DE2114539A1 - Vorrichtung zum Verbinden von An Schlußelementen auf einer Scheibe mit Leitern eines Leiterrahmens - Google Patents

Description

21H539

M 180 P - 511 / H180G-512

Patentanwalt

Dipl.-Ing. Leo Fleuchaus 25. März 1971

ο München 71, Melchiorstr. 42

Motorola, Inc.

94-01 West Grand Avenue

Franklin Park. Illinois

V.St.A.

VORRICHTUNG ZUM VERBINDEN VON ANSCHLUSSELEMENTEN AUF EINER SCHEIBE MIT LEITERN EINES LEITERRAHMENS

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Verbinden von koplanaren Anschlußelementen auf einer Scheibe mit koplanaren Leitern eines Leiterrahmens, welche eine- Verbindungsauflager, eine Einrichtung zum Ausrichten einer Scheibe auf dem Verbindungsauflager und eine Einrichtung zum Ausrichten eines Leiterrahmens über und parallel zur Ebene der Scheibe umfaßt.

Es sind bereits verschiedene Verfahren zur Herstellung von elektrischen Verbindungen zwischen den ohm'sehen Kontaktbereichen bzw. den Anschlußelementen einer integrierten Schaltung und äußeren Zuleitungen angegeben worden. Bei dem gebräuchlichsten Verfahren wird eine Thermokompressionsverbindung von ex-

- 1 - trem

1,098 4 3/1 165

M 180 P - 511

trem dünnen Drähten zwischen den Anschlußelementen auf einer Scheibe und den Zuleitungen der Gesamtanordnung vorgenommen. Bei einer Anordnung mit 14 Zuleitungen sind gemäß dieser Technik 28 getrennte Verbindungsschritte erforderlich, wobei für jeden Verbindungsschritt eine genaue Ausrichtung von partiell zusammengesetzten Anordnungen in der Verbindungsvorrichtung erforderlich ist.

Für industrielle Zwecke ist es als zweckmäßig erkannt worden, den Zeit- und Kostenaufwand, welcher sich bei Drahtverbindungen ergibt, zu vermeiden. Zu diesem Zweck sind die inneren Enden der Zuleitungen abgeschrägt worden, wobei sich Verbindungsspitzen ergeben, welche klein genug sind, um direkt mit den Verbindungselementen einer auf einer Scheibe realisierten Halbleiteranordnung verbunden zu werden. Dieses Verfahren hat sich jedoch nicht als erfolgreich herausgestellt, was primär an dem fundamentalen Unterschied zwischen den für die äußeren Zuleitungen erforderlichen strukturellen Eigenschaften im Vergleich zu den Inneren Zuieitungsteilen, welche mit den ohm¹ sehen Verbindungselementen der Scheibe zu verbinden sind, liegt.

Es hat sich beispielsweise für viele Anordnungen eine Norm herausgebildet, bei der die äußeren Zuleitungen aus Kovar mit

-2
2,54 χ 10 cm bestehen. Eine direkte Verbindung derartiger äußerer Zuleitungen mit den Verbindungselementen auf einer Scheibe hat sich nicht als möglich erwiesen. Schnell ablaufende Verfahren zur Verbindung von Gold- oder Aluminiumdrähten, beispielsweise mittels Thermokompression oder Vibrationsdruck, führen zu keiner zuverlässigen Verbindung, wenn die Zuleitun-

_2 gen eine Dicke in der Größenordnung von 2,54 χ 10 cm besitzen oder wenn Metallzuleitungen zur Anwendung kommen, welche beispielsweise weniger duktil als Gold, Aluminium oder Kupfer

- 2 - sind.

10 9 8 4 3/1165

M 180 P -

sind. Selbst wenn sich bei äußeren Zuleitungen mit einer Dicke

-2 in der Größenordnung von 2,54 χ 10 cm zunächst brauchbare Verbindungen ergeben, so können sich die Zuleitungen dennoch aufgrund von Spannungen, welche sich bei auf die Anordnung einwirkenden Biegekräften aufgrund der normalen Handhabung der Anordnung ergeben, von den zugehörigen Verbindungselementen auf der Scheibe lösen.

