DE2103306C3 - Einrichtung zum Bestimmen der Energie geladener Teilchen mit zwei zwischen einer Teilchenquelle und einer Teilchennachweiseinrichtung liegenden fokussierenden Elektroden - Google Patents
Einrichtung zum Bestimmen der Energie geladener Teilchen mit zwei zwischen einer Teilchenquelle und einer Teilchennachweiseinrichtung liegenden fokussierenden ElektrodenInfo
- Publication number
- DE2103306C3 DE2103306C3 DE2103306A DE2103306A DE2103306C3 DE 2103306 C3 DE2103306 C3 DE 2103306C3 DE 2103306 A DE2103306 A DE 2103306A DE 2103306 A DE2103306 A DE 2103306A DE 2103306 C3 DE2103306 C3 DE 2103306C3
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- particle
- detection device
- electrodes
- particle source
- symmetry
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/44—Energy spectrometers, e.g. alpha-, beta-spectrometers
- H01J49/46—Static spectrometers
- H01J49/48—Static spectrometers using electrostatic analysers, e.g. cylindrical sector, Wien filter
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
i(.x + u)2 t- y1 + η Hx - />)2 + r = ti + nb
haben, wobei
η null ist und
χ die Koordinate eines Flächenpunktes in der
Richtung der Symmetrieachse,
y den senkrechten Abstand des Flächenpunktes
von der Symmetrieachse,
a den Abstand zwischen der Teilchenquelle (18) und dem auf der Symmetrieachse gelegenen
Scheitelpunkt der ersten Elektrode (10) und
b den Abstand zwischen diesem Scheitelpunkt und der feststehenden Eintrittsblende (2Qa) der
Teilchennachweiseinrichtung (20) bedeuten.
4. Einrichtung nach einem der Ansprüche I bis 3, bei der die beiden Elektroden überall gleichen
Abstand in Richtung ihrer Flächennormale aufweisen, dadurch gekennzeichnet, daß das Verhältnis des
Abstandes der Elektroden (10, 12; 10', \2r) zum
Krümmungsradius der Elektroden zwischen 0,1 und 0,5 liegt.
5. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Verhältnis zwischen 0,05 und 0,1
liegt
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Einrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1. Eine
Einrichtung dieser Art ist aus der Veröffentlichung von Samson and Cairns in der Zeitschrift »The Physical
Review«, Bd. 173, 1968, Seiten 80 bis 82, insbesondere
Fig. 2, bekannt
Bei der bekannten Einrichtung dient die zur Teilchenquelle hin konvexe durchbrochene Elektrode
lediglich als elektrostatische Linse, mit der die analysierten Teilchen in die Eintrittsöffnung einer als
Elektronenvervielfacher ausgebildeten Teilchennachweiseinrichtung fokussiert werden. Der Analysatorteil
der bekannten Einrichtung besteht dagegen aus zwei zur Teilchenquelle konzentrischen sphärischen Gittern,
zwischen denen ein die Teilchen abbremsendes Potential erzeugt wird. Die Teilchen, die dieses
abbremsende Potential überwinden können, durchlaufen eine weitere konzentrische Gitterelektrode und
werden dann durch ein beschleunigendes Feld zwischen der zur Teilchenquelle hin konvexen durchbrochenen
Elektrode und einer zu dieser konzentrischen zweiten durchbrochenen Elektrode in die Eintrittsöffnung des
Elektronenvervielfachers fokussiert
ι» Im bekannten Falle dient die elektrostatische Linse
aus den beiden zur Teilchenquelle hin konvexen durchbrochenen Elektroden lediglich zum Fokussieren
der von der Teilchenquelle aus divergierenden analysierten Teilchen in die Eintrittsöffnung der Teilchenr>
Nachweiseinrichtung.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung der obengenannten Art so
auszubilden, daß die zur Teilchenquelle hin konvexe durchbrochene Elektrode und die z-,/'schen dieser und
■in der Teilchen-Nachweiseinrichtung liegende zweite
durchbrochene Elektrode die Funktion eines Energieanalysator übernehmen können.
gekennzeichnete Ausbildung gelöst.
r, Hierzu ist noch zu erwähnen, daß es aus »Applied
die Teilchen auf eine Nachweiseinrichtung fokussicren-
vi den Elektrodenanordnung bereits bekannt war, eine
durchbrochenen Elektroden aber zur Teilchenquelle hin
v> konkav und dienen nicht zur Fokussierung.
