DE2215546A1 - Overlay-Transistor mit leitendem Halbleitergitter und Verfahren zu dessen Herstellung - Google Patents

Overlay-Transistor mit leitendem Halbleitergitter und Verfahren zu dessen Herstellung

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DE2215546A1
DE2215546A1 DE19722215546 DE2215546A DE2215546A1 DE 2215546 A1 DE2215546 A1 DE 2215546A1 DE 19722215546 DE19722215546 DE 19722215546 DE 2215546 A DE2215546 A DE 2215546A DE 2215546 A1 DE2215546 A1 DE 2215546A1
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semiconductor
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layer
grid
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Application number
DE19722215546
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German (de)
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Inventor
Fredric Leroy New Jersey N.J. Katnack (V.StA.)
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RCA Corp
Original Assignee
RCA Corp
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    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W20/00Interconnections in chips, wafers or substrates
    • H10W20/40Interconnections external to wafers or substrates, e.g. back-end-of-line [BEOL] metallisations or vias connecting to gate electrodes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10DINORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
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