein geeignetes Gemisch für die Gasfüllung besteht aus 99,9% Neon und 0,1% Argon. Die luftleere Kammer wird mit dem leuchtfähigen Gas gefüllt, bis der Druck in der Kammer 600 bis 700 Torr erreicht.

8. Die dielektrische Schicht und der äußere oder dritte, aas Chrom bestehende Diinnfilm werden in den Endbereichen der parallelen Leitungen so entfernt, daß elektrische Verbindungen zu den freigelegten Kupferenden hergestellt werden können. Die dielektrische Schicht kann durch Eintauchen in eine Salzsäure enthaltende Lösung und die dritte, aus Chrom bestehende Schicht durch Eintauchen in eine Kaliumhexacyano-ferrat-l.osungentfernt werden. Damit ist die Herstellung der Anzeigetafel beendet, und sie kann durch Anlegen elektrischer Signale an die parallelen Leiter betrieben werden.

Beim Niederschlag der Leiter 3t bis 40 auf der unteren Platte 12 und der Leiter 21 bis 28 auf der oberen Platte 10 war es bisher üblich, sie überall bis zum Ende der entsprechenden Glasplatten zu führen. Die Draufsicht eines Teiles der unteren Glasplatte 12 in Fig. 8, bei welcher die obere Platte 10 entfernt ist, zeigt das. Oie Leiter 31 bis 40 wurden darstellungsgemäß überall bis zur rechten Kante der Glasplatte 12 geführt. Die laminierten parallelen Leiter wurden später mit dem Glasüberzug 80 überzogen, der die gesamte Oberfläche der Glasplatte 12 bedeckte. Die nach außen liegenden Endflächen der laminierten parallelen Leiter 31 bis 40, die mit der rechten Kante der Platte 12 bündig schlossen, wurden jedoch von dem später aufgebrachten Glasüberzug 80 nicht bedeckt. Während eines nachfolgenden Erwärmungsschrittes der Glasplatten 12 und 10 in einem Ofen zu ihrer Vereinigung durch Verfließen der am Umfang befindlichen Glasfrittc fand eine unerwünschte Reaktion statt. Die freiliegenden Enden der Kupferschicht in den parallelen Leitern nahmen an der Reaktion teil, wodurch sie zusammen mit den benachbarten Chromschichtcn angegriffen und erodiert wurden. Der Angriffsbcrcich ist in Fig. cS durch die dunklen Rächen rechts bei den parallelen Leitern 31 bis 40 dargestellt. Der Endbcrcich des Kupfers in den parallelen Leitern wurde in unterschiedlichem Maße angefressen, und in einigen Fällen wurde sogar die ganze Knp'ersehicht in einem oder mehreren parallelen Leitern von der Kanlc der Glasplatte 12 wegerodiert, wie es z. B. bei dem Leiter 36 in Fig. 8 dargestellt ist.

Die Bereiche der Kupferschicht in der Nähe der

rechten Kante der Glasplatte 14 werden als elektrische Kontakte benutzt, und daher muß sichergestellt werden, daß die Kupferschicht eines jeden parallelen laminierten Leiters im wesentlichen die gleiche Dicke und Breite aufweist und nicht ausgefressen oder voll-

i" ständig erodiert ist. Der in Fig. 8 gezeigte Zustand macht elektrische Verbindungen unzuverlässig und reduziert somit die Arbeitskapazität der Anzeigetafel.

Um das Problem des Ausfressens oder der Erosion

>s an den Enden der laminierten parallelen Leiter zu lösen, wird z. B. die Glasplatte 12 nach rechts so verlängert, daß die laminierten parallelen Leiter 31 bis 40 je ca. 6,4 mm vor der rechten Kante der Platte 12 enden. Das ist in Fig. t gezeigt, wo die laminierten

*" parallelen Leiter 31 bis 40 in einem gegebenen Abstand von der rechten Kante der unteren Platte 12 aufhören (angezeigt durch die gestrichelte Linie 45). In gleicher Weise laufen die linken Enden der laminierten parallelen Leiter31 bis40 in Fig. I nicht ganz

