DE2114711A1 - Maschine zum Überprüfen und Korrigieren von Elementen hybrider integrierter Schaltungen - Google Patents

Description

Ingo Co Olivetti & Co, S.p.A», Ivrea (Torino), Italien

Maschine zum Überprüfen und Korrigieren von Elementen hybrider.integrierter Schaltungen

Die Erfindung bezieht sich auf eine Maschine zum Überprüfen und Korrigieren von Elementen durch Aufbringen von dünnen Filmen auf Tragerplatten hergestellter hybrider integrierter Schaltungen, die Korrektureinrichtungen enthält, die die Korrektur durch Beseitigen eines Teiles des dünnen Films bewerkstelligen können.,

Die Beschaffenheit und die Geometrie integrierter Schaltungen machen langwierige und äußerst genaue Herstellungs vorgänge notwendig» Beispielsweise muß das Überprüfen der Werte der Widerstände einzeln mit sehr genauen Meßgeräten durchgeführt werden. Außerdem ist das Aufbringen des dünnen Films» insbesondere hinsichtlich seiner Dicke, schwer zu messen, weshalb der Wert der Widerstände häufig außerhalb der erforderlichen Toleranzen liegte Zum Vermeiden übermäßig hoher Ausschußzahlen ist bereits vorgeschlagen worden, Widerstände von übermäßig hohem Wert durch Beseitigen eines Teiles des dünnen Filmes zu korrigieren» Gerade dieser Arbeitsgang ist sehr mühsam und schwierig, da er an einem einzigen Widerstand durchgeführt werden muß, indem er mit Hilfe von Mikroskopen in die richtige

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lage gebracht wird, während der auf diese Weise korrigierte Widerstand dann nochmals durch das Meßgerät überprüft werden muß»

Außerdem macht die Entwicklung integrierter Schaltungen Fertigungsverfahren erforderlich, die so weit wie möglich automatisiert sind und mit den bekannten Geräten nicht zu erreichen sind»

Das durch die Erfindung zu lösen vorgeschlagene technisehe Problem ist die Herstellung einer Maschine, die in der lage ist* das Überprüfen und die Korrektur der Schaltungselemente in weitmöglichst automatischer vVeise durchzuführen©

Dieses technische Problem wird durch die Maschine nach der Erfindung gelöst, die gekennzeichnet ist durch Meßeinrichtungen, die die Messung des zu korrigierenden Elements im wesentlichen während der Betätigung der Korrektureinrichtungen vornehmen können, während die Meßeinrichtungen die Betätigung der Korrektureinrichtungen steuern könne n_o

Nach einem weiteren Merkmal der Erfindung enthält die Maschine eine Meßvorrichtung, die die zu korrigierenden Elemente messen und die Toleranzwertbedingung, den zu korrigierenden Wert und den nicht korrigierbaren Wert speichern kann»

Im Falle einer eine Vielzahl von Chips mit integrierten Schaltungen tragenden Trägerplatte kann ein Speicher die Toleranzwertbedingung und den zu korrigierenden Wert für jedes Element eines Chips, an welchem keine als Ausschuß zu verwerfenden Elemente vorbanden sind, speichern, wobei die Korrektur streng nur auf die zu korrigierenden Elemente begrenzt ist»

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!lach einem weiteren Merkmal der Erfindung besitzt die Maschine eine Vorrichtung zum Insteilungbringen einer zu überprüfenden und zu korrigierenden Trägerplatte auf einem Halter, der hohl ist und an eine Vakuumansaugöffnung angeschlossen ist zum Befestigen der Trägerplatte ■mf dem Halter, der sich in der Meßvorrichtung und in der Korrekturvorrichtung mit Hilfe von Stiften anbringen läßt»

Diese und weitere Merkmale der Erfindung gehen aus der nachstehenden Beschreibung eines nicht' beschränkenden bevorzugten Ausführungsbeispiels anhand der beigefügten Zeichnungen im einzelnen hervor» 'Ea zeigen:

Figo 1 eine Vorderansicht einer kaschine nach der Erfindung zum Überprüfen und Korrigieren der Widerstände integrierter Schaltungen,

fig. 2 eine Aufsicht auf die Maschine nach Figo 1,

Figo 3 eine teilweise im Schnitt und in vergrößertem Maßstäbe dargestellte Vorderansicht einer ersten Vorrichtung der Maschine,

Figo 4 einen Schnitt nach der Linie IV-IV in Figo 3, Fig» 5 einen Teilschnitt nach der Linie V-V in Figo 3,

Figo 6 eine teilweise im Schnitt und in vergrößertem Maßstäbe dargestellte Vorderansicht einer zweiten Vorrichtung der Maschine,

Figo 7 eine Seitenansicht der Vorrichtung nach Figo 6,

Figo 8 eine Aufsicht auf eine Einzelheit der Vorrichtung nach Figo 6,

Figo 9 einen Schnitt nach der Linie IX-IX in Figo 7,

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Figo 10 eine Aufsicht auf eine Hilfsvorrichtung der Maschine in weiter vergrößertem Maßstäbe,

Figo 11 und 12 zwei im rechten Winkel zueinander geführte Schnitte durch die Vorrichtung nach Figo 10,

Figo 15 eine teilweise im Schnitt und in vergrößertem

Maßstäbe dargestellte Torderansicht einer dritten Torrichtung der Maschine,

. Figo 14 eine Seitenansicht der Torrichtung nach Figo 13, Figo 15 eine Aufsicht auf die Torrichtung nach Fig. 13,

Figo 16 eine Ansicht einer Einzelheit der Torrichtung nach Fig« 13 in weiter vergrößertem Maßstabe,

Figo 17 ein Blockdiagramm des elektronischen Steuergeräts der Maschine,

Figo 18 eine in vergrößertem Maßstabe dargestellte Ansicht einer integrierten Schaltung, deren Widerstände durch die Maschine nach Fig» 1 überprüft und korrigiert -werden können»

Die Maschine nach der Erfindung eignet sich insbesondere zum Prüfen und Korrigieren der Widerstände von hybriden integrierten Schaltungen, die mittels des in der Parallelanmeldung P »ooo.·.. vom 19° März 1971 vorgeschlagenen Terfahrens hergestellt sind ο Im einzelnen wird eine gegebene Schaltung hergestellt, indem man von Trägerplatten aus glasartigem keramischem Werkstoff ZoB* mit einer dünnen (Jlasschicht überzogenen Aluminiumoxid ausgeht, von welchen eine in Figo 18 mit 16 bezeichnet ist» Jede Trägerplatte 16, deren Abmessungen etwa 50 χ 50 mm betragen, bildet den Träger für zwölf Chips 17 für eine gleiche Anzahl von in zwei Reihen von sechs Chips angeordneten gleichen integrierten Schaltungen*

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Die Leiter jedes Chips 17 sind aus einem Niederschlag einer durch Verdampfung im Vakuum erzielten Niekel-Chrom-Schicht gebildet, die von einer teilweise durch Verdampfung, im Vakuum erzielten G-oldschicht bedeckt ist} worauf die Schaltungselemente, doh» die Form der Schaltung, durch Lichtätzung erzielt werden» Die Dicke der Schaltungselemente wird durch einen anschließenden Miederschlag von Gold mittels Elektrolyse um eine Dicke von etwa 3,5/U vermehrte

Jedes Chip 17 mit einer integrierten Schaltung umfaßt Zonen 18 für den Anschluß von Halbleiterelementen und ausgedehnte Bereiche 19 aus Nickel-Chorm-Gold-Niederschlag, deren Widerstand vernachlässigbar ist, und mit R1, R2, R3,