Weiterbildungen und vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
Durch die Erfindung wird der Vorteil einer wesentlich größeren Unempfindlichkeit gegen Störfelder erreicht
mi und in Kombination mit dem bekannten Gegenfeldanalysator kann eine Bandfiltercharakteristik erreicht
werden.
eignet sich insbesondere zur Energiebestimmung von
h'> Augerelektronen und Photoelektronen im Rahmen der
zerstörungsfreien chemischen Analyse durch Eleklro
nenspektroskopie.
Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert Es zeigt
F i g. 1 eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels,
das sich insbesondere zur Bestimmung der Energie niederenergetischer Elektronen eignet,
F i g. 2 eine schematische Darstellung einer Abwandlung des Ausführungsbeispiels gemäß F i g. 1,
F i g. 3 eine schematische Darstellung eines weiteren Ausführungsbe'spieles der Erfindung,
Fig.4 eine schematische Darstellung verschiedener
Strahlungsbündelquerschnitte in einer Ebene P in Fig. 1.
Fig.5 einen Axialschnitt, der die Verhältnisse im
Bereich des kleinsten Bündelquerschnitts bei der Einrichtung gemäß den F i g. 1 oder 3 zeigt und
Fig.6 eine schematische perspektivische Ansicht
eines Ausfühmngsbeispieles mit Zylindergeometrie.
F i g. 1 zeigt schematisch einen Energieanalysator, der im wesentlichen aus zwei konzentrischen, kugelkalottenförmigen
Gittern 10 und 12 aus Drahtnetz besteht, die im Abstand voneinander (Verhältnis von Abstand zu
mittlerem Radius vorzugsweise größer uls 0,01, insbesondere 0,05 bis 0,1) zwischen einer in F i r. 1 links
von den Gittern gelegenen Teilchenquelle, z. B. Elektronenquelle, und einer rechts von den Gittern
angeordneten, in Fig. 1 nicht dargestellten Teilchennachweiseinrichtung, beispielsweise einem Sekundärelektronenvervielfacher,
angeordnet ist. Zur Aufnahme eines Energiespektrums kann entweder die Teilchennachweiseinrichtung
längs der Symmetrieachse 14 des Systems verschiebbar sein, so daß ihre Eintrittsblende in
verschiedene, zur Achse senkrechte Ebene gebracht werden kann, von denen eine Ebene P eingezeichnet ist,
oder es kann hierzu bei feststehender Teilchennachweiseinrichtung die Spannung LO am Gitter 12 zu
veränderbar sein.
Im folgenden soll der Einfachheit halber angenommen werden, daß es sich bei den Teilchen, deren Energie
zu bestimmen ist, um Elektronen handelt. Die vorliegende Einrichtung läßt sich selbstverständlich
auch für andere geladene Teilchen, z. B. positive Ionen anwenden, in diesem Fall sind lediglich die Vorzeichen
umzukehren.
Das Gitter 10 liegt in der Praxis auf dem Potential der Teilchenquel'e, während das Gitter 12 durch eine
positive Vorspannung U» bezüglich des auf Masse
liegend angenommenen Gitters 10 vorgespannt ist. Die Vorspannung U« ist groß im Vergleich zu der der
Energie E= eil (e= Elementarladung) der Elektronen entsprechenden Spannu.ig V und beträgt bei der
Analyse von niederenergetischen Elektronen mit Energien von einigen Zehntel eV,z. B. etwa 10 V.
