DE2212159C2 - Vorrichtung zum optischen Vergleich eines Gegenstandes mit einem ähnlichen Gegenstand - Google Patents
Vorrichtung zum optischen Vergleich eines Gegenstandes mit einem ähnlichen GegenstandInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung nach der Gattung des Hauptanspruchs.
Aus der DE-OS 15 48 551 ist bereits eine Vorrichtung dieser Art bekannt, bei der die durch die halbdurchlässigen
spiegelnden Flächen erzeugten virtuellen Bilder der beiden Gegenstände visuell beobachtet werden. Während
dieser Beobachtung werden die beiden Gegenstände gemeinsam mit Hilfe eines bewegbaren Schlittens,
auf den sie und die halbdurchlässigen spiegelnden Flächen aufgebracht sind, relativ zum Beobachter
bewegt, der zu jedem Beobachtungszeitpunkt jeweils nur einen Teilausschnitt der virtuellen Bilder dieser
Gegenstände betrachtet. Diese Vorrichtung hat aber den Nachteil, daß Schlenkerbewegungen des Schlittens
die Genauigkeit der Beobachtungen beeinträchtigen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einer Vorrichtung nach der Gattung des Hauptanspruchs die
Beobachtungsgenauigkeit zu erhöhen.
Erfindungsgemäß ist diese Aufgabe durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
Das Mikroskop kann leicht relativ zu den überlagerten reellen Bildern der beiden Gegenstände bewegt
werden, so daß ein gemeinsames Bewegen der beiden Gegenstände relativ zum Beobachter nicht mehr
notwendig ist und auf diese Weise die Genauigkeit der Beobachtung erheblich verbessert wird.
Aus Naumann »Optik für Konstrukteure«, I960, Seiten 17, 18, 144, 145 ist zu entnehmen, daß ein
virtuelles Bild mittels eines Sammelsystems reell abgebildet werden kann.
Aus der DE-PS 7 09 204 ist ein Verfahren bekannt, bei
dem die Bilder nebeneinander gelegt, nicht überlagert werden,
Bei der Vorrichtung nach der US-PS 24 23 370 werden die Bilder zwar überlagert. Es wird aber kein
5 Objektiv verwendet, bei dem ein optisches Glied als Hohlspigel ausgebildet ist.
Anhand der Zeichnung soll die Erfindung näher erläutert werden. Es zeigt
F i g. I einen Vertikalschnitt durch ein erstes Ausführungsbeispiel
einer Vorrichtung gemäß der Erfindung;
Fig.2 einen Horizontalschnitt durch ein zweites
Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung gemäß der Erfindung;
Fig.3 einen Horizontalschnitt durch ein drittes
Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung gemäß der Erfindung.
In Fig. 1 sind mit 1 und 2 zwei zu vergleichende Masken bezeichnet Die Maske 1 kann ein Urmodell
einer Maske zur Herstellung integrierter Schaltungen sein, die Maske 2 eine Kopie eines solchen Urmodells.
Oberhalb der Maske 1 ist ein Prisma 3, oberhalb der Maske 2 ein Prisma 4 angeordnet. Beide Prismen 3 und 4
sind quaderförmig ausgebildet und durch einen Luftspalt 11 voneinander getrennt Das Prisma 3 enthält eine
halbdurchlässige, spiegelnde Fläche 3a. Diese Fläche 3a ist dabei unter 45° gegen diejenige Oberfläche des
Prismas 3 geneigt, an der die Maske 1 anliegt. Das Prisma 4 enthäü eine halbdurchlässige spiegelnde
Fläche 4a. Diese Fläche Aa ist unter 45° gegen diejenige jo Oberfläche des Prismas 4 geneigt, an der die Maske 2
anliegt Die halbdurchlässigen spiegelnden Flächen 3a und 4a liefern von den Masken 1 bzw. 2 virtuelle
überlagerte Bilder, die für den Betrachter, der von rechts in das Prismensystem hineinschauen würde, in
der Ebene 10 erscheinen würden. Diese Bilder sind aber für eine Auswertung, insbesondere für eine Registrierung,
nicht geeignet. Deshalb ist erfindungsgemäß ein Objektiv vorgesehen, welches aus einem bei 5
angedeuteten Linsensystem und aus einem sphärischen ■ίο Hohlspiegel 6 besieht. Dieses Objektiv bildet im
Zusammenwirken mit den Prismen 3 und 4 die in die Ebene 10 eingespiegelten virtuellen überlagerten Bilder
der Masken 1 und 2 in der Ebene 9 ab. Mit Hilfe dieses Objektivs entstehen also in der Ebene 9 reelle
überlagerte Bilder Γ und 2' der Masken 1 und 2. Diese Bilder Γ und 2' können mit Hilfe eines Mikroskops 7
beobachtet und ausgewertet werden.