R4 ο bezeichnete Anschlüsse für diesen Niederschlag»

die die wirklichen und eigentlichen Widerstände der Schaltung bilden» Normalerweise können bis zu zwölf Widerstände für jedes Chip vorgesehen werden. Der Wert der auf diese Weise erzielten Widerstände beträgt etwas weniger als der vorbestimmte Wert, damit Korrekturen eines WiderStandes durch Beseitigen eines Teiles des i\lickel-Chrom-Gold-Niederschlages vorgenommen werden können_o Zu diesem Zweck ist jeder Widerstand R1, R2 < >.. mit einer zwischen zwei Zonen von unterschiedlicher Breite angeordneten Stufe 20 versehene Der Niederschlag wird beseitigt, indem auf die Stufe 20 so eingewirkt wird, daß die Zone von geringerer Dicke zunimmt und somit der Wert des Widerstandes ebenfalls zunimmto

Die Maschine zum Überprüfen und Korrigieren der Widerstände arbeitet an einer zwölf Chips 17 für eine gleiche Anzahl von integrierten Schaltungen enthaltenden Trägerplatte Ι6β Sie besitzt eine erste Vorrichtung 21 (Mg. 1) zum Anbringen und Ausrichten der Trägerplatte 16 auf einem System von Stiften mit Hilfe eines Mikroskops 22 mit zwei Obj ektiven. Die Maschine besitzt außerdem eine zweite Vor-

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richtung 23 für das anschließende Überprüfen der Widerstände R1 ..oo R12o Diese Vorrichtung ermittelt den Wert jedes Widerstandes und speichert Information, die die Widerstände in Klassen einstuft je nachdem, ob sie eine Toleranz haben oder ob sie korrigiert werden müssen oder ob sie als Ausschuß ausgeschieden werden müssen, weil sie außerhalb der Grenzen liegen, innerhalb derer die Korrektur wirken kann»

Die Maschine besitzt außerdem eine Korrekturvorrichtung 24» . die mit einer vibrierenden Nadel oder Spitze 25 versehen " ist, um in allen Widerständen der zwölf Schaltungen der Reihe nach den Nickel-Chrom-Gold-Hiederschlag durch Elektroerosion einzukerben»

Die Nadel 25 wird durch die gespeicherte Information gesteuert, die die Korrektur derjenigen Widerstände ausläßt, die zu einem Chip gehören, bei welchem mindestens ein Widerstand als Ausschuß zu verwerfen eingestuft worden, wie nachstehend noch näher erläutert*

Anbringen und Ausrichten der Trägerplatte

Die Vorrichtung 21 zum Anbringen und Ausrichten der Trägerplatte 1.6 besitzt eine Grundplatte 27 (Figo 3), auf der zwei Ausrichtstifte 28 und 29 befestigt sind» Der Stift 28 (Figo 4} hat einen dreieckigen Querschnitt, während der Stift 29 kreisrund ist, jedoch zwei einander gegenüberliegende Abflachungen aufweist© Auf den beiden Stiften 28 und 29 wird ein allgemein mit 31 bezeichneter Halter für die Trägerplatte 16 angeordnete Der Halter 31 besteht aus einer unteren Platte 32 von kreisrunder Form, die mit zwei Haltelöchern 33 (Figo 3) versehen ist, die miteinander übereinstimmen« Die Platte 32 ist außerdem mit einer Vertiefung 34 in Form eines Quadrats (Figo 4) versehen, in welcher eine mit der Plat ^e'32 verkittete obere Platte 36 (Figo 3) angeordnet ist_e Der untere Teil der

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Platte 36 ist so, daß er mit der Vertiefung 34 eine Kammer 37 bildete Die Platte 36 ist mit einer Gruppe von in Form eines G-itters angeordneten Öffnungen' 38 versehen, die durch die Trägerplatte 16 bedeckt werden können,, Auf einer Seite der unteren Platte 32 (Fig. 4) ist ein an eine in der Zeichnung nicht dargestellte Vakuumpumpe angeschlossener Schlauch 39 befestigte

Die Trägerplatte 16 ist mit zwei Eezugsmarkierungen versehen, die mit zwei an einer transparenten Platte 42 vorhandenen Bezugsmarkierungen 41 einwandfrei zur Deckung gebracht werden müssen. Die Platte 42 ist an einem Riegel 43 befestigt, der an zwei horizontale Stifte 44 eines feststehenden G-estells 45 angelenkt ist und normalerweise durch eine Blattfeder 46 in seiner unteren Stellung gehalten wird* Die Objektive 50 (Fi^e -3) des Mikroskops 22 sind so angeordnet, daß sie die beiden Bezugsmarkierungen 41 (Figo 4) im Bildfeld erfassen«.

Zum Anbringen der Trägerplette 16 in ihrer richtigen Lageist ein Arm 47 (Figo 5) mit C-förmigem Querschnitt vorgesehen, der an eine horizontale Welle 48 angelenkt ist ο Am freien Ende des Armes 47 ist ein Stift 49 befestigt, um den sich eine mit einem Stab 52 aus einem Stück gefertigte Rabe 51 drehen kann«. Dieser Stab trägt an seinen beiden Enden zwei Klötzchen 53 mit hohem Reibungskoeffizienten, die mit der Trägerplatte 16 zusammenwirken können«,

Die Nabe 51 v/eist eine Äille auf, in welcher ein biegsames Seil 54 verlauft, das außerdem in einer entsprechenden Rille einer mit einem Schneckenrad 57 aus einem Stück gefertigten Habe 56 verläuft, die außerdem auf der vielle 48 drehbar ist» Die beiden Enden des Seiles 54 sind mit einer Feder 5β verbunden, die zwischen zwei durchbohrten Ansätzen 59 angeordnet ist, durch die das Seil 54 verläuft« Die Ansätze r° sind nifc dem Arm AJ fest verbunden und

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bilden die beiden Hubendanschlage für das Seil 54»

Die Welle 48 ist an zwei Ansätzen eines ersten. Schiebers 61 befestigt» der mit Hilfe von Kugeln parallel zur Ebene γόη Figo 3 in zwei horizontalen V-förmigen Führungen verschiebbar ist» Ein zweiter Schieber 63 ist mit Hilfe von Kugeln auf zwei weiteren V-förmigen Führungen 64 (Figo 3) auf einer an der Grundplatte 27 befestigten Platte 66 lotrecht zu dem Schieber 61 verschiebbare

Platte 66 ist mit einer Öffnung 67 versehen, in welcher " ein erstes an einem Handbedienungshebel 69 befestigtes Kugelgelenk 68 untergebracht ist· Dieser Hebel trägt ein zweites, in einer Öffnung 72 des Schiebers 61 untergebrachtes Kugelgelenk 71» An dem Schieber 61 ist eine Hülse 73 befestigt j in welcher sich mit Hilfe reibungs— armer Lager ein Hohlknopf 74 dreht, dessen Oberkante gerändelt ist und durch den sich der Hebel 69 erstreckte An der Unterkante des Knopfes 74 ist ein Zahnrad 76 befestigt, das mit einem Kitzel 77 im Eingriff steht, das mit einer Schnecke 78 fest verbunden ist, die auf dem Schieber 61 drehbar ist und mit dem Schneckenrad 57 im Eingriff steht*

An dem Arm 47 ist ein Zapfen 79 befestigt, an den ein Hebel 81 angelenkt ist, der über einen Stift 82 an einen zweiten Hebel 83 angeschlossen ist· Der Hebel 83 ist an einen Zapfen 84 angelenkt, der an einem Ansatz 86 des Schiebers 61 befestigt ist ο Zwischen dem Stift 82 und einem Vorsprung 88 des Schiebers 61 ist eine Feder 87 gespannto Auf der Grundplatte 27 sind außerdem vier Säulen 89 befestigt, die eine Stützplatte 91 für die Hand des Bedienenden tragen, der den Hebel 69 und den Knopf 74 bedienen solle

Um eine (Trägerplatte 16 auf dem Halter 31 in ihrer rich-

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tigen Lage angeordnet anzubringen, wird der Arm 47 zunächst angehoben, indem er um die Welle 48 verschwenkt wird* Wenn der Stift 82 die mit dem Zapfen 84 und der Feder 87 fluchtende Lage überschreitet, drängt die Feder den Arm 47 weiter aufwärts, bis sie sein Anliegen gegen einen Absatz 92 der Hülse 73 bewirkt»

