DE2142204A1 - Thyristor - Google Patents

Thyristor

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DE2142204A1
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electrode
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semiconductor body
electrodes
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Karl Dipl Phys Dr Platzoeder
Peter Dipl Ing Dr Voss
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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    • H01L29/66Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/68Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
    • H01L29/70Bipolar devices
    • H01L29/74Thyristor-type devices, e.g. having four-zone regenerative action
    • H01L29/7424Thyristor-type devices, e.g. having four-zone regenerative action having a built-in localised breakdown/breakover region, e.g. self-protected against destructive spontaneous, e.g. voltage breakover, firing

Description

2U2204
SIEMENS AKTIENGESELLSCRAPT München 2, 2 3. AUG. 1971
Eerlin und München Witteisbacherplatz 2
71/1138
Thyristor
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Thyristor mit einem scheibenförmigen Halbleiterkörper mit mindestens vier Zonen abwechselnden Leitfähigkeitstyps, von denen die erste einen Emitter, die zweite eine erste Basis und die dritte eine ζγ/eite Basis bilden, mit einer Zündelektrode und einer Emitterelektrode, deren Durchmesser kleiner als der des Halbleiterkörpers ist.
Legt man an die Hauptstrecke eines solchen Thyristors in Blockierrichtung eine die Nullkippspannung überschrei tende Spannung an, so kann der Thyristor gezündet werden, auch ohne daß er über die Zündelektrode einen Steuerstrom erhält. Diese Art der Zündung wird "Überkopfzünden" genannt. Es hat sich herausgestellt, daß die bisher bekannten Thyristoren beim Überkopfzünden in den meisten Fällen zerstört wurden. Dies hat im wesentlichen zwei Ursachen: Die erste Ursache ist darin zu sehen, daß bei Anlegen einer die Nullkippspannung übersteigenden Spannung in Blockierrichtung am Rand des Halbleiterkörpers ein Lawinendurchbruch auftritt. Der beim Lawinendurchbruch im Randbereich fließende Strom konzentriert sich auf einen sehr kleinen Bereich. Dieser Bereich wird spezifisch sehr hoch belastet, so daß es an dieser Stelle zur Zerstörung des Halbleiterkörpers kommen kann.
Der zweite Grund besteht darin, daß im Randbereich eines Thyristors oft starke Kurzschlüsse, z. B. ein Kurzschlußring, vorgesehen sind, die zur Verbesserung des dU/dt-Verhaltens dienen. In einem solchen Fall fließt ein Teil des Lawinenstroms
VPA 9/11o/1o89 Hab/Au . - 2 -
309809/054 1
2U2204
aus der Basis direkt in die Kurzschlüsse, während ein kleiner Teil des Lawinenstroms zum Emitter fließt. Hierdurch wird die Ausbreitung des Zündvorganges so behindert, daß ein Überkopfzünden nur mit geringen di/dt-Werten möglich ist. Werden diese Werte überschritten, kommt es ebenfalls zu unzuXässig hohen spezifischen Belastungen, wodurch der Halbleiterkörper zerstört wird.
Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe besteht darin, einen Thyristor der eingangs erwähnten Gattung so weiterzubilden, daß er bei Anlegen einer die Nullkippspannung . übersteigenden Spannung innerhalb der äußersten Elektrodenbegrenzung zündet.
Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Basis unter den Elektroden einen Bereich mit einem spezifischen Widerstand aufweist, der kleiner ist als der spezifische Widerstand außerhalb der äußersten Elektrodenbegrenzung.
2o
Der spezifische Widerstand des Bereiches kann 1o bis 4o Prozent niedriger sein. Ist das Halbleitermaterial des Thyristors inhomogen, weist die zweite Basis unter den Elektroden einen Bereich mit einem spezifischen Widerstand auf, } 25 der unter dem niedrigsten spezifischen. Widerstand außerhalb der Elektrode liegt. Der Bereich kann auch hier einen spezifischen Widerstand haben, der 1o bis 4o Prozent kleiner als der niedrigste spezifische Widerstand außerhalb der Elektroden ist. Der genannte Bereich kann im wesentlichen unter der Zündelektrode und dem der Zündelektrode zugekehrten Teil der Emitterelektrode liegen.
Aus der Zeitschrift "Solid State Electronics", 1, Seite 2o2 bis 21 ο, 196ο, ist bekannt, daß z. B. ein tiegel gezogener Stab
VPA 9/110/1o89 - 1 -
309809/0541
α _ 3 —
aus Halbleitermaterial über seinen Querschnitt Schwankungen im spezifischen Widerstand aufweist. Hinweise, diese Erscheinung bei Thyristoren gezielt einzusetzen, sind der Zeitschrift jedoch nicht zu entnehmen.
Die Erfindung wird anhand einiger Ausführungsbeispiele in Verbindung mit den Figuren 1 bis 3 näher erläutert:
