DE2064129A1 - Verfahren und Einrichtung zum Ver binden von Werkstucken - Google Patents
Verfahren und Einrichtung zum Ver binden von WerkstuckenInfo
- Publication number
- DE2064129A1 DE2064129A1 DE19702064129 DE2064129A DE2064129A1 DE 2064129 A1 DE2064129 A1 DE 2064129A1 DE 19702064129 DE19702064129 DE 19702064129 DE 2064129 A DE2064129 A DE 2064129A DE 2064129 A1 DE2064129 A1 DE 2064129A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- workpiece
- tool
- connection
- transparent
- alignment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67144—Apparatus for mounting on conductive members, e.g. leadframes or conductors on insulating substrates
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
- Y10T29/49121—Beam lead frame or beam lead device
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
- Y10T29/49124—On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
- Y10T29/4913—Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc.
- Y10T29/49131—Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc. by utilizing optical sighting device
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Die Bonding (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Description
Dipl.-Ing. ν/οίϊ-e=' l-fedt " 9 (Ί ft Λ 1
7 Stuttgart *i. i/en&lsi.-a.ie 40 ".
2 4.r ir. Γ/0
Western Electric Company Inc.
Hew York, ...v?.. iiom« . a 32 075· fd
Verfahren und Elnrlciitung ζαιι Verbinden
von Werkstücken
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verbinden der
Anschlüsse eines Werkstückes mit einem Substrat mittels eines Verbindunsswerkzeugea unter gegenseitiger fluchtender
Ausrichtung zwischen Werkstück und Werkzeug auf einer Verbindungsachse mit Hilfe einer Abbildung von
Werkzeug und Werkstück, wobei die Abbildung von Werkzeug
und Vierkstück über ein transparentes Glied auf der Verbindungsachse
sowIe mit Vergrösserung duren ein optisches
System erfolgt. Zum Gegenstand der Erfindung gehört ferner
ein Verfahren dieser Art zum Verbinden zweier Werkstücke miteinander sowie eine Einrichtung zur Durchführung eines
Verfahrens dieser oder der vorgenannten Art.
Die Erfindung befasst sich im einzelnen mit Verfahrens-
von
weisen und Einrichtungen zum Verbinden/Werkstücken miteinander,
wobei Werkstücke rasch und genau In fluchtende Ausrichtung ,smsenUber einem Verbindungswerkzeiy .gebracht
werden. Insbesondere bezieht sich die Erfindung
109828/1338
BAD ORIGiNAL
auf Systeme, bei denen eine Beobachtung der Werkstücke
und des Werkzeugs, bezüglich dessen die fluchtende Ausrichtung herzustellen ist, über transparente E!entente
auf den Verblndungsachseri der für die Verbindungsherstellung benutzten Maschinen vorgesehen ist.
Bei Einrichtungen, die zur Verbindung von elektronischen
Schaltungseinheiten wie scheibenförmigen Integral-Schaltungseinheiten
mit den zugehörigen Substraten verweapndet
werden, besteht eines der hauptsächlichen
| Probleme in der fluchtenden Ausrichtung der z.B.
scheibenförmigen Schaltun Reinheiten iri bezug auf die " '"
Verbindunsswerkzeuge, z.B. kopfartige Druekorgane odör
öffnungen von nachgiebigen Verbindungswerkzeugeh in
Form von Anpassungsgliedern oder d^l., worauf die"
scheibenförmigen .SchaltungseinheIten mit den'Köpfen
oder öffnungen in Berührung gebracht sowie weiterhin in bezug auf das Muster eines Substrats ausgerichtet
werden müssen» Zur Durchführung dieser Ausrlohtvorgänge
ist eine Vielfalt verschiedener optischer Systeme verwendet
worden. Die meisten dieser Systeme sind mit grundsätzlichen
Begrenzungen behaftet und somit nicht voll» ständi; zufriedenstellend.
Eines der gebräuchlichsten Systeme verwendet einen
halbreflektierenden Spiegel, der zwischen einem Var~
blndtogswerkzeug einerseits und einer Ebene 3 auf d©r
die scheibenförmigen Schaltungseinpheiten oder ein Substrat liegen, andererseits. auf gehängt ^3-P» Siri
Mikroskop Ist hier-mit seiner optischen Aoh.se schräg
zu dem halbreflektierenden Spiegel angeordnet und, liefart in seinem.Okular gleichzeitig ein Bild des
Werkzeugs und der Schaltungseinheit oder des Substrats
BAD PRIGiNAL
10 9 8 2 8 /13 3.8 .
In der Ebene oberhalb des Spiegels. Die schräge Beobachtungsriehtung-ruft
jedoch perspektivische Verzerrungen hervor» infolge, deren sich eine genue Ausrichtung als
schwierig erweist. Ausserdem muss der Spiegel hiegftegen
seiner Aufhän ^ung zwischen dem Werkstück und dem hiermit
in Berührung zu bringenden Werkzeug auf einer ausschwenkbaren Vorrichtung angebracht werden, was zur Kompliziertheit
der gesamten Einrichtung in unerwünschtem Maße beiträgt.
