DE2102254B2

DE2102254B2 - Kuehlvorrichtung fuer leistungshalbleiterbauelemente

Info

Publication number: DE2102254B2
Application number: DE19712102254
Authority: DE
Inventors: Hans-Ludwig von Dipl.-Ing. Dr. 6901 Wilhelmsfeld; Wagner Edmund Dr. 6202 Wiesbaden-Biebrich. HOIj 23-20 Cube
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 1971-01-19
Filing date: 1971-01-19
Publication date: 1973-05-30
Also published as: IT946683B; FR2122413B1; FR2122413A1; AT313423B; SE386307B; GB1372641A; DE2102254A1; US3817321A

Description

Die Erfindung betrifft eine Kühlvorrichtung für Leislimgshalbleiterbauclemente mit einem mit dem Halbleiterkörper in Wärmekontakt stehenden Kühlkörper und mit einem Verdampfer-Hohlraum, der eine elektrisch nichtleitende, beim Betrieb des Bauelementes verdampfende Kühlflüssigkeit enthält, sowie mit einem vom Verdampfer-Hohlraum räumlich getrennten Kondensator, der mit dem Verdampfer-Hohlraum einen Kühlmittelkreislauf bildet, wobei der Kondensator mit d-'in Verdampfer-Hohlraum über Rohrleitungen derart verbunden ist. daß dei im Verdampfer-Hohlraum entstehende Dampf dem Ein-

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ti.uiüM'ohr des Kondensators zugeleitet wird und dal.i das mi kondensator gebildete kondensat in den \ erdampfer-l lohlraum zurückgeführt wird.

is sind bereits kühlv ornchtuneen für lci^t lmiiI>halhle'ier-Bauelemente mit einem mit dem Halbleiterkörper in Würmekontakt stehenden kühlkörper bekannt, bei denen der kühlkörper einen Yerdampfer- ! !«"'lilraum hai. der eine beim Betrieb des Bauelementes verdampfende Künlflüssigkeit enthält. Der Verdampfer-Hohlraum bildet dabei einen geschlossenen Behalter, in dem das Kühlmittel verdampft und an den Behältern änden wieder abgekühlt und dabei teilweise verflüssigt wird (deutsche Auslege-ehrifi I 0⁰^ 022: deutsche Üffenlegungsschrift 1 935 125). Bei diesen kühlvorrichtungen niuB aber ein besonderer Aufwand getrieben werden, um den kühlkörper \on außen 7u kahlen, damit die \on ihm aufgenommene Yer- !'.""pfungswl'-nr.e abgeführt werden kam;

: ·■ ■■;:■.; JcM-.iih bereit ν Kühlvorrichtungen mit einem ¹ \-λ ⁽· ^i\!.i:i':pier-i ii'iuraum räumlich getrennten, mn 1 !ü>- -eit — oder Luftkühlung arbeitenden Konden^l. : bekanntgeworden, der mil dem \ erda.npfer-I i.·!:.raiiη¹, über Rohrleitungen /u einem kühlmi'lei-I.:",.-;-!jiii' zu-ammcnge-chal'ei ist. so d.iß da- im koniiei'saior verllü —igte kühlmittcl /um \ erdampl'erholilraum /uriickgeiiiliri wird uleutsehe Paieiitsehnfl i MJd 4.m; [ SA.-Patentschrift 3 41" 5"5: deutsche ( iftcnlegmigs.sehnfi 1 43V I4i<: Zeitschrift »Electronic I !igineermg" vom September l^l»53. Seiten 3~S bis 3"0). Aber accb .!;^-e k^i,!vorrichtungen können bei hohen W arme-tromdichten. wie sie bei Kühlelemenien für I ci-timgsiialbieiterbauelemente auftreten, keine befriedigende Kühlleistung erbringen, da bei einer Hia-cnverdampfung ohne zusatzlichen kon\ekti\en W ärmeiibergangsaiiieil die auftretenden llächenbel.istungen scln>n /u einem L nischlag /ur I ilmvercl.impfung führen, was mit einer plötzliche, und betnebsgcfährdenc mi Änderung des W änneübcrgangs \erbunden ist. Ils ist aus diesem eirunde auch bereits cmc kiihh ornchtung für l.eistungshalbleiter- Bauelemeine ant einem geschlossenen kühlkreislauf bekanntgeworden, tier anstelle des einfachen, mit Nüssigkeiiscder luftkühlung arbeitenden Kondensators eine Kältemaschine enthält !deutsche Offenlegungsschrift I 514 551). Düse Anordnung ist besonders aufwendig an kosten und an Raum und deshalb in \ielen lallen, insbesondere im kraftfahrzeug, nicht brauchbar.

