DE2114711A1 - Maschine zum Überprüfen und Korrigieren von Elementen hybrider integrierter Schaltungen - Google Patents
Maschine zum Überprüfen und Korrigieren von Elementen hybrider integrierter SchaltungenInfo
- Publication number
- DE2114711A1 DE2114711A1 DE19712114711 DE2114711A DE2114711A1 DE 2114711 A1 DE2114711 A1 DE 2114711A1 DE 19712114711 DE19712114711 DE 19712114711 DE 2114711 A DE2114711 A DE 2114711A DE 2114711 A1 DE2114711 A1 DE 2114711A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- machine according
- correction
- circuit
- corrected
- carrier plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
- H01C17/30—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for baking
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
- H01C17/06—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base
- H01C17/075—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base by thin film techniques
- H01C17/08—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base by thin film techniques by vapour deposition
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
- H01C17/22—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming
- H01C17/24—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by removing or adding resistive material
- H01C17/2408—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by removing or adding resistive material by pulsed voltage erosion, e.g. spark erosion
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
- H01C17/22—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming
- H01C17/24—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by removing or adding resistive material
- H01C17/2416—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by removing or adding resistive material by chemical etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C7/00—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material
- H01C7/006—Thin film resistors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N97/00—Electric solid-state thin-film or thick-film devices, not otherwise provided for
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2203/00—Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
- H05K2203/17—Post-manufacturing processes
- H05K2203/171—Tuning, e.g. by trimming of printed components or high frequency circuits
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Description
Ingo Co Olivetti & Co, S.p.A»,
Ivrea (Torino), Italien
Maschine zum Überprüfen und Korrigieren von Elementen
hybrider.integrierter Schaltungen
Die Erfindung bezieht sich auf eine Maschine zum Überprüfen und Korrigieren von Elementen durch Aufbringen
von dünnen Filmen auf Tragerplatten hergestellter hybrider
integrierter Schaltungen, die Korrektureinrichtungen
enthält, die die Korrektur durch Beseitigen eines Teiles des dünnen Films bewerkstelligen können.,
Die Beschaffenheit und die Geometrie integrierter Schaltungen
machen langwierige und äußerst genaue Herstellungs vorgänge notwendig» Beispielsweise muß das Überprüfen der
Werte der Widerstände einzeln mit sehr genauen Meßgeräten durchgeführt werden. Außerdem ist das Aufbringen des dünnen
Films» insbesondere hinsichtlich seiner Dicke, schwer
zu messen, weshalb der Wert der Widerstände häufig außerhalb der erforderlichen Toleranzen liegte Zum Vermeiden
übermäßig hoher Ausschußzahlen ist bereits vorgeschlagen
worden, Widerstände von übermäßig hohem Wert durch Beseitigen eines Teiles des dünnen Filmes zu korrigieren»
Gerade dieser Arbeitsgang ist sehr mühsam und schwierig, da er an einem einzigen Widerstand durchgeführt werden
muß, indem er mit Hilfe von Mikroskopen in die richtige
109840/1289
lage gebracht wird, während der auf diese Weise korrigierte
Widerstand dann nochmals durch das Meßgerät überprüft werden muß»
Außerdem macht die Entwicklung integrierter Schaltungen Fertigungsverfahren erforderlich, die so weit wie möglich
automatisiert sind und mit den bekannten Geräten nicht zu erreichen sind»
Das durch die Erfindung zu lösen vorgeschlagene technisehe
Problem ist die Herstellung einer Maschine, die in der lage ist* das Überprüfen und die Korrektur der Schaltungselemente
in weitmöglichst automatischer vVeise durchzuführen©
Dieses technische Problem wird durch die Maschine nach der Erfindung gelöst, die gekennzeichnet ist durch Meßeinrichtungen,
die die Messung des zu korrigierenden Elements im wesentlichen während der Betätigung der Korrektureinrichtungen
vornehmen können, während die Meßeinrichtungen die Betätigung der Korrektureinrichtungen steuern
könne no
Nach einem weiteren Merkmal der Erfindung enthält die Maschine
eine Meßvorrichtung, die die zu korrigierenden Elemente messen und die Toleranzwertbedingung, den zu korrigierenden
Wert und den nicht korrigierbaren Wert speichern kann»
Im Falle einer eine Vielzahl von Chips mit integrierten Schaltungen tragenden Trägerplatte kann ein Speicher die
Toleranzwertbedingung und den zu korrigierenden Wert für
jedes Element eines Chips, an welchem keine als Ausschuß zu verwerfenden Elemente vorbanden sind, speichern, wobei
die Korrektur streng nur auf die zu korrigierenden Elemente
begrenzt ist»
10984Π/1289 ~3~
21U711
!lach einem weiteren Merkmal der Erfindung besitzt die
Maschine eine Vorrichtung zum Insteilungbringen einer zu
überprüfenden und zu korrigierenden Trägerplatte auf
einem Halter, der hohl ist und an eine Vakuumansaugöffnung
angeschlossen ist zum Befestigen der Trägerplatte
■mf dem Halter, der sich in der Meßvorrichtung und in der
Korrekturvorrichtung mit Hilfe von Stiften anbringen läßt»
Diese und weitere Merkmale der Erfindung gehen aus der nachstehenden Beschreibung eines nicht' beschränkenden
bevorzugten Ausführungsbeispiels anhand der beigefügten Zeichnungen im einzelnen hervor» 'Ea zeigen:
Figo 1 eine Vorderansicht einer kaschine nach der Erfindung
zum Überprüfen und Korrigieren der Widerstände integrierter Schaltungen,
fig. 2 eine Aufsicht auf die Maschine nach Figo 1,
Figo 3 eine teilweise im Schnitt und in vergrößertem Maßstäbe dargestellte Vorderansicht einer ersten
Vorrichtung der Maschine,
Figo 4 einen Schnitt nach der Linie IV-IV in Figo 3, Fig» 5 einen Teilschnitt nach der Linie V-V in Figo 3,
Figo 6 eine teilweise im Schnitt und in vergrößertem
Maßstäbe dargestellte Vorderansicht einer zweiten Vorrichtung der Maschine,
Figo 7 eine Seitenansicht der Vorrichtung nach Figo 6,
Figo 8 eine Aufsicht auf eine Einzelheit der Vorrichtung nach Figo 6,
Figo 9 einen Schnitt nach der Linie IX-IX in Figo 7,
1 0 1A ' '.i\ I 1 ? B
Figo 10 eine Aufsicht auf eine Hilfsvorrichtung der
Maschine in weiter vergrößertem Maßstäbe,
Figo 11 und 12 zwei im rechten Winkel zueinander geführte Schnitte durch die Vorrichtung nach
Figo 10,
Figo 15 eine teilweise im Schnitt und in vergrößertem
Maßstäbe dargestellte Torderansicht einer dritten
Torrichtung der Maschine,
. Figo 14 eine Seitenansicht der Torrichtung nach Figo 13,
Figo 15 eine Aufsicht auf die Torrichtung nach Fig. 13,
Figo 16 eine Ansicht einer Einzelheit der Torrichtung nach Fig« 13 in weiter vergrößertem Maßstabe,
Figo 17 ein Blockdiagramm des elektronischen Steuergeräts der Maschine,
Figo 18 eine in vergrößertem Maßstabe dargestellte Ansicht einer integrierten Schaltung, deren Widerstände
durch die Maschine nach Fig» 1 überprüft und korrigiert -werden können»
Die Maschine nach der Erfindung eignet sich insbesondere zum Prüfen und Korrigieren der Widerstände von hybriden
