DE2109995B2

DE2109995B2 - Wärmereflektierende Verbundsicherheitsglasscheibe mit verbesserter Splitterhaftung bei Stoßbeanspruchung sowie Verfahren zu ihrer Herstellung

Info

Publication number: DE2109995B2
Application number: DE2109995A
Authority: DE
Inventors: Rolf Dr. 5810 Witten Groth
Original assignee: Flachglas Wernberg GmbH
Current assignee: Flachglas Wernberg GmbH
Priority date: 1971-03-03
Filing date: 1971-03-03
Publication date: 1974-08-01
Also published as: GB1338197A; DE2109995C3; FR2128455A1; ZA721449B; DE2109995A1; BE780217A; FR2128455B1; US3849244A; IT953432B; CA979347A

Description

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Die Erfindung betrifft eine wärmereflektierende Verbundsicherheitsglasscheibe, bestehend aus einer Glasscheibe, einer auf die Glasscheibe aufgedampften, aus β° mehreren Einzelschichten in der Reihenfolge ZnS-Metall-ZnS ..., mit ZnS an der Glasoberfläche, aufgebauten Wärmereflcxionsschicht, einer Verbundfolie und einer Deckscheibe sowie ein Verfahren zur Herstellung einer derartigen Scheibe.

Wärrncreflektierende Verbundsicherheitsglasscheiben dieser Art, wie sie beispielsweise durch die deutsche Auslegeschrift ! 421 872 bekanntgeworden sind, zeichnen sich durch eine hohe Lichtdurchlässigkeit im Bereich des sichtbaren Lichtes und ein hohes Reflexionsvermögen, 'J. h· eine geringe Durchlässigkeit, im Bereich der Wärmestrahlung aus. Bei der Herstellung von Scheiben dieser Art wird zunächst auf die Glasscheibe eine aus einer dünnen, beidseitig in eine dielektrische ZnS-Entspiegelungsschicht eingebettete Metallschicht, vorzugsweise eine Goldschicht, aufgebracht. Das Aufbringen dieser Dreifachschicht erfolgt dabei durch Vakuumbedampfung. ZnS hat sich von alkn vergleichbaren Materialien mit hohem Brechungsindex am besten bewährt, weil es sich bei einer fertigungstechnisch gut handhabbaren Temperatur von etwa 1200⁰C aus geeigneten Verdampfungseinrichtungen leicht verdampfen läßt und bei den für die Entspiegelung der Goldschicht erforderlichen Schichtdicken im Bereich des sichtbaren Lichtes praktisch kein Absorptionsvermögen besitzt. Die Dicke der beiden ZnS-Schichten, in welche die Goldschicht eingebettet hl, wird so gewühlt, daß im Bereich der höchsten Lichtempfindlichkeit des menschlichen Auges, d. h. bei etwa λ ■-- 550 ηιμ, eine möglichst große Entspiegelungsv.irkung erreicht wird. Demzufolge sind die dielektrischen hntspiegelungsschichten bei den bekannten Scheiben etwa 450 A dick, während die Dicke der Goldschicht etwa 300 A beträgt.

Bei den bekannten wärmereflektierenden Verbundsicherheitsglasscheiben dieser Art wird auf die mit der Wärmereflcxionsschicht einseitig beschichtete erste Glasscheibe mittels einer klebfähigen Zwischenschicht, im allgemeinen einer Potyvinylbutyralfolie, eine zweite Glasscheibe als Deckscheibe aufgeklebt. Die Wärmereflexionsschicht liegt also im Inneren der Zwei· scheiben-V'srbundsicherheitsglasscheibe und ist damit gegen Witi.erungseinflüsse sowie gegen mechanische Beschädigung geschützt. Dies ist gegenüber einer außenbedampften Sicherheitsglasscheibe von besonderem Vorteil, weil die Wärmereflexionsschicht selbst gegen Witterungseinflüsse nicht sehr beständig und außerdem verhältnismäßig kratzempfindlich ist, so daß bereits, die Reinigung der Scheibe unter Umständen eine Beschädigung der Wärmereflexionsschicht hervorrufen kann.