Durch die Spannung LO zwischen den beiden Gittern 10 und 12 verhält sich der innere Raum des Kugelnetzes
wie eine Kugel mit dem Brechungsindex η
(I +
Das Verhältnis zwischen Einfallswinkel Φι und
Ausfallswinkel Φ2 wird durch das optische Brechungsgesetz
sin '/'ι -- /ι sin
<l>2
bestimmt. Für U-t LO ändert sich η sehr rasch in
Abhängigkeit von U und geht für U-+0 gegen
unendlich, was einer graten Energiedispersion auf der
Symmetrieachse 14 entspricht. In Fig. I sind einige gebrochene Strahlen für verschiedene Werte U/Ua und
für innere Randstrahlen 13 und äußere Randstrahlen 15 dargestellt Der paraxiale Bereich ist durch eine
kreisförmige Scheibe 16 ausgeblendet Die sphärische ä Aberration ist für Werte von £//£/<
>< 0,01 klein und die durch monoenergetische Elektronen gebildeten Bündel
schneiden die Symmetrieachse 14 innerhalb eines kleinen Bereiches. Die Kombination dieser beiden
Eigenschaften, nämlich hohe Energiedispersion und
ι u scharfe Fokusbilder, ist von großem Vorteil.
Die Energie der nachgewiesenen Elektronen hängt vom Ort der Eintrittsöffnung der Strahlungsnachweiseinrichtung
auf der Achse 14 und von der angelegten Spannung Uq ab. Hierauf wird später noch näher
r, eingegangen.
Das Auflösungsvermögen des Energieanalysator gemäß F i g. 1 wird hauptsächlich durch den Quellendurchmesser
und die sphärische Aberration bestimmt. Die sphärische Aberration läßt sich ausschalten, wenn
'ο man den Netzen nicht die Form ehsr Kugelkalotte
sondern die Form einer bestimmten Ovalfläche gibt, deren Gleichung in dem Koordinatensystem gemäß
F i g. 2 lautet:
>■-, l(.v + a)2 + r + ti \{x - h)2 + r = a + iih .
(3)
Darin bedeuten a bzw. b die Abstände zwischen dem
so Scheitelpunkt des ersten Gitters 10 und der Teilchenquelle bzw. der Eintrittsblende der Teilchennachweiseinrichtung.
Bei Verwendung einer solchen Gitterform wird das Auflösungsvermögen dann in erster Linie durch den
η Quellendurchrnesser und den Komafehler bestimmt. Eine Abschätzung zeigt, daß sich ein Auflösungsvermögen
in der Größenordnung von 1% erzielen läßt.
In F i g. 2 ist die Strahlungsquelle mit 18 und die Eintrittsblende der Strahlungsnachweiseinrichtung mit
4(i 20a bezeichnet.
V-'ie F i g. 3 zeigt, läßt sich der vorliegende Energieanalysator mit einer Gegenfeldoptik kombinieren.
Zwischen der Elektronenquelle 18 und den kugelkalottenförmig
dargestellten Gittern 10,12 sind dementspre-
r. chend zwei zur Quelle hin konkave, konzentrische und kugelkalottenförmige Gitter 22 und 24 angeordnet,
zwischen denen ein die Teilchen abbremsendes Feld erzeugt wird. Der Raum zwischen dem Gitter 10 und
Gitter 24 ist durch ein kegelstumpfförmiges (oder
.(ι zylindrisches) Gitter 26 radial abgeschlossen. Weiter ist
eine Teilchennachweiseinrichtung dargestellt.
Eine Netzlinse verursacht eine Streuung des Teiichenslrahles.
Diese Streuung ist praktisch nur am Gitter 24 des durch die Gitter 22 und 24 gebildeten
v> Gegenfeldteiles merkbar, weil sich die Teilchenenergien
hier wegen der Abbremsung bis zum Wert Null erstrecken, und der Streuwinkel nimmt mit abnehmender
Teilchenenergie rasch m. Wegen des großen Wertes des Brech .ngsindexes der durch die Gitter 10,
Mi 12 gebildeten Netzlinse für niederenergetische Elektronen
werden diese Streuwinkel nach der Brechung sehr stark verkleinert. Die Strahlquerschnitte ir der Ebene P
(Fig. 1) sind für eine Anordnung der in Fig.3 dargestellten Art unter Berücksichtigung der Streuung
ι,-) in Fig.4 für die inneren Randstrahlen dargestellt
(LO=IOOV).