integrierten Schaltungen, die mittels des in der Parallelanmeldung P »ooo.·.. vom 19° März 1971 vorgeschlagenen
Terfahrens hergestellt sind ο Im einzelnen wird eine gegebene
Schaltung hergestellt, indem man von Trägerplatten aus glasartigem keramischem Werkstoff ZoB* mit einer
dünnen (Jlasschicht überzogenen Aluminiumoxid ausgeht, von
welchen eine in Figo 18 mit 16 bezeichnet ist» Jede Trägerplatte 16, deren Abmessungen etwa 50 χ 50 mm betragen,
bildet den Träger für zwölf Chips 17 für eine gleiche Anzahl von in zwei Reihen von sechs Chips angeordneten
gleichen integrierten Schaltungen*
1 0 9 H U Π / 1 ? s? 9 „,:
211 A711
Die Leiter jedes Chips 17 sind aus einem Niederschlag
einer durch Verdampfung im Vakuum erzielten Niekel-Chrom-Schicht
gebildet, die von einer teilweise durch Verdampfung, im Vakuum erzielten G-oldschicht bedeckt ist} worauf die
Schaltungselemente, doh» die Form der Schaltung, durch
Lichtätzung erzielt werden» Die Dicke der Schaltungselemente
wird durch einen anschließenden Miederschlag von Gold mittels Elektrolyse um eine Dicke von etwa 3,5/U
vermehrte
Jedes Chip 17 mit einer integrierten Schaltung umfaßt Zonen 18 für den Anschluß von Halbleiterelementen und
ausgedehnte Bereiche 19 aus Nickel-Chorm-Gold-Niederschlag,
deren Widerstand vernachlässigbar ist, und mit R1, R2, R3,
R4 ο bezeichnete Anschlüsse für diesen Niederschlag»
die die wirklichen und eigentlichen Widerstände der Schaltung bilden» Normalerweise können bis zu zwölf Widerstände
für jedes Chip vorgesehen werden. Der Wert der auf diese Weise erzielten Widerstände beträgt etwas weniger als
der vorbestimmte Wert, damit Korrekturen eines WiderStandes
durch Beseitigen eines Teiles des i\lickel-Chrom-Gold-Niederschlages
vorgenommen werden könneno Zu diesem Zweck ist jeder Widerstand R1, R2 <
>.. mit einer zwischen zwei Zonen von unterschiedlicher Breite angeordneten Stufe 20
versehene Der Niederschlag wird beseitigt, indem auf die Stufe 20 so eingewirkt wird, daß die Zone von geringerer
Dicke zunimmt und somit der Wert des Widerstandes ebenfalls zunimmto
Die Maschine zum Überprüfen und Korrigieren der Widerstände arbeitet an einer zwölf Chips 17 für eine gleiche Anzahl
von integrierten Schaltungen enthaltenden Trägerplatte Ι6β Sie besitzt eine erste Vorrichtung 21 (Mg. 1) zum
Anbringen und Ausrichten der Trägerplatte 16 auf einem System von Stiften mit Hilfe eines Mikroskops 22 mit zwei
Obj ektiven. Die Maschine besitzt außerdem eine zweite Vor-
-6-109 8 40/1289
2ΊΗ711
richtung 23 für das anschließende Überprüfen der Widerstände R1 ..oo R12o Diese Vorrichtung ermittelt den Wert
jedes Widerstandes und speichert Information, die die Widerstände in Klassen einstuft je nachdem, ob sie eine
Toleranz haben oder ob sie korrigiert werden müssen oder ob sie als Ausschuß ausgeschieden werden müssen, weil sie
außerhalb der Grenzen liegen, innerhalb derer die Korrektur wirken kann»
Die Maschine besitzt außerdem eine Korrekturvorrichtung 24»
. die mit einer vibrierenden Nadel oder Spitze 25 versehen " ist, um in allen Widerständen der zwölf Schaltungen der
Reihe nach den Nickel-Chrom-Gold-Hiederschlag durch Elektroerosion
einzukerben»
Die Nadel 25 wird durch die gespeicherte Information gesteuert, die die Korrektur derjenigen Widerstände ausläßt,
die zu einem Chip gehören, bei welchem mindestens ein Widerstand als Ausschuß zu verwerfen eingestuft worden,
wie nachstehend noch näher erläutert*
Die Vorrichtung 21 zum Anbringen und Ausrichten der Trägerplatte
1.6 besitzt eine Grundplatte 27 (Figo 3), auf der zwei Ausrichtstifte 28 und 29 befestigt sind» Der
Stift 28 (Figo 4} hat einen dreieckigen Querschnitt, während der Stift 29 kreisrund ist, jedoch zwei einander
gegenüberliegende Abflachungen aufweist© Auf den beiden Stiften 28 und 29 wird ein allgemein mit 31 bezeichneter
Halter für die Trägerplatte 16 angeordnete Der Halter 31 besteht aus einer unteren Platte 32 von kreisrunder Form,
die mit zwei Haltelöchern 33 (Figo 3) versehen ist, die miteinander übereinstimmen« Die Platte 32 ist außerdem mit
einer Vertiefung 34 in Form eines Quadrats (Figo 4) versehen,
in welcher eine mit der Plat ^e'32 verkittete obere Platte 36 (Figo 3) angeordnet iste Der untere Teil der
. . . . 10984Π/1-289 ~
Platte 36 ist so, daß er mit der Vertiefung 34 eine Kammer
37 bildete Die Platte 36 ist mit einer Gruppe von in Form
eines G-itters angeordneten Öffnungen' 38 versehen, die
durch die Trägerplatte 16 bedeckt werden können,, Auf einer
Seite der unteren Platte 32 (Fig. 4) ist ein an eine in
der Zeichnung nicht dargestellte Vakuumpumpe angeschlossener
Schlauch 39 befestigte
Die Trägerplatte 16 ist mit zwei Eezugsmarkierungen versehen,
die mit zwei an einer transparenten Platte 42 vorhandenen Bezugsmarkierungen 41 einwandfrei zur Deckung gebracht
werden müssen. Die Platte 42 ist an einem Riegel 43 befestigt, der an zwei horizontale Stifte 44 eines
feststehenden G-estells 45 angelenkt ist und normalerweise
durch eine Blattfeder 46 in seiner unteren Stellung gehalten wird* Die Objektive 50 (Fi^e -3) des Mikroskops 22
sind so angeordnet, daß sie die beiden Bezugsmarkierungen 41 (Figo 4) im Bildfeld erfassen«.
Zum Anbringen der Trägerplette 16 in ihrer richtigen Lageist
ein Arm 47 (Figo 5) mit C-förmigem Querschnitt vorgesehen,
der an eine horizontale Welle 48 angelenkt ist ο Am freien Ende des Armes 47 ist ein Stift 49 befestigt, um
den sich eine mit einem Stab 52 aus einem Stück gefertigte
Rabe 51 drehen kann«. Dieser Stab trägt an seinen beiden
Enden zwei Klötzchen 53 mit hohem Reibungskoeffizienten,
die mit der Trägerplatte 16 zusammenwirken können«,
Die Nabe 51 v/eist eine Äille auf, in welcher ein biegsames
Seil 54 verlauft, das außerdem in einer entsprechenden Rille einer mit einem Schneckenrad 57 aus einem Stück gefertigten
Habe 56 verläuft, die außerdem auf der vielle 48 drehbar ist» Die beiden Enden des Seiles 54 sind mit
einer Feder 5β verbunden, die zwischen zwei durchbohrten Ansätzen 59 angeordnet ist, durch die das Seil 54 verläuft«
Die Ansätze r° sind nifc dem Arm AJ fest verbunden und
ftAD
21U711
bilden die beiden Hubendanschlage für das Seil 54»
Die Welle 48 ist an zwei Ansätzen eines ersten. Schiebers 61 befestigt» der mit Hilfe von Kugeln parallel zur Ebene
γόη Figo 3 in zwei horizontalen V-förmigen Führungen
verschiebbar ist» Ein zweiter Schieber 63 ist mit Hilfe von Kugeln auf zwei weiteren V-förmigen Führungen 64
(Figo 3) auf einer an der Grundplatte 27 befestigten Platte 66 lotrecht zu dem Schieber 61 verschiebbare
Platte 66 ist mit einer Öffnung 67 versehen, in welcher " ein erstes an einem Handbedienungshebel 69 befestigtes
Kugelgelenk 68 untergebracht ist· Dieser Hebel trägt ein zweites, in einer Öffnung 72 des Schiebers 61 untergebrachtes
Kugelgelenk 71» An dem Schieber 61 ist eine Hülse 73 befestigt j in welcher sich mit Hilfe reibungs—
armer Lager ein Hohlknopf 74 dreht, dessen Oberkante gerändelt ist und durch den sich der Hebel 69 erstreckte An
der Unterkante des Knopfes 74 ist ein Zahnrad 76 befestigt, das mit einem Kitzel 77 im Eingriff steht, das
mit einer Schnecke 78 fest verbunden ist, die auf dem Schieber 61 drehbar ist und mit dem Schneckenrad 57 im
Eingriff steht*
An dem Arm 47 ist ein Zapfen 79 befestigt, an den ein Hebel 81 angelenkt ist, der über einen Stift 82 an einen
zweiten Hebel 83 angeschlossen ist· Der Hebel 83 ist an