Es ist weiterhin auch vorgeschlagen worden, die Verbindungsdrähte durch einzelne starre Metallklammern zur Verbindung der Verbindungselemente einer Halbleiterschaltung mit den äußeren Zuleitungen zu ersetzen. Diese Maßnahme ist zwar für einige Anwendungsfälle vorteilhaft; dabei wird jedoch der Gesamtaufwand der resultierenden Anordnungen nicht reduziert.

Es ist weiterhin ein sehr dünner Leiterrahmen mit sich nach außen erstreckenden Zuleitungen (eine Zuleitung pro Anschlußelement auf der Scheibe) vorgeschlagen worden, um die entsprechenden Anschlußelemente mit den äußeren Zuleitungen zu verbinden. Der Leiterrahmen kann dabei aus Aluminium mit einer Dicke von 5,08 χ 10~ cm bestehen, welcher jedoch extrem verbiegbar ist. Auf diese Weise kann eine große Anzahl von Leiterrahmen als zusammenhängender Streifen ausgebildet werden, welcher in einer Rolle aufrollbar ist. Um die inneren Enden (Ln) der Zuleitungen des Leiterrahmens mit den AhschluBelementen auf der Scheibe zu verbinden, wird der Leiterrahmen in eine solche Form gebracht, daß die Anschlußelemente mit den inneren Enden der Leiter zur Deckung gelangen, wenn ein Chip auf den Leiterrahmen gelegt wird. Nach einer derartigen Ausrichtung können alle Zuleitungsenden mit den entsprechenden Anschlußelementen gleichzeitig durch Thermokompression oder durch Vibrationsdruck verbunden werden. Die Ausrichtung der Leiterenden des Leiterrahmens mit den Anschlußelementen ist jedoch

■ - 3 - sehr

109843/1165

M 180 P -

sehr schwierig und zeitaufwendig, da nicht nur eine Ausrichtung der Scheibe und des Leiterrahmens relativ zueinander sondern auch eine Ausrichtung dieser beiden Elemente in bezug auf einen Druckstift sowie eine Ausrichtung der Rückseite der Scheibe in bezug auf ein Verbindungsauflager erforderlich ist. Diese Tatsache leuchtet unmittelbar ein, wenn man bedenkt, daß

eine typische Scheibe eine Größe von etwa 0,2 cm mit etwa 24 Anschlußelementen besitzt und daß die Abmessungen der Leiter des Leiterrahmens in der gleichen Größenordnung liegen.

In einer älteren Anmeldung der Anmelderin ist weiterhin eine Verfahren zum Verbinden der Leiterenden eines Leiterrahmens mit den entsprechenden Anschlußelementen auf einer Scheibe vorgeschlagen worden, bei dem die Scheibe mit ihrer Unterseite nach oben bearbeitet wird. Da dabei die Anschlußelemente nicht sichtbar sind, wird zunächst eine Grobausrichtung und/oder Groborientierung der Scheibe aufgrund ihrer äußeren Abmessungen (nicht mittels der Anschlußelemente auf der Scheibe) vorgenommen. Da jedoch die Scheiben nicht immer genau gleichen Abmessungen besitzen, ist eine derartige Orientierung natürlich sehr grob. Da darüber hinaus die Scheibe nicht symmetrisch zu ihrem Mittelpunkt ausgebildet ist, ist diese Groborientierung vollkommen ungenau, wenn die Scheiben nicht in einem Bereich von 45° genau orientiert werden, bevor sie in die Verbindungsvorrichtung gebracht werden. Darüber hinaus ist ein elektronischer Vergleichsempfänger vorgesehen, welcher eine genaue Orientierung der Scheibe zu einem Normbezugswert vornimmt. Dabei werden jedoch nicht die inneren Enden der Zuleitungen zu den Anschlußelementen auf der Scheibe ausgerichtet, mit denen sie zu verbinden sind.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine verbesserte Vorrichtung zur Ausrichtung von Leiterenden eines

- 4 - Leiterrahmens

109843/116 5

M 180 P - 511

Leiterrahmens mit Anschlußelementen auf einer Scheibe sowie zur Verbindung der Leiterenden mit den entsprechenden Anschlußelementen anzugeben.

Diese Aufgabe wird bei einer Vorrichtung der eingangs genannten Art durch folgende Merkmale gelöst: Eine Beobachtungsanordnung zur Beobachtung der relativen Lage der Anschlußelemente auf der Scheibe und der Enden der Leiter mittels Lichtstrahlen, welche senkrecht zu den Anschlußelementen durch die Leiter verlaufen, und durch eine Einrichtung zur Verschiebung des Verbindungsauflagers in bezug auf die Leiter derart, daß die Anschlußelemente mit den entsprechenden Leitern zur Deckung gelangen.

Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung erfolgt also die Ausrichtung der Leiterenden des Leiterrahmens zu den Anschlußelementen auf der Scheibe sichtbar, wobei die Scheibe sowohl allein als auch in ihrer relativen Lage zu den Leiterenden beobachtbar ist.

In Ausführung der Erfindung werden die Leiterrahmen in Streifenform zugeführt, wobei eine große Anzahl von Rahmen in einem Streifen vorhanden ist. Der Streifen kann in einer Rolle aufgewickelt sein. Von dieser wird der Streifen so weiter&ewegt, daß zu einer Zeit jeweils ein Leiterrahmen in eine Position gelangt, in der die inneren Enden der Leiter sich über einem bewegbaren Verbindungsauflager befinden. Erfindungsgemäß wird eine Scheibe zunächst mit ihrer Oberseite nach oben in die richtige Richtung gebracht und im Abstand vom Verbindungsauflager grob orientiert, was durch visuelle Beobachtung der Scheibe und durch Bewegung der Scheibe relativ zu einem Fadennetz erfolgt. Die Scheibe wird sodann auf das Verbindungs-

- 5 - auflager

109843/1165

M 180 P -

auflager aufgebracht und in bezug auf die inneren Enden der Leiter des Leiterrahmens durch Bewegung des Verbindungsauflagers in X-, Y- und Winkelrichtung genau orientiert; sodann wird ein Stift Über Enden der Leiter des Leiterrahmens gebracht und das Verbindungsauflager nach oben in die Verbindungsstellung bewegt, in der jedes Leiterende durch Druck mit dem entsprechenden Anschlußelement verbunden wird, wobei alle Verbindungen gleichzeitig hergestellt werden. Da die Leiterenden sich aufgrund des Drucks ausdehnen und da die äußeren Enden der Leiter durch den Rahmen gehalten werden, ergibt sich bei der Verbindung eine Aufwölbung der Leiter. In diesem Zusammenhang kann ein das Verbindungsauflager umgebender Krümmungsring vorgesehen werden, um allen Leitern eine gleichförmige Krümmung aus der Ebene des Rahmens herauszugeben. Damit wird sichergestellt, daß die Leiter außer den zugehörigen Anschlußelementen keine Zeile der Scheibe berühren, wodurch Kurzschlüsse der Scheibe mit den Leitern vermieden werden.

Weitere Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausfuhrungsformen anhand der Figuren. Es zeigt:

Figur 1 eine Scheibe mit darauf vorgesehenen Anschlußelementen;

Figur 2 einen Leiterrahmen-Streifen mit einer Scheibe, deren Anschlußelemente mit den Enden von nach innen gerichteten Leitern eines Leiterrahmens verbunden sind;

Figur 3 eine ebene Ansicht einer halbautomatischen Vorrichtung zur Verbindung der Enden von Leitern mit Anschlußelementen, wobei in dieser Figur eine in Figur 4 dargestellte optische Anordnung aus Übersichtlichkeitsgründen nicht mitdargestellt

- 6 - ist;

10 9 8 4 3/1165

M 180 P -

Figur 4 eine in der Ebene 4-4 in Figur 3 gesehene Ansicht der Vorrichtung nach Figur 3;

Figur 5 eine Teilansicht der relativen Lage des Verbindungsauflagers und des Krümmungsrings in vergrößerter Darstellung; und

Figur 6 eine Ansicht der Scheibe und des an dieser befestigten Leiterrahmens, aus der die sich bei der Verbindung ergebenden Krümmungen der Leiter ersichtlich sind.

In Figur 1 ist die Oberseite einer Scheibe 10 dargestellt. Neben einer (nicht dargestellten) auf der Oberseite der Scheibe 10 vorgesehenen Schaltung sind auf der Scheibenoberseite in geringem Abstand von den Kanten Anschlußelemente 12 angebracht. Diese Anschlußelemente 12 stellen Klemmen für die (nicht dargestellte) Schaltung ?nf der Scheibe 10 dar. Die Anschlußelemente 12 können sich um ein bis *ei Mikron über die Oberfläche der Scheibe erheben. Anstelle der 8 dargestellten Anschlußelemente 12 kann natürlich auch jede andere Anzahl vorgesehen werden. Bei einer typischen Ausführungsform sind 24 Anschlußelemente vorhanden.

