DE2261217C3 - Verfahren zum Herstellen von Gasentladungs-Anzeige- oder Speichervorrichtungen - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Gasentladungs-Anzcige- und Speichervorrichtungen bzw. mit Gasentladungsstrecken arbeitende Anzeigetafeln mit Speicherwirkung.

Gasentladungs-Anzeigetafeln dieser Art bestehen aus einer flachen Kammer, die mit einem ionisierbaren Gas gefüllt ist, und auf deren beiden Seiten sich parallele elektrische Leiter befinden, wobei die Leiter der einen Seite orthogonal zu denen der anderen Seite verlaufen. Jeder Kreuzungspunkt stellt eine Entladungsstrecke dar, die selektiv zum Leuchten gebracht werden kann, indem man durch elektrische Signale auf zwei ausgewählten Leitungen am Kreuzungspunkt die Zündspannung überschreitet.

Solche Gasentladungs-Anzeigctafeln eignen sich sehr gut zur optischen Darstellung alphanumerischer und graphischer Daten, aber auch bei entsprechender Ausgestaltung zur Speicherung von Daten, die in den einmal ausgewählten Zellen der lonisationszustand erhalten und abgefragt werden kann.

Die folgenden Betrachtungen sowie das später beschriebene Ausführungsbeispiel sind auf Gasentladungs-Anzeigetafcln beschränkt. Die Prinzipien gellen aber ebenso fur Gasentladungs-Speichervorrichlungen in Tafelform.

Es ist bekannt, Gasentladungs-Anzeigetafeln herzustellen, indem man auf Trägerplatten aus Glas parallele Lederstreifen aufbringt, diese dann mit einer dielektrischen Schicht bedeckt, und dann je zwei Platten mit sich kreuzenden, einander zugekehrten I.ei-HTii zusammenschweißt. Hei der Herstellung treten jedoch häufig verschiedene Probleme auf: die dielektrische Schicht wird mitunter nicht gleichförmig, so daß innerhalb einer Anzeigetafel die (ias/ellen unterschiedliche Kigenschaften haben können.

Aus der deutschen Offenlegungssehriit 2 041^38 ist bereits eine (/asentladimgs-Anzeigetafel bekannt, die aus zwei Glasplatten hergestellt ist. die auf ihrer Innenseite je einen Satz zueinander orthogonaler Leiter aufweisen, die durch eine dielektrische Schutzschicht aus Natronsilikatglas geschützt sind. Als Werkstoffe für die Leiter sind die Metalle Cu, Al, Au und Ag sowie auch ZnO genannt. Aus der USA.-Palentschrift 3 499 167 ist die Herstellung solcher Leiter aus ZnO, Al, Au, Ag und Cu durch Photoätzverfahren bekannt.

In der älteren deutschen Patentanmeldung ίο P 2 236 S72.5 wurde bereits vorgeschlagen, die Leiter als Schichtenleiter mit einer Schichtenfolge Chrom-Kupfer-Chrom im Photoätzverfahren herzustellen und die oberste Chromschicht teilweise in Chromoxid umzuwandeln. Dabei ist es aus der Kondensator-Heri;, stellung (USA.-Patentschrift 3 457 615) bekannt, zur besseren Haftungeines Dielektrikums an einer metallischen Chromschicht auf deren Oberfläche einen CrO-FiIm zu bilden.

Bei Gascntladungs-Anzeigetafeln mit Cr-Cu-Cr-2i· Leitern, die an sich schon sehr dünn sind und bei der Fertigung leicht mechanisch beschädigt werden können, ergeben sich bei der Herstellung jedoch insoweit Schwierigkeiten, daß bei den verwendeten hohen Temperaturen die Leiterstreifen im Laufe der verschiedenen I lerstellungs-Verlahrensschritte angegriffen werden, insbesondere an ihren linden, die später der Kontaktgabe dienen sollen.