Der Erfindung liegt die .Aufgabe zugrunde, bei einer kühlvorrichtung der eingangs genannten Art die Kühlleistung ohne besonderen Mehraufwand an Kosten und an Raum wesentlich zu erhöhen.

Erfindung-gemäß ist diese Aufgabe dadurch gelöst, daß der \ eruampfer-l lohliaum als Blasenpumpe ausgebildet ist. Dies bewirkt eine Vervielfachung des KübJiiiitteluml.Ulfs dadurch, ilal.i \on dem im Vordämpfer-1 lohlratim gebildeten Dampf kühlflüssigkeit mit gefordert wird, was durch Iirliöliung der Strörrumiisiieschttindigkcii eine bei nicht liehe lirliöluing des konvcktiven Wärmeübergangs am kühlkörper zur I olge hat. In weiterer Ausgestaltung der I.-rfindung ist es 11Cs₁)IKIeIs zweckmäßig, einen von der Hlasenpumpe räumlich getrennten Sammler-Abscheider mit seinem /um !antritt des [ lüssigkeits-Dampfgcmisches dienenden Ijntrittsiohr an das Aiislrillsrohr der Hlasenpumpe anzuschließen, das Dampf-Austrittsrohr des Sammler-Abscheiders an das Ij'ngangsrohr ties Kondensators anzuschließen und v'ie im Sammler-Abscheider und die im kondensator abgeschiedene kühl-

flüssigkeit in ein Zuleitungsrohr einzuleiten, welches λ\\ das F.iir.rittsrohr der Blascnpumpe angeschlossen ist. Mn Hilfe des so in den Kühlmittelkreislauf eingeschalteten Sammler-Abscheiders läßt ch die in der Biasenpumne \om Dampf mitgenommene Kühlflüssigkeil vor dem Hintritt in den Kondensator von diesem Dampf trennen und direkt zur Blasenpumpe zurückführen, was eine F.ntlasUing des Kondensators und damit eine weitere Verbesserung des Kühlmiiielumlaufs bedeutet. Dabei kann das Austrittsrohr des Kondensators mit dem unteren Teil des Sammler-Abscheiders ',erblinden und das Flüssigkeitsaustrittsrohr des Sammler-Abscheiders direkt an das zur Blasenpumpe führende Zuleitungsrohr angeschlossen sein. Statt dessen kann aber auch das llüssigkeitsausirittsrohr des Sammler-Abscheiders über einen Hüssigkeiisinjekior mit dem zum Ycrdampfer-i loiili'.iiiii' tu: w'ilen Zuleitiingsrohr verbunden und das dritte Aiischliißrohr des I lüssigkeit- -lektor.-- mn de:r. Austrillsrohr des Kondensators verbuiv'.en sein. Dadiircli wird der Durchlauf des kühlmittels durch den kondensator no^h weiter verbessert. Zur Druck "ückgewiiiniMig im Sammler-Xbsclieidcr kann ferner i'as /Lim I-int !tt des rhissigkeits-Dampf-C iemisches in den Sammler-Absclieider dienende [-.iiitrittsrolir an seinem oberen Lnde als Danipfdiffusor ausgebildet scm. wodurch eine Verbesserung des Durchlauf- dekühlmiiiels durch den Kondensator es zielt wird Darüber hinaus ist es vorteilhaft, wenn der als Bla-enpumpe ausgebildete Verdampfer-Hohlraum Bestandteil de- mit dem Halbleiterkörper in W ärniekomak! stehenden kühlkörper- ist.

An Hand der Zeichnung soll die Erfindung näher erläutert werden. Hs zeigt

big. I eine schematische Darstellung eines ersten Ausführuiigsbeispiels einer Kühlvorrichtung nac'i der Erfindung in der Seitenansicht, teilweise geschnitten.

I ig. 2 ein zweites Aiisführungsbeispiel einer Kühlvorrichtung nach der Erfindung in der Seitenansicht, teilweise geschnitten.

big 3 den als Blasenpumpe ausgebildeten Kühlkörper nach big. 1 im Horizont.; chnitt.