Indem dann die Platte 42 (Figo 4) angehoben wird, wird der Halter 31 mit seinen Öffnungen 33 auf die Ausrichtstifte 28 und 29 aufgesetzt, wobei, die auszurichtende Trägerplatte 16 auf der Platte 36 des Halters 31 angeordnet und durch Augenschein auf der Platte 36 zentriert wirdo Dann wird die Platte 42 wieder abgesenkt und durch die Feder 46 in ihrer unteren Lage gehaltene Außerdem wird der Arm 47 wieder abgesenkt, indem er zunächst die Spannung der Feder 87 (Figo 3) überwindet, die dann den Arm 47 selbst hält, indem die beiden Klötzchen 53 gegen die Trägerplatte 16 anliegen^

Nunmehr beginnt der Bedienende die Bezugsmarkierungen 41 der Platte 42 und die entsprechenden gegenüber den Bezug smarkierung en 41 noch verschobenen Bezugsmarkierungen der Trägerplatte 16 anzuvisieren» Außerdem betätigt der seine Hand auf die Platte 91 stützende Bedienende den Hebel 69 und den Knopf 74$ die in Kombination die Bezug smarkierung en der Trägerplatte 16 mit den Bezugsmarkierungen 41 zur Deckung bringen» Im einzelnen wird durch Einwirken auf den Knopf 74 die Drehbewegung der Trägerplatte 16 um die Achse des Stiftes 49 bewirkt, wobei das über das Ritzel 77 einwirkende Zahnrad 76 ein entsprechendes Drehen der Schnecke 78 veranlaßt* Die Sohnecke veranlaßt das Drehen des Schneokenrades 57 um die Welle 48, was zur Folge hat, daß die Nabe 56 das Drehen der Habe 51 mit Hilfe des Seiles 54 zusammen mit dem Stab 52 bewirkt. Auf diese Weise drehen die Klötzchen 53 die Trägerplatte 16 um den Stift 49 herum»

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Indem andererseits der Hebel 69 betätigt wird, erfolgt die Verschiebung der Trägerplatte 16» Der Hebel 69 kann in jeder beliebigen, durch die Mitte des Kugelgelenks 68 verlaufenden Ebene verschwenkt werden und bewirkt von Mal zu Mal das Verschieben des Kugelgelenks 71· Die Bewegung des Kugelgelenks 71 erfolgt mit Hilfe einer Verstellung des Schiebers 63 gegenüber der Platte 66 in Übereinstimmung mit der Komponente der eigentlichen Bewegung in Richtung der Führungen 64 und einer Verstellung des Schiebers 61 gegenüber dem Schieber 63 in Übereinstimmung mit der Komponente der Bewegung in Richtung der Führungen 62 (Figo 5) <> Der Arm 47 bewegt sich seinerseits starr mit dem Schieber 61, dessen, sich daraus ergebende Bewegung schließlich auf die Trägerplatte 16 übertragen, wird«

Nach erfolgtem Ausrichten wird die Vakuumpumpe betätigt, die über den Schlauch 39 (Figo 4) in der Kamm er 37 einen Unterdruck herstellt, der in der Lage ist, die Trägerplatte 16 im Verlaufe der aufeinanderfolgenden Behandlungen starr auf dem Halter 31 festzuhalten·

Indem nunmehr der Arm 47 und die Platte 42 angehoben werden, wird der Halter 31 von den Stiften 28 und 29 abgenommene Der Halter 31 wird dann zusammen mit dem den Unterdruck aufrechterhaltenden Schlauch 39 und der zu korrigierenden Trägerplatte 16 zu der nächsten Station der Maschine, doho zu der Vorrichtung 23 (Fig» 1) bewegt, um die Widerstände R1, R2 ..» R12 der Reihe nach zu überprüfen»

Überprüfen der Widerstände

Die Vorrichtung zum aufeinanderfolgenden Überprüfen der Widerstände besitzt eine Grundplatte 93 (Fig. 6), auf welcher eine Säule 94 befestigt ist, die eine allgemein mit

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96 "bezeichnete Prüf einheit trägto Der Halter 31» auf dem die zu überprüfende Trägerplatte 16 gehalten wird, wird auf eine allgemein mit 97 bezeichnete Schiebereinheit angeordnet*

Im einzelnen wird der Kalter 31 auf zwei den Stiften 28 und 29 (Figo 3) entsprechenden und an einer Platte 101 (Figo 6) befestigten Stiften 98 und 99 befestigte Die Platte 101 ist an einem ersten Schieber 102 der Einheit

97 befestigt, der in der Ebene von I¹Xg₀ 7 auf einem zweiten Schieber 104 mit Hilfe von mit Kugeln versehenen Führungen 103 (Figo 6) verschiebbar isto Der zweite Schieber 104 ist seinerseits mit Hilfe von zwei mit Kugeln versehenen Führungen 105 (Figo 7) auf einer feststehenden Platte 106 lotrecht zu dem Schieber 102 verschiebbar»

Der Schieber 102 wird mit Hilfe eines von dem Schieber 104 getragenen Fortschaltmotors 109 (Figo 7) mittels einer Spindel 107 (Figo 6) und einer Mutter 108 verschoben»

Entsprechend wird der Schieber 1O4 mit Hilfe eines mit dem Motor 109 übereinstimmenden und von der Platte 93 getragenen zweiten Fortschaltmotors 109' (Figo 6) mittels einer Spindel 107' und einer Mutter 108' verschobene An jedem der Schieber 102 und 104 sind zwei Hülsen 110 befestigt, die mit zwei Öffnungen 111 in dem Schieber 104 bzw«, in der Platte 106 teleskopartig zusammenwirken und je eine Feder 112 enthalten, die jegliches Spiel zwischen der Spindel und der Mutter stets in gleicher Richtung aufnehmen können, was zur Folge hat, daß die Bewegungen der Schieber 102 und 104 in jedem Falle sehr genau sind· Die Schieber 102 und 104 sind außerdem mit Vorsprungen 115 versehen, von welchen nur einer in Mg» 6 sichtbar ist, die in bekannterweise, beispielsweise mit Hilfe in der

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üeiohnung nicht daxgestellter Mikroschalter,. die Ruheoder unwirksame Stellung der Schieber selbst und somit dea Hullsustanfl der fort sch al tmo tor en. 1Q9 und 1G9* feestimmest können.©

Die Prüfeinheit 96 Besitzt einem an der Seite 94 befestigten Halter 113 (Fige 7}g der sswei senkrechte V-förmige Führungen 114 (figο 8)- trägt* an welchen der Prüfschieber 116 verschiebbar ist»

Aa dem Sehieber 116. ist ein Zapfen.117 (Pig· 9) befestigt , der eine drehbar© Roll© 118 trägt ₉ die mit einem auf der Welle 121 eine® an sieh bekannt esa. gebremsten Elektromotors 122 (fig* T) befestigten Exzenter 119 zusammenwirkt© Der lxs©nt®r 119 ist mit einer Kurvenscheibe 123 (Pig β. 9) aus einem Stück gefertigte die einen Mikro schalter 124 betätigest tann₉ flössen Aufgabe nachstehend noch Bäher erläutert wird©

Bsr Eapfes 11? ist außerdem aa die Stange 126 eines dop.— peltwirkenöeE tayiraiiliecheia Eolbens 127 ange schloss en _D eier über swei Saitungesa 128 und 129 -betätigbar ist®