Fig.2 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung zum Vergleich der Masken 1 und 2. Das
Prisma 4 mit seiner halbdurchlässigen spiegelnden Fläche 4a ist hierbei in gleicher Weise ausgebildet wie
beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 1, während das Prisma 3 im Gegensatz zu F i g. 1 an das Prisma 4
herangerückt ist und an seiner dem Prisma 4 zugewandten Oberflächenseite die halbdurchlässige
spiegelnde Fläche 3a hat. Die Prismen 3 und 4 können dabei ein zusammenhängendes System bilden. Die
Maske 1 ist an derjenigen freien Oberfläche des Prismas 3 angeordnet, die der halbdurchlässigen Oberflächenseite
3a dieses Prismas gegenüberliegt. Die Maske 2 ist an derjenigen freien Oberfläche des Prismas 4 angeordnet,
an deren einer Seitenkante die halbdurchlässige Fläche 3a und an deren anderer Seitenkante die halbdurchlässige
Fläche 4a endet. Für den von rechts in die Anordnung schauenden Betrachter entsteht ein virtuelles Bild der
Maske 2 in der Ebene 10, in welcher auch ein virtuelles Bild der Maske 1 entsteht. Erfindungsgemäß wird hier
wiederum mit Hilfe des aus dem Linsensystem 5 und
dem Hohlspiegel 6 bestehenden Objektivs ein reelles Bild der Masken 1 und 2 in der Ebene 9 erzeugt, die hier
an derjenigen freien Oberfläche des Prismas 4 angeordnet ist, die derjenigen Oberfläche gegenüberliegt,
an der die Maske 2 angeordnet ist. Das Linsensystem 5 besteht hierbei aus zwei Teilsystemen
5a, Sb, wobei das Teilsystem 5a drei Mal vorkommt.
Jeweils ein Exemplar des Teilsystems 5a ist dabei im Bereich zwischen der Maske 1 und dem Prisma 3, im
Bereich zwischen der Maske 2 und dem Prisma 4 und im Bereich zwischen der Ebene 9 und dem Prisma 4
angeordnet.
In Fig.3 ist eine Anordnung dargestellt, die im
wesentlichen der Anordnung nach Fig.2 entspricht.
Abweichend von F i g. 2 ist jedoch das Linsensystem 5 nicht aufgeteilt Außerdem sind die Prismen 3 und 4
durch einen Luftspalt 11 voneinander getrennt Ferner
ist zwischen den Masken 1 und 2 und dem Prismensystem 3, 4 jeweils eine drehbewegliche
planparallele Glasplatte 8 bzw. 8' vorgesehen. Die Platte 8 ist dabei um die zur Zeichenebene senkrecht
verlaufende Achse Qi, 0Ί drehbeweglich. Die Platte 8' ist
um die in der Zeichenebene liegende Achse lh, OS
drehbeweglich. Nach einer Rotation θ der Platte 8 wird wahrnehmbar, daß für den Beobachter der Objektpunkt
Öden Punkt A ersetzt zu haben scheint, was sich in einer Translation des ganzen Bildes der Maske 1 ausdrückt.
Da die Rotationsachsen der beiden Platten 8 und 8' aufeinander senkrecht stehen, folgen die durch die
Rotation beider Platten erhaltenen Translationen der Bilder zwei in der Maskenebene liegenden Richtungen,
die aufeinander senkrecht stehen. Es ist deshalb möglich, zwei einander entsprechende Punkte der Masken 1 und
2, von denen jeder eine seitliche Abweichung aufweist, zur Deckung zu bringen.
Wenn während des Vergleichs der Masken I und 2 der Beobachter eine seitliche Verschiebung zwischen
den Bildern der einander entsprechenden Elemente der beiden Masken bemerkt, kann er durch Verdrehen der
Platten 8 und 8' die beiden Elemente zur Deckung bringen. Die Maßzahlen der Rotationen der Platten 8,8'
liefern dann die anfänglichen seitlichen Verschiebungen in zwei zueinander senkrechten Richtungen. Der
Meßwert jeder Verschiebung ist genau, da die dünne Platte wie ein Reduktionsgetriebe wirkt. Andererseits
reicht eine einzige Übereinstimmung aus, während bei der Verwendung eines beweglichen Fadenkreuzes
gewöhnlich zwei Obereinstimmungen notwendig sind.
Tatsächlich muß man jedoch, wenn ein Fadenkreuz vorgesehen ist, dieses mit den beiden einander
zugeordneten Elementen nacheinander zur Deckung bringen.
Da die beiden Platten 8, 8' vor dem Mikroskop 7 angeordnet sind, ist die Messung unabhängig von der
Vergrößerung des Mikroskopes.