Es zeigen:
1o
Figur 1 einen schematischen Querschnitt durch einen Halbleiterkörper,
Figur 2 den Verlauf des spezifischen Widerstandes in der zweiten Basis in Abhängigkeit des Radius des Halbleiterkörpers gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel und
Figur 3 den Verlauf des spezifischen Widerstandes in der^zweiten Basis eines Halbleiterkörpers in Abhängigkeit vom Radius gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel
In Figur 1 ist ein Halbleiterkörper mit 1 bezeichnet. Dieser weist einen Emitter 2 auf, der mit einer Elektrode 3 versehen ist. An der Elektrode 3 ist eine Zuführungselektrode'4 angebracht. Eine erste Basis des Halbleiterkörpers 1 ist mit 5 bezeichnet. Diese ist mit einer Zündelektrode 6 versehen, die mit einer Zuführungselektrode 7 verbunden ist. Eine zweite Basis des Halbleiterkörpers ist mit 8 bezeichnet. Sie hat unter den Elektroden 3 und. 6 einen Bereich 9, dessen spezfischer Widerstand geringer als der der übrigen Basis 8 am Rand des Halbleiterkörpers ist. Der spezifische Widerstand im Bereich kann um 1o bis 4o Prozent niedriger liegen. Der Halbleiterkörper weist ferner noch einen zweiten Emitter 1o auf, der mit einer Elektrode 11 versehen ist. An der Elektrode 11 ist eine Zuführungselektrode 12 angebracht. Die Elektrode 5 ist mit einem Kurzschlußring 13 versehen, der die Elektrode 3 am Rand direkt mit der ersten Basis verbindet. Für die Funktion der Erfindung ist der Kurzschlußring 13 jedoch nicht wesentlich.
VPA 9/11 o/io89 309809/0541
2H2204
In Figur 2 ist der Verlauf des spezifischen Widerstandes in Abhängigkeit vom Radius r des Halbleiterkörpers aufgetragen. Der spezifische Widerstand am Rand der zweiten Basis 8 ist mit O und der niedrigste Widerstand im Bereich 9
ι α -
mit ^. bezeichnet. Der spezifische Widerstand f. liege hier z. B. um 25 unter dem spezifischen Widerstand 0 . Damit
J el
ergibt sich in der Mitte des Bereiches 9, der den Radius r, hat, eine Nullkippspannung, die um etwa 1o$ unter der Nullkippspannung am Rand des Halbleiterkörpers liegt. Bei Anlegen einer Spannung an die Zuführungselektrode 7 und 12 wird daher im Bereich 9 ein Durchbruch stattfinden, bevor es am Rand des Halbleiterkörpers 1 zu einem Durchbruch kommt. Durch Ladungsträgermultiplikation am sperrenden pn-übergang zwischen der Basis 8 und der Basis 5 wird der Zündvorgang eingeleitet.
Die Spannung zwischen den Zuführungselektroden 7 und 12 bricht dann zusammen.
Durch den Verlauf des spezifischen Widerstandes in der zweiten Basis 8 wird erreicht, daß der Thyristor innerhalb eines Bereiches zündet, der in Figur 1 mit C bezeichnet ist. Innerhalb dieses Bereiches ist ein Überkopfzünden mit hohen di/dt-Werten möglich. Würde die Zündung dagegen in einem Bereich eingeleitet, der in Figur 1 mit B bezeichnet ist, würde sich der eingangs erwähnte Lawinenstrom aufteilen. Ein Teil des Stromes fließt unter Umgehung des Emitters 2 über den Kurzschlußring 13 zur Emitterelektrode 3, während ein kleinerer Teil des Lawinenstroms in den Emitter 2 fließt und dort am äußersten Rand die Zündung einleitet. Der Zündvorgang breitet sich in diesem Fall nur langsam aus, so daß der Halbleiterkörper bei hohen di/dt-Werten zerstört wird.
Durch die Dimensionierung des spezifischen Widerstandes in der zweiten Basis 8 wird außerdem vermieden, daß in dem in Figur 1 mit A bezeichneten Bereich ein Oberflächendurchbruch stattfindet.
VPA 9/11o/1o89 - 5 -
309 8 09/0541
Beim Verlauf des spezifischen Widerstandes nach Figur 2 wurde angenommen, daß die Dotierung und damit der spezifische Widerstand außerhalb des Bereiches 9 im wesentlichen homogen ist. Dies wird jedoch nicht immer der Fall sein. Tn Figur 3 ist der Verlauf des spezifischen Widerstandes in Abhängigkeit des Radius des Halbleiterkörpers 1 für den Fall gezeigt, daß dieser außerhalb des Bereiches 9 inhomogen ist. Der niedrigste spezifische Widerstand außerhalb dieses Bereiches 9 ist hier mit Q . bezeichnet. In diesem Fall muß der spezifische Widerstand %. im Bereich 9 um 1o bis 4o Prozent unter diesem
kleinsten Widerstand J . - außerhalb des Bereiches 9 liegen.
Die Erfindung wurde anhand zweier Ausführungsbeispiele erläutert, bei denen der Bereich 9 relativ groß ist. Der Bereich 9 kann jedoch auch wesentlich kleinere Durchmesser einnehmen und z.B. nur unter der Zündelektrode 6 liegen. Findet in diesem kleinen Bereich ein Durchbruch statt, so fließen die Ladungsträger . durch die erste Basis 5 zur Zündelektrode 6 und von hier zum Emitter 2, wodurch der Zündvorgang ausgelöst wird.
5 Patentansprüche
3 Figuren
VPA 9/110/1089 3O98OUZOStI--