Amßerfiea iat aa unteres. Seil flos ieliiclbera 116 (fig© 7) ein® Eonsole 131 (Pig· S) ves im w es ent Ii ©lies XT- fdap ©estalt -so ange"braeht_s ü&B sie Ie ihrer Hiili© ist © Bie b©icl®si Aris.® fles Sons©lc 131 sind sdt asafüferurig©a 132 (Mg© Sl -gersefeeng, i». äi© ©ias alli©seia alt 133 feoselefanetois WmQfäö^k&f&m^ elßgefiih^t w®rö©a k Sae fiiw die sm übe^p^üfesiö© SsreLgerplatt© 16 δ© sonde gefeamt ist© Sa ©issoliaöa fast οεο fJorisiseiig 133 eines eckiges lfetaiIs?eiMes -134p i»t& 0GlQfcoo ©1ε·3 ^®ih© TOsS ^s res Isleises¹ Blättöfat®. 13? {Agc T) CSgSGi⁴CiHst ist«, fiie

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Prüfspitze 138 und ein nicht von dem Araldit bedecktes Ende 139» auf das ein in der Zeichnung nicht sichtbarer Leiter gelötet wirdo Die Plättchen 137 sind in einer solchen Lage angeordnet, daß die Spitzen 138 jedes Plättchenpaares sich in einer mit den beiden Enden des zu überprüfenden Widerstandes E1, Ή2 o.o (Figo 18) übereinstimmenden Lage befinden. Die Spitzen 138 der verschiedenen Plattchenpaare 137 (Fig· 18) reproduzieren somit die Anordnung der Enden sämtlicher Widerstände R1 _f R2 <>·· eines vollständigen Chips 17 einer integrierten Schaltung der Trägerplatte 16»

Das werkzeug 133 wird in die Führungen 132 eingeführt» Die Lage des Werkzeuges 133 wird mit Hilfe von drei exzentrischen Dübeln 151 eingestellt, worauf das Werkzeug 133 in den führungen mit Hilfe von zwei Befestigungsschrauben 152 (ligo 8) festgelegt wird·

In unwirksamem Zustand wird das Öl in der Leitung 129 (Pig· 7) unter Druck gehalten, was zur Polge hat, daß der Schieber 116 durch den hydraulischen Zylinder 127 in seiner in der Zeichnung dargestellten hoohgeführten Stellung gehalten wird»

laohde» die Trägerplatte 16 auf dem Halter 31 in ihrer riohtige* Lage angebracht wordem ist, wird der Halter zusammen mit dem S oh lau ch 39 aus der Vorrichtung 21 (lig· 2) herausgezogen und auf die Stifte 98 und 99 (lig»6) der Platte 101 der Prüfvorrichtung 23 aufgesetzt· Somit ist der Halter 31 genau in seiner richtigen Lage angeordnet· Der MeäiyJUus für die Widerstände wird alt Hilfe einer in der Zeichnung nicht dargestellten Auslösetaste eingeleitet· Dieses lyklus enthält für jede* Chip 17 (fig· 1t) einen Meivorgang, der durch eine nachstehend noel näher zu beβehreibandβ Steuerschaltung überprüft wir!·

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Baa Niederdrücken dar Auslösetaste bewirkt vor allem den Ölflttl in die Leitung 128 hinein^ was zur Folge hat, daß der Zylinder 127 daa Anlegen der Rolle 118 gegen den Exzen ter 119 bewirkt» wie ea in der Zeichnung dargestellt ist» Das Niederdrücken der AusIosetaste bewirkt außerdem das - Insteilungbringen der Schieber 102 und 104 (Fig. 6) in ihrer Ausgangsstellung mit Hilfe der Vorsprünge 115» In dieser iage ist daa Werkzeug 133 in. Übereinstimmung mit dem ersten der zwölf Chips 17 (Fig. 18) angeordnet»

) Barauf bewirkt der Steuerkreis, daß sieh die Welle 121 (Pig* 7) des Motors 122 um 180® dreht· Dadurch läßt.der Exzenter 119 zu, daß sich die Rolle 118 zusammen mit dem Zapfen 117 und dem Schieber 116 abwärtsbewegt· Barauf bewirkt die Konsole 131» daß sich die Spitzen 138 gegea die Enden der Widerstände R1? R2 ».» (figs 18) des ersten Chips 17 anlegen» Über den Mikroschalter 124 gibt die Kurvenscheibe 123 dann ihre Zustimmung für das Messen* das durch den Steuerkreis in nachstehend noch näher zu beschreibender Weise vorgenommen wird»

Hach diesem Yorgang wird der Motor 122 (Fig. 7) erneut betätigt für eine drehbewegung der Antriebswelle 121 von f 180°, wa® zur Folge hat* daß der Exzenter 119 den Sohle- her 116 in seine obere Stellung zurückführt· Barauf feetälägt der Steuerkreis die beiden fortscfaaltmotoren 109 und 109* (lig· 6 u. 7)» die über die Spindeln 107 und 107* sowie die Muttern 108 und 108' das Verschieben dar beiden Sohieber 102 und 104 bewirken* um die Trägerplatte 16 mit ihrem zweiten Chip 17 (Pig» 18) mit dem Werkzeug 133 (Fig* 7) ia Überainatimmung zu bringen» wodurch, zweit® Meß-vrorgang eingeleitet wird»

Sieasr MelTorgang wird aösili für all® Ohipe 17 Kaeh dem. leessn des letzten Shipa wird öl der Leitung sug©führtρ was sur folge hat₉ daß ä®r öydrmulisoh©

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127 die Rückkehr des Schiebers 116 in seine unwirksame Stellung bewirkt»

Barauf kann der Bedienende den Halter 31 zusammen mit der überprüften Trägerplatte 16*von den Stiften 98 und 99 (Figo 6) abnehme^i»

Vorbereitung des Meßwerkzeuges

Die Torbereitung eines Meßwerkzeuges 133 wird von Mal zu Mal für jeden Typ der Trägerplatte 16 mit Hilfe einer rechteckigen Platte 139 (Pig* 10) durchgeführt» Diese Platte ist mit einer zentralen Öffnung 141 versehen, deren Abmessungen erheblich größer sind als die einee einzelnen Chips 17 einer integrierten Schaltung» Die Platte 139 ist außerdem in Übereinstimmung mit den kurzen. Seiten der Platte 139 mit zwei Stiften oder Dübeln 142 und in Übereinstimmung mit den längeren Seiten der Platte 139 ®it vier sich paarweise gegenüberliegenden Stiften oder Dübeln 143 versehen« Die Stifte 142 und 143 sind entfernbar uvd dienen zum Erleichtern des Instellungbringens des Rahmens 134 des Werkzeuges 133*

In Übereinstimmung mit Jedem Stiftepaar 143 ist die Platte 13f mit einem entspreehenäea. erhöhten Querteil 144 versehen. Die beiden Teile 144 sinfi mit einer Reihe von Schlitzen 146 (Fig. 12) versehen zur Aufnahme der Plättchen 137· Die Schlitze 146 befinde» eich in eine« Modulabstand von beispielsweise 0$i wm. voneinander* was eine grole Auswahl für das Anbringen der Plättehen 137 bietet· 3IbTOh J ei cn Teil 144 verläuft suierdeffi is Querriefatung eine Öffnung 147 _t 1» welehwr eins sieh gsgea die fe#iÄ«& itifte 145 abetützeMe Sehraubenfed-gr 148 untergebr&eht let»

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ordnet, der auf den beiden Teilen 144 ruht· Die Plättchen 137 (Fig» 11).werden dann in den Schlitzen 146 in einer solchen Lage angeordnet» daß ihre Spitze 138 mit dem Ende des jeweiligen zu prüf endenWiderstandes E1 ₁ R2 .·· (Fig« 18) übereinstimmt» Die Plättchen 137 (Fig. 12) werden jetzt durch die Federn 148 sicher· gehalten·

Darauf wird die aus der Platte 139 und dem Rahmen 134 bestehende Einheit umgekehrt und der Rahmen 134 über die Öffnung 141 bis zur Kante der langen Seiten des Rahmens 134 mit Araldit ausgefüllt· Nach erfolgtem Abkühlen des Aralditkunststoffee wird der Rahmen 134 mit den Plattehen 137 von der Platte 139 abgenommen und die Oberseite des Werkzeuges 133 abgeglichen durch Wegnehmen einer dünnen Schicht 149 von dem eigentlichen Werkzeug 133» so daß die Torsprünge 139 der Plättchen 137 vollständig freigelegt werden, an die die Leiter dann angelötet werden·

