DE2211358B2 - Magnetdomaenenfortbewegungseinrichtung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Magnetdomänenfortbewegungseinrichtung mit örtlichen Gebieten von räumlicher Stabilität für Magnetdomänen, bestehend aus einem Substrat und aus auf dem Substrat in vorbestimmtem Muster abgelagerten dünnen Schichten aus Magnetdomänenmaterial.

Magnetdomänen und deren Fortpflanzung in einem Domänenmaterial sind aus den US-Patentschriften 34 60 116, 34 70 546 und 35 08 225 bekannt. In diesen Patentschriften wird die Bewegung einer Magnetdomäne in einem Schieberegister unter Verwendung eines engen Metallmusters gesteuert. Durch die beschriebenen Verfahren wird versucht, die abstoßenden Kräfte zwischen den einzelnen Magnetdomänen möglichst klein zu machen, indem die einzelnen Magnetdomänen voneinander durch eine Entfernung getrennt werden die mindestens das Drei- oder Mehrfache eines Magnetdomänendurchmessers beträgt. Es wird also versucht, die zwischen den Magnetdomänen wirkenden Kräfte zu beseitigen oder doch möglichst klein zu machen.

Eine Magnetdomänenfortbewegungseinrichtung kann aus einem oder mehreren Kanälen oder Streifer aus Magnetdomänenmaterial bestehen, die auf einen-Stützsubstrat angeordnet sind. Es können mehrer« Magnetdomänenkanäle miteinander oder mit einen-Hauptkanal verbunden werden. Die Fortbewegung dei Magnetdomäne entlang einem Kanal oder Streifen wire von abstoßenden Kräften zwischen den in einem Kana vorhandenen Magnetdomänen beeinflußt, z. B. wenr eine Magnetdomäne gebildet oder verschoben wird. Di( Bewegung einer Magnetdomäne von einem Kanal ir einen anderen, angrenzenden Kanal zur Bildung eine: Logikfunktion kann durch die Anwesenheit odei Abwesenheit von Magnetdomänen in angrenzender Kanälen gesteuert werden.

Aus der DT-OS 19 10 584 ist eine Magnetdomänen fortbewegungseinrichtung der eingangs genannten Ar

bekannt Bei dieser bekannten Einrichtung dienen zur Fortbewegung der Domänen keilförmige Streifenmuster aus magnetischem Material. Die Keilform kann in der Breite (Fig. 3, 4 der DT-OS 19 10 584) oder in der Dicke (F i g. 6) verlaufen. Diese Magnetdomänenfortbewegungseinrichtung ist jedoch recht begrenzt in ihren Anwendungsmöglichkeiten, da die Domänen sich nur in einer Richtung bewegen können.

Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung einer Magnetdomänenfortbewegungseinrichtung, bei der die Domänen in mindestens zwei Richtungen, vorzugsweise in vier Richtungen, sich bewegen können.

Erfindungsge?näß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß die abgelagerten dünnen Schichten mindestens zwei Bereiche mit jeweils konstanter Dicke bilden, wobei ein Bereich, der ungefähr gleiche Ausdehnung in Länge und Breite besitzt, eine größere Dicke besitzt als ein anderer Bereich, der den ersten Bereich vollständig umgibt und isoliert

Durch die vollständige Isolierung des Bereiches größerer Dicke und durch dessen ungefähr gleiche Ausdehnung in Länge und Breite gelingt es, die Domäne in mehr als nur einer Richtung fortzubewegen.

Diese Fortbewegung in mehr als einer Richtung wird noch unterstützt, wenn gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung weitere Bereiche vorgesehen sind, die ebenfalls eine größere Dicke aufweisen als der erste Bereich und von diesem einen solchen Abstand aufweisen, daß die Domänen dorthin verschoben werden können.

In weiteren Unteransprüchen 3 bis 11 werden noch genauere Hinweise über die Dicke, Anordnung und Form der Bereiche gegeben.

Die Ansprüche 12 und 13 zeigen, wie durch besondere Ausbildung der Bereiche vorzugsweise Bewegungsrichtungen für die Magnetblasen entstehen, ohne daß die Bewegungsrichtung zwangläufig wird, wie beim Stand der Technik.

