DE2249999A1 - Ionenquelle - Google Patents

Ionenquelle

Info

Publication number
DE2249999A1
DE2249999A1 DE2249999A DE2249999A DE2249999A1 DE 2249999 A1 DE2249999 A1 DE 2249999A1 DE 2249999 A DE2249999 A DE 2249999A DE 2249999 A DE2249999 A DE 2249999A DE 2249999 A1 DE2249999 A1 DE 2249999A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
electrode
ion source
anode
chamber
source according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE2249999A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Jean Aubert
Guy Prof Gautherin
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Bpifrance Financement SA
Original Assignee
Agence National de Valorisation de la Recherche ANVAR
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Agence National de Valorisation de la Recherche ANVAR filed Critical Agence National de Valorisation de la Recherche ANVAR
Publication of DE2249999A1 publication Critical patent/DE2249999A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J27/00Ion beam tubes
    • H01J27/02Ion sources; Ion guns
    • H01J27/08Ion sources; Ion guns using arc discharge
    • H01J27/10Duoplasmatrons ; Duopigatrons

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
DE2249999A 1971-10-13 1972-10-12 Ionenquelle Pending DE2249999A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR7136701A FR2156978A5 (fr) 1971-10-13 1971-10-13

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2249999A1 true DE2249999A1 (de) 1973-04-19

Family

ID=9084273

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2249999A Pending DE2249999A1 (de) 1971-10-13 1972-10-12 Ionenquelle

Country Status (5)

Country Link
US (1) US3890535A (fr)
DE (1) DE2249999A1 (fr)
FR (1) FR2156978A5 (fr)
GB (1) GB1411428A (fr)
NL (1) NL7213791A (fr)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4045677A (en) * 1976-06-11 1977-08-30 Cornell Research Foundation, Inc. Intense ion beam generator
US4301391A (en) * 1979-04-26 1981-11-17 Hughes Aircraft Company Dual discharge plasma device
USRE34806E (en) * 1980-11-25 1994-12-13 Celestech, Inc. Magnetoplasmadynamic processor, applications thereof and methods
JPS58225537A (ja) * 1982-06-25 1983-12-27 Hitachi Ltd イオン源装置
US4529571A (en) * 1982-10-27 1985-07-16 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Single-ring magnetic cusp low gas pressure ion source
US4587430A (en) * 1983-02-10 1986-05-06 Mission Research Corporation Ion implantation source and device
FR2550681B1 (fr) * 1983-08-12 1985-12-06 Centre Nat Rech Scient Source d'ions a au moins deux chambres d'ionisation, en particulier pour la formation de faisceaux d'ions chimiquement reactifs
US4620095A (en) * 1984-01-18 1986-10-28 Miziolek Andrzej W Ion neutralization resonance emission elemental detector
US5838012A (en) * 1997-03-19 1998-11-17 Genus, Inc. Charge exchange cell
US7838850B2 (en) * 1999-12-13 2010-11-23 Semequip, Inc. External cathode ion source

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL285354A (fr) * 1961-12-11
US3238414A (en) * 1965-07-28 1966-03-01 George G Kelley High output duoplasmatron-type ion source
FR1585902A (fr) * 1968-04-09 1970-02-06

Also Published As

Publication number Publication date
FR2156978A5 (fr) 1973-06-01
US3890535A (en) 1975-06-17
GB1411428A (en) 1975-10-22
NL7213791A (fr) 1973-04-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2539450C3 (de) Austragsdüse fur das elektrostatische Absprühen von pulverformigen Feststoffen
DE19941670A1 (de) Massenspektrometer
DE3429591A1 (de) Ionenquelle mit wenigstens zwei ionisationskammern, insbesondere zur bildung von chemisch aktiven ionenstrahlen
DE2619071A1 (de) Elektronenkanone
DE2249999A1 (de) Ionenquelle
DE1648902A1 (de) Ionenkammerdetektor
DE2729286A1 (de) Zerstaeubungsvorrichtung und verfahren zum zerstaeuben mit hilfe einer derartigen vorrichtung
DE19650542A1 (de) Dreidimensionales Quadrupolmassenspektrometer
DE2550349A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur extraktion gut ausgebildeter ionenstrahlen hoher stromstaerke von einer plasmaquelle
EP0740585A1 (fr) Procede et dispositif permettant de traiter des particules transportees par gaz
DE1153463B (de) Plasmaerzeuger zur Erzeugung eines kontinuierlichen Plasmastrahls
DE2113375A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Beschichtung eines duennen Grundmaterials mit einem duennen Film
DE102006034988B4 (de) Ionenquelle zur Erzeugung negativ geladener Ionen
DE1190590B (de) Ionenquelle
DE1223467B (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung eines magnetisch eingeschlossenen heissen, dichten Plasmas
DE102018112349B4 (de) 2Analyseeinrichtung und Verfahren zur Analyse von Substanzen durch Ionenmobilitätsspektrometrie
DE1917843C3 (de) Vorrichtung zur Erzeugung intensiver Ionenbündel durch Ladungsaustausch zwischen einem Plasma und einem zu
DE2621453A1 (de) Ionenquelle
DE2305359C3 (de) Vorrichtung zur reaktiven Aufdampfung dünner Schichten auf Unterlagen
DE1212608B (de) Einrichtung zur direkten Umwandlung von thermischer in elektrische Energie
DE3303677A1 (de) Plasmakanone
DE2025987C3 (de) Ionenquelle
DE202012012531U1 (de) Vorrichtung zur Vergrößerung der Sauerstoffmenge im Luftgemisch, zugeführt in Brennkraftmaschine
DE1928617A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Ionisieren eines Gases in UEberschallstroemung
DE736568C (de) Verfahren zur Durchfuehrung chemischer Reaktionen mit Hilfe elektrischer Glimmentladung bei Unterdruck, insbesondere zur NH-Synthese

Legal Events

Date Code Title Description
OHN Withdrawal