Claims (5)

Patentansürtiehe
1. Thyristor mit einem scheibenförmigen Halbleiterkörper mit mindestens vier Zonen abwechselnden Leitfähigkeits-■fcyps» von denen die erste einen Emitter, die zweite eine erste Basis und die dritte eine zweite Basis bilden, mit einer Zündelektrode und einer Emitterelektrode, deren Durchmesser kleiner als der des Halbleiterkörpers ist, dadurch gekennzeichnet , daß die zweite Basis (5) unter den Elektroden (3,6) einen Bereich (9) mit einem spezifischen Widerstand aufweist, der kleiner ist als der spezifische Widerstand außerhalb der äußersten Elektrodenbegrenzung.
2. Thyristor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß der spezifische Widerstand des Bereiches (9) 1o bis 4o Prozent niedriger ist.
3. Thyristor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Basis (5) unter den Elektroden (3,6) einen Bereich mit einem spezifischen Widerstand aufweist, der unter dem niedrigsten spezifischen Widerstand außerhalb der Elektroden liegt.
4. Thyristor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der spezifische Widerstand des Bereiches 1o bis 4o Prozent kleiner als der niedrigste spezifische Widerstand außerhalb der Elektroden ist.
5. Thyristor nach einem der Ansprüche 1 bis 4» dadurch gekennzeichnet , daß der Bereich (9) im wesentlichen unter der Zündelektrode (6) und dem der Zündelektrode zugekehrten Teil der Emitterelektrode (3) liegt.
3 0 9 S 0 9 / 0 S A 1
DE2142204A 1971-08-16 1971-08-23 Thyristor Pending DE2142204A1 (de)

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SE (1) SE380933B (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2346256A1 (de) * 1973-09-13 1975-03-27 Siemens Ag Thyristor

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2310570C3 (de) * 1973-03-02 1980-08-07 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Verfahren zum Herstellen eines überkopfzündfesten Thyristors
US4176371A (en) * 1976-01-09 1979-11-27 Westinghouse Electric Corp. Thyristor fired by overvoltage
US4060825A (en) * 1976-02-09 1977-11-29 Westinghouse Electric Corporation High speed high power two terminal solid state switch fired by dV/dt
US4079403A (en) * 1976-11-01 1978-03-14 Electric Power Research Institute, Inc. Thyristor device with self-protection against breakover turn-on failure
US4156248A (en) * 1977-01-31 1979-05-22 Rca Corporation Gate turn-off semiconductor controlled rectifier device with highly doped buffer region portion
JPS54152477A (en) * 1978-04-24 1979-11-30 Gen Electric Thyristor and method of forming same
US4314266A (en) * 1978-07-20 1982-02-02 Electric Power Research Institute, Inc. Thyristor with voltage breakover current control separated from main emitter by current limit region
JPS5958866A (ja) * 1982-09-28 1984-04-04 Mitsubishi Electric Corp サイリスタ
JPS59208098A (ja) * 1983-05-12 1984-11-26 Shimizu Shoji Kk アニオン電着塗膜の密着性向上法
IT1212767B (it) * 1983-07-29 1989-11-30 Ates Componenti Elettron Soppressore di sovratensioni a semiconduttore con tensione d'innesco predeterminabile con precisione.
FR2579024B1 (fr) * 1985-03-12 1987-05-15 Silicium Semiconducteurs Ssc Thyristor de protection sans gachette

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3331000A (en) * 1963-10-18 1967-07-11 Gen Electric Gate turn off semiconductor switch having a composite gate region with different impurity concentrations
GB1112301A (en) * 1964-07-27 1968-05-01 Gen Electric Controlled rectifier with improved turn-on and turn-off characteristics
GB1174899A (en) * 1966-04-15 1969-12-17 Westinghouse Brake & Signal Improvements relating to Controllable Rectifier Devices
US3487276A (en) * 1966-11-15 1969-12-30 Westinghouse Electric Corp Thyristor having improved operating characteristics at high temperature
US3486088A (en) * 1968-05-22 1969-12-23 Nat Electronics Inc Regenerative gate thyristor construction
CH485329A (de) * 1968-07-22 1970-01-31 Bbc Brown Boveri & Cie Stossspannungsfeste Halbleiterdiode
US3577046A (en) * 1969-03-21 1971-05-04 Gen Electric Monolithic compound thyristor with a pilot portion having a metallic electrode with finger portions formed thereon
JPS5129921B2 (de) * 1972-05-16 1976-08-28

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2346256A1 (de) * 1973-09-13 1975-03-27 Siemens Ag Thyristor

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Publication number Publication date
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AT314656B (de) 1974-04-25
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CH538197A (de) 1973-06-15
CA971675A (en) 1975-07-22
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BE787597A (fr) 1973-02-16
SE380933B (sv) 1975-11-17
FR2149405A1 (de) 1973-03-30
JPS4829379A (de) 1973-04-18

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