Die Verwendung eines aus einem Linsensystem 5 und einem Hohlspiegel 6 bestehenden Objektivs, welches
vorzugsweise mit der Vergrößerung 1 arbeitet, bietet verschiedene Vorteile. Sie erlaubt insbesondere eine
gute Korrektur des Chromatismus und des Astigmatismus. Darüber hinaus läßt sich trotz der erforderlichen
großen numerischen Öffnung und des erforderlichen großen Bildfeldes der Raumbedarf und die Anzahl der
Linsen klein halten. Es ist auch möglich, zu erreichen, daß die Eingangspupille genügend verschoben ist, um
die Größenfehler zu vermeiden, die durch unterschiedliche Ausrückungen beider Masken 1, 2 aus den Ebenen
bester Schärfe erzeugt würden.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (4)
1. Vorrichtung zum optischen Vergleich eines Gegenstandes (1) mit einem ähnlichen Gegenstand
(2) mrt einem System halbdurchlässiger spiegelnder Flächen (3a, Aa) zur Erzeugung überlagerter
virtueller Bilder (10) der beiden Gegenstände, bei dem die spiegelnden Flächen (3a, Aa) relativ
zueinander und zu den beiden Gegenständen (1, 2) während des Vergleichs eine feste Lage einnehmen,
dadurch gekennzeichnet, daß zur Umwandlung der überlagerten virtuellen Bilder (10) der
beiden zu vergleichenden Gegenstände (I1 2) in
reelle Bilder (1', 2') ein außerhalb des Systems der
halbdurchlässigen spiegelnden Flächen (3a, Aa) angeordnetes Objektiv (5,6) vorgesehen ist, bei dem
ein optisches Glied als Hohlspiegel (6) ausgebildet ist, und daß zur Beobachtung der überlagerten
reellen Bilder (Y, 2') ein Mikroskop (7) vorgesehen ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß der Hohlspiegel (6) ein sphärischer Spiegel ist
3. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die
halbdurchlässigen spiegelnden Flächen (3a, Aa) Bestandteile eines Prismensystems (3,4) sind.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß in dem zur Erzeugung
der beiden virtuellen Bilder dienenden Strahlengang hinter mindestens einem der beiden zu vergleichenden
Gegenstände eine planparallele Glasplatte (8, 8') drehbeweglich angeordnet ist.
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Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3941486A (en) * | 1974-06-03 | 1976-03-02 | The Computervision Corporation | Wire bonder |
JPS5178802A (ja) * | 1974-12-27 | 1976-07-09 | Kojin Kk | Yokaiyoparupunoseizohoho |
US3992112A (en) * | 1975-09-29 | 1976-11-16 | Corning Glass Works | Attenuating image extender for multiple imaging system |
SE413056B (sv) * | 1977-03-03 | 1980-03-31 | Bofors Ab | Anordning for att optiskt fora in alternativa symboler i ett optisk huvudsystem |
JPS58182718A (ja) * | 1982-04-20 | 1983-10-25 | Datsuku Eng Kk | 位置合わせ装置 |
JPS60119407A (ja) * | 1983-11-30 | 1985-06-26 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 比較検査装置 |
US5164794A (en) * | 1991-07-15 | 1992-11-17 | General Signal Corporation | Optical reticle inspection system and method |
US5181108A (en) * | 1991-10-07 | 1993-01-19 | Greene Richard M | Graphic input device with uniform sensitivity and no keystone distortion |
DE102004034960A1 (de) * | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Korrektur-Vorrichtung für eine optische Anordnung und konfokales Mikroskop mit einer solchen Vorrichtung |
TWI456163B (zh) * | 2013-08-16 | 2014-10-11 | Metal Ind Res & Dev Ct | 光學影像擷取模組、對位方法及觀測方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR1493482A (fr) * | 1966-05-14 | 1967-09-01 | Lunetiers Cottet Poichet Soc D | Dispositif pour la mise en place de verres de lunettes sur la machine à meuler en fonction de l'écartement pupillaire du porteur et de l'entr'axe des arcatures de la monture |
US3684384A (en) * | 1969-03-17 | 1972-08-15 | Hitachi Ltd | Positioning arrangement and face down bonder incorporating the same |
DE1919991C3 (de) * | 1969-04-19 | 1973-11-29 | Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt | Anordnung zur automatischen Aus richtung von zwei aufeinander einzu justierenden Objekten |
-
1972
- 1972-03-14 DE DE2212159A patent/DE2212159C2/de not_active Expired
-
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---|---|
JPS5610603B2 (de) | 1981-03-09 |
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GB1392669A (en) | 1975-04-30 |
DD105671A5 (de) | 1974-05-05 |
CH552194A (de) | 1974-07-31 |
FR2176059B1 (de) | 1976-11-05 |
US3817626A (en) | 1974-06-18 |
FR2176059A1 (de) | 1973-10-26 |
DE2212159A1 (de) | 1973-09-20 |
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