einen Zapfen 84 angelenkt, der an einem Ansatz 86 des Schiebers 61 befestigt ist ο Zwischen dem Stift 82 und
einem Vorsprung 88 des Schiebers 61 ist eine Feder 87 gespannto
Auf der Grundplatte 27 sind außerdem vier Säulen 89 befestigt, die eine Stützplatte 91 für die Hand des
Bedienenden tragen, der den Hebel 69 und den Knopf 74 bedienen solle
Um eine (Trägerplatte 16 auf dem Halter 31 in ihrer rich-
109840/1?89 -9-
tigen Lage angeordnet anzubringen, wird der Arm 47 zunächst angehoben, indem er um die Welle 48 verschwenkt
wird* Wenn der Stift 82 die mit dem Zapfen 84 und der Feder 87 fluchtende Lage überschreitet, drängt die Feder
den Arm 47 weiter aufwärts, bis sie sein Anliegen gegen einen Absatz 92 der Hülse 73 bewirkt»
Indem dann die Platte 42 (Figo 4) angehoben wird, wird der Halter 31 mit seinen Öffnungen 33 auf die Ausrichtstifte
28 und 29 aufgesetzt, wobei, die auszurichtende
Trägerplatte 16 auf der Platte 36 des Halters 31 angeordnet und durch Augenschein auf der Platte 36 zentriert
wirdo Dann wird die Platte 42 wieder abgesenkt und durch die Feder 46 in ihrer unteren Lage gehaltene Außerdem
wird der Arm 47 wieder abgesenkt, indem er zunächst die Spannung der Feder 87 (Figo 3) überwindet, die dann den
Arm 47 selbst hält, indem die beiden Klötzchen 53 gegen die Trägerplatte 16 anliegen^
Nunmehr beginnt der Bedienende die Bezugsmarkierungen 41
der Platte 42 und die entsprechenden gegenüber den Bezug smarkierung en 41 noch verschobenen Bezugsmarkierungen
der Trägerplatte 16 anzuvisieren» Außerdem betätigt der seine Hand auf die Platte 91 stützende Bedienende den
Hebel 69 und den Knopf 74$ die in Kombination die Bezug smarkierung en der Trägerplatte 16 mit den Bezugsmarkierungen
41 zur Deckung bringen» Im einzelnen wird durch Einwirken auf den Knopf 74 die Drehbewegung der Trägerplatte
16 um die Achse des Stiftes 49 bewirkt, wobei das über das Ritzel 77 einwirkende Zahnrad 76 ein entsprechendes
Drehen der Schnecke 78 veranlaßt* Die Sohnecke veranlaßt das Drehen des Schneokenrades 57 um die Welle
48, was zur Folge hat, daß die Nabe 56 das Drehen der Habe 51 mit Hilfe des Seiles 54 zusammen mit dem Stab
52 bewirkt. Auf diese Weise drehen die Klötzchen 53 die Trägerplatte 16 um den Stift 49 herum»
1098 40/1289 _1Ω
Indem andererseits der Hebel 69 betätigt wird, erfolgt die Verschiebung der Trägerplatte 16» Der Hebel 69 kann
in jeder beliebigen, durch die Mitte des Kugelgelenks 68 verlaufenden Ebene verschwenkt werden und bewirkt von
Mal zu Mal das Verschieben des Kugelgelenks 71· Die Bewegung des Kugelgelenks 71 erfolgt mit Hilfe einer Verstellung
des Schiebers 63 gegenüber der Platte 66 in Übereinstimmung mit der Komponente der eigentlichen
Bewegung in Richtung der Führungen 64 und einer Verstellung des Schiebers 61 gegenüber dem Schieber 63 in Übereinstimmung
mit der Komponente der Bewegung in Richtung der Führungen 62 (Figo 5)
<> Der Arm 47 bewegt sich seinerseits starr mit dem Schieber 61, dessen, sich daraus ergebende
Bewegung schließlich auf die Trägerplatte 16 übertragen, wird«
Nach erfolgtem Ausrichten wird die Vakuumpumpe betätigt, die über den Schlauch 39 (Figo 4) in der Kamm er 37 einen
Unterdruck herstellt, der in der Lage ist, die Trägerplatte 16 im Verlaufe der aufeinanderfolgenden Behandlungen
starr auf dem Halter 31 festzuhalten·
Indem nunmehr der Arm 47 und die Platte 42 angehoben werden, wird der Halter 31 von den Stiften 28 und 29 abgenommene
Der Halter 31 wird dann zusammen mit dem den Unterdruck aufrechterhaltenden Schlauch 39 und der zu
korrigierenden Trägerplatte 16 zu der nächsten Station der Maschine, doho zu der Vorrichtung 23 (Fig» 1) bewegt,
um die Widerstände R1, R2 ..» R12 der Reihe nach zu überprüfen»
Die Vorrichtung zum aufeinanderfolgenden Überprüfen der
Widerstände besitzt eine Grundplatte 93 (Fig. 6), auf welcher eine Säule 94 befestigt ist, die eine allgemein mit
109840/1289 -11-
96 "bezeichnete Prüf einheit trägto Der Halter 31» auf dem
die zu überprüfende Trägerplatte 16 gehalten wird, wird auf eine allgemein mit 97 bezeichnete Schiebereinheit angeordnet*
Im einzelnen wird der Kalter 31 auf zwei den Stiften 28 und 29 (Figo 3) entsprechenden und an einer Platte 101
(Figo 6) befestigten Stiften 98 und 99 befestigte Die
Platte 101 ist an einem ersten Schieber 102 der Einheit
97 befestigt, der in der Ebene von I1Xg0 7 auf einem zweiten
Schieber 104 mit Hilfe von mit Kugeln versehenen Führungen 103 (Figo 6) verschiebbar isto Der zweite Schieber
104 ist seinerseits mit Hilfe von zwei mit Kugeln versehenen Führungen 105 (Figo 7) auf einer feststehenden
Platte 106 lotrecht zu dem Schieber 102 verschiebbar»
Der Schieber 102 wird mit Hilfe eines von dem Schieber 104 getragenen Fortschaltmotors 109 (Figo 7) mittels
einer Spindel 107 (Figo 6) und einer Mutter 108 verschoben»
Entsprechend wird der Schieber 1O4 mit Hilfe eines mit
dem Motor 109 übereinstimmenden und von der Platte 93 getragenen zweiten Fortschaltmotors 109' (Figo 6) mittels
einer Spindel 107' und einer Mutter 108' verschobene An
jedem der Schieber 102 und 104 sind zwei Hülsen 110 befestigt, die mit zwei Öffnungen 111 in dem Schieber 104
bzw«, in der Platte 106 teleskopartig zusammenwirken und
je eine Feder 112 enthalten, die jegliches Spiel zwischen der Spindel und der Mutter stets in gleicher Richtung
aufnehmen können, was zur Folge hat, daß die Bewegungen der Schieber 102 und 104 in jedem Falle sehr genau sind·
Die Schieber 102 und 104 sind außerdem mit Vorsprungen
115 versehen, von welchen nur einer in Mg» 6 sichtbar ist,
die in bekannterweise, beispielsweise mit Hilfe in der
1098 4η/1289
üeiohnung nicht daxgestellter Mikroschalter,. die Ruheoder
unwirksame Stellung der Schieber selbst und somit dea Hullsustanfl der fort sch al tmo tor en. 1Q9 und 1G9* feestimmest
können.©
Die Prüfeinheit 96 Besitzt einem an der Seite 94 befestigten
Halter 113 (Fige 7}g der sswei senkrechte V-förmige
Führungen 114 (figο 8)- trägt* an welchen der Prüfschieber
116 verschiebbar ist»
Aa dem Sehieber 116. ist ein Zapfen.117 (Pig· 9) befestigt ,
der eine drehbar© Roll© 118 trägt 9 die mit einem auf der
Welle 121 eine® an sieh bekannt esa. gebremsten Elektromotors
122 (fig* T) befestigten Exzenter 119 zusammenwirkt©
Der lxs©nt®r 119 ist mit einer Kurvenscheibe 123
(Pig β. 9) aus einem Stück gefertigte die einen Mikro schalter
124 betätigest tann9 flössen Aufgabe nachstehend noch
Bäher erläutert wird©
Bsr Eapfes 11? ist außerdem aa die Stange 126 eines dop.—
peltwirkenöeE tayiraiiliecheia Eolbens 127 ange schloss en D
eier über swei Saitungesa 128 und 129 -betätigbar ist®
Amßerfiea iat aa unteres. Seil flos ieliiclbera 116 (fig© 7)
ein® Eonsole 131 (Pig· S) ves im w es ent Ii ©lies XT- fdap
©estalt -so ange"braehts ü&B sie Ie ihrer Hiili©
ist © Bie b©icl®si Aris.® fles Sons©lc 131 sind sdt
asafüferurig©a 132 (Mg© Sl -gersefeeng, i». äi© ©ias alli©seia
alt 133 feoselefanetois WmQfäö^k&f&m^ elßgefiih^t w®rö©a k
Sae fiiw die sm übe^p^üfesiö© SsreLgerplatt© 16 δ© sonde
gefeamt ist© Sa ©issoliaöa fast οεο fJorisiseiig 133 eines
eckiges lfetaiIs?eiMes -134p i»t& 0GlQfcoo ©1ε·3 ^®ih© TOsS ^s
res Isleises1 Blättöfat®. 13? {Agc T) CSgSGi4CiHst ist«, fiie
10S840/1t
~ 13 -
21U711
Prüfspitze 138 und ein nicht von dem Araldit bedecktes
Ende 139» auf das ein in der Zeichnung nicht sichtbarer Leiter gelötet wirdo Die Plättchen 137 sind in einer solchen