Wärmerd'lektierende Verbundsicherheitsglasscheiben dieser Art werden insbesondere in Kraftfahrzeugen oder Flugzeugen verwendet. Die Scheiben müssen daher bestimmten Sicherheitsvorschriften genügen, d. h. sie müssen gegenüber einer mechanischen Beanspruchung., beispielsweise durch den Aufprall von Gegenständen, eine bestimmte Widerstandsfähigkeit und Durchschlagsfestigkeit besitzen. Von besonderer Wichtigkeit ist es, daß sich bei einer Beschädigung der Verbundsicherheitsglasscheibe keine Glassplitter von der Verbundfolie ablösen, die ernsthafte Verletzungen der Fahizeuginsassen erwarten lassen. Es hat sich gezeigt, daß die bekannten, mit einer Wärmereflexionsschicht versehenen Verbundsicherheitsglasscheiben bei PhantomfaJlversuchen keine ausreichende Splitterhaftung zeigen. Die Durchschlagsfestigkeit wird zwar durch die Wärmereflexionsschicht gegenüber normalen Verbundsicherheitsglasscheiben ohne Wärmereflexionsschicht nicht verringert, jedoch lösen sich bei einer Stoßbeanspruchung der Scheibe in Teilbereichen Glassplitter von der Verbundfolie ab, die ernsthafte Verletzungen der Fahrzeuginsassen hervorrufen können.

Es wurde zwar versucht, diesen Nachteil der wärmereflektierenden Verbundsicherheitsglasscheiben da-

durch zu beheben, daß die Oberfläche der Glasscheibe, auf welche die Wärmereflexionsschicht aufgebracht wird, vor dem Bedampfen sorgfältig poliert und/oder gereinigt wird, einschließlich einer Oberflächenbehandlung durch eine Glimmentladung bei einigen 10 - Torr im Vakuum, jedoch konnte bei den für die praktische Verwendung erforderlichen Scheibengrößen auch hierdurch keine reproduzierbar ausreichende Splitterhaftung erzielt werden.

Die vorstehend beschriebenen Schwierigkeiten beruhen offensichtlich darauf, daß die ZnS-Schicht zwar eine gute Haftung gegenüber der Metallschicht zeigt, so daß diese wischfest mit der Glasscheibe verbunden ist, daß aber die erste ZnS-Schicht, die an der Glasoberfläche anliegt, keine so gute Verbindung mit der Glasscheibe hat, als daß die gewünschte Splitterhaftung bei Vcrbundsicherheitsglasscheiben erzielt werden könnte.

Ausgehend von einer wärmereflektierenden Verbundsicherheitsglasscheibe der eingangs beschriebenen Art. vseiche hinsichtlich der optischen Eigenschaften optimal ist, liegt der Erfindung dahrr die Aufgabe zugrunde, eine wärmereflektierende Verbiindsicherheitsglasscheibe sowie ein Verfahren zu ihrer Herstellung zu schaffen, welche eine befriedigende .Splitterhaftung zeigt, bei der also, mit anderen Worten, die Haftung der aus der ZnS-Metall-ZnS... -Kombination bestehenden Wärmereflexionsschicht an der Glasscheibe in ausreichendem Maße verbessert wird.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch eine Verbundsicherheitsglasscheibe gelöst, welche situ dadurch auszeichnet, daß zur Verbesserung der Splitterhaftung bei Stoßbeanspruchung zwischen der Glasscheibe und der Wärmereflexionsschicht eine aufgedampfte, wesentlich stärkere Haftung an der Glasoberfläche aufweisende Haftschicht aus einem Metalloxid oder Metallfluorid angeordnet ist, deren Dicke wesentlich kleiner ist als die Wellenlänge des sichtbaren Lichtes und die deshalb die optischen Eigenschaften nicht beeinflußt.

Die Lehre der Erfindung besteht mit anderen Worten darin, die erste ZnS-Schicht der mehrschichtigen Wärmereflexionsschicht durch eine Haftschicht mit der Glasscheibe zu verbinden, welche die vorstehend angegebene Zusammensetzung hat und deren Dicke wesentlich kleiner ist als die Wellenlänge des sichtbaren Lichtes, so daß die Interferenzeigenschaften der mehrschichtigen Wärmereflexionsschicht durch sie nicht beeinträchtigt werden.