Diese Querschnitte sind für kleine Strahlenenergien (ca. 0,1 eV nach Abbremsung) Kreise, deren Radien mit
der Energie wachsen. Bei weiter zunehmender Energie werden die Strahlquerschnitte ringförmig, wie es die
Querschnitte für I1OeV, 2,OeV und 5,OeV in Fig.4
zeigen. Die Nachweiseinrichtung hat dementsprechend eine Eintrittsblende 2Oe (F i g. 5) mit kreisförmiger
öffnung, deren Mittelpunkt auf der Symmetrieachse 14 des rotationssymmetrischen Systems liegt. Bei Verwendung einer Blende mit einem Öffnungsradius r werden
alle Elektronen bis zur Energie En nachgewiesen, die durch die folgende Gleichung gegeben ist:
!■U, -
(4)
R bedeutet dabei den mittleren Radius der Gitter 10, 12. Bei größeren Energien wachsen die Querschnitte
und die gemessene Intensität fällt ab. Teilchen, deren Energie so groß ist, daß der durch die Scheibe 16
bestimmte innere Randstrahl 13 nicht mehr durch die Blendenöffnung geht, werden nicht mehr nachgewiesen.
Bei Verwendung kugelkalottenförmiger Gitter 10,12
kann das Aufölsungsvermögen durch eine vor der Eintrittsblende 20a der Nachweisöffnung angeordnete
Scheibe 28 verbessert werden, deren genaue Lage aus F i g. 5 ersichtlich ist.
Die Erfindung ist nicht auf rotationssymmetrische Geometrien beschränkt. Man kann z. B. auch mit einer
> Zylindersymmetrie arbeiten, wie es in F i g. 6 dargestellt ist. In F i g. 6 sind entsprechende Teile wie in F i g. 2 mit
den gleichen Bezugszahlen, denen ein Akzent angehängt wurde, bezeichnet. Die Strahlungsquelle 18', die
Blende 16' zur Abschirmung der paraxialen Strahlen
in und die Eintrittsblende 20' der Strahlungsnachweisein
richtung sind langgestreckt und streifenförmig, während die Netzelektroden 10', 12' die Form von Zylinderflächen
haben. Je nach der gewünschten Art der Abbildung können die Elektroden in einer zur Zylinderachse
ι ■> senkrechten Schnittebene die Form einer Kreislinie,
einer Ellipse, einer Parabel oder einer Schnittlinie der oben erwähnten speziellen Ovalfläche haben.
Die zweite Gitterelektrode 12 kann auch in größerem Abstand hinter der Gitterelektrode lö angeordnet sein
.'ti und unter Umständen sogar zu einer relativ kleinen
ebenen Gitterelektrode oder Blende direkt vor der Teilchennachweiseinrichtung (z. B. Multiplier oder Auffänger)
verkümmern.
Hierzu 5 Hhili
Claims (3)
1. Einrichtung zum Bestimmen der Energie geladener Teilchen mit einer Teilchenquelle und
einer Teilchennachweiseinrichtung, die auf einer Symmetrieachse angeordnet sind, weiterhin mit
einer zur Teilchenquelle hin konvexen, zur Symmetrieachse symmetrischen ersten durchbrochenen
Elektrode und einer zwischen dieser und der Teilchennachweiseinrichtung liegenden zweiten
durchbrochenen Elektrode, die im Betrieb an solchen Spannungen liegen, daß die Teilchen, die von
der Teilchenquelle auf die erste Elektrode fallen, auf die Symmetrieachse fokussiert werden, sowie
gegebenenfalls mit einem zwischen der Teilchenquelle und den beiden Elektroden angeordneten
Gegenfeldanalysator, der zwei zur Teilchenquelle hin konkave, durchbrochene Elektroden aufweist,
dadurch gekennzeichnet, daß die Teilchennachweiseinrichtung (20) längs der Symmetrieachse (14) verschiebbar oder die Spannung zwischen
den Elektroden (10,12; 10', 12') veränderbar ist, und
daß zwischen der Teilchenquelle (18; 18') und der Teilchennachweiseinrichtung (20; 20') eine Blende
(16,16') angeordnet ist, die verhindert, daß Teilchen
von der Teilchenquelle auf geraden Bahnen zur Teilchennachweiseinrichtung gelangen.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, bei welcher die beiden Elektroden rotationssymmetrisch und mit
überall gleichem Abstand in Richtung ihrer Flächennormalen angeordnet sind, und die Teilchennachweiseinrichtung eine Blende mit kreisförmiger
Öffnung aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß vor der öffnung der Blende (2Oa^ eine zu ihr koaxiale
Scheibe (28) angeordnet ist.