Die Erfindung soll hier eine Verbesserung schaffen

und eine vereinfachte Herstellung von Gasentla-

i" dungs-Anzeigetafein ermöglichen, die gleichmäßige

elektrische und mechanische Eigenschaften aufweisen und einwandfreie Leitermuster haben.

Dies wird erfindungsgemäß dadurch verwirklicht, daß die Leiter so angebracht werden, daß sie alle in j;, einem vorgegebenen Abstand von dem Rand der Trägerplatte enden und, daß die Leiter vor dem Aufbringen der dielektrischen Schicht einer oxydierenden Gasatmosphäre zur Bildung von Chromoxyd als Passivierungsschicht ausgesetzt werden, wobei die oxydierende Gasatmosphäre zu ¹H)Oh aus Stickstoff, zu 2()^r/r aus Wasserstoff und Wasserdampf besteht.

Vorzugsweise geht man dabei so vor, daß die dielektrische Schicht derart aufgebracht wird, daß sie die auf den Trägerplatten angebrachten Leiter allseitig umgibt.

Damit erhält man eine. Gasentladungs-Anzeige- oder Speichervorrichtung, bei der die durchsichtige oder durchscheinende die aus einem Chrom-Kupfer-Chrom-Laminat bestehenden Leiter bedeckende Schicht vorteilhafterweise aus einer in einem Trägermaterial aus Nitrozellulose-Polymei-Bindemittel in Amylacetat suspendierten Glasfritte durch Brenner erzeugt ist.

Ein Ausführungsbcispiel der Erfindung wird im folgenden an Hand von Zeichnungen beschrieben. E; zeigt

Fig. I die schematischc, perspektivische Darstcl lung einer Ciasentladimgs-Anz.eigetafel,

Fig. 2 die perspektivische Darstellung einer Träfiu gerplatte aus der Anzeigetafel gemäß F'i g. I. mit aufgebrachtem Laminat für die Leiterstreifen,

I-ig. 3 eine Schnittansicht der Trägerplatte mit Laminat gemäß F i g. 2,

Fig. 4 eine Schniltansichl der Trägerplatte gemäl Fig. 3 nach .Ausbildung von parallelen elektrischei Leitern aus dem Laminat.

Fig. 5 eine Schnittansicht der Trägerplatte gcmäl F'ig. 4 nach Aufbringen der dielektrischen Schlitz

Pia ο die perspektivische Darstellung einer untc-Traeerplatte mit einem Muster paralleler elektri^rCh-r Leiter, nach Aufbringen eines vorgeformten nichtungsrahmens und mehrerer Abstandshalter,

pjο 7 die perspektivische Ansicht einer oberen Trägerplatte mit einem Rohr zum Auspumpen und .-üifcn der Kammer,

pig 8 eine Teilansicht einer 1 ragerplaüc mit angegriffenen Leiterenden.

Die in Fig- I schematisch gezeigte Anzeige- oder Speichervorrichtung, _im folgenden Anzeigetafel gcannl enthält eine obere Glasplatte 10 und in einem bestimmten Abstand von dieser und abgedichtet mit hr verbunden, eine untere Glasplatte 12, die zwischen cn eine Kammer einschließen die mit einem zum l'euchten anregbaren Gas gefüllt ist Parallele elektriche Leiter 21 bis 28 sind auf der Unterseite der Glasplatte 10 angeordnet und dienen als Elektroden zur Zuführung eines elektrischen Signals zu einer Seite einer ausgewählten Entladungsstrecke. Außerdem Ld parallele elektrische Leiter 31 bis 40 auf der Oberseite der Glasplatte 12 angeordnet und dienen als Elektroden zur Zuführung eines elektrischen Sienals zur anderen Seite einer ausgewählten Entla- =5 dunesstrecke oder Gaszelle. Eine Gaszelle ist jeder Bereich der Gasfüllung, der an einem Koordinatenschnittpunkt zwischen einem der oberen parallelen Leiter 21 bis 28 und einem der unteren parallelen Leiter 31 his 40 liegt. Eine Gaszelle wird ausgewählt 3η durch Anlegen eines elektrischen Signals an einen der oarallelen Leiter 21 bis 28 und an einen der parallelen Leiter 31 bis 40. Die Gaszelle am Koordinatenschnittounkt des ausgewählten Leiterpaares wird gezündet.

