DE2145956A1 - Verfahren zum gleichzeitigen Eindiffundieren mehrerer Verunreinigungen in ein Halbleiter-Grundmaterial - Google Patents

Verfahren zum gleichzeitigen Eindiffundieren mehrerer Verunreinigungen in ein Halbleiter-Grundmaterial

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DE2145956A1 DE19712145956 DE2145956A DE2145956A1 DE 2145956 A1 DE2145956 A1 DE 2145956A1 DE 19712145956 DE19712145956 DE 19712145956 DE 2145956 A DE2145956 A DE 2145956A DE 2145956 A1 DE2145956 A1 DE 2145956A1
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