In Figur 2 ist ein Streifen 14 aus Leiterrahmen 16 dargestellt. Die Anzahl der im Streifen 14 vorgesehenen Leiterrahmen 16 richtet sich nach dem jeweiligen Anwendungsfall. Sollen die Leiterrahmen nach Figur 2 für Scheiben der in Figur 1 dargestellten Art verwendet werden, so enthält jeder Leiterrahmen 16 acht nach innen gerichtete Leiter 18, deren innere Enden sich mit den Anschlußelementen auf der Scheibe 10 decken,

- 7 - wenn

109843/116 5

M 180 P -

wenn die Scheibe 10 in bezug auf den Rahmen 16 richtig orientiert bzw. ausgerichtet ist. Im Rahmen 16 sind jeweils soviel Leiter 18 vorhanden, wie dies/tir eine geeignete Verbindung mit der Scheibe 10 erforderlich ist. Der Streifen 14 ist sehr flexibel und besteht aus Aluminium mit einer Dicke von etwa 5,08 cm, so daß er in einer Rolle aufwickelbar ist. Da darüber hinaus die Scheibe 10 sehr klein in bezug auf den Rahmen 16 ist, kann der Streifen 14 nach der Befestigung der inneren Enden der Leiter 18 an den Anschlußelementen 12 zusammen mit den Scheiben 10 zu einer transportierbaren Rolle aufgewickelt werden, ohne daß dabei der Rahmen 16, die Leiter 18, die Scheibe 10 und die entsprechenden Verbindungsstellen nachteilig beeinflußt werden. Da, wie im folgenden noch erläutert wird, auch die Leiter 18 sehr flexibel sind, kann eine Handhabung des Streifens 14 mit den darauf befestigten Scheiben oder des Leiters 14 mit den Leitern 18 bzw. eine Weiterverarbeitung des Streifens 14 und der Scheiben 10 vorgenommen werden, ohne daß dabei eine Beeinträchtigung der Verbindung der Leiter 18 mit den Anschlußelementen 12 oder ein Abreissen der Leiter 18 vom Rahmen 16 zu befürchten ist.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Verbinden der Leiter 18 mit den Anschlußelementen 12 ist in den Figuren 3, 4 und 5 dargestellt. Aus Übersichtlichkeitsgründen sind ein Doppelprismenmikroskop 30 und ein fester Spiegel 32 nach Figur 4 in Figur 3 nicht dargestellt. Auf dem vorderen Teil eines Tisches 34 ist eine Schale 36 mit Scheiben 10 derart angeordnet, daß die Anschlußelemente nach oben gerichtet sind. An der Hinterseite des Tisches 34 ist ein Gehäuse 38 vorgesehen. Relativ zum Gehäuse 38 bewegt sich ein Trägerzylinder 40 ein und aus, während sich ein hohles Transportelement 42 in bezug auf das vordere Ende des Zylinders 40 nach oben und unten be-

- 8 - wegt.

109843/1165

21H539

M 180 P -

wegt. Mittels eines Saugrohrs 44 wird auf das Transportelement 42 eine Saugwirkung ausgeübt. Wie im folgenden noch erläutert wird, entfernen der Zylinder 40 und das Element 42 eine groborientierte Scheibe 10 aus der Schale 36 und bringen sie auf ein Verbindungsauflager 46 (siehe Figuren 4 und 5).