Die mit halbreflektierenden Spiegeln verbundenen Probleme
der schrägen Beobachtungsriehtung lassen sich bis zu
einem gewissen Maße durch Verwendung von strahlaufteilenden PrismenkorabinatLonen überwinden, die ähnlich dem Spiegel
aufgehängt sind, jedoch eine zu der Verbindungsachse - auf der sie angeordnet sind - rechtwinklige Abbildungsrichtung sowohl des Werkzeugs wie auch des Werkstücks
liefern. Solche Prismenkombinationen erfordern jedoch
eine sehr genaue Ausrichtung zur Verbindun^sachse, weshalb
die zugehörige Tragvorrichtung nicht nur zum Ausschwenken aus der Verbindungsachse befähigt sein muss, sondern auch
entsprechende Eirfibellmittel für eine genaue, planare
Prismenausrichtung aufzuweisen hat«
Für die fluchtende Ausrichtung werden ferner bereits
Systeme mit Bezugs-Fadenkreuzen verwendet (US-Patentschrift
3.477.630). Diese Systeme arbeiten bei genauer
Einstellung sehr gut, unterliegen jedoch dem Nachteil, dass die genau fluchtende Ausrichtung einer Vorrichtung
zur Positionierung eines beweglichen Werkzeugkopfes eine sehr genaue Einstellung gegenüber dem Bezugs-Fadenkreuz
erforderlich ist, um zu dem notwendigen Genauigkeitsgrad zu kommen.
109828/1336
BAD ORIGINAL
Es sind auch noch kompliziertere Systeme verwendet worden, die mit raech schwingenden Spiegeln für die, gleichzeitige
Bildprojektion von Werkstücken und Verbindungswerkzeugen
für die Beobachtung durch eine Bedienungsperson arbeiten, welch letztere die fluchtende Ausrichtung zwischen ., ·
Werkzeug und Werkstück herstellen soll. Derartige,
Schwingspiegelsysteme sind wegen ihrer Kompliziertheit
mit grundwätzliehen Problemen behaftet.
Mit Ausnahme des Bezugs-Fadenkreuzsystems sind alle vorgenannten Systeme mit einem gemeinsamen Nachteil behaftet.
Einige optische Elemente dir verwendeten Einrichtung
" müssen nämlich wenigstens zeitweise zwischen Verbindungswerkzeu,j;
und Werkstück angeordnet sein. Um Platz für diese Elemente zu schaffen, muss das Verbindungswerkzeug unverhältnismässig große Wege zum Angriff am
Werkstück zum Zweck der Aufnahme oder der Verbindungsherstellung zurücklegen. Diese großen Wege des Werkzeugs
bringen aber Schwierigkeiten hinsichtlich der genauen Werkzeujpositionierung über den gesainten Arbeitsbereich
miet sich.
Demgegenüber besteht eine Aufgabe der Erfindung in der
Schaffung von Systemen zur Erleichterung einer raschen1,
κ und genau fluchtenden Ausrichtung der Werkstücke und \ \
der kraf terzeu.jenden Elemente in Verb indungseinr ich tunken»
Eine weitere Aufgabe richtet sich auf die Schaffung von V Vs x
Systemen, bei denen für die krafterzeugenden Elemente \
in Verbindungseinrichtungen nur eehr kurze Wege erforderlich
sind.
109828/1336
bad
Eine Weitere Aufgabe der Erfindung besteht in der
Schaffung von Verb iridungse inrichtuna;en, bei denen
die Werkstücke und die krafteraeugenden Elemente unmittelbar
längs einer Verbindungsachse beobachtet werden können. '
Im einzelnen richtet sich eine Erfindungsaufgabe weiterhin
auf die Schaffung von Systemen, bei danen die
Herstellung von Werkstückverbindungen unter kontinuierlicher
visueller Überwachung erfolgen kann, Eine weitere Erfindan^'saufgabö richtet sich auf die uüLaffuiiä- von
Verbindungseinrichtungen, bei denen Werkstücke wahrend
der Verbindungsherstellung zwischen ihnen beobachtet werden'können, so dass Verzerrungen von Anschluss«
elementen, z»B· Von Traganschlusselementen, durch die
Verbindung unter Beobachtung gesteuert werden können.
Die LuSUn6; der erwähnten und anderer Aufgaben ergibt
sich erfindungsgemäss durch Verwendung von transparenten
Elementen, die auf Verbindungsachsen der betreffenden
Einrichtungen angeordnet sind, Werkstücke werden in bazu ;
auf krafterzeugende Elemente der Einrichtungen in Abhängigkeit
von Abbildungen der Werkstücke und der erwähnten Elemente zur fluchtenden Ausrichtung gebracht,
wöbe JfHe Abbildung durch die transparenten Elemente
hindurch erfolgt,
Spezielle BeispIelsauüfuhrungen von Einrichtungen, die
bei der Vei*wirklichung der Erfindung zweckmässlg sind,
umfassen Verbindungsvorrichtungen mit transparenten
Werkzaugköpfen, VerbindungSVorrichtun^en mit einem
8/1336 -6-
BAD ORIGINAL
transparenten Film als nachgiebiges Verbindungsmeclium
und Verbindungsvorriehtursfcan, bei welchen die Weri^Ucke
auf einer transparenten Auflage angeordnet sind, die nach dem Ausrichten eines Werkstücks und dem Angriff
einea Werkzeugs in Abhängigkeit von einer Abbildung durch die Auflage hinduroh anschließend aus der Verbindungsachse
herausgeschwenkc werden.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben
sieh aus der folgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen
anhand der Zeichnungen· Hierin zeigt
Vi
Fi-;. 1 eine perspekt^sche Ansicht einer ersten
Ausf ührunosfora«: einer erfindun^sgemaesen
Einrichtung, ...