I iii. 4 einen Schnitt nach der Lime IV-IV der I ig. 3.

big. 5 den als Blasenpumpe ausgebildeten Kühlkörper nach den big. 2 und 7 im I loii/ontaKchnitt.

big. (1 einen Schnitt nach der Linie Vl-Yl der lie. 5.

'ig. 7 eine schematische Darstellung eines drittel' AusführungsbiMspiels einer Kühhornchumg nach der Erfii.diing. teilweise in der Seitenansicht, teilweise perspektivisch und im Schnitt.

big. 8 d-Mi Sammler-Abscheider mit angebautem llüssigkeitsiniektor nach l'ig. 2 in stark vergrößerter Darstellung.

big. I zeigt scheiratiseh ein als Flnrislor ausgebildetes Halbleiterbauelement mit angebauter Kühlvorrichtung. Der Halbleiterkörper 1 ist dabei mit seiner Bodenplatte 2 auf einen als Verdampfer dienenden Kühlkörper 3 elektrisch und thermisch gut leitend aufgesetzt. Der Kühlkörper 3 ist als Blasenpumpe ausgebildet und besitzt einen Yeidampfer-Ilohlraum 4. in welchen Kühlrippen 5 hineinragen, die Bestandteil des Kühlkörpers 3 sind. Die Kühlrippen 5 erstrecken sich von tier mit der Bodenplatte 2 verbundenen Seite des Kühlkörpers 3 aus nach unten. Im Vcidampfer-Hohlraum 4 befindet sich eine elektrisch nichtleitende, beim Betrieb des Bauelements verdampfende kühl-

flüssigkeit. I einer si ml ein sein Kühlkörper räumlich getrennter Sammler-Abscheider 6 und ein von einem Lüfter 7 gekühlter kondensator N sorgesehen. IJas Austriltsrohr 9 der Hlasenpiimpe ist über ein elektrisch nichtleitendes Schlauchstück IO mil einem Zuleitungsrohr 11 verbunden, welches an das Eintriltsrohr 12 des Sammler-Abscheiders ft angesciiloisen ist. Das llüssigkeitsausirittsrohr 13 des Sammler-Abscheiders 6 ist mil einem /weiten /uleitimgsrohr 14 verbunden, welches über ein /weites elektrisch nichtleitendes Schlauehstück 15 an das Eintrittsrohr 16 der Ulasenpumpe angeschlossen ist. Das Dampfaustritlsrohr 17 des Sammler-Abscheiders 6 ist über ein drittes Zulcitungsrohr 18 mit dem Eingangsrohr 19 des Kondensators 8 verbunden. Das Austrittsrohr 20 des Kondensators 8 ist über ein viertes Zuleitungsrohr 21 mit dem unteren Teil des Sammler-Abscheiders 6 verbunden.

Der mit Kühlflüssigkeit vermischte Dampf tritt durch das Austrittsrohr 9 aus der Hlasenpiimpe 3 aus, durchströmt das Schlauehstück 10 und die Leitung 11 und tritt dann durch das Eintrittsrohr 12 in den Sammler-Abscheider 6 ein, wo die von den Dampfblascn mitgenommene Kühlflüssigkeit vom Dampf getrennt wird. Das Eintrittsrohr 12 ist an seinem oberen Ende als Dampfdiffusor 22 ausgebildet, um die hohe Strömungsenergie des eintretenden Dampfes teilweise wieder in Druckcncrgie zurückzutransformicrcn, welche auf der im Sammler-Abscheider abgeschiedenen Kühlflüssigkeit 23 lastet. Die Kühlflüssigkeit 23 wird dadurch und durch einen zusätzlich erforderlichen, geringen statischen Druck, der durch den Höhenunterschied zwischen dem Sammler-Abscheider 6 und dem Kühlkörper 3 bedingt ist, in das Zuleitungsrohr 14 gedrückt und durchströmt das nichtleitende Schlauehstück 15. um dann über das Eintrittsrohr 16 in den Kühlkörper 3 wieder einzutreten.