Eine Anregung hierzu konnte dein Stand der Technik nicht entnommen werden. Es wurde noch nie versucht, ZnS durch besser haftende Metalloxide oder Metallfluoride in der erfindungsgemäß vorgeschlagenen Weise mit Glas zu verbinden. Durch die USA.-Patentschrift 3 6.10 809 ist zwar bereits eine ZnS-Metalloxid-Schichtkombination bekanntgeworden, jedoch liegt dabei die ZnS-Schicht an der Glasoberfläche an, während die Metalloxidschicht auf der dem Glas abgewandten Seite der ZnS-Schicht angeordnet ist. so daß sich keine Verbesserung der Haftwirkung gemäß der Lehre der Erfindung ergibt. Die Metalloxidschicht hat bei dieser Scheibe außerdem eine wesentlich größere Dicke, jO daß sie als Interferenzschicht wirkt. Sollte der Fachmann versuchen, zur Verbesserung der Haftung der ZnS-Schicht nach der USA.-Patentschrift 3 630 809 die dort beschriebene Schichtfolge umzukehren, also die verhältnismäßig dicke Metalloxidschicht auf der Glaaoberfläche anzuordnen, so ergäbe sich immer noch keine befriedigende Splitterhaftung, weil hierzu der Vorschlag der Erfindung wesentlich ist, daß die Dicke der Haftschicht wesentlich kleiner ist als die Wellenlänge des sichtbaren Lichtes. Versuche haben gezeigt, daß die Verwendung dickerer Haftschichten der erfindungsgemäßen Zusammensetzung nicht zu einer befriedigenden Splitterhaftung führt, weil es nämlich bei dickeren Schichten wegen der Bildung einer epitaktischen Eigenkristallstruktur der

ίο Haftschicht zu Spannungen kommt, die schon bei niedrigen Zugbelastungen ein Zerreißen der Haftschicht hervorrufen.

Aus einer Anzahl von Druckschriften, beispielsweise der deutschen Patentschrift 1 088 198, der bekanntgemachten deutschen Patentanmeldung DT-L 13 792/ VIII d/21c, der deutschen Auslegeschrift 1058 805 sowie der USA.-Patentschrift 2 949 387, ergeben sich zwar Vorschläge zur Verbesserung der Haftung der Metallschicht der Wärmereflexionsschicht, welche dann als ausreichend bezeichnet wird, wenn die beschichteten Scheiben ohne a;:hichtbeschädigupg von Staub gereinigt werden können, jedoch enthalten diese Literaturstellen keinerlei Hinweise auf d:··; Möglichkeit, die Haftung der ZnS-Schicht an der Glasscheibe durch Zwischenschaltung einer dünnen Haftschicht, wie es Lehre der Erfindung ist. zu verbessern.

Ein Ersatz der bekannten ZnS-Schicht(en) der Wärmereflexionsschicht durch andere Materialien mit ähnlichen optischen Eigenschaften, welche jedoch besser an der Glasoberfläche haften, ist deshalb nicht möglich, weil zwar eine Anzahl von Metalloxiden mit einem Brechungsindex von n>2 bekannt sind, welche hinsichtlich der Brechkraft ZnS äquivalent sind, wie z. B. ZrO₂. CeO₂ oder TiO₂, diese Metalloxide jedoch bei den erforderlichen hohen Verdampfungstemperaturen von etwa 2000 C zur Dekomposition neigen. Hierdurch ergeben sich Schichten mit beträchtlicher Eigenabsorption im sichtbaren Spektralbereich, die in der für Interferenzschichten erforderlicher. Dicke die

;° optischen Eigenschaften stark beeinträchtigen. Verwendet man, um die genannte hohe Verdampfungstemperatur zu vermeiden, eine reaktive Verdampfung, so ergeben sich von vornherein wegen der Schwierigkeit, den Sauerstoff-Partialdruck für längere Zeit konstant zu halten, bei der Aufdampfung von dicken Interferenzschichten dieselben verfahrenstechnischen Schwierigkeiten wie die bei der direkten Verdampfung bei den vorstehenden hohen Temperaturen. Bei dünnen Schichten, wie sie erfindungsgemäß als Haftschichten verwendet werden, treten diese Nachteile nicht auf, weil die Eigenabsorption wegen der wesentlich geringeren Schichtdicke hier keine Rolle spielt. Ein Ersatz des ZnS durch Metallfluoride, wie Bleifluorid {deutsche Aujlegeschrift 1 421 872), scheidet von vornherein aus, weil die Brechkraft derartiger Metallfluoride wesentlich geringer ist, so daß die Durchlässigkeit beeinträchtigt wird, wie sich beispielsweise aus einem Vergleich der entsprechenden Ausführungsbeispiele in der Tabelle in Spalte I und 2 der deutschen Auslcgcschrift ! 421 872 ergibt.