Zum Herstellen der in Fi g. 1 gezeigten Anzeigeta- _tr, fei eehören zahlreiche Verfahrensschritte. In der anschließenden Beschreibung werden die Grundschritte des Verfahrens aufgeführt. Die Grundschritte können wie folgt zusammengefaßt werden: 1 Zwei Glasplatten, die z. B. aus Natron-Kalk-Sih- 4" kat-Glas bestehen, werden auf die gewünschte Größe zugeschnitten. Die Platten überlappen sich nach Darstellung in Fig. 1 in der fertigen Anordnung zum größten Teil. Der Uberlappungsbereich dient als Abbildungsteil der An-— rt|

2 Ein erster dünner, etwa 1000 Ä dicker Film 70, Fi g. 3, aus Chrom wird auf einer Seite einer jeden Glasplatte niedergeschlagen. Ein zweiter, etwa 10 000 A dicker Kupferfilm 71, F ig. 3,wird v auf dem ersten Film niedergeschlagen. Ein dritter, etwa !000 A dicker Chromfilm 72, Fig. 3, wird dann auf dem Kupferfilm einer jeden Glasplatte niedergeschlagen. Das Aufbringen dieser dünnen Schichten zur Bildung eines Laminates 60 Fig. 2, erfolgt vorzugsweise durch Aufdampfen im Vakuum. Aus später erklärten Gründen endet das Laminat 60 in einem vorgegebenen Abstand vor zwei gegenüberliegenden KantenderGlasplatten.wicinlig. 2dargestelli. 6»

3 In einem photolithographischen Verfahren wire, das Laminat in mehrere parallele Leitungen (z B 31 bis 40, Fig. 4) umgewandelt, die als elektrische Leiter dienen. Die parallelen Leiter enden in einem vorgegebenen Abstand vor den «:, Kanten der Glasplatten (Linie 45 in Fig. 1).

4 Die beiden Glasplatten werden in einer Gasat-' mnsnhärc erwärmt, die aus Wi Stickstoff und 10''< Wasserstoff und Wasserdampf besteht. Die äußere Oberfläche des dritten, aus Chiom bestehenden Durtnfilms wird dadurch zur Passivierung oxydiert, und die Chromoxydoberfläche verhindert die Auflösung der laminierten parallelen Leiter in einer nachfolgenden Überzugsoperation.

. Ein Giasbrei (Glasfritte) wird auf die parallelen Leiter einer jeden Glasplatte aufgetragen. Dabei handelt es sich vorzugsweise um Bleiglas. Der Glasbrei wird in gleichmäßiger Dicke durch Prä-/isionsgeräte aufgesprüht. Die beiden Glasplatten werden dann in einem Ofen so weit erwärmt, daß die Glasfritte zum Fließen kommt, so daß schließlich ein Glasüberzug80, Fi g. 5, die parallelen Leiter vollständig bedeckt. Die parallelen Leiter enden, wie schon gesagt, in einem bestimmten Abstand vor den Kanten einer jeden Glasplatte, und da der Bleiglasüberzug über die Enden dieser parallelen Leiter hinausgeht, sind die oberen, die seitlichen und auch die an den Enden liegenden Außenflächen eines jeden pai allelen Leiters durch den Bleiglasüberzug 80 bedeckt. Die Enden der parallelen Leiter werden mit Glas überzogen, um bei den nachfolgenden Eiwärmungsschritten des Prozesses ein Angreifen und Zerstören der Endbereiche dieser Leiter zu verhindern.