Oberhalb und vor dem Tisch 34 ist ein zweiter Tisch 48 vorgesehen, über diesem Tisch 48 verläuft parallel eine Fixierplatte 50 in einem Abstand, der gleich der Dicke des Streifens ist. Die Platte 50 ist in der dargestellten Weise an der Hinterseite des Tisches 48 befestigt. Die Vorderseite der Platte 50 ist gemäß Figur 3 so ausgeschnitten, daß nahezu ein vollständiger Rahmen 16 freigelegt wird. In der Platte 50 sind Justierlöcher 52 (Figur 3) zur Aufnahme von Justierstiften 54 (Figur 4) vorgesehen, welche durch Schlitze im Tisch 48 und durch zwei Justierlö«cher 20 nahe den Kanten im Streifen 14 (siehe Figur 2) verlaufen. Zur Bewegung der Stifte 54 ist eine Anordnung 56 vorgesehen, welche diese so bewegt, daß aufeinanderfolgende Rahmen 16 des Streifens 14 kontrolliert über das Verbindungsauflager 46 gebracht werden. In der Nähe des hinteren Endes einer einstellbaren Halterungsplatte 62 ist auf einer ihrer Seiten ein Verbindungsstift 60 vorgesehen. Die Halterungsplatte 62 ist am vorderen Ende des Tisches 48 mittels Gelenken 64 montiert. Durch eine nicht dargestellte, an sich bekannte Anordnung wird der Verbindungsstift 60 zwischen der dargestellten Stellung, in welcher er das zur genauen Orientierung einer Scheibe 10 verwendete Licht nicht beeinflußt, in eine weitere Stellung bewegt, in welcher er sich durch ein Loch im Tisch 48 erstreckt und mit dem Auflager 46 zur Verbindung der Leiterenden 18 mit den Anschlußelementen 12 auf der Scheibe 10 zusammenwirkt. Dieser Vorgang wird im folgenden noch genauer erläutert.

■ - 9 - Das

109843/1165

21H539

M 180 P -

Das Verbindungsauflager 46 kann durch eine an sich bekannte Bewegungsvorrichtung 72 in bezug auf ein bewegbares Gehäuse 70 auf- und abbewegt werden. Weiterhin wird das Verbindungsauflager 46 durch eine an sich bekannte Anordnung 74 in Vibration versetzt, wobei die Anordnung 74 ebenfalls im Gehäuse 70 angeordnet ist. Das Gehäuse 70 ist auf einem mit einem Kugelauflager 78 versehenen Träger 76 angeordnet, so daß es auf der Oberfläche eines Tisches bewegbar ist. Am Träger 76 ist ein an sich bekannter, manuell betätigbarer Mikromanipulator 82 vorgesehen, durch den der Träger 76 und damit das Verbindungsauflager 46 und die darauf befindliche Scheibe 10 sehr genau bewegt werden kann.

Die als Flansch ausgebildete Oberseite des Verbindungsauflagers 46 wirkt als Anschlag für einen Krümmungsring 84 (Figuren 4 und 5), von dem ein Teil die Oberseite des Auflagers 46 umgibt und sich über diese hinaus erstreckt. Weiterhin erstreckt Sich dieser Teil des Krümmungsrings auch über die Oberseite der Scheibe 10 und der darauf befindlichen Anschlußelemente 12 hinaus, welsche auf dem Auflager 46 angeordnet ist. Eine Feder 86 hält den Ring 84 in seiner oberen Stellung. Da diese Feder jedoch sehr schwach ist, übt der Ring 84 lediglich einen sehr geringen Druck auf die Leiter 18 des Rahmens 16 aus, wenn durch das Auflager 46 eine Verbindung der Leiterenden 18 mit den Anschlußelementen 12 vorgenommen wird. Durch ein im Auflager 46 befindliches Loch 88 kann im Bedarfsfalle eine Saugwirkung auf eine auf der Oberseite des Auflagers 46 befindliche Scheibe 10 ausgeübt werden.

Das Grobausrichtsystem umfaßt ein Paar von Doppelprismen-Mikroskopen 30 mit einem Fadenkreuz, durch das die ScheibenIO auf der Schale 36 beobachtet werden können. Wenn ein schwenkbarer

- 10 - Spiegel

109843/1165

21U539

M 180 P -

Spiegel 9O in der in gestrichelt-en Linien dargestellten Stellung steht, können die Oberseiten der Scheiben 10 beobachtet werden, wodurch eine Ausrichtung und Orientierung dieser Scheiben in bezug auf das Fadenkreuz im Mikroskop möglich ist. Steht der schwenkbare Spiegel 90 in der in ausgezogenen Linien dargestellten Stellung, so verlaufen Lichtstrahlen, von der Oberseite der Scheibe 10' auf dem Auflager 46 durch das Loch im Tisch 48 und durch die Zwischenräume zwischen den Leitern 18, wobei sie durch den festen Spiegel 32 und den schwenkbaren Spiegel 90 in das Mikroskop 30 reflektiert werden. Da das Licht senkrecht zur Ebene des Rahmens 16 und zur Ebene der Oberfläche der Scheiben 10 verläuft, ergibt sich keine Parallaxe, wodurch eine genaue Ausrichtung und Orientierung der Scheibe 10 in bezug auf die Leiterenden 18 möglich ist. Diese Ausrichtung und Orientierung kann durch Beobachtung durch das Mikroskop 30 und durch Betätigung des Mikromanipulators 82 erfolgen.