»5 bis zur linken Kante der unteren Platte 12. Die laminierten parallelen Leiter 21 bis 28 auf der unteren Seite der oberen Platte 10 reichen ebenfalls nicht ganz bis zum linken und rechten Rand dieser Platte. Demzufolge bedeckt späte« der dielektrische Glasüberzug

3" 80 (Fig. 5) sowohl die an den Enden liegenden als auch die seitlichen und die oberen Außenflächen eines jeden der laminierten parallelen Leiter 31 bis 40 vollständig, da er über die gesamte Oberfläche der Platte 12 reicht. Analoges gilt für die Leiter und den Glas überzug auf der Platte 10. Bei einer nachfolgenden Erwärmung zur Verbindung und Abdichtung der Platten 10 und 12 sind dann die Endbereiche der laminierten parallelen Leiter durch den Glasüberzug geschützt, der sie vollständig umgibt, und die uner- wünschte Reaktion und Erosion der Anschlußbereiche der laminierten Leiter werden verhindert.

Die Leiter 31 bis 40 werden später geprüft, um festzustellen, ob die Kupferschichten einwandfrei und ohne Leitungsunterbrechungen sind.

Die Glasplatten 10 und 12 mit den parallelen Leitern werden in einer Gasatmosphäre erhitzt, die aus 90% Stickstoff, 10% Wasserstoff «uid Wasserdampf besteht. Die Temperatur des Gase» wird um 8,5° C pro Minute bis auf 525° C angehoben. Die Tempera-

tür wird 80 Minuten lang beibehalten. Dadurch werden alle Teile der Platten etwa 50 Minuten lang auf einer Temperatur von 525° C gehalten. Die Atmosphäre wird dann mit einer Änderungsgeschwindigkeit von 3,2° C pro Minute auf 300° C abgekühlt. An

diesem Punkt kann die Abkühlung beschleunigt werden. Risse der Glasplatte oder der Ofenstruktur sind jedoch zu vermeiden. In diesem Vorgang wird die Oberfläche der Chromstrerfen, die auf den Kupferstreifen angeordnet sind (31 bis 40 in F i g. 4) oxydiert,

um sie für das nachfolgende Aufbringen von dielektrischem Material (Glas) zu passivieren.

Die laminierten Leiter (Fig. 4) werden nunmehr mit einer dielektrischen und schützenden Schicht überzogen, indem bei den Glasplatten 10 und 12 die jenige Seitenfläche, welche die Leitungsmuster trägt, ganz mit einer dünnen Bleiglasschicht bedeckt wird. Hierzu wird ein Glasbrei mit einer Sprühpistole auf- § petraeen und dann im Ofen zum Fließen eebracht.

Die Bleiglasschicht hat folgende Wirkungen;

(1) Sie schützt die parallelen Leiter davor, sich bei den nachfolgenden Herstellungsschritten, in denen auch starke Erwärmungerfolgt, zu verändern bzw. mit der umgebenden Atmosphäre zu reagieren:

(2) Sie trennt beim späteren Betrieb die Leiter von der Gasfüllung und wirkt gleichzeitig als Dielektrikum;

l[3) Sie stellt eine mechanische Unterstützung der relativ dünnen parallelen Leiter dar, die dadurch größeire Stoß- und Zugbeanspruchungen überstehen können.

Für den Glasbrei, welcher auf die Platten aufgesprüht wird, benutzt man feines Bleiglaspulver, das man zuerst zubereiten muß.

Demgemäß sind die laminierten parallelen Leiter 21 bis 28 auf der oberen Platte 10 und 31 bis 40 auf der unteren Platte 12 (Fi g. 1) mit dem dielektrischen Glasüberzug 80 vollständig abgedeckt. Teile dieses Überzugs sowie der oberen Chromschicht des Laminats müssen entfernt werden, um die Enden der Kupfefstreifen als Kontaktstellen für elektrische verbindungen (ζ. B. Flachstecker) freizulegen. Der dielektrische überzug wird durch Eintauchen des rechten Endes der Glasplatte 12 für 30 Sekunden in eine Lösung aus gleichen Anteilen von Salzsäure und Wasser entfernt. Die Eintauchtiefe in dieses Säurebad sollte ausreichen, um den dielektrischen Überzug von den Enden der Leiter 31 bis 40 in Fig. 1 zu entfernen, andererseits darf die Säure jedoch die Platte 10 nicht erreichen. Die Tafel wird herausgenommen und in Leitungswasser getaucht. Der dielektrische Überzug wird geprüft. Ist er noch nicht entfernt, wird der Vorgang so lange wiederholt, bis der Überzug entfernt ist. Es ist besonders darauf zu achten, daß die äußere Chromschicht der laminierten parallelen Leiter 31 bis 40 dabei nicht angegriffen wird. Dies zeigt sich durch Ellasenbildung an, und dann sollte der Prozeß sofort beendet werden.