Der Bleiglasüberzug verhindert außerdem eine direkte Berührung der paraHelen Leiter mit der Gasfüllung, wenn diese in die fertige Anzeigetafel eingefüllt wird.

Der Bleiglasüberzug dient weiterhin als dielektrische Schicht, an der sich Wandladungen ansammeln können, wenn die parallelen Leiter als Elektroden für den Betrieb der Anzeigetafel benutzt werden. Außerdem liefert der Bleiglasüberzug eine gewisse mechanische Festigkeit und stützt die dünnen laminierten Leiter, wodurch diese thermischer und mechanischer Spannung und Stößen während und nach der Herstellung widerstehen können.

6. Die beiden Glasplatten werden am Umfang in einem bestimmten Abstand voneinander durch ein Dichtungsmaterial verbunden, wodurch sie zwischen sich eine Kammer für die Gasfüllung bilden. Das Dichtungsmaterial ist vorzugsweise fein gemahlenes Bleiglas und wird in einem Zellulosebinder angeordnet, der in Form eines rechteckigen Rahmens 90, Fig. 6, geschnitten ist. Der innere Umfang des rechteckigen Rahmens hat die gewünschten Maße der Kammer für die Gasfüllung. Der Rahmen wird auf die dielektrische Schicht einer Glastafel gesetzt und diese Tafel dann in einem Ofen erwärmt, bis der Zellulosebinder des Dichtungsmaterials ausgetrieben ist, um Blasenbildung oder eine Ver dunklung des Dichtungsmittels zu verhindern Mit dem Aufheizen werden auch mögiiche Ver iinreinigungcn entfernt, die nachträglich in tut Gasfüllung eindringen könnten. Glasstäbe 91 92, 93, 94, I-i g. 6, geeigneten Durchmesser sorgen für die richtige Höhe der Kammer urn weiden in gegebenen Abständen am innerei Umfang des Dichlungsrahmens angeordnei Diese Abstandsstäbe haben einen Abstand vo etwa 1,6 mm vom inneren Umfang des Dich tungsrahmens. Die andere Glasplatte wird ai