Die erfindungsgemäße Magnetdomänenfortbewegungseinrichtung besteht aus einem Einkristall-Substrat, auf dem eine dünne Schicht aus ebenfalls einkristallinem Magnetdomänenmaterial abgelagert isi. Die dünne Schicht besitzt mehrere isolierte dickere Bereiche, die durch dünnere Bereiche umgeben werden. Wenn Magnetdomänen in der dünnen Schicht gebildet werden, bewegen sie sich vorzugsweise in die dickeren Bereiche. Die umgebenden, verhältnismäßig dünneren Bereiche der Schicht dienen als Energiebarriere für die Bewegung der Magnetdomänen und halten somit die Magnetdomäne in dem dickeren Bereich der Schicht. Die Magnetdomänen können mittels herkömmlicher Fortbewegungsverfahren von diesen dickeren Bereichen weg in eine Vielzahl von Richtungen bewegt werden.

Die von den dünneren Bereichen umgebenen dickeren Bereiche können eine Kegelstumpfform aufweisen. Blasendomänen bewegen sich vorzugsweise in einer »leichten« Bewegungsrichtung, nämlich von dem weiteren Ende des Kegelstumpfes zum schmaleren Ende eines anderen angrenzenden Kegelstumpfes. Die umgekehrte Richtung nämlich vom engeren Ende eines Kegelstumpfes sum breiten Ende eines angrenzenden Kegelstumpfes, stellt eine »schwierigere« Bewegungsrichtung dar. Die Fortbewegung von Magnetdomänen in die »leichtere« Richtung erfordert weniger Kraft, als es bei Bewegung in Richtung der »schwierigeren« Bewegungsrichtung der Fall ist. Dadurch ergibt sich eine Magnetdomänenfortbewegungseinrichtung, die eine vorzugsweise Bewegungsrichtung aufweist.

Weitere Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten der Erfindung ergeben sich aus der Darstellung eines Ausführungsbeispiels sowie aus der folgenden Beschreibung. Es zeigt

F i g. 1 eine Draufsicht auf die erfindungsgemäße Magnetdomänenfortbewegungseinrichtung,

Fig. la eine andere Ausführungsform der Einrichtunggemäß Fig. 1,

Fig.2 einen Querschnitt durch die Einrichtung gemäß F ig. 1,

Fig.2a einen Querschnitt durch die Einrichtung gemäßFig. la,und

F i g. 3 eine Darstellung des Energieverlaufs längs einer Bewegungsbahn für eine Magnetdomäne.

Die erfindungsgemäße Magnetdomänenfortbewegungseinrichtung besteht aus einem Substrat 10 aus Einkristallmaterial, auf dem eine dünne Schicht 12 aus ebenfalls einkristallinem Magnetdomänenmaterial abgelagert ist. Die dünne Schicht 12 weist isolierte Bereiche 14 von größerer Dicke auf, die von Bereichen geringerer Dicke umgeben sind. Die dickeren Bereiche der dünnen Schicht stellen die niedrigen Energiestellungen für die Blasendomänen dar, wenn ein Magnetfeld senkrecht zur Oberfläche der Magnetdomänenfortbewegungseinrichtung angelegt wird. Die Magnetdomänen ordnen sich vorzugsweise in den dickeren Bereichen der dünnen Schicht an, die den niedrigeren Energiepegel aufweisen. Die dünneren Bereiche der Schicht, die die dickeren Bereiche umgeben, besitzen ein höheres Energieniveau und dienen auf diese Weise als eine Barriere gegen eine Bewegung der Magnetdomänen, wodurch die Magnetdomäne innerhalb des dickeren Bereiches gehalten wird.

Äußere Magnetkräfte werden auf herkömmliche Weise verwendet, um eine Magnetdomäne von einem dickeren Bereich in einen anderen dickeren Bereich der Schicht zu verschieben. Eine Magnetdomäne kann von einem dickeren Bereich in jeder Richtung zu einem anderen dickeren Bereich verschoben werden. Beispielsweise kann eine Magnetdomäne aus einem dickeren Bereich nach oben, unten, links oder rechts zu einem anderen dickeren Bereich bewegt werden. Die Magnetdomäne kann auch zwischen zwei dickeren Bereichen hin- und herbewegt werden oder zu irgendeiner anderen Anzahl von dickeren Bereichen fortbewegt werden.