FL;, 2 einen Teilschnitt-Aufriss eines einen
Verbindungkopf aufweisenden Abschnitts
eier'Einrichtung .jemäss Fig. Ί,
Mg, J5 einen Abscimitt der Einrichtung ;-Pig.
1 mit einen! Monitor, der ein in
"Feh!ausrichtung bezüglich eines Etnrichtungsteils
befindliches Werkstück zelgb,
?iaja 4 eine Ansicht des Monitors geraäss FIg-*
mit Darstellung das ausgerichteten Werkstücks»
Fig» 5 eine .Ansicht des Monitors gernäss Fij;*
Darstellung eines zweiten, fehlausgerlohtaten
Werkstücks,
•: ■·■·■■ BAD ORlGlNAl
109828/1336 mJ m
Pig· 6 eine Darstellung des Monitors gemäss
Pig. 3 mit Darstellung einer Ausrichtung zwischen zwei Werkstücken,
Fig. 7 ,einen Tellschnitt-Aufriss eines Verbindimsskogfes,
als A lter na ti vaus f ührung der ei?f indungsgemässen Einrichtung,
Fig..8 eine Anicht des Monitors der Einrichtung
gewUss Pig. 1 rail. Darstellung eines
Abschnitts des Verbindun^skopfes gemss
Pig· 7. .
Fi^. 9 eine Ansicht des Monitors ,^eaiäss Fig. 3
mic Darütellung einer fluchtenden Aus- .
richtung zwischen einesi Werkstück und Abschnitten des Verbindun 5skopfes ^ernäss
FI-5. 10 eine Ansicht des Monitors geaäss Fig. 9
mit Darstellung eines zusätzlichen Wertstücks,
Fi?;. 11 eine Ansicht des Monitors .-emäss Fig. 10
iiiit ΰβϊ-ateilung der miteinander verbundenen
v/erkstücke,
Fig. 12 einen Aufriss einer Verbindungseinrichtung
als Alternativausführung der Erfindung,
Fi,> 15 eine Ansicht gemäss Linie I3 - 13 in
Fig. 12 mit Darstellung eines Monitors,
der ein Werkstück und ein Verbindungswerkzeug wiedergibt,
109828/1336
BAD ORIGINAL
Pi;3. 14 einen Aufriss der Einrichtung gemäss Pig.
in einer WerkstUek-Aufnahmestellung*
Fig. 15 eine Ansicht gemäss Linie 15—15 in Fig. 14 mit Darstellung einer
transparenten Auf lage als Tra ;organ: f ür
eine Anzahl von Werkstücken,
Fig. 16 eine Ansicht des Monitors,gemäss Fig.
mit Darstellung eines gegenüber einem Verbindungswerkzeug ausgerichteten ■■
Werkstücks,
Fig. 17 eine Ansicht der Einrichtung gemäss Fig..
im Zustand der Verbindungsherstellung,
wobei ein Teil der Werkstuckauflage der
Übersichtlichkeit halber entfernt ist, und
Fig. 18 eine'Ansicht ;geßiäss Linie 1δ « 1&
zur Darstellung eines für die Verbindungsherstellung auf einer Verbindungsachse der Einrichtung gemäss Fig. 17 eingestellten
Substrats.
BAD ORIGINAL
9 ·"
109828/1336
Als Anwendungsbeispiel zur Erläuterung der Erfindung wird die Verbindung von integrierten Traganschluß-Schaltungseinheiten
mit in Form eines bestimmten Musters auf keramlRehen Substraten
angebrachten Leitungselementen beschrieben. Es versteht, sich
jedoch, daß die Erfindung mit Vorteil auch für andere Verbindungen
an kleinen Gegenständen angewendet werden kann, wo es auf eine genaue Ausrichtung zv/isehen verschiedenen Teilen ankommt;
Die in Figur 1 dargestellte Einrichtung umfaßt eine bewegliche Kopfanordnung 92, einen Sockel 24, eine übliche Positioniervorrichtung
Ρβ, ein elektro-optisches System mit einer Fernsehkamera
Pl sowie einem Monitor 28 und ist insgesamt mit dem Bezu^-
zeichen PO versehen. Anstelle eines -solchen elektro-optischen
Systems kann gegebenen fs ils auch ein übliches Mikroskop mit gM-cher
Wirksamkeit eingesetzt v/erden.
Die Wirkungsweise der Einrichtung wird mm anhand eines vollständigen
Arbeitsr'.vklus erläutert. Gemäß Figur i ist eine integrierte
TraganRchlnß-Schaltungselnheit 30 auf dem Schirm 3? des
Monitors 28 wiedergegeben. Das Schirmbild zeigt Leiter 36 der
Schaltungseinheit 50 in fluchtender Ausrichtung mit Ieitelernenten
38 auf einem keramischen Substrat 2IO,
Im Zeitpunkt gemäß Figur 1 zeigt der Monitor P8 die Schaltungseinheit 30 im Eingriff mit der Verbindungsöffnung 42 eines
nachgiebigen Anpassung«- bzw, Anpreßglledes 4ij, welches transparent ausgebildet 1st und daher die Beobachtung des Substrats
40, das unterhalb dieses Anpassungsgliedes angeordnet ist, über das optische System bzw, den Monitor ?8 ermöglicht.