die Abstandsstäbe aulgesetzl. wobei du tln.Uk trischc Blciglasiiberzug nach unten aiii das Dichtungsmittel und die Abstandsstäbe zu liegen kommt. Ein hohles Glasrohr 50. I- ig. I, wird in eine Bohrung in der oberen Platte eingesetzt und Dichtungsmaterial 98, Ii g. 7, um dieses Glasrohr hcrumgclcgt. Das ganze wird dann in einen Ofen gesetzt, horizontal ausgerichtet und erwärmt, bis das als Dichtungsmaterial dienende Bleiglas wieder verfließt. So werden die Glas- m platten miteinander, und das Glasrohr mit der oberen Glasplatte gasdicht verbunden 7. Das Glasrohr 50 wird an eine Vakuumpumpe angeschlossen. Die Kammer zwischen den beiden Glasplatten wird luftleer gepumpt und '5 gleichzeitig die Tafel erwärmt, wodurch Feuchtigkeit und unerwünschte Gase, die aus dem Dichtungsmaterial entweichen, aus der Kammer entfernt werden. Nachdem die Kammer luftleer gepumpt ist, wird sie mit einem leuchtfähigen *<> Gas gefüllt. Als Gasfüllung kann ein einzelnes Gas oder auch ein Gemisch verschiedener Gase verwendet werden. Ein geeignetes Gemisch für die Gasfüllung besteht aus 99,9% Neon und 0,1% Argon. Die luftleere Kammer wird mit »5 dem leuchtfähigen Gas gefüllt, bis der Druck in der Kammer 600 bis 700 Torr erreicht. K. Die dielektrische Schicht und der äußere oder dritte, aus Chrom bestehende Dünnfilm werden in den Endbereichen der parallelen Leitungen v> so entfernt, daß elektrische Verbindungen zu den freigelegten Kupferenden hergestellt werden können. Die dielektrische Schicht kann durch Eintauchen in eine Salzsäure enthaltende Lösung und die dritte, aus Chrom bestehende Schicht v. durch Eintauchen in eine Kaliumhcxacyano-ferrat-liisung entfernt werden. Damit ist die Herstellung der Anzeigetafel beendet, und sie kann durch Anlegen elektrischer Signale an die parallelen Leiter betrieben werden. Beim Niederschlag der Leiter 31 bis 40 aut der unteren Platte 12 und der Leiter 21 bis 28 auf der oberen Platte 10 war es bisher üblich, sie überall bis zum Ende der entsprechenden Glasplatten zu führen. Die Draufsicht eines Teiles der unteren Glasplatte 12 in Fig. 8, bei welcher die obere Platte 10 entfernt ist. zeigt das. Die leiter 31 bis 40 wurden darstcllungsgemäß überall bis zur rechten Kante der Glasplatte 12 geführt. Die laminierten parallelen Leiter wurden später mit dem Glasüberzug 80 überzogen, der die so gesamte Oberfläche der Glasplatte 12 bedeckte. Die nach außen liegenden Endflächen der laminierten parallelen Leiter 31 bis 40, die mit der rechten Kante der Platte 12 bündig schlossen, wurden jedoch von dem später aufgebrachten Glasüberzug 80 nicht bcdeckt. Während eines nachfolgenden Erwärmungsschrittes der Glasplatten 12 und 10 in einem Ofen zu ihrer Vereinigung durch Verfließen der am Umfang befindliche" Glasfritte fand eine unerwünschte Reaktion statt. Die freiliegenden Enden der Kupierschicht in den parallelen Leitern nahmen an der Reaktion teil. wodurch sie zusammen mit den benachbarten Chromschichten angegriffen und erodiert wurden. Der Angriffsbereich ist in Fig. 8 durch die dunklen Flächen rechts bei den parallelen Leitern 31 bis 40 dargestellt, κ5 Der Endbereich des Kupfers in den parallelen Leitern wurde in unterschiedlichem Maße angefressen, und in einigen Fällen wurde sogar die ganze Kupf erschicht in uiiem ihIui inelneien parallelen Leitern von du Kante der Glasplatte 12 wcgcrodicrl, wie es /. II. bei dun Leiter 36 in 1 ig. X dargestellt ist.

Die Beieiche du Kupferschicht in der Nahe du rechten Kante der (ilasplatte 14 werden als elektrische Kontakte benutzt, und daher muß sichergestellt werden, daß die Kupfcrschicht eines jeden parallelen laminierten Leiteis im wesentlichen die gleiche Dicke und Breite aufweist und nicht ausgefressen oder voüstandig erodiert ist Der in Fig. 8 gezeigte Zustand macht elektrische Verbindungen unzuverlässig und reduziert somit die Arbeitskapa/.ität der Anzeigetafel.

Um das Problem des Ausfressens oder der Erosion an den Enden der laminierten parallelen Leiter zu losen, wird z. B. die Glasplatte 12 nach rechts so verlängert, daß die laminierten parallelen 1-eiter 31 bis 40 je ca. 6,4 mm vor der rechten Kante der Platte 12 enden. Das ist in I ig. 1 gezeigt, wo die laminierten parallelen Leiter 31 bis 40 in einem gegebenen Abstand von der rechten Kante der unteren Platte 12 aufhören (angezeigt durch die gestrichelte Linie 45). In gleicher Weise laufen die linken Enden der laminierten parallelen ϊ .eiter 31 bis 40 in F i g. 1 nicht ganz bis zur linken Kante der unteren Platte 12. Die laminierten parallelen Leiter 21 bis 28 auf der unteren Seite der oberen Platte 10 reichen ebenfalls nicht ganz bis zum linken und rechten Rand dieser Platte. Demzufolge bedeckt später der dielektrische Glasüberzug 80 (Fig. 5) sowohl die an den Enden liegenden als auch die seitlichen und die oberen Außenflächen eines jeden der laminierten parallelen Leiter 31 bis 40 vollständig, da er über die gesamte Oberfläche der Platte 12 reicht. Analoges gilt für die leiter und den Glasüberzug auf der Platte 10. Bei einer nachfolgenden Erwärmung zur Verbindung und Abdichtung der Platten 10 und 12sind dann die Feldbereiche der laminierten parallelen Leiter durch den Glasüberzug geschützt, der sie vollständig umgibt, und die uncrwün-ichte Reaktion und Erosion der Anschlußbcrcirhf der laminierten Leiter werden verhindert.