Werden die dickeren Bereiche in kegelstumpfartiger Form ausgeführt, ergibt sich, wie schon ausgeführt, eine vorzugsweise Bewegungsrichtung für die Magnetdomäne. Diese Vorzugsrichtung verläuft vom breiten Ende des einen dicken Bereichs zum schmalen Ende eines anderen dicken Bereichs. Eine Bewegung in umgekehrter Richtung erfordert eine wesentlich höhere externe Kraft.

Die in den F i g. 1, la, 2 und 2a gezeigte dünne Schicht 12 aus Magnetdomänenmaterial wird mittels eines chemischen Aufdampfverfahrens auf dem monokristallinen Substrat 10 abgelagert. Nach der Ablagerung wird die dünne Schicht 12 geätzt, um mehrere verhältnismäßig dicke Bereiche 14 zu erhalten, die von verhältnismäßig dünnen Bereichen 16 umgeben sind. Die Dicke der Bereiche 16 ist also geringer als die Dicke der Bereiche 14. Die Form des Bereichs 14 ist vorzugsweise rechteckig oder kreisförmig (s. F i g. 1 und 2), kann aber auch kegelstumpfartig ausgeführt werden, wobei der dickere Bereich ein breites und ein schmales Ende aufweist (s. Fig. la und 2a). Die dickeren Bereiche

werden von den dünneren Bereichen 16 vollständig isoliert und erscheinen somit als Inseln auf der Schicht 12.

Das Substrat 10 stellt vorzugsweise einen monokristallinen Granat dar, der eine UsQsOu-Zusammensetzung aufweist. Der J-Anteil kann aus Cerium, Praseodymium, Neodymium, Promethium, Samarium, Europium, Gadolinium, Terbium, Dysprosium, Holmium, Erbium, Thulium, Ytterbium, Litetium, Lanthan, Yttrium, Calcium oder Wismuth bestehen. Der Q-Anteil kann aus Indium, Gallium, Scandium, Titan, Vanadium, Chrom, Mangan, Rhodium, Zikronium, Hafnium, Niobium, Tantal, Aluminium, Phosphor, Arsen oder Antimon bestehen. Beispiele für geeignete Substratmaterialien sind die folgenden: Y0.45. Gd₂Js, Ga₅On, Dyo.65, Gd₂Js, GasOi2 und Sm₃GaSOiJ.

Die dünne Schicht 12 besteht vorzugsweise aus einem Einkristallgranat einer JaQsO^-Zusammensetzung, wobei der J-Anteil aus Cerium, Praseodymium, Neodymium, Promethium, Samarium, Europium, Gadolinium, Terbium, Dysprosium, Holmium, Erbium, Thulium, Ytterbium, Litetium, Lanthan, Yttrium besteht, der Q-Anteil aus Eisen, Eisen und Aluminium, Eisen und Gallium, Eisen und Indium, Eisen und Scandium, Eisen und Titan, Eisen und Vanadium, Eisen und Chrom, Eisen und Mangan.

Vorzugsweise Materialien für die dünne Schicht sind Eisengranate, wie z. B. Y3Ga1.2Fe3.8O12 und Tb3FesOi2.

Die Magnetdomänenfortbewegungseinrichtung besitzt eine dünne Schicht mit einer bestimmten Magnetostriktionskonstanten und einer gegebenen Differenz zwischen den Gitterkonstanten von dünner Schicht und Substrat

Vorzugsweise Materialien für die dünne Schicht sind Granate, während für das Substrat auch andere Materialien verwendbar sind, insbesondere dann, wenn die dünne Schicht aus einem Orthoferritmaterial gebildet wird.

Die Bereiche 14 werden vorzugsweise mittels photolithographischer Ätzverfahren unter Verwendung von z. B. heißer Phosphoräure hergestellt. Die heiße Phosphorsäure ätzt die von einer Maske freien Gebiete der Schicht 12, wodurch die verhältnismäßig dünnen Bereiche 16 entstehen. Die maskierten Bereiche der Schicht 12, die nicht geätzt werden, bilden die dicken Bereiche 14. Statt des chemischen Ätzens können auch andere Verfahren angewendet werden, z. B. Spritzätzen oder Laserbearbeitung.