Vorzugsweise sind für die wärmereflektierende Verbundsicherheitsglasscheibe nach der Erfindung Metallfluoride von Vorteil, deren Schmelz- bzw. Sublimationstemperaturen oberhalb von 1000 C liegen. Als

geeignete Materialien haben sich beispielsweise Schichten aus Thoriumfluorid, Natriumfluorid, Kryolith (Na₃AIF₆), Magnesiumfluorid, Lanthanfluorid, Cerfluorid oder Siliciumoxid erwiesen.

Die Dicke der Haftschicht liegt zwischen etwa 30 Λ und 100 Λ. In diesem Schiehtdickenbereieh werden durch die Haftschicht noch keine nennenswerten Interferenzeffekte hervorgerufen, so daß die optischen Eigenschaften der wärmereflektierenden Scheiben durch die zusätzliche Haftschicht nicht beeinflußt werden. Andererseits reichen diese Schichtdicken aus. um auch bei der üblichen Oberflächenraiihigkeit von technischem Glas der die Wärmereflexionsschicht tragenden Glasscheibe eine über die gesamte Scheibenfläche ausreichend gute Splitterliaftung zu gewährleisten.

Weitere Ausführungsformen der wärmcreflektierenden Verbundsicherheitsglasscheibe nach der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen,

Ein erfindungsgemäß vorgeschlagenes Verfahren zur Herstellung einer wärmereflektierenden Verbundsicherheitsglasscheibe mit einer Haftschicht aus einem Metallfluorid zeichnet sich dadurch aus, daß ein Metall oder eine geeignete Metallverbindung, dessen bzw. deren Verdampfungstemperatur vorzugsweise unterhalb der Verdampfungstemperatur der ZnS-Schicht(en) oder der Metallschicht(en) .der mehrschichtigen Wärmereflexionsschicht liegt, bei einem Sauerstoffpartialdruck in der Größenordnung von 10 ' Torr, vorzugsweise unter Verwendung der für das Aufdampfen der ZnS-Schicht(en) oder Metallschicht(en), der Wärmereflexionsschicht verwendeten Verdampfungseinrichtungen, verdampft wird. Dies hat den Vorteil, daß die Haftschicht und die ZnS- oder Metallschicht aus ein- und derselben Verdampfungseinrichtung verdampft werden können, welche zunächst auf eine Temperatur gebracht wird, die zur Verdampfung des Haftschichtmaterials, nicht aber zur Verdampfung des Materials der betreffenden Einzelschicht der Wärmereflexionsschicht ausreicht, woraufhin dann, gegebenenfalls nach zwischenzeitlicher Abkühlung, die Temperatur soweit erhöht wird, daß auch das Material der betreffenden Einzelschicht verdampft werden kann. Hierdurch wird in vorteilhafter Weise der technische Mehraufwand vermieden, der durch zusätzliche Verdampfungseinrichtungen für das Aufdampfen der Haftschicht hervorgerufen würde.

Es ist besonders günstig, wenn das Aufdampfen der Haftschicht aus der Verdampfungseinrichtung erfolgt, welche für die Aufdampfung der an der Glasoberfläche anliegenden ZnS-Schicht verwendet wird, da dies verfahrenstechnisch am einfachsten ist. Vorteilhafterweise wird beispielsweise Thoriumfluorid verwendet, welches eine Verdampfungstemperatur von etwa 1050 C besitzt. Hierbei wird dann die für die erste ZnS-Schicht bestimmte Verdampfungseinrichtung zusätzlich mit ThF₄ bestückt. Die Verdampfungseinrichtung wird dann soweit erhitzt, daß bei etwa i050^cC das Thoriumfluorid verdampft, woraufhin bei anschließendem Aufheizen auf etwa 1200 C das ZnS für die erste Antireflexschicht der Wärmereflexionsschicht abdampft.

Für das Aufdampfen der Haftschicht können naturgemäß alle üblichen Verdampfungseinrichtungen verwendet werden, die beispielsweise durch direkte Stromerhitzung auf die benötigte Verdampfungstemperatur gebracht werden. Auch eine Elektronenstrahkerdampfung des Haftschichtmaterials ist möglich.