Der im Sammler-Abscheider 6 von der Kühlflüssigkeit getrennte Dampf tritt durch das Dampfaustrittsrohr 17 aus dem Sammler-Abscheider 6 aus und strömt über die Leitung 18 in den luftgekühlten Kondensator 8. Der als Schild ausgebildete Flüssigkeitsabscheider 24 verhindert dabei, daß Kühlflüssigkeit mit in die Leitung 18 und in den Kondensator 8 getrieben wird. Das sich im Kondensator 8 bildende Kondensat 25 tritt durch das Austrittsrohr 20 aus dem Kondensator aus und strömt infolge des statischen Höhenunterschiedes über die Leitung 21 in den Sammler-Abscheider 6 zurück und gelangt somit erneut in den Kühlkreislauf.

Fig. 2 zeigt eine etwas abgewandelte Kühlvorrichtung nach der Erfindung. Abweichend von der Kühlvorrichtung nach Fig. I ist hier das Flüssigkeitsaustrittsrohr 13 des Sammler-Abscheiders 6 über einen Fliissigkeitsinjektor 26 mit dem zur Blasenpumpe führenden Zuleitungsrohr 14 verbunden. Das dritte AnsLi'.iußrohr 27 des Flüssigkeitsinjektors 26 ist dabei über J- <i Zuleitungsrohr 21 mit dem Austrittsrohr 20 des Ko'ilensators 8 verbunden, der hier im Gegensatz zu Fig. 1 im Detail wiedergegeben ist. Durch die zusätzliche Anordnung des Flüssigkeitsinjektors 26. der in Fig.S zusammen mit dem Sammler-Abscheidero in stark vergrößerter Darstellung wiedergegeben ist. wird der sich bei der Kondensation der Kühlflüssigkeit im Kondensator 8 bildende Unterdruck überwunden und dadurch der Durchlauf der Kühlflüssigkeit durch den Kondensator wesentlich verbessert. Ferner wird beim Ausl'ülmingsbeispiel nach Fig. 2 der I lüssi>·. keilsabscheidcr 24 abweichend son I ig. I durch cim Abbiegting des linieren Endes ties Flüssigkeitsau-.tnlN rohrs 17 gebildet.

Die I ig. } und 4 /eigen schemalisch den bein Aiisfühningsbeispiel nach I ig. I verwendeten Kühl körper 3. Die Ausbildung des Kühlkörpers 3 al Hlasenpiimpe i>t hier deutlich /u erkennen. Wesenllicl ist die Anordnung der Kühlrippen 5 derart, daß liii

ίο die verdampfende Kühlflüssigkeit ein sich in dei Durchströmrichtuiig \om Eintrittsrohr lft zum Aus trittsrohr 9 verbreiternder Strömungsciiierschnilt ent steht, so daß der sich bildende Dampf mit der dabe auftretenden, erheblichen Volumenvergrößerung tun in dieser vorgegebenen Richtung strömen kann.

Der beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 verwen tiefe Kühlkörper 3 ist in den Figuren 5 und 6 sehe matisch dargestellt. Hier sind die Kühlrippen f parallel zur StrömungsrichUing angeordnet. Dit Zwischenräume erweitern sich nicht. Die Quer schnittserweiterung in der Durchströmrichtuni win durch eine keilförmige Ausbildung des Verdampfer Hohlraums 4 erreicht (Fig. ft).

Fig. 7 zeigt als drittes Ausführiingsbeispiel einen

as scheibenförmigen Thyristor I mit einer zweiseitiger Kühlung. Der scheibenförmige Thyristor 1 ist beidseitig mit Ktinlkörpcrn 3 versehen, welche gleieh/eitu als Stromzuführungslcitcr dienen. Diese Kühlkörper : sind jeweils wiederum als Blasenpumpen ausgebildei und sind, wie in Fin. 7 angedeutet von dem in den Fig 5 und (■> dargestellten Typ. Statt dessen k.iii,; jeweils aber auch eine Blascnpumpe nach den Fi;.¹. ■ und 4 verwendet werden. Die Anordnung nac^! Fig. 7 wird wie die Anordnungen nach den Fig. I im · 2 mit einem ein/igen Sammler-Abscheider ft und einen: einzigen Kondensator 8 betrieben. Die Anschlüsse ': und lft der beiden Kühlkörper 3, die die Austrittsroh; bzw. Eintrittsrohrc dieser Kühlkörper bilden, sind i weils unter Zwischenschaltung einer isolieren '.