Die Größe der Bereiche 14 ist nicht kritisch; jedoch sollte die Größe des Bereichs 14 größer sein als die Größe der Magnetdomänen, die in der jeweiligen Schicht gebildet werden. In substituiertem Eisengranat besitzen die Magnetdomänen einen Durchmesser von ungefähr 0,008 mm. In diesem Falle sollte der Durchmesser des Bereichs 14 in der Größenordnung von 0,025 mm oder größer liegen. Wenn es auch für die meisten Anwendungen zweckmäßig ist, den Bereich 14 so groß zu machen, daß eine Magnetdomäne darin aufgenommen werden kann, so ist es auch möglich, den Bereich 14 so groß zu machen, daß mehrere Magnetdomänen enthalten sein können.

Magnetdomänen 18 werden auf herkömmliche Weise gebildet, indem ein geeignetes Magnetfeld über den dargestellten Strukturen angelegt wird. Die Magnetdomänen 17, 18 können in nur einem Bereich oder aber auch in mehreren Bereichen 14 gebildet werden. Die in der dünnen Schicht 12 gebildete Magnetdomäne 17,18 wird in dem dickeren Bereich 14 gehalten, da der Energiepegel im Bereich 14 niedriger liegt als irr angrenzenden Bereich 16. Der umschließende Bereit 16 mit höherem Energiepegel wirkt als Barriere gegenüber einer Bewegung der Magnetdomäne au; dem dicken Bereich heraus. Die Größe der Rückhalte kraft, die von dem dünneren Bereich 16 geliefert wird ist umgekehrt proportional zu deren Dicke. Je dickei der umgebende Bereich 16 ist, desto geringer wird die Zurückhaltungskraft. Wenn beispielsweise der Bereich 16 90% der Dicke des Bereichs 14 aufweist, wird die Magnetdomäne im Bereich 14 weniger festgehalten, als wenn der Bereich 16 eine Dicke von nur 50% des Bereichs 14 aufweist. Demgemäß kann die Größe det Rückhaltekraft zwischen verschiedenen Bereichen 14 durch Steuerung der Dicke der dünneren Bereiche 16 auf das gewünschte Maß gebracht werden. Einer der wesentlichen Vorzüge von Magnetdomänenfortbewegungseinrichtungen mit räumlicher Stabilität ist die Fähigkeit, eine Magnetdomäne in zwei Richtungen zu verschieben, z. B. in eine X- und eine V-Richtung. Zum Beispiel kann gemäß F i g. 1 eine Magnetdomäne in Λ-Richtung längs den dort dargestellten Zeilen bewegt werden, z. B. von Spalte A zu Spalte Eoder von Spalte E zu Spalte A. Entsprechend kann auch eine Magnetdomäne in irgendeiner der Spalten in V-Richtung bewegt werden, z. B. in Spalte A von Zeile 1 zu Zeile 5 oder von Zeile 5 zu Zeile 1. Die Magnetdomänen können von einer Zeile zur anderen und von einer Spalte zur anderen in jeder Kombination bewegt werden. Diese Flexibilität stellt ein sehr wertvolles Hilfsmittel dar und beseitigt die anfangs genannten Nachteile des Standes der Technik, der nur eine Bewegung in eine Richtung gestattet, entweder also nur in X-Richtung oder nur in V-Richtung.

Die Magnetdomänen in den Bereichen 14 können horizontal, vertikal und/oder diagonal bewegt werden. Die in F i g. 1 dargestellte geometrische Anordnung der Bereiche 14 kann auch abgeändert werden. Zum Beispiel wäre es möglich, einen ersten Bereich 14 vorzusehen, der von mehreren weiteren Bereichen 14 zirkulär umgeben ist. Jedoch stellt die in F i g. 1 dargestellte Matrizenform eine besonders günstige Anordnung dar.

Eine weitere Möglichkeit, die Bereiche 14 anzuordnen, liegt darin, um einen hexagonalförmigen ersten Bereich 14 sechs gleichmäßig im Abstand liegende, ebenfalls hexagonalförmige weitere Bereiche 14 anzuordnen. In diesem Fall kann eine Magnetdomäne vom ersten Bereich 14 in sechs verschiedene Richtungen

verschoben werden.