Regler für die Prüfvorrichtung

Die an die Plättchen 137 (Fig. 7) angelöteten leiter werden an einen in Fig« 17 schematisch dargestellten und mit 153 bezeichneten Stecker angeschlossen· Die Leiter des Steckers 153 können an eine Wheatstoneeche Brücke 154 angeschlossen werden» um die Widerstände R1, R2 ·.· eines Chips 17 über eine Reihe von der Reihe nach zu schließenden Schaltern I zu messen» Über eine zweite Reihe von Schaltern Io können an die Brücke 154 außerdem ein· zweite Reihe von Leitern über einen Stecker 155 an ein· Reih· von Eiohwiderständen RGI» RG2 .... RCH2 angeschlossen werden· Sie Brücke 154 wird auf der einen Seite durch eine folgesehältung 1§6 gesteuert, die die Schalter I uni Ic der Widerstaridepaare fi1_t R01 $ R2, RC2 ubw· für jedes Chip 17 der Reihe nach schließen kann· Di· Brücke 154 wird außerdem durch eine programmierte Speieeiohaltung 157 gespeist* die ebenfalls durch die Folgeeohaltung 156 gesteuert wird, so daß sie zum Meesen jede· Wideretande·

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an die Brüoke 154 eine Spannung mit einem für den Nennwert des eigentliohen Widerstandes passenden Wert anlegt» Der· Verlust in den Widerständen wird somit auf ein Mindestmaß herabgesetzt, so daß die Messung innerhalb der Grenzen der erforderlichen Empfindlichkeit bleibt»

Die Folgesahaltung 156 wird von einer Programmachaltung 164 gesteuert, die den gesamten Zyklus der an einer Trägerplatte 16 auszuführenden verschiedenen Arbeitsgänge programmieren kann» Im einzelnen führt die Schaltung 164 die aufeinanderfolgenden Betätigungsschritte unter Steuerung durch ein durch den Ifikroschalter 124 (Pig· 9) erzeugtes Signal aus und kann eine die Stellung der Trägerplatte 16 programmierende Schaltung 166 (Pigo 17) steuern» Die Schaltung 166 enthält deshalb einen Speicher, in welchem die Koordinaten der zwölf Chips 17 (lig» 18) aufgezeichnet werden· Da diese zwölf Chips 17 für jedes beliebige Schaltungselement stets den gleichen Teil der Trägerplatte 16 einnehmen, kann dieser Speicher ein Hur-leaespeioher seine Die Koordinatenpaare dieses Speichers werden der Reihe nach ausgelesen, um über einen Rückkopplung skr eis 167 die beiden Tortsohaltmotoren 109 und 109* für das Verschieben der Schieber 102 und 104 (lig· 6 u. 7) Ton eines Chip 17 (lig· 18) zum anderen zu betätigen»

Sie Brüake 154 (Tig· 17) ist außerdem an drei VerglAoher 158» 159 und 161 angeschlossen, an die duroh einen Beaugeapannungagenerator 162 erzeugte Spannungen angelegt werden» niese Spannungen sind für alle Widerstände Bit Hilfe von an einen Kontrollfeld 170 (Tig· 2) angeordneten Bineteilvorrichtungen von Hand programmiert« Diese Uinetellvorrichtungen ermöglichen da· Testlegen der für jeden Widerstand zulässigen Toleranz· Solche Toleranzen ktfnnea 0.5j 1j 2 jf und in Abständen von 5 von 5 bis 25 f fein»

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Für jede gewählte Toleranz erzeugt der Generator 162-(Pig» 17) eine der oberen Grenze der verlangten Toleranz entsprechende Spannung und führt aie dem Vergleicher 158 zu. Dieser kann dann melden, ob der gemessene Widerstand über oder unter dieser Toleranzgrenze liegt» Der Generator 162 erzeugt außerdem eine der unteren Grenze der verlangten !oleranz entsprechende Spannung und führt sie dem Vergleicber 159 zu, der dann melden kann, ob der gemessene Widerstand über oder unter dieser Toleranzgrenze liegt· Schließlieh erzeugt der Generator 162 eine Korrekturspannung» die für alle Widerstände die gleiche ist und die ) untere Grenze der Widerstände angibt, die korrigiert werden können» Diese Spannung wird dem Yergleioher 161 zugeführt, der dann melden kann, ob der Widerstand mehr oder weniger als der Grenzwiderstand beträgt, für den es nooh zweckdienlich iat, eine Korrektur vorzunehmen·

Bie auf diese Weise erzeugten Signale werden einem Serienparallelwandler 163 zugeführt, von dem aus sie auf der Basis der Kombination der drei vorerwähnten Signale für jeden Widerstand zugeführt werden können, und zwar als ein Signal, das anzeigt, daß der Widerstand korrigiert werden muß, oder ein Signal» das anzeigt, daß der Widerstand eine Toleranz hat, oder ein Signal, das anzeigt, W daß der Widerstand nicht korrigiert werden kann und daß eine Korrektur nicht angebracht ist»

Die durch den Serienparallelwandler 163 ausgesandten Signale werden in einem erstent Kernspeicher 168 gespeichert und steuern eine Schaltung 169» die eine sichtbare Anzeige 170 des Fortgang« und der Ergebnisse der Messungen steuert· Im einzelnen ist die sichtbare Anzeige an den Kontrollfeld

170 angeordnet und besteht aus einem Satz von drei laapen

171 (Fig. 1.7 Ϊ alt verschiedenen farben für jeden der möglichen zm'oll Widerstände R1, R2 ·. · eines Chip* 17· Jede der drei lampen 171 wird durch eine« der drei⁵ von dem"Serien-

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parallelwandler 163 ausgesandten Signale zum.Aufleuchten, gebracht, was zur Folge hat, daß der Bedienende von MaI zu Mal eine visuelle Darstellung, des Zustandes des gemessenen Widerstandes hat·. ..-...-...

Die sichtbare Anzeige 170 enthält außerdem eine Jedem Widerstand zugeordnete Lampe 172, die aufleuchten.kann um anzuzeigen, daß mindestens einer der Widerstände des Schaltungselements als Ausschuß zu verwerfen.ist, wobei aus diesem Grunde das gesamte Chip 17 auszusondern ist» Das Aussonderungssignal für einen einzelnen, Widerstand eines Chips 17 löscht in dem Speicher 168 jede mögliehe, sich auf die anderen Widerstände desselben Chips beziehende Korrekturinformation und bewirkt, daß die.entsprechende Lampe 172 aufleuchtet.

Sowohl der Speicher 168 als auch die sichtbare Anzeige 170 wird von der Programmierschalttang 164 gesteuert* Bei Beendigung des Meßeyklus für ein öhip 17 bewirkt die Programmierschaltung, daß auf einen anderen Sektor des Speichers durch den Serienparallelwandler eingewirkt wird, und ferner, daß die zwölf Gruppen aus drei Lampen 171 gelöscht werden durch vorheriges Bestimmen der nächsten Aussonderungslampe 172 zum Aufleuchten·

Schließlich enthält die sichtbare Anzeige 170 eine üa»pe 173» die mir dann aufleuchtet, wenn am Ende der Messung der gesamten Trägerplatte 16 (Fig· 2) kein Chip 17 «u korrigieren ist, d»h· daß einige als Ausschuß auszusondern sind und andere eine !Toleranz haben« Aar Ende der Messung hat der Bedienende somit eine sichtbare Darstellung der gegasten Trägerplatte 16» Er markiert beispielsweise -alt eine» Bleistift die durch die Lampen 172 angezeigten aus-EUBondtrnden Chips 17, um sie nach dem Schneiden der Chip« 17 su befestigen· Außerdem wird er beim Aufleuchten der Lampe 173 die Trägerplatte 16 von der Korrekturstufe ausschließen»