Die Leiter 31 bis 40 werden später geprüft, um festzustellen, ob die Kupfcrschichtcn einwandfrei und ohne Leitungsunterbrechungen sind.

Die Glasplatten 10 und 12 mit den parallelen I eitern werden in einer Gasatmosphäre erhitzt, die aus 90'ί Stickstoff, 10% Wasserstoff und Wasserdampf besteht. Die Temperatur des Gases wird um 8,5" C pro Minute bis auf 525° C angehoben. Die Temperatür wird 80 Minuten lang beibehalten. Dadurch werden alle Teile der Platten etwa 50 Minuten lang auf einer Temperatur von 525° C gehalten. Die Atmosphäre wird dann mit einer Änderungsgeschwindigkeit von 3,2" C pro Minute auf 300° C abgekühlt. Ar diesem Punkt kann die Abkühlung beschleunigt wer den, Risse der Glasplatte oder der Ofenstruktur sin< jedoch zu vermeiden. In diesem Vorgang wird dii Oberfläche der Chromstreifen, die auf den Kupfer streifen angeordnet sind (31 bis 40 in Fi g. 4) oxydierl um sie für das nachfolgende Aufbringen, von dielektri schem Material (Glas) zu passivieren.

Die laminierten Leiter (Fig. 4) werden nunmer mit einer dielektrischen und schützenden Schiet überzogen, indem bei den Glasplatten 10 und 12 di< jenige Seitenfläche, welche die Leitungsmuster trag ganz mit einer dünnen Bleiglasschicht bedeckt win Hierzu wird ein Glasbrei mit einer Sprühpistole au getragen und dann im Ofen zum Fließen gcbracr

Die Bleiglasschicht hiit folgende Wirkungen:

1I) Sie schützt die parallelen Leiter davor, sieh bei den nachfolgenden I lerstellungssehritten. in denen auch starke Erwärmung erfolgt, zu verändern bzw. mit der umgehenden Atmosphäre zu reagieren:

(2) Sie trennt beim späteren Betrieb die Leitei von der Gasfüllung und wirkt gleichzeitig als Dielektrikum;

(3) Sie stellt eine mechanische Unterstützung der relativ dünnen parallelen Leiter dar, die dadurch größere Stoß- und Zugbeanspruchungen überstehen können.

Für den Glasbrei, welcher auf die Platten aufgesprüht wird, benutzt man feines Bleiglaspulver, das man zuen.1 zubereiten muß.

Demgemäß sind die laminierten parallelen Leiter 21 bis 28 auf der oberen Platte 10 und 31 bis 40 auf der unteren Platte 12 (Fig. 1) mit dem dielektrischen Glasüberzug 80 vollständig abgedeckt. Teile dieses Überzugs sowie der oberen Chromschicht des Laminats müssen entfernt werden, um die Enden der Kupferstreifen als Kontaktstellen für elektrische verbindungen (z.B. Flachstecker) freizulegen. Der dielektrische Überzug wird durch Eintauchen des rechten Endes der Glasplatte 12 für 30 Sekunden in eine Lösungausgleichen Anteilen von Salzsäure und Wasser entfernt. Die Eintauchtiefe in dieses Säurebad sollte ausreichen, um den dielektrischen Überzug von den Enden der Leiter 31 bis 40 in Fig. 1 zu entfernen, andererseits darf die Säure jedoch die Platte 10 nicht erreichen. Die Tafel wird herausgenommen und in Leitungswasser getaucht. Der dielektrische Überzug wird geprüft. Ist er noch nicht entfernt, wird der Vorgang so lange wiederholt, bis der Überzug entfernt ist. Es ist besonders darauf zu achten, daß die äußere Chromschicht der laminierten parallelen Leiter 31 bis 40 dabei nicht angegriffen wird. Dies zeigt sich durch Blasenbildung an, und dann sollte der Pro/eß sofort beendet werden.