Der Bereich 14 kann auch octogonal geformt sein und von acht gleichmäßig im Abstand angeordneten Bereichen 14 umgeben sein, die ebenfalls wieder octogonal sind. Dann kann eine Magnetdomäne vom ersten Bereich 14 in acht verschiedene Richtungen verschoben werden.

Durch die beschriebene Flexibilität kann die erfindungsgemäße Magnetdomänenfortbewegungseinrichtung vielseitig angewendet werden. Neben der Anwendung als Schieberegister für Verknüpfungseinrichtungen ist auch eine Anwendung bei Schaltsystemen, bei Telefonwählanordnungen u. dgl. möglich.

Werden kegelstumpfförmige Bereiche 14 verwendet, können auch diese in Form von Spalten und Zeilen angeordnet werden, wie es in F i g. 1 a gezeigt ist. Die kegelstumpfartigen Bereiche 14 besitzen ein schmales Ende 26 und ein breites Ende 22. Die kegelstumpfförmigen Bereiche 14 sind vorzugsweise symmetrisch

angeordnet, d. h., daß ein breites Ende von einem dicken Bereich 14 neben dem schmalen Ende eines angrenzenden Bereichs 14 liegt. Beispielsweise liegt das breite Ende 22 des kegelstumpfartigen Bereichs 20 nächst zum schmalen Ende 26 des angrenzenden kegelstumpfförmigen Bereichs 24.

Der kegelstumpfförmige Bereich 14 kann mit seinem schmalen Ende so angeordnet sein, daß der schmale Teil nach »Westen« zeigt, s. F i g. la; er kann aber auch nach »Norden«, »Osten«, »Süden« oder in eine dazwischenliegende Richtung weisen. Beispielsweise können in einer Zeile die schmalen Enden 26 in Richtung »Osten« weisen, in einer zweiten Zeile in Richtung »Westen«.

Die Magnetdomänen 17 ordnen sich selbsttätig in die kegelstumpfartigen Bereiche 14 in die Stellung 18 mit niedrigster Energie ein, wie in F i g. 1 gezeigt und in F i g. 3 herausgestellt. Magnetdomänen können auf diese Weise von und zu angrenzenden Bereichen 14 bewegt werden. Beispielsweise kann eine Magnetdomäne längs der »leichten« Bewegungsrichtung durch das breite Ende 22 des kegelstumpfförmigen Bereichs 20 und durch das enge Ende 26 des kegelstumpfförmigen Bereichs 24 bewegt werden. Diese »leichte« Bewegungsrichtung erfordert nur verhältnismäßig kleine Kraft, um die Magnetdomäne zu verschieben. Besonders günstig ist es, wenn die vorzugsweise Bewegungsrichtung der Magnetdomäne mit der »leichten« Bewegungsrichtung übereinstimmt. Indem die externe Kraft für die Magnetdomänenbewegut;g geeignet gewählt wird, bewegen sich die Magnetdomänen nur längs der »leichten« Richtung, da die Bewegung in entgegengesetzter Richtung zu große Kraft erfordern würde. Die für die Bewegung erforderliche Kraft wird definiert durch die Energieänderung pro Längenänderung (F = dE/dX). Die für eine Magnetdomänenbewegung benötigte Kraft ist in Fi g. 3 als Steigung (oE/dX)

ίο der Kurve (Energie über Entfernung) dargestellt. Die zur Verschiebung benötigte Kraft, d. h. die Steigung, ist von 28 bis 30 (F i g. 3) entlang der »leichten« Richtung vom Bereich 20 zum Bereich 24 kleiner als die Steigung von 32 nach 30 längs der »schwierigen« Richtung vom Bereich 24 zum Bereich 20.