3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, bei welcher die Elektroden Rotationsflächen bezüglich der
Symmetrieachse bilden, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden (10, 12) die Form von
Ovalflächen entsprechend der Gleichung
Priority Applications (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2103306A DE2103306C3 (de) | 1971-01-25 | 1971-01-25 | Einrichtung zum Bestimmen der Energie geladener Teilchen mit zwei zwischen einer Teilchenquelle und einer Teilchennachweiseinrichtung liegenden fokussierenden Elektroden |
GB307372A GB1352084A (en) | 1971-01-25 | 1972-01-21 | Device for determining the energy of charged particles |
NL7200902A NL7200902A (de) | 1971-01-25 | 1972-01-21 | |
JP838372A JPS5312836B1 (de) | 1971-01-25 | 1972-01-24 | |
FR7202201A FR2123360B3 (de) | 1971-01-25 | 1972-01-24 | |
LU64650D LU64650A1 (de) | 1971-01-25 | 1972-01-24 | |
IT47910/72A IT948309B (it) | 1971-01-25 | 1972-01-24 | Dispositivo per la determinazione dell energia di particelle elemen tari cariche in particolare elet troni |
US00219934A US3760186A (en) | 1971-01-25 | 1972-01-24 | Device for determining the energy of charged particles |
BE778419A BE778419A (fr) | 1971-01-25 | 1972-01-24 | Appareil pour la determination de l'energie de particules chargees |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2103306A DE2103306C3 (de) | 1971-01-25 | 1971-01-25 | Einrichtung zum Bestimmen der Energie geladener Teilchen mit zwei zwischen einer Teilchenquelle und einer Teilchennachweiseinrichtung liegenden fokussierenden Elektroden |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2103306A1 DE2103306A1 (de) | 1972-08-17 |
DE2103306B2 DE2103306B2 (de) | 1979-11-08 |
DE2103306C3 true DE2103306C3 (de) | 1980-07-24 |
Family
ID=5796807
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2103306A Expired DE2103306C3 (de) | 1971-01-25 | 1971-01-25 | Einrichtung zum Bestimmen der Energie geladener Teilchen mit zwei zwischen einer Teilchenquelle und einer Teilchennachweiseinrichtung liegenden fokussierenden Elektroden |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3760186A (de) |
JP (1) | JPS5312836B1 (de) |
BE (1) | BE778419A (de) |
DE (1) | DE2103306C3 (de) |
FR (1) | FR2123360B3 (de) |
GB (1) | GB1352084A (de) |
IT (1) | IT948309B (de) |
LU (1) | LU64650A1 (de) |
NL (1) | NL7200902A (de) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4126781A (en) * | 1977-05-10 | 1978-11-21 | Extranuclear Laboratories, Inc. | Method and apparatus for producing electrostatic fields by surface currents on resistive materials with applications to charged particle optics and energy analysis |
DE2752547C3 (de) * | 1977-11-24 | 1981-04-02 | Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V., 3400 Göttingen | Teilchenoptisches Spektrometer mit zwei zu einer Teilchenquelle konkaven Netzelektroden und einer durchbrochenen dritten Elektrode |
WO2009133627A1 (ja) * | 2008-05-02 | 2009-11-05 | 独立行政法人放射線医学総合研究所 | 放射線源から放出される荷電粒子エネルギーの評価方法、装置、プログラム、放射線検出器の校正方法、装置、及び、放射線源 |
-
1971
- 1971-01-25 DE DE2103306A patent/DE2103306C3/de not_active Expired
-
1972
- 1972-01-21 NL NL7200902A patent/NL7200902A/xx not_active Application Discontinuation