Im folgenden sind verschiedene Ausführungsbeispiele der Erfindung an Hand der schematischen Zeichnung im einzelnen beschrieben.

Die Zeichnung zeigt eine erfindungsgemäße Ver bundsicherheitsglassclieibe im Schnitt. Auf einer Glas scheibe 10 ist eine Haftschicht Il aus Thoriumfluorii angeordnet, an die sich eine ZnS-Schicht 12. eine Gold schicht 14 und eine zweite ZnS-Schicht 16 anschließen Die in dieser Weise beschichtete Glasscheibe 10 is mittels einer Polyvinylbutyralfolie 18 mit einer Deck scheibe 20 verbunden. Die Deckscheibe 20 kann π ich nur aus Glas, sondern auch aus einem geeigneter ίο Kunststoff bestehen. Die Goldschicht kann gegebenen falls mit Vorteil auch für eine elektrische Widerstandsheizung verwendet werden.

Beispiel I

10 Floatglasscheiben im Format 110 cm · 50 cm mit einer Dicke von 3 mm werden sorgfältig gereinigt und in eine großtechnische Bedampfungsanlage eingebracht. Die Bedampfungsanlage ist mit drei unabhängig voneinander beheizbaren Verdampfungscinrichtungcn für das Aufbringen der drei Einzelschichten der Wärmcreflexionsschicht, nämlich der ersten ZnS-Schicht. der Goldschicht und der zweiten ZnS-Schicht, ausgerüstet. Die Verdampfungseinrichtungen werden mit den erforderlichen Substanzen bestückt. Zusätzlich wird in die Verdampfungseinrichtung, welche für das Aufdampfen der ersten Antireflexschicht vorgesehen ist, Thoriumfluorid eingefüllt.

"iach einer Evakuierung auf etwa 3 · 10 ² Torr vwrden die zu bedampfenden Glasoberflächen 8 Minuten lang durch eine Glimmentladung gereinigt. Anschließend wird die Anlage auf etwa 7 · 10 ⁵ Torr evakuier!. woraufhin nacheinander die Haftschicht aus Thorium· fluorid sowie die drei Einzelschichten der Warn.■<■-reflexionsschicht aufgedampft werden. Dabei v.iiJ zunächst die mit Thoriumfluorid und ZnS bcstüci· ■ Verdampfungseinrichtung auf etwa 1050" C gchracli.. wobei das Thoriumfluorid unter Bildung einer dar': schicht von etwa 60 A Dicke abdampft. Anschließen; erfolgt nach einer Temperaturerhöhung auf >-i ^! ■'■ 1200' C das Aufdampfen der ersten Einzelschichi ·: Wärmereflexionsschicht, also der ersten ZnS-A reflexschicht, darauf das Aufdampfen der Goklsc!.■- u und schließlich das Aufdampfen der zweiten /:·.'■· Antireflexschicht.

Die beiden ZnS-Schichten haben eine Schicht i von jeweils etwa 450 A, während die Gok'schi ; etwa 300 A dick ist.

Die so bedampften Glasscheiben werden daran Γ .:. der bedampften Seite unter Verwendung einer C' 0,38 mm oder 0,76 mm dicken klebfähigen Zwisch schicht aus Polyvinylbutyral mit einer 2 mm dick:. Glasdeckscheibe verbunden. Bei dem darauffolgend ' Phantomfallversuch zur Prüfung der Durchschlag festigkeit und Splitterhaftung durch einen aus einer

Höhe von 1,50 m (0,38 mm dicke PVB-Folie), h/v.. 4 m (0,76 mm dicke PVB-Folie) auffallenden Phantom Prüfkörper von 10 kg ergibt sich, daß die VerbunJ-sicherheitsglasscheibe die erforderliche Durchschlagsfestigkeit und eine sehr gute Spiitterhaftung hat. Die

Glassplitter haften überall fest an der klebfähigen Zwischenschicht, also an der Polyvinylbutyralfolie.