Lage angeordnet, daß die Spitzen 138 jedes Plättchenpaares sich in einer mit den beiden Enden des zu überprüfenden
Widerstandes E1, Ή2 o.o (Figo 18) übereinstimmenden
Lage befinden. Die Spitzen 138 der verschiedenen Plattchenpaare 137 (Fig· 18) reproduzieren somit die Anordnung
der Enden sämtlicher Widerstände R1 f R2 <>·· eines
vollständigen Chips 17 einer integrierten Schaltung der
Trägerplatte 16»
Das werkzeug 133 wird in die Führungen 132 eingeführt» Die Lage des Werkzeuges 133 wird mit Hilfe von drei exzentrischen
Dübeln 151 eingestellt, worauf das Werkzeug 133 in den führungen mit Hilfe von zwei Befestigungsschrauben
152 (ligo 8) festgelegt wird·
In unwirksamem Zustand wird das Öl in der Leitung 129
(Pig· 7) unter Druck gehalten, was zur Polge hat, daß der
Schieber 116 durch den hydraulischen Zylinder 127 in seiner in der Zeichnung dargestellten hoohgeführten Stellung
gehalten wird»
laohde» die Trägerplatte 16 auf dem Halter 31 in ihrer
riohtige* Lage angebracht wordem ist, wird der Halter
zusammen mit dem S oh lau ch 39 aus der Vorrichtung 21
(lig· 2) herausgezogen und auf die Stifte 98 und 99 (lig»6)
der Platte 101 der Prüfvorrichtung 23 aufgesetzt· Somit ist der Halter 31 genau in seiner richtigen Lage angeordnet·
Der MeäiyJUus für die Widerstände wird alt Hilfe
einer in der Zeichnung nicht dargestellten Auslösetaste eingeleitet· Dieses lyklus enthält für jede* Chip 17
(fig· 1t) einen Meivorgang, der durch eine nachstehend
noel näher zu beβehreibandβ Steuerschaltung überprüft
wir!·
109840/1289
-H-
« 14 -
Baa Niederdrücken dar Auslösetaste bewirkt vor allem den
Ölflttl in die Leitung 128 hinein^ was zur Folge hat, daß
der Zylinder 127 daa Anlegen der Rolle 118 gegen den Exzen
ter 119 bewirkt» wie ea in der Zeichnung dargestellt ist» Das Niederdrücken der AusIosetaste bewirkt außerdem das
- Insteilungbringen der Schieber 102 und 104 (Fig. 6) in
ihrer Ausgangsstellung mit Hilfe der Vorsprünge 115» In
dieser iage ist daa Werkzeug 133 in. Übereinstimmung mit
dem ersten der zwölf Chips 17 (Fig. 18) angeordnet»
) Barauf bewirkt der Steuerkreis, daß sieh die Welle 121
(Pig* 7) des Motors 122 um 180® dreht· Dadurch läßt.der
Exzenter 119 zu, daß sich die Rolle 118 zusammen mit dem
Zapfen 117 und dem Schieber 116 abwärtsbewegt· Barauf bewirkt
die Konsole 131» daß sich die Spitzen 138 gegea die Enden der Widerstände R1? R2 ».» (figs 18) des ersten
Chips 17 anlegen» Über den Mikroschalter 124 gibt die
Kurvenscheibe 123 dann ihre Zustimmung für das Messen* das durch den Steuerkreis in nachstehend noch näher zu beschreibender
Weise vorgenommen wird»
Hach diesem Yorgang wird der Motor 122 (Fig. 7) erneut betätigt
für eine drehbewegung der Antriebswelle 121 von
f 180°, wa® zur Folge hat* daß der Exzenter 119 den Sohle-
her 116 in seine obere Stellung zurückführt· Barauf feetälägt
der Steuerkreis die beiden fortscfaaltmotoren 109
und 109* (lig· 6 u. 7)» die über die Spindeln 107 und
107* sowie die Muttern 108 und 108' das Verschieben dar
beiden Sohieber 102 und 104 bewirken* um die Trägerplatte
16 mit ihrem zweiten Chip 17 (Pig» 18) mit dem Werkzeug
133 (Fig* 7) ia Überainatimmung zu bringen» wodurch,
zweit® Meß-vrorgang eingeleitet wird»
Sieasr MelTorgang wird aösili für all® Ohipe 17
Kaeh dem. leessn des letzten Shipa wird öl der Leitung
sug©führtρ was sur folge hat9 daß ä®r öydrmulisoh©
109840/1289
127 die Rückkehr des Schiebers 116 in seine unwirksame
Stellung bewirkt»
Barauf kann der Bedienende den Halter 31 zusammen mit der
überprüften Trägerplatte 16*von den Stiften 98 und 99
(Figo 6) abnehme^i»
Die Torbereitung eines Meßwerkzeuges 133 wird von Mal zu
Mal für jeden Typ der Trägerplatte 16 mit Hilfe einer rechteckigen Platte 139 (Pig* 10) durchgeführt» Diese Platte
ist mit einer zentralen Öffnung 141 versehen, deren Abmessungen erheblich größer sind als die einee einzelnen
Chips 17 einer integrierten Schaltung» Die Platte 139 ist außerdem in Übereinstimmung mit den kurzen. Seiten der
Platte 139 mit zwei Stiften oder Dübeln 142 und in Übereinstimmung
mit den längeren Seiten der Platte 139 ®it
vier sich paarweise gegenüberliegenden Stiften oder Dübeln 143 versehen« Die Stifte 142 und 143 sind entfernbar
uvd dienen zum Erleichtern des Instellungbringens des
Rahmens 134 des Werkzeuges 133*
In Übereinstimmung mit Jedem Stiftepaar 143 ist die Platte 13f mit einem entspreehenäea. erhöhten Querteil 144 versehen.
Die beiden Teile 144 sinfi mit einer Reihe von Schlitzen 146 (Fig. 12) versehen zur Aufnahme der Plättchen
137· Die Schlitze 146 befinde» eich in eine« Modulabstand
von beispielsweise 0$i wm. voneinander* was eine
grole Auswahl für das Anbringen der Plättehen 137 bietet·
3IbTOh J ei cn Teil 144 verläuft suierdeffi is Querriefatung
eine Öffnung 147 t 1» welehwr eins sieh gsgea die fe#iÄ«&
itifte 145 abetützeMe Sehraubenfed-gr 148 untergebr&eht
let»
%mm Tcrbereite« d«* ftark»«U£*· 135 wir* swisefeea 4ta Stifte»
142 und 143 auf ätr Platt© 13§ ein taimefi 134 aage-
109840/128$ ~1€~
ordnet, der auf den beiden Teilen 144 ruht· Die Plättchen
137 (Fig» 11).werden dann in den Schlitzen 146 in einer
solchen Lage angeordnet» daß ihre Spitze 138 mit dem Ende
des jeweiligen zu prüf endenWiderstandes E1 1 R2 .··
(Fig« 18) übereinstimmt» Die Plättchen 137 (Fig. 12) werden
jetzt durch die Federn 148 sicher· gehalten·
Darauf wird die aus der Platte 139 und dem Rahmen 134 bestehende Einheit umgekehrt und der Rahmen 134 über die Öffnung
141 bis zur Kante der langen Seiten des Rahmens 134
mit Araldit ausgefüllt· Nach erfolgtem Abkühlen des Aralditkunststoffee
wird der Rahmen 134 mit den Plattehen 137
von der Platte 139 abgenommen und die Oberseite des Werkzeuges
133 abgeglichen durch Wegnehmen einer dünnen Schicht 149 von dem eigentlichen Werkzeug 133» so daß die
Torsprünge 139 der Plättchen 137 vollständig freigelegt werden, an die die Leiter dann angelötet werden·
Die an die Plättchen 137 (Fig. 7) angelöteten leiter werden an einen in Fig« 17 schematisch dargestellten und mit
153 bezeichneten Stecker angeschlossen· Die Leiter des Steckers 153 können an eine Wheatstoneeche Brücke 154
angeschlossen werden» um die Widerstände R1, R2 ·.· eines Chips 17 über eine Reihe von der Reihe nach zu schließenden
Schaltern I zu messen» Über eine zweite Reihe von Schaltern Io können an die Brücke 154 außerdem ein· zweite
Reihe von Leitern über einen Stecker 155 an ein· Reih·
von Eiohwiderständen RGI» RG2 .... RCH2 angeschlossen
werden· Sie Brücke 154 wird auf der einen Seite durch
eine folgesehältung 1§6 gesteuert, die die Schalter I uni
Ic der Widerstaridepaare fi1t R01 $ R2, RC2 ubw· für jedes
Chip 17 der Reihe nach schließen kann· Di· Brücke 154 wird
außerdem durch eine programmierte Speieeiohaltung 157 gespeist*
die ebenfalls durch die Folgeeohaltung 156 gesteuert
wird, so daß sie zum Meesen jede· Wideretande·
109840/1289
-17-
an die Brüoke 154 eine Spannung mit einem für den Nennwert
des eigentliohen Widerstandes passenden Wert anlegt»
Der· Verlust in den Widerständen wird somit auf ein Mindestmaß
herabgesetzt, so daß die Messung innerhalb der Grenzen der erforderlichen Empfindlichkeit bleibt»
Die Folgesahaltung 156 wird von einer Programmachaltung
164 gesteuert, die den gesamten Zyklus der an einer Trägerplatte 16 auszuführenden verschiedenen Arbeitsgänge programmieren
kann» Im einzelnen führt die Schaltung 164 die aufeinanderfolgenden Betätigungsschritte unter Steuerung