- 1972-01-21 GB GB307372A patent/GB1352084A/en not_active Expired
- 1972-01-24 US US00219934A patent/US3760186A/en not_active Expired - Lifetime
- 1972-01-24 BE BE778419A patent/BE778419A/xx unknown
- 1972-01-24 IT IT47910/72A patent/IT948309B/it active
- 1972-01-24 JP JP838372A patent/JPS5312836B1/ja active Pending
- 1972-01-24 LU LU64650D patent/LU64650A1/xx unknown
- 1972-01-24 FR FR7202201A patent/FR2123360B3/fr not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB1352084A (en) | 1974-05-15 |
DE2103306B2 (de) | 1979-11-08 |
FR2123360A3 (de) | 1972-09-08 |
FR2123360B3 (de) | 1975-02-07 |
BE778419A (fr) | 1972-05-16 |
NL7200902A (de) | 1972-07-27 |
DE2103306A1 (de) | 1972-08-17 |
LU64650A1 (de) | 1972-06-26 |
US3760186A (en) | 1973-09-18 |
IT948309B (it) | 1973-05-30 |
JPS5312836B1 (de) | 1978-05-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE19838600B4 (de) | Energiefilter und Elektronenmikroskop mit Energiefilter | |
DE19828476A1 (de) | Teilchenstrahlgerät | |
DE102011002583B9 (de) | Teilchenstrahlgerät und Verfahren zur Bearbeitung und/oder Analyse einer Probe | |
DE2255302C3 (de) | Einrichtung für die Sekundär-Ionen-Massenspektroskopie | |
DE3231036C2 (de) | ||
DE2538123A1 (de) | Anordnung zum massenspektrometrischen nachweis von ionen | |
DE19929185A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur energie- und winkelaufgelösten Elektronenspektroskopie | |
DE7032595U (de) | Vorrichtung fuer die elektronenspektroskopie zur chemischen analyse | |
DE2331091C3 (de) | Einrichtung zur Bestimmung der Energie geladener Teilchen | |
DE2213719A1 (de) | Vorrichtung zur Spektroskopie mit geladenen Teilchen | |
EP1559126B1 (de) | BILDGEBENDER ENERGIEFILTER FüR ELEKTRISCH GELADENE TEILCHEN UND VERWENDUNG DES BILDGEBENDEN ENERGIEFILTERS | |
DE2103306C3 (de) | Einrichtung zum Bestimmen der Energie geladener Teilchen mit zwei zwischen einer Teilchenquelle und einer Teilchennachweiseinrichtung liegenden fokussierenden Elektroden | |
DE2705430C3 (de) | Elektrostatischer Analysator für geladene Teilchen | |
EP3295144A1 (de) | Vorrichtung zur messung einer abbildungseigenschaft eines optischen systems | |
DE2031811B2 (de) | Doppelfokussierendes stigmatisch abbildendes Massenspektrometer | |
EP0554814B1 (de) | Elektrostatischer Deflektor mit allgemein zylindrischer Grundform | |
DE19734059A1 (de) | Anordnung für Schattenwurflithographie | |
DE2162808C3 (de) | Einrichtung zum Analysieren der Energieverteilung von Elektronen mit einem Elektronen hoher Energie durchlassenden Kugelgitter-Filter | |
DE2728842A1 (de) | Analysator fuer geladene teilchen | |
DE2835978C3 (de) | Energieanalysator zur Analyse der Energie geladener Teilchen | |
DE809449C (de) | Elektrostatisches Elektronen-Linsen-System | |
DE102005031537B4 (de) | Abbildender Energiefilter für geladene Teilchen, insbesondere Elektronen | |
DE4341144C2 (de) | Energieanalysator für geladene Teilchen | |
DE2752547C3 (de) | Teilchenoptisches Spektrometer mit zwei zu einer Teilchenquelle konkaven Netzelektroden und einer durchbrochenen dritten Elektrode | |
DE229224C (de) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) |