Das-Anpassungen;Lied 44 kann z.B. aus einem PoIyLmld-Film bestehen
(etwa das unter der Marke "Kapton" von der Firma E,I,
DtiPont DeNemours & Co, in Wilmington, Delaware, vertriebene
Produkt), PUr Schaltungseinheiten mit einer Dicke des scheibenförmigen
Körpern von etwa 0,05'mm hat sich z.B, eine Fllmdloke
von 0,012 min als vorteilhaft erwiesen.
Zur Verbesserung der Sichtbarkeit kann das Atipassungsgiied 44
gefärbt ausgeführt warden, Die Parberfassung kann mit einem
100828/1336 -70-
BAD ORIGINAL
-W-
2064123
Mikroskop ohne weiteres erfolgen, während im Falle eines elektrooptischen
Systems eine entsprechende Parbempflndlichkeit besenders
vorgesehen werden muß, mn dte Vorteile eines gefärbten, transparenten Anpassungsgliedes 44 ausnutzen zu können,
Die Schaltungseinheit JO wird durch in einem Verbindungskopf
erzeugten Unterdruck in Berührung mit dem Anpassungsglied 44 gehalten. Der Tnnenaufbau dieses Kopfes h.6 pieht air- Figur 2 hervor..
In dem Kopf 46 1st eine Unterdruckkammer 48 gebildet, diß über einen Durchlaß 50 und eine Leitung r5? (Figur t) mit einer
Unterdruckquelle *iQ in Verbindung steht.
Um den Empfang von Abbildungen der Schaltungf-elrheit JiO4 des
Substrats 40 und des Aripassungsgliedes hL zu. ormöglleinen, ißt
die Unterdruckkammer 4 3 derart ausgebildet,, daß die von einer
optischen Achse 54 durchsetzten Kammerwände transparent sind. Die genannten optische Achse 54 ist hler gleichzeitig die Verbindungsachse
der Einrichtung 20. Die oberr.te V/and besteht aus
Klarglas oder einer --iuarzschelbe 56· Unmittelbar unterhalb
dieser Scheibe 56 befindet sich ein ebenfalls aus iQirglas
oder "uarz bestehender Angriffsteil eines Verbindungswerkzeugs
5-j» welches mit einem Durchlas 60 "fur die Einwirkung des
Unterdrucks der Kammer 48 auf die SchaltungseinheIt J>0
versehen ist.
Die Sctialtungseiriheit 30 ist Ir "Eingriff11 mit dem Verbindung?-
werkzeug unter der Wirkung der von der Unterdrückern«Ue 49
erzeugten Saugkraft dargestellt. Obwohl die Schaltungseinhelt
unter Druck am VJerkzeug; 5G gehalten wird, besteht doch keine
ν/Irkl lohe Berührung, Die Dicks des nachgiebigen Anpassungsgliedes 44 ist größer als diejenige des Körperabschnitts 6l
der Schalturißseinheit, no daß zwischen Schaltungseinhelt und
Werkzeug wühre-nd der Dauer dieser "Eirigrifföstellung" keine
Berührung besteht.
Dan Werkzeug 53 1st zweckmäßig mit einem Vorsprung 62 versehe^
der eine Möglichkeit zur Lokalisierung der Verbindungskräfte .
108828/1338 -f/-
-ff-
auf einen geringen Bereich eines Substrats 40 bietet. Diese
Lokalisierung ist oft erwünscht, wenn eine Anzahl, von Schaltungseinheiten mit einem einzigen Substrat verbunden werden
soll. Der Vorsprung 62 paßt in eine entsprechende Aussparung des Substrats 40" und vermindert durch seinen Eingriff in
diese Aussparung während des VerbindungsVorganges die Gefahr
einer störenden Einwirkung auf einevorangehend in der Nähe auf dem gleichen Substrat angebrachte Schaltungseinheit.
Im Kopf 46 sind ferner übliche Patronen-Heizkörper 63 zur
Erwärmung der betreffenden SeheIfeungseinheit vor und während
des Verbindungsvorganges vorgesehen.
Gemäß Figur 1 befindet sich die Schaltungseinheit JO in einer
für die richtige Verbindung mit den Leitelementen j58 geeigneten
Stellung. Die Verbindung wird durch Absenken der beweglichen Kopfanordnung ?2 längs einer Gleitführung 64 ausgeführt. Nach
dem Absenken wird eine nachgiebige Verbindung ublic^her Art zwischen den Leitern 36 und den Leitelementen 38 hergestellt,-Eine
ins einzelne gehende Beschreibung der Herstellung von nachgiebigen Verbindungen mittels Polyimid findet sich in der
nicht vorveröffentliohten USA-Patentanmeldung Serien-Nr. 864.856.