Leitungsstrecke 10 bzw. 15 parallel geschaltet. I'm <'■:■■ durch die Kühlkörper 3 gebildeten Elektroden-y-: : eine größere mechanische Festigkeit /u geben, sind .! beiden Kühlkörper 3 durch elektrisch niehtleik Befestigungselemente miteinander verbunden, die weils durch einen Bolzen 28 und eine Tellerfeder 2' gebildet sind.

Es besteht auch die Möglichkeit, daß mehrere Il leiterkörper gleichzeitig gekühlt werden müssen. Π-können an die Halbleiterkörper jeweils entweder : .

ein oder auch zwei Kühlkörper angebracht veid. . Hierbei ist es zweckmäßig, mehrere Kühlkörper .: einen gemeinsamen Sammler-Abscheider an/u-J ßen. Dabei kann im Gegensatz zum Ausführt: ': ■■ beispie! nach Fig. 7 jedem der an einen gemein.-:'.:". .

Sammler-Abscheider angeschlossenen Kühlkörpe; Sammler-Abscheider ein besonderes EintntlMo':■ '- und ein besonderes Flüssigkeitsaustrittsrohr 13 . ■:-■ ordnet sein.

Um die VVärmeiibergangszahl zu erhöhen, kann Kühlkörper 3 direkt in die Kontaktplatte 2 de- Ii .; leiterkörpers 1 eingebaut sein.

Müssen noch größere Wärmeleistungen abge;*·.;;v> werden, so kann der Wärmeübergang der vcrdampic: den Kühlflüssigkeit durch Steigerung des Men ce::-

stroms erhöht werden, indem unter Beibehaltung liegesamten Kühlsystems in das zum Kühlkörner führende Zuleitungsrohr 14 eine Pumpe eince-et/ wird.

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7 8

■\ls besonder*, vorteilhaft hut sich die Verwendung K I I 3 (CK₁CL,)

• erfiiulungsgemiilK'M kühKorrii:htun_t /ur Kühlung ^ | | -^-■.-^--■ ,

π "("hyrisloreii in l.lektrolaliiveugen erwiesen. '

Als besonders geeignete kühll'lüssigkeiien haben '^ 21(CIHCL)

h erwiesen: 5 \l I 14 (CJ-',Cl.)

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Kühlvorrichtung für Leistungshalbleiterbauelemente mit einem mit dem Halbleiterkörper in Wärmekontakt stehenden Kühlkörper und mit einem Verdampfer-Hohlraum, der eine elektrisch nichtleitende, beim Betrieb des Bauelements verdampfende Kühlflüssigkeit enthält, sowie mit einem um Verdampfer-Hohlraum räumlich getrennten Kondensator, der mit dem Verdampier-Hohiraum einen Kühlmittelkreislauf bildet, wobei der Kondensator mit dem Verdampfer-Hohlraum über Rohrleitungen derart verbunden ist. daß der im Verdampfer-Hohlraum entstehende Dampf dem Eingangsrohr des Kondensators zugeleitet wird und daß das im Kondensator gebildete Kondensat in den VerJampfer-Hohlraum zurückgeführt wird. d ;! J u r _■ Ii gekennzeichnet, daß der '■ . rdampfer-l! --hlraum (4i aU Bkisenpumpe au·-- 2η gebildet i-i.

j. Kühlvorrichtung nach Anspruch I. dadurch gekennzeichnet. daß ein von der ßlasennumpe räumlich getrennter Saninil r-Abscheider 16) mit seinem /um Eintritt des 1 . ^sigkeits-Dampi-Gemisclies dienenden Eintrittsrohr il2) an das Austritisrohr (9i der Blasenpumpe angeschlossen ist. da 1.1 das Dampi-Austrittsrohr (17) ties Sammler-Abscheiders (0) an das Eingangsrohr (19) des Kondensators (S) angeschlossen ist und dal.! die im Sammler-Ah-.cl.Jder 16) und die im Kondensator (S) abgeschiedene KühlfF'isMgkc'. in ein Zuleitunesrohr (14) eingeleitet wird, 'clchcs an das Eintrittsrohr (16) der Blasenpum;·"* angesi -Jossen ist.

3. Kühlvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Austrittsrohr (20) des Kondensators (8) mit dem unteren Teil des Sammler-Abscheiders (6) verbunden ist und daß das lliissigkeitsaustrittsrohr (13) des Sammler-Abscheiders (6) direkt an das zur Blasenpumpe t'ührei de Zuleitunesrohr (14) angeschlossen ist (Fig. I).