Beispiel 2

10 Floatglasscheiben werden unter denselben Bednigungen wie im Beispiel 1 gereinigt und bedampft.

Abweichend von Beispiel 1 wird statt Thoriumfluorid eine Haftschicht aus Kryolith mit einer Dicke von

etwa 80 A aufgebracht. Dabei wird das tCrvnlith 7n-

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samiTicn mit dem ZnS in die für cias Aufdampfen der ersten F-inzcIsdn'cht der Wärmcrefle.xionsschicht bestimmte Verdampfungseinridiüing eingebracht. Aus dieser Verdampfungseinrichtung wird zunächst das Kryolith bei etwa 1050 ( verdampft, woraufhin die Verdampfung des ZnS für die erste Antircflexsdiidit bei etwa 1200' C erfolgt. Anschließend werden, wie im Beispiel I, Gold und wiederum ZnS aufgedampft. Der Phantomfallvcrsuch, welcher unter denselben Bedingungen erfolgte wie in Beispiel I. ergab auch in diesem Fall die erforderliche Durchschlagsfestigkeit sowie eine sehr gute Splitterhaftimg.

Werden dagegen IO Floatglasscheiben gleicher Ar messungen unter den gleichen Bedingungen ohne IlafI schicht mit der dreischichtigen Wärmereflexionsschich bedampft und zu einer Verbundsicherheitsglasscheib verbunden, so zeigt der Phantomfallversuch, clal.i zwa auch hier die erforderliche Durchschlagsfestigkeit er reicht wird, die Splitterhaftung jedoch völlig unzu reichend ist. Bei allen so hergestellten Scheiben wech sein Bereiche, in denen die Glassplitter an der Verbund folie haften, mit Bereichen, in denen sich die Glas splitter ablösen, die zu ernsthaften Verletzungen führer können.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Wärmereflektierende Verbundsicherheitsglasscheibe, bestehend aus einer Glasscheibe, einer auf die Glasscheibe aufgedampften, aus mehreren Einzelschichten in der Reihenfolge ZnS-Metall-ZnS ..., mit ZnS an der Glasoberfläche, aufgebauten Wärmereflexionsschicht, einer Verbundfolie und einer Deckscheibe, dadurch gekenn- "> zeichnet, daß zur Verbesserung der Splitterhaftung bei Stoßbeanspruchung zwischen der Glasscheibe (10) und der Wärmereflexionsschicht (12, 14, 16) eine aufgedampfte, wesentlich stärkere Haftung an der Glasoberfläche aufweisende Haftschicht (11) aus einem Metalloxid oder Metallfluorid angeordnet ist, deren Dicke wesentlich kleiner ist als die Wellenlänge des sichtbaren Lichtes und die deshalb die optischen Eigenschaften nicht beeii-flußt.

2. Wärmerefleklierende Verbundsieherheitsgiasscheibe nach Anspruch I, gekennzeichnet durch eine Haftschicht (11) aus einem Metallfluorid, dessen Verdampfungstemperatur unterhalb der Verdampfungstemperatur des ZnS liegt. *5

3. Wärmereflektierende ^verbundsicherheitsglasscheibe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Haftschicht (11) aus Thoriumfluorid oder Kryolith (Na₃AlF₆) besteht.

4. Verfahren zur Herstellung einer wärmereflektierenden Verbundsicherheitsglasscheibe nach Anspruch 2 oder 3, dadurch r.-kennzeichnet, daß das Aufdampfen dei Metallfluoridschicht unter Verwendung derselben Verdampfungseinrichtungen erfolgt, die für das Aufdampfen der ZnS- und/oder der Metall-Einzelschichtien) der Wärmereflexionsschicht, vorzugsweise der ZnS-Schicht(en), verwendet werden.

5. Verfahren zur Herstellung einer wärmereflektierenden Verbundsicherheitsglasscheibe nach Anspruch 1, mit einer aus einem Metalloxid bestehenden Haftschicht, dadurch gekennzeichnet, daß ein Metall oder eine geeignete Metallverbindung, dessen bzw. deren Verdampfungstemperatur vorzugsweise unterhalb der Verdampfungstemperatur der ZnS-Schicht(en) oder der Metallschicht(en), der mehrschichtigen Wärmereflexionsschicht liegt, bei einem Sauerstoffpartialdruck in der Größenordnung von ΙΟ⁴ Torr, unter Verwendung der für das Aufdampfen der ZnS-Schicht(en) oder Metall- 5" schichten), der Wärmereflexionsschicht verwendeten Verdampfungseinrichtungen, verdampft wird.