PUr die Erzeugung einer wii^csamen Thermokompressionsverbindung
ist eine beträchtliche Wärmemenge erforderlich» Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt, die Heizwirkung der im Kopf kd
befindlichen Heizkörper 63 durch Aufhebung des Substrats 40
zu unterstützen. .Dies wird am besten durch Anordnung von üblichen
Heizvorrichtungen 65 in einem ßubstrat-Triiger 66 erreicht.·
Nach der Verbindungsherstellung wird die Kopfanordnung 22 wieder
in die Stellung nach Figur 1 angehoben. Die Positioniervorriehturg
wird längs einer Gleitführung 68 nach rechts verschoben, bis floh
eine zur Aufnahme von Schaltungseinheiten vorgesehene Auflage
auf der optischen Achse 54 befindet.· Das nachgiebige AnpassungsglicKl
44 wird ebenfalls derart for te« π ehalte I;, daß eine nachfolgende
Üffmmg 1'2. dieses Glieds» nit nor optischen Achse ^k
fluchtet.
109828/1336 -12·
BAD ORIGINAL
Wie aus Figur 1 ersichtlich ist, besteht das Anpassungsglied 44 aus einem kontinuierlichen, von einer Zuführspule 72 abgezogenen
und zu einer Aufnahmespule 74 laufenden Folienstreifen»
Die Aufnahmer,pule 74 wird von einem Motor 76 mit konstantem
Aufwiekel-Drehmoment beaufschlagt und wird In ihrer Bewegung
mittels eines Schalt-Sprossenrades 78 gesteuert.
Das Sprossenrad 73 wird genau in 45°- Schritten gesteuert. Die
Bewegung des Anpassungsgliedes 44 wird durch Zurückziehen eines Stiftes 80 aus einem von 8 Löchern 32 in einer Drehscheibe 84 t
unter der Wirkung eines entsprechenden Steuer Zylinders ausgelöst.!
Diener Steuerzylinder 86 ist mit einer Federrückstellung versehen und wird jeweils nur kurzzeitig für das Ausrücken, des
Stiftes SO betätigt. Sobald der Stift 80 die Drehscheibe 8* -;■.
freigibt, beginnt dessen Drehung unter der Kraftwirkung des Gliedes 44 auf das Sprossenrad 78, welches mit der Drehscheibe ■-■
84 auf der gleichen Welle' sitzt. Nach.einer Ί5°-Drehung der
Scheibe 34 rastet der Stift 30 in das nächste loch 8? ein und
beendet die 'Drehbewegung. Die Abstände zwischen den Öffnungen ;
42 des Gliedes Ί4 sind so bemessen, daß die '!5°-T)rehschritte
des Sprossenrades 78 zu einer genauen Einstellung der aufeinan*-
derfolgenden Öffnungen 42 auf die optische Achse !5;' führen.
Nach einer solchen Einstellung einer neuen Verbindungsöffnung
auf die optische Achse 54 erscheint auf dem Schirm 32 des
Monitors ?8 ein Bild nach Art des in Figur 5 angedeuteten.
Die Bedienungsperson kann nun die Öffnung *!2 und. den-Vorsprung
62 des Werkzeugs 38 sowie jede der im Aufnahmefeld der Kamera 27 befindlichen Schaltungseinheiten J>0 beobachten. Letztere
sind nicht notwendig in definierter Ordnung auf der Auflage 7O verteilt, weshalb sich die ausgewählte Schaltungseinheit
wahrscheinlich nicht in fluchtender Ausrichtung bezüglich
der zugehörigen öffnung befindet.
Um diese Ausrichtung herbeizuführen, betätigt die Bedienungsperson
eine Handhabe 88 der Poßitioniervorrichtung ?6 und dreht hierdurch die Auflage 70 unter Beobachtung auf dem Schirm y?.
109828/1336 -1*"
BAD ORIGINAL
-11-
bis zur Einstellung eines Bildes gemäß Figur 4 mit genauer Ausrichtung
der Schaltungseinheit 30 bezüglich der öffnung 42.
Nach Einstellung dieses Bildes wird die Kopfanordnung abgesenkt,
und der Unterdruck in der Kammer 48 bringt die Schaltungseinheit 30 in Eingriff mit dem Kopf 46, und zwar durch Anziehen dieser
Einheit gegen das Anpassungsglied 44. Danach vrird die Kopfanordnung
in die Stellung gemäß Figur 1 angehoben.
Sodann wird die Positioniervorrichtung 26 nach links bewegt, so
daß eines der Substrate 40 grob mit der optischen Achse 54 in
Ausrichtung gelangt. Auf dem Schirm 32 ergibt sich zu dieser
Zeit ein Bild gemäß Figur 5.
Durch Betätigung der Handhabe 88 wird das Substrat nun unter Beobachtung auf dem Schirm 32 zur fluchtenden Ausrichtung der
Leitelemente 38 vcilt den Leitern 36 gebracht. Nach Einstellung
eines Bildes gemäß Figur δ kann der VerbindungsVorgang durchgeführt
werden, womit der Arbeitszyklus vollständig abgelaufen ist.
Es ist von wenentHoher Bedeutung, daß die vertikale Bewegung der
Kopfanordnung 22 sehr gering sein kann. Der Grund hierfür liegt darin, daß zwischen dem Werkzeug 58 und den Werkstücken kein
kompliziertes optisches System angeordnet sein muß. Der geringe Hub der Kopfanordnung ermöglicht In vorteilhafter V/else eine
hohe Einstellgenauigkeit der Einrichtung,
Die geringe Bewegung der Kopfanordnung 22 stellt ferner sicher, daß sich die Abbildungen der Öffnung 42 soviie der auf der Auflage
70 befindlichen Schaltungneinheit 30 und der auf dem Substrat-Träger
66 abgestutzten Leitelemente 38 gleichzeitig im Schttrfantiefenbereich des optischen Systems halten lassen.