Als nächstes wird die rechte Seite der unteren Platte 12 genauso tief in ein Bad getaucht, welches aus einci Lösung von 4 I destilliertem Wasser, 17 g Natriumhydroxyd und ca. 4.SOg Kaliumhexacyano-ferrat besteht Die Platte wird vorsichtig in dieser Lösung hin- unc herbewegt, bis das ganze Chrom der äußeren Schien der laminierten parallelen Leiter 31 bis 40 entfern ist. Der Vorgang kann etwa drei Stunden dauern. Di<

ίο Platte wird dann herausgenommen, mit Wasser abge spült und mit Stickstoff oder Luft trockengeblasen Die Endbereichc der Kupferstreifen der laminierter Leiter 31 bis 40 der Platte 12 in Fig. 1 liegen jetz frei und können als elektrische Kontakte benutzt wer den. Die beiden vorhergehenden Operationen werder wiederholt, um den dielektrischen Glasüberzug unc den äußeren Chromüberzug von den laminierten par allelen Leitern 21 bis 28 an der linken Seite der oberer Tafel 10 zu entfernen. Damit ist die Herstellung dei Gasentladungs-Anzeigetafcl abgeschlossen.

Wenn die Kontaktenden der parallelen Leiter wc gen der Konstruktion der verwendeten Kontaktleister bis an die Enden der Glasplatten reichen müssen können die nicht von den Leitern bedeckten Endbe reiche der Glasplatten abgeschnitten werden, wie die: in Fig. 1 durch die gestrichelte Linie 45 bei der Glas platte 12 gezeigt ist.

Zu einer Prüfung der Anzeigetafel wird an alle Lei ter 21 bis 28 der oberen Glasplatte 10 und alle Leite 31 bis 40 der unteren Glasplatte 12 eine, elektrisch* Spannung von 180 bis 200 Volt angelegt. Damit wer den alle Gaszellen gezündet. Danach werden elektri sehe Signale an ausgewählten Leitern auf den Plattei 10 und 12 zur Zündung ausgewählter Gaszellen ange

_f5 legt, die durch die Koordinatenschnittpunkte der par allelen Leiter 21 bis 28 einerseits und 31 bis 40 ande rerseits definiert sind, um die einzelnen Zellen selektiv zu prüfen.

Hierzu 5 Blatt Zeichnungen

Claims (3)

Patentansprüche:

1. Verfahren zum Herstellen von Gasentladungs-Anzeige- oder Speichervorrichtungen aus Trägerplatten mit jeweils darauf angebrachten parallelen Leitern, die durch eine durchsichtige oder durchscheinende Schicht geschützt sind, wobei die Leiter durch Photoätzverfahren aus einem Chrom-Kupfer-Chrom-Laminat hergestellt werden, dadurch gekennzeichnet, daß die Leiter so angebracht werden, daß sie alle in einem vorgegebenen Abstand von dem Rand der Trägerplatte enden und, daß die Leiter vor dent Aufbringen der dielektrischen Schicht einer oxydierenden Gasatmosphäre zur Bildung von Chromoxyd als Passivierungsschicht ausgesetzt werden.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die oxydierende Gasatmosphäre zu W i aus Stickstoff, zu 10% Wasserstoff und Wasserdampf besteht.

3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die dielektrische Schicht derart aufgebracht wird, daß sie die auf den Trägerplatten angebrachten Leiter allseitig umgibt.