Durch entsprechende Anordnung der kegelstumpfartigen Bereiche kann erreicht werden, daß die »leichte« Bewegungsrichtung in die gewünschte Richtung geht. Durch die Verwendung derartiger kegelstumpfartiger

sto Bereiche und durch die Bewegung der Magnetdomänen entlang »leichter« Bewegungsrichtungen ergibt sich ein nur in eine Richtung weisender Weg für die Magnetdomäne. Jedoch können die Magnetdomänen auch längs der »schwierigen« Bewegungsrichtung verschober werden, doch erfordert dies größere Kräfte, als sie füi eine Verschiebung längs der »leichten« Bewegungsrichtung erforderlich sind.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (13)

Patentansprüche:

1. Magnetdomänenfortbewegungseinrichtung mit örtlichen Gebieten von räumlicher Stabilität für Magnetdomänen, bestehend aus einem Substrat und aus auf dem Substrat in vorbestimmtem Muster abgelagerten dünnen Schichten aus Magnetdomänenmaterial, dadurch gekennzeichnet, daß die abgelagerten dünnen Schichten (14, 16) mindestens zwei Bereiche mit jeweils konstanter Dicke bilden, wobei ein Bereich (14), der ungefähr gleiche Ausdehnung in Länge und Breite besitzt, eine größere Dicke besitzt, als ein anderer Bereich (16), der den ersten Bereich (14) vollständig umgibt und isoliert.

2. M agnetdomänenf ortbewegungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Vielzahl von Bereichen (14) einer dritten Dicke vorgesehen sind, die größer sind als die Dicke des Umgebungsbereiches (16), und daß die Vielzahl der Bereiche (14) von dem ersten Bereich (14) einen Abstand der Art aufweisen, daß eine Domäne vom ersten Bereich (14) zu der Vielzahl von Bereichen (14) verschoben werden kann.

3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke des ersten Bereiches (14) im wesentlichen die gleiche ist wie die der Vielzahl der Bereiche (14).

4. Einrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Vielzahl der Bereiche (14) in einem Muster um den ersten Bereich (14) herum angeordnet ist.

5. Einrichtung nach Ansprüchen 2, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens zwei der Vielzahl von Bereichen (14) auf gegenüberliegenden Seiten des ersten Bereiches (14) angeordnet sind.

6. Einrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens zwei der Vielzahl der Bereiche (14) so angeordnet sind, daß sie einen Winkel von ungefähr 90° mit dem ersten Bereich (14) bilden.

7. Einrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Form des ersten Bereiches (14) rund ist.

8. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß neben dem ersten Bereich (14) und dem Umgebungsbereich (16) ein zweiter Bereich (14) und ein dritter Bereich (14) vorgesehen sind, die jeweils eine größere Dicke aufweisen wie ihr Umgebungsbereich (16), daß der zweite Bereich (14) in X-Richtungen mit Bezug auf den ersten Bereich (14) angeordnet ist, wobei eine Domäne vom ersten zum zweiten Bereich (14) bewegt werden kann, und der dritte Bereich (14) in y-Richtung mit Bezug zum ersten Bereich (14) angeordnet ist, wobei eine Domäne vom ersten zum dritten Bereich (14) bewegt werden kann.

9. Einrichtung nach Anspruch 8, gekennzeichnet durch einen vierten Bereich (14) mit einer Dicke, die größer ist als die des zugehörigen Umgebungsbereiches (16), wobei der vierte Bereich (14) zum ersten Bereich einen derartigen Abstand hat, daß eine Domäne vom ersten zum vierten Bereich (14) bewegt werden kann, und durch einen fünften Bereich (14) mit einer Dicke, die größer ist als die des zugehörigen Umgebungsbereiches (16), wobei der fünfte Bereich (14) zum ersten Bereich einen derartigen Abstand hat, daß eine Domäne vom ersten zum fünften Bereich (14) verschoben werden kann.

10. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Bereiche geätzt sind.

U. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß es als vielsteiliges Schieberegister verwendbar ist.

12. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein erster Bereich (14) und ein zweiter Bereich (14) jeweils eine kegelstumpfartige Form mit einem schmalen Ende (26) und einem breiten Ende (22) aufweisen, wobei der zweite Bereich (14) zum ersten Bereich (14) derart angeordnet ist, daß eine Domäne vom ersten Bereich (14) durch dessen breites Ende (22) zum zweiten Teil durch dessen schmales Ende (26) bewegt werden kann.

13. Einrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß eine Vielzahl von kegelstumpfartigen zweiten Bereichen (14) vorgesehen sind, die in linearer Abstandsbeziehung zum ersten Bereich (14) stehen, wobei die schmalen Enden (26) gleichförmig und symmetrisch voneinander einen Abstand besitzen.