Wesentlich ist ferner eine Ausbildung der Einrichtung PO in
der Welse, daß die Schaltungseinheiten 30 und die Leitelemente
3B im wesentlichen auf gleicher Höhenlage gehalten werden und
somit eine Lage der betreffenden Bilder in der Sohnlttwelte einnehmen, wenn die genannten Gegenstände mittels der PosItΙο
0 9 8 2 8 / 1 3 3 8 ~1H"
BAD ORIGINAL
-Zf- 2 06 4123
nlervorriehtung 26 auf die optische Achse 54 eingestellt worden,
sind. ■-__■
Bei der Ausführung der erfindungsgemäßen Einrichtung nach Figur
ist ein unnachgiebiger Verbindimgskopf 146 vorgesehen, der eine
Unterdruckkammer 143, einen Unterdruckdurchlaß '50, eine transparente
Scheibe 1 56 und ein transparentes Verblndungswerkzeiig
158 aufweist. Der Kopf 146 kann in einer Einrichtung ähnlich
derjenigen gemäß Figur 1 verwendet v/erden, jedoch mit der Ausnahme,
daß ein nachgiebiges Anpassungsglied nicht erforderlieh ist. Der Kopf 146 ist demgemäß für die sogenannte "hard tip"-Arbeitswelse
vorgesehen, Hierbei muß für einen Ausgleich der Verbindungskräfte an allen Leitern 36 gesorgt v/erden. Eine für
den Einsatz einer Kopfausführung der vorliegenden Art geeignete
Einrichtung ist z*B. in der USA-Patentschrift 3,475.814 beschrieben.
Der Kopf 146 kann feyfrner auch in eine Ausgleichs vorrichtung
mit schwenkbarer Kopfhalterung eingesetzt werden.
Das Werkzeug I58 umfaßt einen Vorsprung I6i5 und eine Öffnung I60,
weLch letztere zur Aufnahme eines Körperabschnitts 61 einer
Schaltungselnhstt 30 mit Spiel auf allen Seiten bemessen ist.
Die Größe der öffnung 16O in Bezug auf den Körperabschnitt 61
1st in Figur 9 dargestellt, Der Vorsprung l6s erfüllt die gleiche Punktion wie der Vorsprung 62 gemäß Figur 2.
Von im Werkzeug I58 angeordneten Heizkörpern I63 wird einige
Wurme über den Werkzeugkörper zur Arbeitsstelle übertragen.
Zweckmäßig wird zusätzlich Wärme von Quellen außerhalb des Kopfes l46 zugeführt.
Im Betrieb findet die Bedienungsperson zunächst eine Fehlausrichtung
zwischen Öffnung 16O und Schaltungeeinheit 30 gemäß
Flgut 8 vor, Dieser Zustand ist ähnlich demjenigen gemäß Figur
Die fluchtende Ausrichtung wird dann unter Beobachtung längs
der optischen Achse 164, die gleichzeitig Verbindungsachse 1st,
über sin optisches System hergestellt, dessen Wirksamkeit auf
der Transparenz der Scheibe I56 und des Werkzeugs I58 beruht.
109828/1 3-3-0·: . ■ " -1S-
BAD
Figur 9 zeigt ein Bild, wie es sich der Bedienungsperson nach
fluchtender Ausrichtung der Schaltungseinheit 30 bezüglich der
Öffnung 160 darbietet»
Figur 10 zeigt die Leiteleraente 38 eines Substrats 40, wie sie
sich der Bedienungsperson vor der endgültigen Ausrichtung zwischen Substrat und Schaltungseinheit darstellen. Das Substrat
wird dann sorgfältig verschoben, bis eine genau fluchtende Ausrichtung der Leitelemente 38 mit den Leitern 36 erreicht ist.
Figur 11 zeigt die für die Bedienungsperson sichtbare Abbildung der Leiter 36 und der Leitelemente 38 während des Verbindungsvorganges. Ein hervorstechendes, vorteilhaftes Merkmal dieser
Ausführungsforra der erfindungsgemäßen Einrichtung besteht darin,
daß die Bedienungsperson das Ausmaß der Quetschung bzw. Verbreiterung der Leiter 36 während des VerbindungsVorganges beobachten
und steuern kann. Es ergibt sich somit die Möglichkeit einer vollständigen visuellen überwachung und Steuerung des Verfahrensablaufes.
Eine übermäßige wie auch eine unzureichende Quetschung können somit gleichermaßen verhütet werden, was eine wesentliche
Erhöhung der Wahrscheinlichkeit für die Erzielung hochwertiger Verbindungen zur Folge hat.
Bei der insgesamt mit ISO bezeichneten Ausführung der erfindungsgemäßen
Einrichtung nach den Figuren 12 bis 18 ist eine Sterapelanordnung
18P, eine Handhabungsvorrichtung 184 für die Schaltungseinheiten t eine Positioniervorrichtung 186 und ein optisches
System 188 vorgesehen.