Als nächstes wird die rechte Seite der unteren Platte 12 genauso tief in ein Bad getaucht, welches aus einer Lösung von 4 I destilliertem Wasser, 17 g Natriumhydroxyd und ca. 450 g Kaliumhexacyano-ferrat besteht. Die Platte wird vorsichtig in dieser Lösung hin- und herbewegt, bis das ganze Chrom der äußeren Schicht der laminierten parallelen Leiter 31 bis 40 entfernt ist. Der Vorgang kann etwa drei Stunden dauern. Die

ίο Platte wird dann herausgenommen, mit Wasser abgespült und mit Stickstoff oder Luft trockengeblasen. Die Endbereiche der Kupferstreifen der laminierten Leiter 31 bis 40 der Platte 12 in Fig. 1 liegen jetzt frei und können als elektrische Kontakte benutzt werden. Die beiden vorhergehenden Operationen werden wiederholt, um den dielektrischen Glasüberzug und den äußeren Chromüberzug von den laminierten parallelen Leitern 21 bis 28 an der linken Seite der oberen Tafel 10 zu entfernen. Damit ist die Herstellung der Gasentladungs-Anzeigetafel abgeschlossen.

Wenn die Kontaktenden der parallelen Leiter wegen der Konstruktion der verwendeten Kontaktleisten bis an die Enden der Glasplatten reichen müssen, können die nicht von den Leitern bedeckten Endbereiche der Glasplatten abgeschnitten werden, wie dies in F i g. 1 durch die gestrichelte Linie 45 bei der Glasplatte 12 gezeigt ist.

Zu einer Prüfung der Anzeigetafel wird an alle Leiter 21 bis 28 der oberen Glasplatte 10 und alle Leiter 31 bis 40 der unteren Glasplatte 12 eine elektrische Spannung von 180 bis 200 Volt angelegt. Damit werden alle Gaszellen gezündet. Danach werden elektrische Signale an ausgewählten Leitern auf den Platter 10 und 12 zur Zündung ausgewählter Gaszellen ange legt, die durch die Koordinatenschnittpunkte der par allelen Leiter 21 bis 28 einerseits und 31 bis 40 ande rerseits definiert sind, um die einzelnen Zellen selekti¹ zu prüfen.

Hierzu 5 Blatt Zeichnungen

409 545

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Claims

Patentansprüche:

1. Verfahren zum Herstellen von Gasentladungs-Anzeige- oder Speiehervornchtungen aus Trägerplatten mit jeweils darauf angebrachten parallelen Lettern, die durch eine durchsichtige oder durchscheinende Schicht geschützt sind, wobei die Leiter durch Photoützverfahren aus einem Chrom-Kupfer-Cbrom-Laminat hergestellt werden, dadurch gekennzeichnet, daß die Leiter so angebracht werden, daß sie alle in einem vorgegebenen Abstand von dem Rand der Trägerplatte enden und, daß die Leiter vor dem Aufbringen der dielektrischen Schicht einer oxydierenden Gasatmosphäre zur Bildung von Chromoxyd als Passivierungsschicht ausgesetzt werden.

2. Verfahren nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß die oxydierende Gasatmosphäre zu 90·.«·· aus Stickstoff, zu W% Wasserstoff und Wasserdampf besteht.

3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die dielektrische Schicht derart aufgebracht wird, daß sie die auf den Trägerplatten angebrachten Leiter allseitig umgibt.