Im Betrieb der beschriebenen Vorrichtung wird eine Schale mit Scheiben IO auf den Tisch 34 aufgebracht. Jede Scheibe weist dabei auf ihrer Oberseite einen Pfeil auf, welcher die Richtung der Scheibe anzeigt. Sodann wird die Scheibe bei Einstellung des Spiegels 90 in der gestrichelten Stellung durch das Mikroskop 30 beobachtet und in bezug auf das Fadenkreuz im Mikroskop in eine gewünschte Lage gebracht, was entweder durch Bewegung der Schale 36 oder der Scheibe 10 erfolgt. Damit wird sichergestellt, daß der Pfeil in die richtige Richtung weist. Nach^Schwenken des Spiegels 90 in die ausgezogen dargestellte Lage wird eine Scheibe 10 durch das Transportelement 42 auf die Oberseite des Verbindungsauflagers 46 unter dem Tisch 48 gebracht. Durch Beobachtung durch das Mikroskop unter Ausnutzung der beiden Spiegel 90 und 32 sind überlagerte

- 11 - Bilder

1098A3/1165

21U533

M 180 P -

Bilder der Leiterenden 18 und der Anschlußelemente 12 zu sehen. Nun wird der Träger 76 durch Betätigung des Mikromanipulators 82 in eine Stellung gebracht, in der die Leiterenden 18 direkt über den entsprechenden Anschlußelementen 12 liegen. Sodann wird der Verbindungsstift 60 geschwenkt, wodurch die Leiterenden 18 wenig nach unten gedrückt werden. Durch Aufwärtsbewegung des Auflagers 46 und gleichzeitiges InSchwingungversetzen wird durch den Druck und die Vibration zwischen den Leiterenden 18 und den Anschlußelementen 12 eine Verbindung hergestellt. Da der Druck auf die Leiterenden 18 ausgeübt wird, ergibt sich eine Längenausdehnung und Ausbauchung. Da jedoch durch den Krümmungsring 84 ein geringer Druck auf die Leiterenden 18 ausgeübt wird, nimmt die Ausbauchung aller Leiter eine gleichförmige Gestalt an, wodurch eine Verbindung mit den Anschlußelementen 12 entsteht, ohne daß eine Berührung mit den Rändern der Scheibe 10 und damit die Gefahr eines Kurzschlusses auftritt. Der durch den Krümmungsring 84 ausgeübte Druck ist klein genug gehalten, damit durch ihn keine Verzerrung der Leiterenden 18 auftritt. Nun wird der Spiegel 90 in seine gestrichelte Stellung zurückgeschwenkt, der Verbindungsstift 60 in die in Figur 4 dargestellte Stellung gedreht, das Auflager 46 in seine tiefste Stellung gebracht und der Träger 42 in die in Figur 4 dargestellte Stellung bewegt, worauf die Anordnung 56 einen weiteren Rahmen in die Lage über dem Tisch 48 bringt. Die sich durch die Löcher 20 an den Rändern des Streifens 14 erstreckenden Stifte 54 verlaufen auch durch die Löcher 52 in der Fixierplatte 50, um den Rahmen in der Arbeitsstellung zu halten. Nunmehr ist die Vorrichtung vorbereitet, um einen neuen Arbeitszyklus durchzuführen.

Im Bedarfsfalle kann gemäß Figur 5 ein Stoßdämpfer 100 vorge-

- 12 - sehen

10 9 8 4 3/1165

21H539

M 180 P -

1S

sehen werden, tun die durch den Krümmungsring 84 auf den Rahmen 16 ausgeübte Druckeinwirkung zu dämpfen. Dabei ist ein Arm 102 des Stoßdämpfers 100 am Krümmungsring 84 befestigt* Wenn sich das Auflager 46 nach oben bewegt, verzögert der Stoßdämpfer 100 den Kontakt zwischen dem Krümmungsring 84 und dem Rahmen 16, wordurch sichergestellt wird, daß das Auflager die Scheibe 12 weit genug drückt. Dabei drückt die Scheibe die Leiterenden 18 mit dem Stift 46 in Kontakt, bevor der Krümmungsring 84 mit den Leiterenden 18 in Kontakt tritt. Es wird somit jede Möglichkeit der Verschiebung der Leiterenden 18 durch den Krümmungsrlng 84 vermieden.