Aufbau und Wirkungsweise der Einrichtung ergeben sich wieder
aus der folgenden Beschreibung eines vollständigen Arbeitszyklus. Figur 12 zeigt die Stempelanordnung 182 in angehobener
Stellung vor dem Ausrichten einer auf der Kandhabungsvorrichtung
184 befindlichen Schaltungseinheit 30« Für das Anheben der Stempelanordnung
182 ist ein auf einer Welle I90 sitzender Nocken 189 vorgesehen, der über eine Rolle 192 mit einem Hebel 194
zusammenwirkt. Letzterer 1st um eine Achse I96 schwenkbar,
109828/133 6 "^"
BAD ORIGINAL
Ein Anschlagabschnitt des Hebels 192^ liegt unter Druck an
einer einstellbaren Hülse 200, wenn der Nocken l89 in seine
Drehstellung gemäß Figur 12 übergeht. Die Stempelahordnung 182
wird hierdurch gegen die Wirkungen einer Druckfeder 202 angehoben.
Während des Anhebens der Stempelanordnung 182 wird ein Verbindungswerkzeug mit seiner Unterseite in einem Abstand
von etwa 0,38 mm von der Oberfläche einer transparenten Auflage
204 für Schaltungseinheiten innerhalb der Handhabungsvorrichtung
184 gehalten. Dieser Abstand kann mit Hilfe der Hülse 200 verstellt werden, um die Schaltungseinheit 30 und das
Werkzeug 20J im vorgesehenen Gegenstandsbereich des optischen
Systems I88 zu halten.
Wenn das Werkzeug 203 eine Stellung unmittelbar oberhalb der
Auflage 204 einnimmt« so kann das optische System I88 zur Abbildung sowohl des Werkzeugs 203 wie auch der betreffenden
Schaltungseinheit 30 verwendet werden. Das optische System I88
ist in Figur 12 in Form einer üblichen Fernsehkamera mit rechtwinkligem
Linsensystem dargestellt, die zur Beobachtung längs einer optischen Achse 206 eingestellt werden kann. Auch hier
kann wiederum für die gleiche Funktion ein Mikroskop eingesetzt werden.
Die optische Achse fluchtet mit der Verbindungsachse der Einrichtung
I80. In einem Tragelement 207 ist eine öffnung 208
vorgesehen, durch welche das optische System I88 die Abbildung der Schaltungseinheit 30 und des Werkezeugs 203 aufnimmt.
Die Handhabungsvorrichtung 184 kann mittels eines Üblichen
Betätigungsgliedes 210 ind X- und Y-Richtung bewegt werden, während eine Winkelverstellung durch Drehung der Auflage 204
erfolgt. Wahrend der Handhabung beobachtet die Bedienungsperson das Werkzeug 203 und die Schaltungseinheit 30 auf dem Schirm
212 eines Monitors 214 (Figur 13) des optischen Systems 188. Wenn die Schaltungseinheit 30 ihre genau fluchtende Ausrichtung
bezügliche des Werkzeugs 203 einnimmt, so wird letzores
109828/133Θ .17.
In die Stellung gem. Figur 15 abgesenkt und unter Druck innerhalb
des Verbindungskopfes 216 zur Wirkung auf die Schaltungseinheit gebracht. Lefczere wird hierdurch am Werkzeug 203 festgehalten.
FUr den Verbindungskopf kommt vorteilhaft eine Ausführung in Betracht, wie sie in der USA-PS 3.452.917 beschrieben
ist. Die Abbildung einer bezüglich des Werkzeugs 203 genau
ausgerichteten Schaltungseinheit 30 1st in Fig. 16 angedeutet.
Wenn die Stempelanordnung 182 die Aufnahmestellung gemäß Figur
15 einnimmt, so greift* ein Anschlag 218 an einer mittels eines
Zylinders 222 be'tätigbaren Klinke 220 an. Der Zylinder 222 ist in Figur 4 in seiner Ausfahrstellung dargestellt. Der Anschlag
218 ist in Längsrichtung derart eingestellt, daß die
Kraft der Feder 202 nicht über das Werkzeug 203 zur Auflage
204 übertragen wird.
Nach dem gegenseitigen Angriff von Sehaltungseinheit 30 und
Werkzeug 203 wird die Welle 190 gedreht und die Stempelanordnung 182 angehoben. Die Klinke 220 wird mittels des Zylinders
222 zurückgezogen und die Auflage 204 aus der optischen Achse bzw. Verbindungsachse 206 herausgeschwenkt. Dies erfolgt mit
Hilfe eines Einstellgetriebes 223 der Handhabungsvorrichtung 184. Figur 18 zeigt hierzu das Maß der Entfernung der Auflage 204
von der Achse 206.
Bei angehobener Stempelanordnung 182 wird ein sorgfältig bearbeiteter Substrat-Tragblock 224 zur Berührung mit der
Substrat-Posifcionlervotttohtung I86 gebracht, wie sich dies
aus Figuren 17 und 18 ergibt. Die Positioniervorrichtung I86 umfaßt zwei mittele Mikrometerschrauben 228 genau einstellbare
Anschläge 226.