durch ein durch den Ifikroschalter 124 (Pig· 9) erzeugtes
Signal aus und kann eine die Stellung der Trägerplatte 16 programmierende Schaltung 166 (Pigo 17) steuern»
Die Schaltung 166 enthält deshalb einen Speicher, in welchem
die Koordinaten der zwölf Chips 17 (lig» 18) aufgezeichnet
werden· Da diese zwölf Chips 17 für jedes beliebige Schaltungselement stets den gleichen Teil der Trägerplatte
16 einnehmen, kann dieser Speicher ein Hur-leaespeioher
seine Die Koordinatenpaare dieses Speichers werden der Reihe nach ausgelesen, um über einen Rückkopplung
skr eis 167 die beiden Tortsohaltmotoren 109 und 109*
für das Verschieben der Schieber 102 und 104 (lig· 6 u. 7)
Ton eines Chip 17 (lig· 18) zum anderen zu betätigen»
Sie Brüake 154 (Tig· 17) ist außerdem an drei VerglAoher
158» 159 und 161 angeschlossen, an die duroh einen Beaugeapannungagenerator
162 erzeugte Spannungen angelegt werden» niese Spannungen sind für alle Widerstände Bit
Hilfe von an einen Kontrollfeld 170 (Tig· 2) angeordneten
Bineteilvorrichtungen von Hand programmiert« Diese
Uinetellvorrichtungen ermöglichen da· Testlegen der für
jeden Widerstand zulässigen Toleranz· Solche Toleranzen
ktfnnea 0.5j 1j 2 jf und in Abständen von 5 von 5 bis 25 f
fein»
-18-
21U711
Für jede gewählte Toleranz erzeugt der Generator 162-(Pig»
17) eine der oberen Grenze der verlangten Toleranz entsprechende Spannung und führt aie dem Vergleicher 158
zu. Dieser kann dann melden, ob der gemessene Widerstand
über oder unter dieser Toleranzgrenze liegt» Der Generator
162 erzeugt außerdem eine der unteren Grenze der verlangten !oleranz entsprechende Spannung und führt sie dem
Vergleicber 159 zu, der dann melden kann, ob der gemessene
Widerstand über oder unter dieser Toleranzgrenze liegt·
Schließlieh erzeugt der Generator 162 eine Korrekturspannung»
die für alle Widerstände die gleiche ist und die ) untere Grenze der Widerstände angibt, die korrigiert werden
können» Diese Spannung wird dem Yergleioher 161 zugeführt,
der dann melden kann, ob der Widerstand mehr oder weniger als der Grenzwiderstand beträgt, für den es nooh
zweckdienlich iat, eine Korrektur vorzunehmen·
Bie auf diese Weise erzeugten Signale werden einem Serienparallelwandler
163 zugeführt, von dem aus sie auf der Basis der Kombination der drei vorerwähnten Signale für
jeden Widerstand zugeführt werden können, und zwar als ein Signal, das anzeigt, daß der Widerstand korrigiert
werden muß, oder ein Signal» das anzeigt, daß der Widerstand eine Toleranz hat, oder ein Signal, das anzeigt,
W daß der Widerstand nicht korrigiert werden kann und daß eine Korrektur nicht angebracht ist»
Die durch den Serienparallelwandler 163 ausgesandten Signale werden in einem erstent Kernspeicher 168 gespeichert und
steuern eine Schaltung 169» die eine sichtbare Anzeige 170
des Fortgang« und der Ergebnisse der Messungen steuert· Im einzelnen ist die sichtbare Anzeige an den Kontrollfeld
170 angeordnet und besteht aus einem Satz von drei laapen
171 (Fig. 1.7 Ϊ alt verschiedenen farben für jeden der möglichen zm'oll Widerstände R1, R2 ·. · eines Chip* 17· Jede
der drei lampen 171 wird durch eine« der drei5 von dem"Serien-
109 840 /12 8 9 ; 1^- - . ... ^1**.
~ 19 -
,; ■ 21U711
parallelwandler 163 ausgesandten Signale zum.Aufleuchten,
gebracht, was zur Folge hat, daß der Bedienende von MaI
zu Mal eine visuelle Darstellung, des Zustandes des gemessenen Widerstandes hat·. ..-...-...
Die sichtbare Anzeige 170 enthält außerdem eine Jedem
Widerstand zugeordnete Lampe 172, die aufleuchten.kann
um anzuzeigen, daß mindestens einer der Widerstände des Schaltungselements als Ausschuß zu verwerfen.ist, wobei
aus diesem Grunde das gesamte Chip 17 auszusondern ist»
Das Aussonderungssignal für einen einzelnen, Widerstand
eines Chips 17 löscht in dem Speicher 168 jede mögliehe,
sich auf die anderen Widerstände desselben Chips beziehende Korrekturinformation und bewirkt, daß die.entsprechende
Lampe 172 aufleuchtet.
Sowohl der Speicher 168 als auch die sichtbare Anzeige
170 wird von der Programmierschalttang 164 gesteuert* Bei
Beendigung des Meßeyklus für ein öhip 17 bewirkt die Programmierschaltung,
daß auf einen anderen Sektor des Speichers durch den Serienparallelwandler eingewirkt wird,
und ferner, daß die zwölf Gruppen aus drei Lampen 171 gelöscht werden durch vorheriges Bestimmen der nächsten
Aussonderungslampe 172 zum Aufleuchten·
Schließlich enthält die sichtbare Anzeige 170 eine üa»pe
173» die mir dann aufleuchtet, wenn am Ende der Messung
der gesamten Trägerplatte 16 (Fig· 2) kein Chip 17 «u korrigieren
ist, d»h· daß einige als Ausschuß auszusondern sind und andere eine !Toleranz haben« Aar Ende der Messung
hat der Bedienende somit eine sichtbare Darstellung der gegasten Trägerplatte 16» Er markiert beispielsweise -alt
eine» Bleistift die durch die Lampen 172 angezeigten aus-EUBondtrnden
Chips 17, um sie nach dem Schneiden der Chip« 17 su befestigen· Außerdem wird er beim Aufleuchten der
Lampe 173 die Trägerplatte 16 von der Korrekturstufe ausschließen»
109840/1289
Die zum Messen eines Widerstandes benötigte Zeit beträgt etwa 200 Millisekunden, während zum Messen der gesamtem:
Trägerplatte 16 unter Berücksichtigung der "Vorgänge zum Instellungbringen 60 Sekunden benötigt werden« TJm die Meßzeit
von der Korrekturzeit zu trennen, die nicht konstant ist j wie später gezeigt, wird, wird die am Ende der Messung
in dem Speicher 168 enthaltene Information unter Steuerung durch die Programmierschaltung 164 in einen dem
Speicher 168 entsprechenden Korrekturspeicher 174 übertrageno Der Speicher 174 kann seinerseits die Programmierschaltung
164 steuern, damit diese Übertragung unterbunden wird und dafür ein neuer Meßzyklus genommen wird, bis der
Speicher 174 geleert worden ist*
Die Torrichtung 24 (Figo 14) zum Korrigieren der Widerstände
hat eine Grundplatte 176, auf der ein erster Schieber 178 auf mit Kugeln versehenen Führungen 177 in der
Ebene von fig» 13 verschiebbar isto Auf diesem Schieber ist lotrecht zur Ebene von Figo 13 mit Hilfe von mit Kugeln
versehenen Führungen 181 ein einen Block 183 tragender zweiter Schieber 182 verschiebbare Der Block 183 ist
mit zwei Prismenführungen 180 versehen, auf welchen eine fc Platte 184 verschiebbar ist, die mit zwei Stiften 185 und
186 versehen ist, die den Halter 31 der bereits gemessenen Trägerplatte 16 aufnehmen können»
Die Platte 184 ist mit einem Griff 190 versehen, um sie in die Führungen 180 einführen und aus ihnen herausnehmem zu
könnene Die Platte 184 ist außerdem mit einem federbeaufschlagten Festlegeelement 184·1 (Fig. 14) versehen, das mit
einem feststehenden Zapfen 189 zusammenwirken kann, um
die Platte 184 in ihrer Arbeitsstellung nach Fig. 14 verriegelt zu halten»
10984Π/1289 "21"
Die beiden Schieber 178 und 182 werden durch zwei miteinander·
übereinstimmende, den Motoren 109 und 109* (Figo
Ue 7) entsprechende elektrische Fortschaltmotoren 187 und
188 bewegt, die, wie nachstehend noch näher erläutert, über eine Steuerschaltung betätigt werden könneno Auf dem
Schieber 182 (Figo 15) sind außerdem zwei Schiebereinheiten 192 und 193 angeordnet, die je aus zwei Schiebern
und 196 bestehen, die in zwei im rechtem Winkel zueinander verlaufenden Richtungen verschiebbar sind und durch zwei
miteinander übereinstimmende, ebenfalls den Motoren 109 und 109* (Figo 6 u, 7} entsprechende Fortschaltmotoren
197 und 198 gesteuert werden»