4. Kühlvorrichtung nach Anspruch 2. dadurch gekennzeichnet, daß das Nüssigkcitsaustrittsrohr (13) des Sammler-Abscheiders (6) über einen Ilüssigkeitsinjektor (26) mit dem zum Verdampfer-Hohlraum (4) führenden Zuleitungsrohr (14) verbunden ist und daß das dritte Anschlußrohr (27) lies Hüssigkeusinjektors (26) mit dem Austrittsrohr (20) des Kondensators (8) verbunden ist (Fig. 2).

5. Kühlvorrichtung nach Anspruch 2. dadurch gekennzeichnet, daß das /um Eintritt des Fhissigkcits-Dan pl'-Ciemisches in den Sammhi-Abschei- <ler (6) dienende Hintrittsrohr (12) an seinem oberen Ende als Djmpl'diffusor (22) ausgebildet ist.

6. Kühlvorrichtung nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß der als Blasenpumpe ausgebildete Verdampfer-Hohlraum (4) Bestandteil des mit dem Halbleiterkörper (1) in Wärmekontakt stehenden Kühlkörpers (3) ist.

7. Kühlvorrichtung nach den Ansprüchen I. 2 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Halbleiterkörper (I) in an sich bekannter Weise scheibenförmig ausgebildet ist. daß an beide Planseiten des scheibenförmigen I lalbleherkörpers (1) je ein Kühlkörper (3) mit einem als Blasenpumpe ausgebildeten Verdampfer-Hohlraum (4) angebaut ist und daß diese beiden Kühlkörper (3) über zvvischengeschaltete, elektrisch isolierende Leitungselemente (10. 15) unter Verwendung eines einzigen, für beide Kühlkörper (3) gemeinsamen, zum Eintritt des Flüssigkeits-Dampf-Gemisches dienendem Eintrittsrohrs (12) und eines einzigen, für beide Kühlkörper (3) gemeinsamer, Flüssigkeitsaustrittsrohrs (13) an einen gemeinsamen Sammler-Abscheider (6) angeschlosse.i sind ( Fig. 7).

S. Kühlvorrichtung nach den Ansprüchen 1. 2 und 6. dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Kühlkörper (3) mit jeweils als Blasenpumpe ausgebildetem Verdampfer-Hohlraum (4) an einen gemeinsamen Sammler-Abscheider (6) angeschlossen sind und daß jedem Kühlkörper (3) im Sammler-Abscheider (6) ein besonderes, zum Eintritt des Flüssigkeits-Dampl'-Gemisches dienendes Eintrittsrohr (12) und ein besonderes Flüssigkcitsaustrittsrohr (13) zugeordnet ist.

-). Kühlvorrichtung nach den .Ansprüchen 1 und 6. dadurch siekennzeichnei. daß der den als Blasenpumpe ausgebildeten Verdampfer-Hohlraum (4) enthaltende Kühlkörper (3) direkt in die Kontaktplatte (2) des Halhleiterkörpers (1) eingebaut ist.

K). Kühlvorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 hi- M. dadurch gekennzeichnet, daß in das zum Verdampfer-Hohlraum (4) führende Zu-Ieiiungsrohr (14) eine Pumpe eingesetzt ist.

i I. Kühlvorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 his K). gekennzeichnet durch ihre Verwendung zur Kühlung von Leistungshalbleiterbauelementen in Kraftfahi/engen, insbesondere in Elektrofahrzeuge^

12. Verfahren zur Kühlung von Leistungshalbleiterbauelementen mit einer Kühlvorrichtung nach mindestens einem tier Ansprüche 1 bis 1 1. dadurch gekennzeichnet, daß als Kühlflüssigkeit C.,F_;)CI.. oder CFCi., oder CHI-'Cl₂ oder CJ-',CL verwendet wird.

13. B) senpumpc zur Verwendung in einer Kühlvorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche I bis II, dadurch gekennzeichnet, daß in ihren Verdampfer-Hohlraum (4) Rippen (5) hineinragen, welche derart ausgebildet und angeordnet sind, daß für die zu verdampfend; Flüssigkeit einzelne diffusorartige Kanäle gebildet werden, deren Querschnitt sich in der Richtung vom Eintrittsrohr (16) /um Austrittsrohr (9) vergrößert ( Fi2. 3. 4. 5 und (i).