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Die zum Messen eines Widerstandes benötigte Zeit beträgt etwa 200 Millisekunden, während zum Messen der gesamtem: Trägerplatte 16 unter Berücksichtigung der "Vorgänge zum Instellungbringen 60 Sekunden benötigt werden« TJm die Meßzeit von der Korrekturzeit zu trennen, die nicht konstant ist j wie später gezeigt, wird, wird die am Ende der Messung in dem Speicher 168 enthaltene Information unter Steuerung durch die Programmierschaltung 164 in einen dem Speicher 168 entsprechenden Korrekturspeicher 174 übertrageno Der Speicher 174 kann seinerseits die Programmierschaltung 164 steuern, damit diese Übertragung unterbunden wird und dafür ein neuer Meßzyklus genommen wird, bis der Speicher 174 geleert worden ist*

Korrektur der Widerstände

Die Torrichtung 24 (Figo 14) zum Korrigieren der Widerstände hat eine Grundplatte 176, auf der ein erster Schieber 178 auf mit Kugeln versehenen Führungen 177 in der Ebene von fig» 13 verschiebbar isto Auf diesem Schieber ist lotrecht zur Ebene von Figo 13 mit Hilfe von mit Kugeln versehenen Führungen 181 ein einen Block 183 tragender zweiter Schieber 182 verschiebbare Der Block 183 ist mit zwei Prismenführungen 180 versehen, auf welchen eine fc Platte 184 verschiebbar ist, die mit zwei Stiften 185 und 186 versehen ist, die den Halter 31 der bereits gemessenen Trägerplatte 16 aufnehmen können»

Die Platte 184 ist mit einem Griff 190 versehen, um sie in die Führungen 180 einführen und aus ihnen herausnehmem zu könnene Die Platte 184 ist außerdem mit einem federbeaufschlagten Festlegeelement 184·¹ (Fig. 14) versehen, das mit einem feststehenden Zapfen 189 zusammenwirken kann, um die Platte 184 in ihrer Arbeitsstellung nach Fig. 14 verriegelt zu halten»

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Die beiden Schieber 178 und 182 werden durch zwei miteinander· übereinstimmende, den Motoren 109 und 109* (Figo Ue 7) entsprechende elektrische Fortschaltmotoren 187 und 188 bewegt, die, wie nachstehend noch näher erläutert, über eine Steuerschaltung betätigt werden könneno Auf dem Schieber 182 (Figo 15) sind außerdem zwei Schiebereinheiten 192 und 193 angeordnet, die je aus zwei Schiebern und 196 bestehen, die in zwei im rechtem Winkel zueinander verlaufenden Richtungen verschiebbar sind und durch zwei miteinander übereinstimmende, ebenfalls den Motoren 109 und 109* (Figo 6 u, 7} entsprechende Fortschaltmotoren 197 und 198 gesteuert werden»

Auf Jedem Schieber 196 ist ein Halter 199 befestigt, der einen Stift 201 (Fig. 16) trägt, an dem ein Hebel 202 befestigt ist» An einem Ende des Hebels 202 ist eine aus leitfähigem Material gebildete und an einen elektrischen Leiter 204· angeschlossene Prüfnadel 203 befestigt» Das andere Ende des Hebels 202 ist mit einer Rolle 207 vereehtn, die normalerweise infolge der Einwirkung einer Blattfeder 206 gegen eine Schrägfläche 208 eines Hiegels

209 anliegt· Die Feder 206 ist mit Hilfe einer Sahraube

210 einstellbar· lter Riegel 209 ist an einem zylindrischen Anker 211 eines Elektromagneten 212 befestigt und wird normalerweise durch eine Druckfeder 214 gegen einen Anachlag 213 gehalten·

Die Korrekturvorrichtung hat außerdem eine an der Grundplatte 176 befestigte und einen feststehenden Arm 216 tragende Säule 215 (Fig· 14)· Dieser Arm trägt an seinem freien Ende einen Halter 217, der in senkrechter Richtung mit Hilfe einer Schraube 218 einstellbar ist« An dem Halter 217 ist ein Elektromagnet 219 befestigt* an dessen Anker eine Elektroeroeionsnadel 25 befestigt ist ο Infolge der Einwirkung seines Bigengewichts befindet sich der Anker 221 normalerweise in seiner unteren Stellung, ao daß er auf der Trägerplatte 16 anliegt·

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Nach der ließstufe ordnet der Bedienende, sofern die Trägerplatte 16 zu korrigierende Widerstände enthält» den Halter 31 zusammen mit der auf Grund der Einwirkung des Unterdrucks in dem Schlauch 39 immer noch an ihm befestigten !Trägerplatte 16 auf den beiden Stiften 185 und 186 dea Blocks 183 an» Zu diesem Zweck zieht der Bedienende zu-" nächst die Platte 184 durch Einwirken auf den Griff 190 nach vorn, wobei, er das federbeaufschlagte FeStiegeelement 184¹ (Fig· 14) überwindet, um die Platte 184 gegenüber dem freien Ende des Armes 216 nach vorn zu bringen» Dann wird der Halter 31 auf den. Stiften 185 und 186 angeordnet, * worauf die Platte 184 mit Hilfe des Griffes 190 zusammen mit dem Falter 31 in die in Fig. 14 dargestellte Stellung gebracht wird»

Darauf verschieben die beiden fortschaltmotoren 187 und 188 den Schieber 182 zusammen mit der Platte 184 so, daß das erste der Chips 17 der Nadel 25 gegenüber gebracht wird» Die beiden Fortschaltmotorenpaare 197 und 198 bewirken ihrerseits j daß die Sohieberpaare 194 und 196 ao verschoben werden, daß die beiden Prüfnadeln 203 mit den Enden des zu korrigierenden ersten Widerstandes in Übereinstimmung angeordnet sind» Die nachstehend noch näher zu beschreibende Steuerschaltung betätigt jetzt die Elek— troerosionsnadel 25 abwechselnd mit einer Frequenz von 200 Ha₁ bia die Prüfnadeln 203 melden, daß der Wert des Widerstandes durch Zunahme in den Bereich der vorgeschriebenen Toleranz gelangt ist» Das Messen des Widerstandes erfolgt durch Stoppen der Elektroerosion und der Speisung der Motoren, bei einer Frequenz von 50 Hz»

Darauf werden die Fortschaltmotoren 187 und 188 ao betätigt, daß sie die Nadel 25 mit der Stufe 20 (Fig· 18) des zweiten Widerstandes R2 in Übereinstimmung bringen, während die Fortsohaltmotoren 197 und 198 (Fig. 15) bewirken, daß aich die Prüfnadeln 203 so bewegen, daß sie

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mit den Enden dea zweiten Widerstandes R2 (Fig» 18) übereinstimmen, was zur Folge hat, daß der Korrekturzyklus erneut anläuft» Auf diese Weise werden die Widerstände des ersten Chips 17 korrigiert, worauf die Korrektur des zweiten Chips 17 eingeleitet wird uswo über die gesamte Trägerplatte_ 16«, Auf der Basis der in dem Speicher 174 (figο 17) gespeicherten Daten läßt die Korrekturvorrichtung den Arbeitszyklus an allen Widerständen E1, R2 ·.», die eine Toleranz haben und an allen Chips der Trägerplatte 16, bei welchem mindestens ein Widerstand als zu verwerfen gemessen worden ist, wie nachstehend noch näher erläut ert, aus <>

Steuerung der Ko rrekturvor richtung

Die Fortschaltmotoren 187, 188, 197 und 198 (Fig· 15) werden mit Hilfe eines Magnet- oder Lochbandes 220 gesteuert, an welchem die Koordinaten jeder Stufe 20 der Widerstände R11 R2 ο.ο und von jedem Ende dieser Widerstände eines Chips 17 aufgezeichnet sin<d· Das Aufnahmeband wird von einem Bandleser 222 gelesen, der über eine Steuerschaltung 225 eine Stellungsprogrammiersohaltung 223 steuert» Die Stellungsprogrammierschaltung erhält außerdem die in dea Speicher 174 gespeicherte Information, damit sie ihre Zustimmung zu den Bewegungen der Schieber nur dann gibt, wenn die Information bestätigt, daß der Widerstand korrigiert werden soll.

