DE2221072A1 - Duennfilm-Metallisierungsverfahren fuer Mikroschaltungen - Google Patents

Duennfilm-Metallisierungsverfahren fuer Mikroschaltungen

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DE2221072A1
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metal film
substrate
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metal
oxide coating
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DE19722221072
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Ramsey Jun Thomas Haliburton
Mcmahon William Raymond
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