- 13 - Patentansprüche

109843/1165

Claims (8)

1. 21U539

   M 180 P -

   Patentansprüche

   IyVorrichtung zum Verbinden von koplanaren Anschlußelementen """"'^ auf einer Scheibe mit koplanaren Leitern eines Leiterrahmens, welche ein Verbindungsauflager, eine Einrichtung zum Ausrichten einer Scheibe auf dem Verbindungsauflager und eine Einrichtung zum Ausrichten eines Leiterrahmens über und parallel zur Ebene der Scheibe umfaßt, gekennzeichnet durch eine Beobachtungsanordnung (30,32,90) zur Beobachtung der relativen Lage der Anschlußelemente (12) auf der Scheibe (10) und der Enden der Leiter (18) mittels Lichtstrahlen, welche senkrecht zu den Anschlußelementen (12) durch die Leiter (18) verlaufen, und durch eine Einrichtung (10,76,78,80,82) zur Verschiebung des Verbindungsauflagers (46) in bezug auf die Leiter (18) derart, daß die Anschlußelemente (12) mit den entsprechenden Leitern (18) zur Deckung gelangen.
2. 2) Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Anordnung zur Ausrichtung einer Scheibe (10) auf einer Schale (36) in bezug zu einem Fadenkreuz in einem Mikroskop (30) der Beobachtungsanordnung (30)32,90) und zum nachfolgenden Aufbringen der Scheibe auf das Verbindungsauflager (46).
3. 3) Vorrichtung nach Anspruch 1 und/oder 2, dadurch gekennzeichnet , daß die Beobachtungsanordnung das Mikroskop (30) und ein Paar von Spiegeln (32,90) umfaßt, daß einer der Spiegel (32) fest angeordnet ist und daß der andere Spiegel (90) zwischen zwei Stellungen bewegbar ist, derart« daß in der einen Stellung die Scheiben (10) auf der

   - 14 - Schale

   109843/ 1165

   21U539

   M 180 P -

   Schale (36) und in der anderen Stellung die Leiterenden (18) und die Anschlußelemente (12) durch das Mikroskop (30) sichtbar sind.
4. 4) Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-3, dadurch gekennzeichnet / daß über den Leitern (18) -des Leiterrahmens (16) ein Verbindungsstift (60) derart zwischen zwei Stellungen bewegbar angeordnet ist, daß er in der einen Stellung in einer Linie mit dem Verbindungsauflager (46) steht und in der anderen Stellung von dem Verbindungsauflager wegbewegt ist.
5. 5) Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-4, dadurch gekennzeichnet , daß das Verbindungsauflager (46) von einem Krümmungsring (84) gleitend umgeben ist und daß zur Bewegung des Krümmungsrings eine schwache Feder (86) vorgesehen ist, mit der der Krümmungsring in eine über das Ende des Verbindungsauflagers hinausragende Stellung bewegbar ist.
6. 6) Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-5, gekennzeichnet durch eine Vielzahl von in einem Streifen (14) vereinigten Leiterrahmen (16) und durch eine Anordnung (20,54,56) zur Bewegung des Streifens derart, daß zu einer Zeit jeweils ein Leiterrahmen relativ zum Verbindungsauflager (46) bewegt wird.
7. 7) Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-6, gekennzeichnet durch eine Einrichtung (72) zum Anpressen des Verbindungsauflagers (46) gegen die Scheibe (10), wodurch die Scheibe die Leiterenden (18) gegen den Verbindungsstift (60) preßt, und durch eine Anordnung (74), mittels der das

   - 15 - Verbindungsauflager

   109843/11BB

   21H539

   M 180 P - 511

   Verbindungsauflager (46) in Vibration zu versetzen ist.
8. 8) Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-7, gekennzeichnet durch einen Stoßdämpfer (100) zur Verzögerung der Bewegung des Krummungsrings (84).

   - 16 -

   10 98A3/1165

   Leerseite