Außerdem kann die Programmierschaltung 223 unter Steuerung durch den Speicher 174 von Mal zu Mal den durch den Leser 222 gelesenen Daten eine Konstante hinzufügen, die von dem Chip 17 abhängig ist, auf das sich die Information bezieht· Demzufolge steuert die Programmierschaltung 223 über einen Rückkopplungskreis 224 die beiden Fortschaltmotoren 187 und 188 (Figo 15) zum Verschieben der Trägerplatte 16 gegen der Elektroerosionsnadel 25 und über zwei

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weitere Rüekkopplungskreise 226 die beiden Fortsehaltmotorenpaare 197 und 198 zum Verschieben der beiden Prüf- " nadeln 203»

Beim Ablesen eines an dem Band 220 aufgezeichneten Markierung sζ eiοhens am Beginn jeder sich'auf einen Widerstand beziehenden Informationsgruppe steuert die Schaltung 225 außerdem eine Folgeschaltung 227, die eine Reihe γόη Normalwiderständem der Reihe nach an eine Wheatstonesche Brücke 228 anschließen kann, um die zu korrigierenden. Widerstände während der eigentlichen Korrektur zu messen* ™ Die Brücke 228 ist ihrerseits an einen Stecker 229 angeschlossen, an den. die Leiter 204- der Nadeln 203 (Mg. 16) angeschlossen sind»

Wenn die Brücke 228 feststellt, daß der gemessene Widerstand gleich dem. Normalwiderstand ist» erzeugt sie ein Signal, das über die Steuerschaltung 230 den Befehl zum Anlaufen des Lesers 222 bewirkt, um die den nächsten Widerstand betreffenden Koordinaten abzulesen» Die Steuerschal tung 230 wird außerdem durch den Speicher 174 in der Weise gesteuert, daß, sofern die in ihm gespeicherte, den gleichen Widerstand betreffende Information bestätigt, daß H dieser Widerstand nicht korrigiert werden soll, der Leser am Ende des Ablesens das Ablesen der den nächsten Wider-·: stand betreffenden Koordinaten einleitet, was zur Folge hat, daß die die nicht zu korrigierenden WiderstäHder eines Chips 17 betreffenden Yorgänge auf diese Weise ausgelassen werden·, Die Information im Speicher 174, daß an einem; Chip 17 keine Widerstände zu korrigieren sind» bewirkt das Zuführen der sich auf dieses auszulassende Chip beziehenden Konstante, was zur Folge hat, daß die Korrekturvor·- gänge für das gesamte Chip ausgelassen werden·

Naohdem die Stellungsprogrammiersohaltung 223 sioh Über die Schaltungen 224 und 226 vergewissert hat, daß alle

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Schieber 178, 182 und 194» 196 die gewünschte Stellung ausreicht haben, steuert sie einerseits eine das Erregen des Elektromagneten 212 (!ig* 17) für die Betätigung der Prüfnadeln 203 befehlende Schaltung 231 und andererseits eine die Betätigung der Elektroerosionsnadel 25 befehlende Schaltung 232» Im einzelnen steuert die Schaltung 232 eine die Spule 219 (ffige 14) speisende Schaltung 233» so daß diese Spule das wiederholte Vibrieren des Ankers 221 und folglich der Hadel 25 bewirkt»

Schließlich kann die Programm!ersohaltung 223 eine schaltung 234 steuern, die abwechselnd mit einer von 200 Hz die Brücke 228 und eine die Kadel 25 speisende. Schaltung 235 iⁿ Betrieb· setzen kann, was durch An-^ schließen der letztgenannten Schaltung an eine Hochspan-^ nungsquelle erfolgt» Demzufolge steuert die Programmier-^ schaltung 223 i^ wesentlichen, gleichzeitig die Betätigung der PrüfBadeln 203» der Spule 219 und der IoIgeschaltung 234» was zur folge hat, daß die von der Brücke 228 ausgeführten Messungen, und die durch die Nadel 25 durchgeführte Korrektur sich a» dem instellunggebrachten Widerstand abwechseln^ ^is die Brücke 228 meldet, daß der korrigier^ te Widerstapt die vorfeestimmte Frenze erreicht hat» worauf die Brücke 228 über die Steuerschaltung 23Q das Amlauf-ea eine# aeuen Zyklus für den fceser 222 bewirkt«

Deszufelge ist klar» daß die Kprre&tur der Widerstände dur«fe die Meßeinrichtung em 2Q2_fc 228 etetig_ gesteuert wird und daß. die Korrefctur ausschließliQh auf gea lleleSfitände begrenzt wird» die außerhalb de* TaMZ liegen, während sie für all diejenigen Chips achloeaea wird, an welche» mindestens ein Widerstand al» au TerwerfeB ist, was zua? IoIge hat» daß d4e ©ine a»hr hohe Arbeit «leistung erreichen

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Es ist selbatverstänäCLielEi;» dafr die versehiedens-fcen Abänderungen» Terkesserungen und Hinzufügungen sowie !Ort— laasungea τοη leileii an der vorgtehend, beschriebenen Maschine vorgenommen werdes. können, ohne daß man dadurch den B er ei cli der Erfindung verläßt;»

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Claims (1)

1. Patentansprüche ι

   Maschine sum Überprüfen und Korrigieren von Elementen durch Aufbringen von dünnen Ulmen auf Trägerplatten hergestellter hybrider integrierter Schaltungen, die Korrektureinrichtungen enthält, die die Korrektur durch Beseitigen, eines Teiles des dünnen films bewerkstelligen können, gekennzeichnet durch Meßeinrichtungen (203t 228), die die Messung des zu korrigierenden Elements (E1, R2 ·.· R12) im wesentlichen während der Betätigung der Korrektureinrichtungen (219» 25) vornehmen können, während die Meßeinrichtungen die Betätigung der Korrektureinrichtungen steuern können»

   Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet) daß eine Meß- und Korrektur-Folgeschaltung (254) abwechselnd den Betrieb der Korrektureinrichtungen (219» 25) und der Meßeinrichtungen (203» 228) an demselben Element bei verhältnismäßig hoher Frequenz erzeugen kann, was zur Folge hat, daß 3 ede grundlegende Korrekturwirkung durch die Meßeinrichtung sofort überprüft wird»

   Maschine nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet» daß die Korrekturrorriehtung (24) eine durch Elektroerosion wirkende Hadel (25) und eine Spule (219) enthält t die das stete Tibrieren der Nadel bewirken kann, wobei die Folgeeehaltung (234) die intermittierende Zufuhr der ElektroeroBionsapannung zur Nadel (25) steuert»

   Maschine nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei welcher die EU korrigierenden Schaltungselemente elektrische Widerstände sind* dadurch gekennzeichnet, daß die Meßvorrichtung eine Wfeeatetoneeche Brücke (228) und

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   zwei Prüfnadeln (203) enthält, die an die Enden der zu korrigierenden Widerstände (R1, R2 _0o» R12) angelegt werden, können»

   5ο Maschine nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Nadeln (203) von zwei Hebeln (202) getragen werden, wobei jeder Hebel so angelenkt ist, daß er mit Hilfe eines entsprechenden Elektromagneten (212) das entsprechende Ende des Widerstandes berührt=

   Maschine nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß jeder der Elektromagneten (212) auf den entsprechenden Hebel (202) über eine Schrägfläche eines mit dem Anker (211) des Elektromagneten verbundenen verschiebbaren Teiles (209) einwirkt.