Auf Jedem Schieber 196 ist ein Halter 199 befestigt, der einen Stift 201 (Fig. 16) trägt, an dem ein Hebel 202
befestigt ist» An einem Ende des Hebels 202 ist eine aus leitfähigem Material gebildete und an einen elektrischen
Leiter 204· angeschlossene Prüfnadel 203 befestigt» Das
andere Ende des Hebels 202 ist mit einer Rolle 207 vereehtn,
die normalerweise infolge der Einwirkung einer Blattfeder 206 gegen eine Schrägfläche 208 eines Hiegels
209 anliegt· Die Feder 206 ist mit Hilfe einer Sahraube
210 einstellbar· lter Riegel 209 ist an einem zylindrischen
Anker 211 eines Elektromagneten 212 befestigt und wird normalerweise durch eine Druckfeder 214 gegen einen Anachlag
213 gehalten·
Die Korrekturvorrichtung hat außerdem eine an der Grundplatte 176 befestigte und einen feststehenden Arm 216 tragende
Säule 215 (Fig· 14)· Dieser Arm trägt an seinem freien Ende einen Halter 217, der in senkrechter Richtung mit
Hilfe einer Schraube 218 einstellbar ist« An dem Halter 217 ist ein Elektromagnet 219 befestigt* an dessen Anker
eine Elektroeroeionsnadel 25 befestigt ist ο Infolge der
Einwirkung seines Bigengewichts befindet sich der Anker 221 normalerweise in seiner unteren Stellung, ao daß er
auf der Trägerplatte 16 anliegt·
10 9840/1289
-22-
Nach der ließstufe ordnet der Bedienende, sofern die Trägerplatte
16 zu korrigierende Widerstände enthält» den Halter 31 zusammen mit der auf Grund der Einwirkung des Unterdrucks
in dem Schlauch 39 immer noch an ihm befestigten !Trägerplatte 16 auf den beiden Stiften 185 und 186 dea
Blocks 183 an» Zu diesem Zweck zieht der Bedienende zu-" nächst die Platte 184 durch Einwirken auf den Griff 190
nach vorn, wobei, er das federbeaufschlagte FeStiegeelement
1841 (Fig· 14) überwindet, um die Platte 184 gegenüber dem
freien Ende des Armes 216 nach vorn zu bringen» Dann wird
der Halter 31 auf den. Stiften 185 und 186 angeordnet,
* worauf die Platte 184 mit Hilfe des Griffes 190 zusammen mit dem Falter 31 in die in Fig. 14 dargestellte Stellung
gebracht wird»
Darauf verschieben die beiden fortschaltmotoren 187 und
188 den Schieber 182 zusammen mit der Platte 184 so, daß das erste der Chips 17 der Nadel 25 gegenüber gebracht
wird» Die beiden Fortschaltmotorenpaare 197 und 198 bewirken
ihrerseits j daß die Sohieberpaare 194 und 196 ao
verschoben werden, daß die beiden Prüfnadeln 203 mit den
Enden des zu korrigierenden ersten Widerstandes in Übereinstimmung angeordnet sind» Die nachstehend noch näher
zu beschreibende Steuerschaltung betätigt jetzt die Elek—
troerosionsnadel 25 abwechselnd mit einer Frequenz von 200 Ha1 bia die Prüfnadeln 203 melden, daß der Wert des
Widerstandes durch Zunahme in den Bereich der vorgeschriebenen Toleranz gelangt ist» Das Messen des Widerstandes
erfolgt durch Stoppen der Elektroerosion und der Speisung der Motoren, bei einer Frequenz von 50 Hz»
Darauf werden die Fortschaltmotoren 187 und 188 ao betätigt,
daß sie die Nadel 25 mit der Stufe 20 (Fig· 18) des zweiten Widerstandes R2 in Übereinstimmung bringen,
während die Fortsohaltmotoren 197 und 198 (Fig. 15) bewirken,
daß aich die Prüfnadeln 203 so bewegen, daß sie
109840/1289
~ 23 -
21Η7Ί1
mit den Enden dea zweiten Widerstandes R2 (Fig» 18) übereinstimmen,
was zur Folge hat, daß der Korrekturzyklus erneut anläuft» Auf diese Weise werden die Widerstände
des ersten Chips 17 korrigiert, worauf die Korrektur des zweiten Chips 17 eingeleitet wird uswo über die gesamte
Trägerplatte_ 16«, Auf der Basis der in dem Speicher 174
(figο 17) gespeicherten Daten läßt die Korrekturvorrichtung
den Arbeitszyklus an allen Widerständen E1, R2 ·.»,
die eine Toleranz haben und an allen Chips der Trägerplatte 16, bei welchem mindestens ein Widerstand als zu
verwerfen gemessen worden ist, wie nachstehend noch näher erläut ert, aus <>
Die Fortschaltmotoren 187, 188, 197 und 198 (Fig· 15) werden
mit Hilfe eines Magnet- oder Lochbandes 220 gesteuert, an welchem die Koordinaten jeder Stufe 20 der Widerstände
R11 R2 ο.ο und von jedem Ende dieser Widerstände
eines Chips 17 aufgezeichnet sin<d· Das Aufnahmeband wird
von einem Bandleser 222 gelesen, der über eine Steuerschaltung 225 eine Stellungsprogrammiersohaltung 223 steuert»
Die Stellungsprogrammierschaltung erhält außerdem die in dea Speicher 174 gespeicherte Information, damit
sie ihre Zustimmung zu den Bewegungen der Schieber nur dann gibt, wenn die Information bestätigt, daß der Widerstand
korrigiert werden soll.
Außerdem kann die Programmierschaltung 223 unter Steuerung
durch den Speicher 174 von Mal zu Mal den durch den Leser 222 gelesenen Daten eine Konstante hinzufügen, die von dem
Chip 17 abhängig ist, auf das sich die Information bezieht· Demzufolge steuert die Programmierschaltung 223
über einen Rückkopplungskreis 224 die beiden Fortschaltmotoren 187 und 188 (Figo 15) zum Verschieben der Trägerplatte
16 gegen der Elektroerosionsnadel 25 und über zwei
10 98 40/12.8 9 _24_
21H711
weitere Rüekkopplungskreise 226 die beiden Fortsehaltmotorenpaare
197 und 198 zum Verschieben der beiden Prüf- "
nadeln 203»
Beim Ablesen eines an dem Band 220 aufgezeichneten Markierung
sζ eiοhens am Beginn jeder sich'auf einen Widerstand
beziehenden Informationsgruppe steuert die Schaltung 225 außerdem eine Folgeschaltung 227, die eine Reihe
γόη Normalwiderständem der Reihe nach an eine Wheatstonesche
Brücke 228 anschließen kann, um die zu korrigierenden.
Widerstände während der eigentlichen Korrektur zu messen*
™ Die Brücke 228 ist ihrerseits an einen Stecker 229 angeschlossen,
an den. die Leiter 204- der Nadeln 203 (Mg. 16)
angeschlossen sind»
Wenn die Brücke 228 feststellt, daß der gemessene Widerstand gleich dem. Normalwiderstand ist» erzeugt sie ein
Signal, das über die Steuerschaltung 230 den Befehl zum
Anlaufen des Lesers 222 bewirkt, um die den nächsten Widerstand
betreffenden Koordinaten abzulesen» Die Steuerschal tung 230 wird außerdem durch den Speicher 174 in der Weise
gesteuert, daß, sofern die in ihm gespeicherte, den gleichen Widerstand betreffende Information bestätigt, daß
H dieser Widerstand nicht korrigiert werden soll, der Leser am Ende des Ablesens das Ablesen der den nächsten Wider-·:
stand betreffenden Koordinaten einleitet, was zur Folge hat, daß die die nicht zu korrigierenden WiderstäHder eines
Chips 17 betreffenden Yorgänge auf diese Weise ausgelassen
werden·, Die Information im Speicher 174, daß an einem;
Chip 17 keine Widerstände zu korrigieren sind» bewirkt das
Zuführen der sich auf dieses auszulassende Chip beziehenden
Konstante, was zur Folge hat, daß die Korrekturvor·-
gänge für das gesamte Chip ausgelassen werden·
Naohdem die Stellungsprogrammiersohaltung 223 sioh Über
die Schaltungen 224 und 226 vergewissert hat, daß alle
-**■ 10 9840/1289 . _
~ 25 -
Schieber 178, 182 und 194» 196 die gewünschte Stellung ausreicht haben, steuert sie einerseits eine das Erregen des
Elektromagneten 212 (!ig* 17) für die Betätigung der
Prüfnadeln 203 befehlende Schaltung 231 und andererseits
eine die Betätigung der Elektroerosionsnadel 25 befehlende Schaltung 232» Im einzelnen steuert die Schaltung 232
eine die Spule 219 (ffige 14) speisende Schaltung 233» so
daß diese Spule das wiederholte Vibrieren des Ankers 221
und folglich der Hadel 25 bewirkt»
Schließlich kann die Programm!ersohaltung 223 eine
schaltung 234 steuern, die abwechselnd mit einer
von 200 Hz die Brücke 228 und eine die Kadel 25 speisende.