   7ο Maschine nach Anspruch 3 und einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Widerstand (R1, R2 ««ο» R12) aus einem eine Stufe (20) bildenden dünnen I¹Um besteht, die Nadel (25) auf die Stufe einwirkt, indem der Widerstand und die Nadel gegeneinander bewegbar sind um zu bewirken, daß sich die Nadel allmählich in einer zur Stufe (20) senkrechten Richtung vorbewegt_o

   8ο Maschine nach Anspruch 7* bei welcher die zu korrigierenden Widerstände eine Vielzahl von in vorbestimmter Lage angeordneten Widerständen (R1, R2 < >.. R12) sind, gekennzeichnet durch erste Mittel, um die Elektroerosionsnadel (25) gegenüber dem Halter (31) mittelbar zu verschieben, und durch zweite Mittel, um die Prüfnadeln (203) intermittierend und einzeln gegenüber dem Halter (31) zu verschieben, wobei diese Verstellmittel auf der Basis der nach den Koordinaten der Stufe (20.) und der Enden der Widerstände gespeicherten Information betätigt werden können»

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   Maschine nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten Verstellmittel aus einem ersten Schieberpaar (178, 182) bestehen, das mit Hilfe von zwei Fortschaltmotoren (187, 188) in zwei im rechten Winkel zueinander verlaufenden Richtungen bewegbar ist, wobei die zweiten Verstellmittel von einem (182) der-Schieber (178, 182) getragen werden und aus zwei weiteren Schieberpaaren (194, 196) bestehen, von welchen je eines die Prüfnadeln (203) trägt, während die Schieberpaare (194, 196) mit Hilfe entsprechender Portschal tmotoren (197, 198) in zwei im rechten Winkel zueinander verlaufenden Richtungen bewegbar sind»

   1Oe Maschine nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Information auf einem Band (220) aufgezeichnet ist und von einem Leser (222) abgelesen wird, der zum Ablesen der Koordinaten eines Widerstandes (R1, R2 ... E12) in Tätigkeit gesetzt wird, wenn die Brücke (228) Gleichheit des korrigierten Widerstandes mit einem Normalwiderstand (RG1, RG2 _οαο RC12) feststellt»

   11» Maschin.e nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Leser (222) die Betätigung eines der IOrtschaltmotoren (187, 1Θ8) des ersten Paares auf der Basis eines auf dem Band (220) aufgezeichneten weiteren Informationsteiles steuert»

   12· Maschine nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Leser (222) eine Widerstandsfolgeschaltung (227) betätigt, die von Mal zu Mal einen dem zu korrigierenden Widerstand entsprechenden Hormalwiderstand an die Brücke (228) anschließen kann»

   13· Maschine nach einem der Ansprüche .10 bis 12, dadurch gekennzeichnet-, daß. der Leser (222) über eine Pro-

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   grammierschaltung (223) die Betätigung der Elektromagneten (212), der Spule (219) und der Meß- und Korrektur-Folgeschaltung (234) steuert»

   14» Maschine nach einem der Ansprüche 9 bis 13» dadurch gekennzeichnet, daß sie in einem Arbeitszyklus die Widerstände einer Vielzahl von gleichen Schaltungen, deren Chips (17) auf einer einzigen Trägerplatte

   (16) erzielt werden, überprüfen und korrigieren kann, wobei Mittel vorgesehen, um der an dem Band (220) abgelesenen Information eine Konstante hinzuzufügen, die die lage des von Mal zu Mal korrigierten Chips

   (17) anzeigt«

   15» Maschine nach einem der Ansprüche 1 bis 14» gekennzeichnet durch eine Prüfvorrichtung (23), die die zu korrigierenden Elemente messen und ihren Zustand in einem Speicher vor dem Korrekturvorgang speichern kann_o

   16o Maschine nach Anspruch 4 und 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Prüfvorrichtung (23) ein mit einer Vielzahl von Spitzenpaaren (138) versehenes Prüfwerkzeug (133) enthält, das sämtliche Widerstände (R1, R2 o.» R12) einer Schaltung zugleich prüfen kann, v/o bei eine elektronische Folgeschaltung (156) vorgesehen ist, um die aufeinanderfolgende Messung der V/iderstände und das aufeinanderfolgende Speichern in dem Speicher zu steuern»

   17o Maschine nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet» daß die Messung durch eine zweite Wheatstonesche Brücke (154) erfolgt, wobei die Folgeschaltung (156) von Mal zu Mal an die Brücke einen zu überprüfenden Widerstand und einen entsprechenden iiormalwid er stand aus einer. Reihe von Normalwiderständen anschließt»

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   18«> Maschine nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Folgeschaltung außerdem eine Speiseschaltung (157) steuern kann, die so programmiert ist, daß sie die zweite Brücke (154) mit einer solchen Spannung speist $ daß sie mit einer im wesentlichen gleichbleibenden Empfindlichkeit messen kann_o

   19«, Maschine nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Brücke (154) an eine Gruppe von drei Vergleichern (158, 159» 161) angeschlossen ist, die von einem Spannungsgenerator (162) gespeist werden, der für einen ersten der Vergleicher eine der oberen Grenze der für einen gegebenen Widerstand (R1, R2 »ο ο R12) verlangten Toleranz entsprechende Spannung, für einen zweiten der Vergleicher eine der unteren Grenze der für einen gegebenen Widerstand verlangten Toleranz entsprechende Spannung und eine Spannung erzeugen kann, die der Mindestgrenze des Widerstandes entspricht j bei welcher die Vornahme einer Korrektur erwünscht ist»

   20* Maschine nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet_s daß der Spannungsgenerator (162) durch die Folgeschaltung (156) gesteuert wird, wobei die Spannungen von Hand einstellbar sinde

   21· Maschine nach Anspruch 19 oder 20, dadurch gekennzeichnet, daß ein Serienparallelwandler (163) in dem Speicher für jeden Widerstand auf der Basis der Kombination der von den Vergleichen! (158, 159» 161) ausgesandten Vergleichssignale ein Korrektursignal oder ein Aussonderungssignal oder ein Abnahmesignal speichern kann»

   22e Maschine nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß der Serienparallelwandler (163) außerdem eine den

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   Zustand des gesamten Chips (17) anzeigende sichtbare Anzeige (Ί7Ο) steuert*

   23ö Maschine nach Anspruch 21 oder 22, dadurch gekennzeichnet, daß am Ende der. Messung der Speicher (168) die Aufzeichnung für ein vollständiges Chip (17) löschen kann_f wenn wenigstens eines der Signale ein Aussonderungssignal ist ο

   24β Maschine nach Anspruch 14 und 23» dadurch gekennzeichnet, daß die sichtbare Anzeige (170) Mittel, die die auszusondernden Chips (17) anzeigen können, und Mittel enthält, die anzeigen können, daß kein Chip (17) der Trägerplatte (16) zu korrigieren ist«

   25ο Maschine nach einem der Ansprüche 15 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkzeug (133) an einem Schieber (116) angebracht ist, der sich so verstellen läßt, daß die Spitzen (138) von Mal zu Mal mit den Enden der widerstände (R1, R2... E12) in Berührung gebracht werden.»

   26o Maschine nach Anspruch 24 und 25» dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerplatte (16) auf zwei Schiebern (102, 104) angeordnet ist, die in zwei im rechten Winkel zueinander verlaufenden Richtungen verstellbar sind und durch ein Programm mit Hilfe von zwei Fortschaltmotoren (109» 109') so betätigt werden, daß sie die aufeinanderfolgenden Chips (17) dem Werkzeug (133) darbieten«,

   27ο Maschine nach Anspruch 26, gekennzeichnet durch eine Vorrichtung (21), um die Trägerplatte (16) auf einem hohlen Halter (.31) auszurichten, wobei der Halter (31)

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   an eine Yakuumquelle (39) angeschlossen ist» um die Trägerplatte (16) an ihm haftend zu halten»

   28» Maschine nach Anspruch 27» dadurch gekennzeichnet,
   daß die Vorrichtung einen Arm (47) enthält,, der die Trägerplatte (16) verschieben, und aie durch Reibung mittels Handsteuerung (74) drehen kann»

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