Schaltung 235 in Betrieb· setzen kann, was durch An-^
schließen der letztgenannten Schaltung an eine Hochspan-^
nungsquelle erfolgt» Demzufolge steuert die Programmier-^
schaltung 223 i^ wesentlichen, gleichzeitig die Betätigung
der PrüfBadeln 203» der Spule 219 und der IoIgeschaltung
234» was zur folge hat, daß die von der Brücke 228 ausgeführten
Messungen, und die durch die Nadel 25 durchgeführte Korrektur sich a» dem instellunggebrachten Widerstand
abwechseln^ ^is die Brücke 228 meldet, daß der korrigier^
te Widerstapt die vorfeestimmte Frenze erreicht hat» worauf die Brücke 228 über die Steuerschaltung 23Q das Amlauf-ea
eine# aeuen Zyklus für den fceser 222 bewirkt«
Deszufelge ist klar» daß die Kprre&tur der Widerstände
dur«fe die Meßeinrichtung em 2Q2fc 228 etetig_ gesteuert
wird und daß. die Korrefctur ausschließliQh auf
gea lleleSfitände begrenzt wird» die außerhalb de*
TaMZ liegen, während sie für all diejenigen Chips
achloeaea wird, an welche» mindestens ein Widerstand al»
au TerwerfeB ist, was zua? IoIge hat» daß d4e
©ine a»hr hohe Arbeit «leistung erreichen
101840/1289
Es ist selbatverstänäCLielEi;» dafr die versehiedens-fcen Abänderungen» Terkesserungen und Hinzufügungen sowie !Ort—
laasungea τοη leileii an der vorgtehend, beschriebenen Maschine
vorgenommen werdes. können, ohne daß man dadurch
den B er ei cli der Erfindung verläßt;»
1098407Ί289
Claims (1)
- Patentansprüche ιMaschine sum Überprüfen und Korrigieren von Elementen durch Aufbringen von dünnen Ulmen auf Trägerplatten hergestellter hybrider integrierter Schaltungen, die Korrektureinrichtungen enthält, die die Korrektur durch Beseitigen, eines Teiles des dünnen films bewerkstelligen können, gekennzeichnet durch Meßeinrichtungen (203t 228), die die Messung des zu korrigierenden Elements (E1, R2 ·.· R12) im wesentlichen während der Betätigung der Korrektureinrichtungen (219» 25) vornehmen können, während die Meßeinrichtungen die Betätigung der Korrektureinrichtungen steuern können»Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet) daß eine Meß- und Korrektur-Folgeschaltung (254) abwechselnd den Betrieb der Korrektureinrichtungen (219» 25) und der Meßeinrichtungen (203» 228) an demselben Element bei verhältnismäßig hoher Frequenz erzeugen kann, was zur Folge hat, daß 3 ede grundlegende Korrekturwirkung durch die Meßeinrichtung sofort überprüft wird»Maschine nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet» daß die Korrekturrorriehtung (24) eine durch Elektroerosion wirkende Hadel (25) und eine Spule (219) enthält t die das stete Tibrieren der Nadel bewirken kann, wobei die Folgeeehaltung (234) die intermittierende Zufuhr der ElektroeroBionsapannung zur Nadel (25) steuert»Maschine nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei welcher die EU korrigierenden Schaltungselemente elektrische Widerstände sind* dadurch gekennzeichnet, daß die Meßvorrichtung eine Wfeeatetoneeche Brücke (228) und10 984Q/1289 -28-zwei Prüfnadeln (203) enthält, die an die Enden der zu korrigierenden Widerstände (R1, R2 0o» R12) angelegt werden, können»5ο Maschine nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Nadeln (203) von zwei Hebeln (202) getragen werden, wobei jeder Hebel so angelenkt ist, daß er mit Hilfe eines entsprechenden Elektromagneten (212) das entsprechende Ende des Widerstandes berührt=Maschine nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß jeder der Elektromagneten (212) auf den entsprechenden Hebel (202) über eine Schrägfläche eines mit dem Anker (211) des Elektromagneten verbundenen verschiebbaren Teiles (209) einwirkt.7ο Maschine nach Anspruch 3 und einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Widerstand (R1, R2 ««ο» R12) aus einem eine Stufe (20) bildenden dünnen I1Um besteht, die Nadel (25) auf die Stufe einwirkt, indem der Widerstand und die Nadel gegeneinander bewegbar sind um zu bewirken, daß sich die Nadel allmählich in einer zur Stufe (20) senkrechten Richtung vorbewegto8ο Maschine nach Anspruch 7* bei welcher die zu korrigierenden Widerstände eine Vielzahl von in vorbestimmter Lage angeordneten Widerständen (R1, R2 < >.. R12) sind, gekennzeichnet durch erste Mittel, um die Elektroerosionsnadel (25) gegenüber dem Halter (31) mittelbar zu verschieben, und durch zweite Mittel, um die Prüfnadeln (203) intermittierend und einzeln gegenüber dem Halter (31) zu verschieben, wobei diese Verstellmittel auf der Basis der nach den Koordinaten der Stufe (20.) und der Enden der Widerstände gespeicherten Information betätigt werden können»10984H/128 9Maschine nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten Verstellmittel aus einem ersten Schieberpaar (178, 182) bestehen, das mit Hilfe von zwei Fortschaltmotoren (187, 188) in zwei im rechten Winkel zueinander verlaufenden Richtungen bewegbar ist, wobei die zweiten Verstellmittel von einem (182) der-Schieber (178, 182) getragen werden und aus zwei weiteren Schieberpaaren (194, 196) bestehen, von welchen je eines die Prüfnadeln (203) trägt, während die Schieberpaare (194, 196) mit Hilfe entsprechender Portschal tmotoren (197, 198) in zwei im rechten Winkel zueinander verlaufenden Richtungen bewegbar sind»1Oe Maschine nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Information auf einem Band (220) aufgezeichnet ist und von einem Leser (222) abgelesen wird, der zum Ablesen der Koordinaten eines Widerstandes (R1, R2 ... E12) in Tätigkeit gesetzt wird, wenn die Brücke (228) Gleichheit des korrigierten Widerstandes mit einem Normalwiderstand (RG1, RG2 οαο RC12) feststellt»11» Maschin.e nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Leser (222) die Betätigung eines der IOrtschaltmotoren (187, 1Θ8) des ersten Paares auf der Basis eines auf dem Band (220) aufgezeichneten weiteren Informationsteiles steuert»12· Maschine nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Leser (222) eine Widerstandsfolgeschaltung (227) betätigt, die von Mal zu Mal einen dem zu korrigierenden Widerstand entsprechenden Hormalwiderstand an die Brücke (228) anschließen kann»13· Maschine nach einem der Ansprüche .10 bis 12, dadurch gekennzeichnet-, daß. der Leser (222) über eine Pro-10984Π/1289 -50-~ 30 -21U711grammierschaltung (223) die Betätigung der Elektromagneten (212), der Spule (219) und der Meß- und Korrektur-Folgeschaltung (234) steuert»14» Maschine nach einem der Ansprüche 9 bis 13» dadurch gekennzeichnet, daß sie in einem Arbeitszyklus die Widerstände einer Vielzahl von gleichen Schaltungen, deren Chips (17) auf einer einzigen Trägerplatte(16) erzielt werden, überprüfen und korrigieren kann, wobei Mittel vorgesehen, um der an dem Band (220) abgelesenen Information eine Konstante hinzuzufügen, die die lage des von Mal zu Mal korrigierten Chips(17) anzeigt«15» Maschine nach einem der Ansprüche 1 bis 14» gekennzeichnet durch eine Prüfvorrichtung (23), die die zu korrigierenden Elemente messen und ihren Zustand in einem Speicher vor dem Korrekturvorgang speichern kanno16o Maschine nach Anspruch 4 und 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Prüfvorrichtung (23) ein mit einer Vielzahl von Spitzenpaaren (138) versehenes Prüfwerkzeug (133) enthält, das sämtliche Widerstände (R1, R2 o.» R12) einer Schaltung zugleich prüfen kann, v/o bei eine elektronische Folgeschaltung (156) vorgesehen ist, um die aufeinanderfolgende Messung der V/iderstände und das aufeinanderfolgende Speichern in dem Speicher zu steuern»17o Maschine nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet» daß die Messung durch eine zweite Wheatstonesche Brücke (154) erfolgt, wobei die Folgeschaltung (156) von Mal zu Mal an die Brücke einen zu überprüfenden Widerstand und einen entsprechenden iiormalwid er stand aus einer. Reihe von Normalwiderständen anschließt»1098A n/128918«> Maschine nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Folgeschaltung außerdem eine Speiseschaltung (157) steuern kann, die so programmiert ist, daß sie die zweite Brücke (154) mit einer solchen Spannung speist $ daß sie mit einer im wesentlichen gleichbleibenden Empfindlichkeit messen kanno19«, Maschine nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Brücke (154) an eine Gruppe von drei Vergleichern (158, 159» 161) angeschlossen ist, die von einem Spannungsgenerator (162) gespeist werden, der für einen ersten der Vergleicher eine der oberen Grenze der für einen gegebenen Widerstand (R1, R2 »ο ο R12) verlangten Toleranz entsprechende Spannung, für einen zweiten der Vergleicher eine der unteren Grenze der für einen gegebenen Widerstand verlangten Toleranz entsprechende Spannung und eine Spannung erzeugen kann, die der Mindestgrenze des Widerstandes entspricht j bei welcher die Vornahme einer Korrektur erwünscht ist»20* Maschine nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnets daß der Spannungsgenerator (162) durch die Folgeschaltung (156) gesteuert wird, wobei die Spannungen von Hand einstellbar sinde21· Maschine nach Anspruch 19 oder 20, dadurch gekennzeichnet, daß ein Serienparallelwandler (163) in dem Speicher für jeden Widerstand auf der Basis der Kombination der von den Vergleichen! (158, 159» 161) ausgesandten Vergleichssignale ein Korrektursignal oder ein Aussonderungssignal oder ein Abnahmesignal speichern kann»22e Maschine nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß der Serienparallelwandler (163) außerdem eine den109840/1289Zustand des gesamten Chips (17) anzeigende sichtbare Anzeige (Ί7Ο) steuert*23ö Maschine nach Anspruch 21 oder 22, dadurch gekennzeichnet, daß am Ende der. Messung der Speicher (168) die Aufzeichnung für ein vollständiges Chip (17) löschen kannf wenn wenigstens eines der Signale ein Aussonderungssignal ist ο24β Maschine nach Anspruch 14 und 23» dadurch gekennzeichnet, daß die sichtbare Anzeige (170) Mittel, die die auszusondernden Chips (17) anzeigen können, und Mittel enthält, die anzeigen können, daß kein Chip (17) der Trägerplatte (16) zu korrigieren ist«25ο Maschine nach einem der Ansprüche 15 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkzeug (133) an einem Schieber (116) angebracht ist, der sich so verstellen läßt, daß die Spitzen (138) von Mal zu Mal mit den Enden der widerstände (R1, R2... E12) in Berührung gebracht werden.»26o Maschine nach Anspruch 24 und 25» dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerplatte (16) auf zwei Schiebern (102, 104) angeordnet ist, die in zwei im rechten Winkel zueinander verlaufenden Richtungen verstellbar sind und durch ein Programm mit Hilfe von zwei Fortschaltmotoren (109» 109') so betätigt werden, daß sie die aufeinanderfolgenden Chips (17) dem Werkzeug (133) darbieten«,27ο Maschine nach Anspruch 26, gekennzeichnet durch eine Vorrichtung (21), um die Trägerplatte (16) auf einem hohlen Halter (.31) auszurichten, wobei der Halter (31)-33-1 0 9 P t: η / 1 2 8 9~ 33 -an eine Yakuumquelle (39) angeschlossen ist» um die Trägerplatte (16) an ihm haftend zu halten»28» Maschine nach Anspruch 27» dadurch gekennzeichnet,
daß die Vorrichtung einen Arm (47) enthält,, der die Trägerplatte (16) verschieben, und aie durch Reibung mittels Handsteuerung (74) drehen kann»MB/Sch/Hf - 22 60210984Π/12893VLeerseite
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
IT6794170 | 1970-03-20 | ||
IT6849570 | 1970-04-30 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2114711A1 true DE2114711A1 (de) | 1971-09-30 |
Family
ID=26329850
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19712114711 Pending DE2114711A1 (de) | 1970-03-20 | 1971-03-22 | Maschine zum Überprüfen und Korrigieren von Elementen hybrider integrierter Schaltungen |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3723694A (de) |
DE (1) | DE2114711A1 (de) |
FR (1) | FR2083455B1 (de) |
GB (1) | GB1344297A (de) |
NL (1) | NL7103709A (de) |
SE (1) | SE363922B (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0007598A1 (de) * | 1978-08-02 | 1980-02-06 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur Herstellung einer elektrischen Schichtschaltung auf Kunststoffolie |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3364390B2 (ja) * | 1995-12-30 | 2003-01-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査装置 |
US20210299665A1 (en) * | 2020-03-30 | 2021-09-30 | Fei Company | Method for temperature monitoring in cryo-electron microscopy |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2079310A (en) * | 1933-10-31 | 1937-05-04 | Joseph W Piercy | Mechanism for producing printing plates by electric arcs |
NL290932A (de) * | 1963-03-29 | |||
US3335255A (en) * | 1963-11-14 | 1967-08-08 | Avco Corp | Arc erosion milling machine |
US3486221A (en) * | 1967-06-14 | 1969-12-30 | Sprague Electric Co | High energy beam trimming of electrical components |
CH464386A (de) * | 1967-07-20 | 1968-10-31 | Exnii Metallorezh Stankov | Vorschub-Programmsteuerungseinrichtung für eine Elektrofunken-Abtragmaschine |
US3596039A (en) * | 1968-07-19 | 1971-07-27 | Sprague Electric Co | Trimming thin-film capacitors by spark erosion |
-
1971
- 1971-03-18 FR FR7109569A patent/FR2083455B1/fr not_active Expired
- 1971-03-19 NL NL7103709A patent/NL7103709A/xx unknown
- 1971-03-19 SE SE03623/71A patent/SE363922B/xx unknown
- 1971-03-22 US US00126604A patent/US3723694A/en not_active Expired - Lifetime
- 1971-03-22 DE DE19712114711 patent/DE2114711A1/de active Pending
- 1971-04-19 GB GB2472971*A patent/GB1344297A/en not_active Expired
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0007598A1 (de) * | 1978-08-02 | 1980-02-06 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur Herstellung einer elektrischen Schichtschaltung auf Kunststoffolie |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2083455B1 (de) | 1976-07-23 |
GB1344297A (en) | 1974-01-16 |
FR2083455A1 (de) | 1971-12-17 |
NL7103709A (de) | 1971-09-22 |
US3723694A (en) | 1973-03-27 |
SE363922B (de) | 1974-02-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3103166C2 (de) | Verfahren zum Bearbeiten einer Oberfläche eines Werkstücks und numerisch gesteuerte Werkzeugmaschine | |
DE3719167C1 (de) | Numerisch gesteuerte Leiterplatten-Bearbeitungsmaschine | |
EP0280919A2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Ausrichten einer Traegerplatte fuer gedruckte Schaltungen, gegenueber der Druckeinrichtung einer Maschine zum Bearbeiten von gedruckten Schaltungen | |
DE1941057A1 (de) | Einrichtung zur Lageeinstellung eines Gegenstandes relativ zu einem Bezugspunkt | |
DE1964522A1 (de) | Messeinrichtung zur Bestimmung des Dotierungsprofils eines Messobjekts aus Halbleitermaterial | |
DE2810556C2 (de) | Siebdruckvorrichtung, insbesondere zum Herstellen gedruckter Schaltungen | |
DE3216528C2 (de) | Nähautomat mit einer Einrichtung zur Identifizierung von Art und/oder Größe eines eingesetzten Nähgut-Halters | |
DE3237158A1 (de) | Handwerkzeugmaschine, insbesondere bohrmaschine | |
DE2736247A1 (de) | Schleifmaschine | |
DE4307080C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Spulenanordnung mit mindestens einem elektronischen Bauelement (IC), wobei eine Bildverarbeitungseinrichtung zur Bauelementpositionierung zum Einsatz kommen kann | |
DE3431837C2 (de) | Vorrichtung zum Ausrichten eines Galvanisierkopfes relativ zu einem Halbleiter-Leiterrahmen | |
DE2114711A1 (de) | Maschine zum Überprüfen und Korrigieren von Elementen hybrider integrierter Schaltungen | |
DE2048079C3 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Kaltverschweißen (Festkörperverschweißung) zweier Werkstücke | |
DE2817209C2 (de) | Verfahren zur Einstellung der Normierposition von Schrittantrieben | |
DE1056859B (de) | Einrichtung zur Herstellung eines Roentgenbeugungspolardiagramms von annaehernd ebenen Probestuecken | |
DE3235576A1 (de) | Verfahren zur identifizierung eines naehgut-halters und naehautomat zur durchfuehrung des verfahrens | |
DE3007844A1 (de) | Schreibinstrument | |
DE19515684C2 (de) | Verfahren zur Vereinzelung von elektrischen Bauelementen | |
DE2812380B2 (de) | Prägemaschine zum Herstellen von Druckformen für Adressiermaschinen, von Identitätsausweisen u.dgl. | |
WO1994013125A1 (de) | Gerät und verfahren zum bedrucken eines schaltungsträgers | |
DE2703115C2 (de) | Lichtsetzmaschine und Verfahren zum Betreiben derselben | |
EP0314073B1 (de) | Senkerodiermaschine mit einer Einrichtung zum Kompensieren des Elektrodenverschleisses und Verfahren zum Kompensieren des Elektrodenverschleisses | |
DE3035090C2 (de) | Vorrichtung zur Verdrahtung von Substratoberflächen | |
DE2114496C3 (de) | Maschine zum Befestigen von Verbindungsdrähten an mehreren Anschlußstellen eines Halbleiterbauelements und an den zugehörigen Anschlußstellen eines das Halbleiterbauelement aufnehmenden Gehäuses | |
DE3051232C2 (de) | Vorrichtung zur Verdrahtung von insbesondere bestückten Substratoberflächen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OHJ | Non-payment of the annual fee |