Der Tragblook 224 ist mit zwei zueinander rechtwinklig angeordneten Einstellgliedern 230 sowie mit einer Federklammer
232 versehen, welch letzero z.B. ein Substrat 234 in Anlage
an den Einsteilgliedern 232 hält. Die Leiteleraentö 236 das
Substrate weisen eine Positionierung von hder Genauigkeit In
10982 8/133S in
206 A 129
bezug auf die Substrataußenflächen auf, so daß die Leitelemente
eine sehr genau bestimmbare Anordnung bezüglich der Seiten des Tragblocks 224 einnehmen. Die llkrometerschrauben 228 sind derart
eingestellt, daß ein bestimmter Abschnitt des Substrats nachJAnlage des Tragblocks 224 an den Anschlägen 226 auf der
Achse 206 liegt. Die am Werkzeug 203 angreifende Schaltungseinheit 30 kann somit in einer genau vorgegebenen Anordnung
bezüglich des Substrats mit diesem ohne tatsächliche Beobachtung der fluchtenden Ausrichtung des Substrats mit den gewünschten
Anschlußverbindungen versehen werden.
^ Der VerbindungsVorgang geht beim Absenken der Stempelanordnung
182 Infolge Rückzugs der Klinke 220 vor sich. Eine Drehung des Nockens I89 erlaubt die Abwärtsbewegung der Stempelanordnung
unter der Wirkung der Feder 202, bis das Werkzeug 203 die Leiter 36 gegen das Substrat 234 anpreßt, wobei die gewünschte
stoffschlüssige Verbindung bzw» Versehweißung zwischen den
Leitern 36 und den Leitelementen 230 eintritt. Die zur Herstellung
der Verbindung erforderliche Kraft wird durch die Feder erzeugt.
Die Stempelanordnung 182 wird nun durch entsprechende Drehung des Nockens I89 wieder angehoben. Die Klinke 220 wird nach
außen bewegt und die Auflage 204 für Schaltungseinhelten wieder
" in die Achse 206 eingeschwenkt, worauf ein neuer Arbeltsuyklus
beginnen kann.
Wenn eine Anzahl von Schaltungseinheiten mit einem Substrat
verbunden werden soll, so kann eine entsprechende Anzahl von
Verbindungseinrichtungen 180 In Form einer Montagelinie aufgestellt werden, wobei jede der Positioniervorrichtungen I86
auf eine bestimmte, für eins Schaltungaeinheit vorgesehene
Lage auf dem Substrat einstellbar ist. Eines der auf den Trag» blUoken 224 angebrachten Substrate 234 kann somit von einer
Verbindungseinrichtung I80 zur oictistesi wviterbefurdert werden,
wobei die verschiedenen Schaltu&gsainhelt^n die ihnen zugaord-
109828/1336 "19~
SAD
nete Stellung auf dem Substrat einnehmen und hier angeschlossen
werden. Auf diese Weise ergibt sich ein Herstellungsprozeß mit hohem Wirkungsgrad· Eine solche Herstellungsweise macht eine
sehr genaue Anordnung der Leitelemente 236 in bezug auf die
anderen Oberflächen des Substrats 2$k erforderlich. Ein solches
System ist daher für die Anwendung auf Leitelemente 236, die rait
großer Genauigkeit durch Fotoprojektion hergestellt werden, in
hohem Maße geeignet.
Abschließend sei nochmals hervorgehoben, daß die den Ausführungsbeispielen
als zu verbindende bzw. anzuschließende Werkstücke zugrundeliegenden Traganschluß-Schaltungseinheiten stellvertretend
für andere Arten von Werkstücken und insbesondere für elektronische
Schaltungselemente allgemein zu verstehen sind.
109828/1336
Claims (1)
- Dip !."Ing. W'cSier Jii-£?iS£Ci'i O Π i~! / 1 O QStuttgart M, MenzelstraSe 40 , . nk ξί^^νΤ/ίίA 32 075 fd AnsprücheVerfahren zum Verbinden der Anschlüsse eines Werkstücks mit einem Substrat mittels eines Verbindüngswerkzeugs unter gegenseitiger fluchtender Ausrichtung zwischen Werkstück.und Werkzeug auf einer Verbindungsachse mit Hilfe einer Abbildung von Werkzeug und Werkstück, wobei die Abbildung von Werkzeug und Werkstück über ein * transparentes Glied auf der Verbindungsachsesowie mit Vergrösserung durch ein optisches System erfolgt, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte:a) das Werkstück (30) und das Verbindungswerkzeug (58, 158» 203) werden nahe aneinanderund gleichzeitig in den Bereich der Gegenstandsweite eines vergrössrnden optischen Systems (27, 28, 188) gebracht, dessen optische Achse mit der Verbindungsachse (54, 164, 206) zusammenfälltjb) Werkstück und Werkzeug werden relativ zueinander in Abhängigkeit von ihrer gemeinsamenAbbildung (28, 44; 214, 212) zur gegenseitigen Ausrichtung gebracht;c) Werkzeug und Werkstück werden unter ;ejenseitiger Ausrichtung miteinander in Berürfung gebracht;d) ein vorgegebener Abschnitt eines undurchsichtigen Substrats (40) wird zur fluchtendenAusrichtung mit der Verbindungsachse gebracht;e) das Werkzeug und das mit diesem in Berührung stehende Werkstück werden zur Herstellung der Verbindung zwischen Werkstück und109828/1336Substrat in Druckberührung mit dem Substrat gebracht.Verfahren nach Anpruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei der Zusammenpressun,j von Werkstück und Substrat ein aus transparentem Material bestehendes Werkzeug verwendet wird und daß Werkstück und Substrat während wenigstens eines Teils der Zeitdauer der DruekberUhrung durch das transparente Werkzeug hindurch beobachtet werden.Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß Werkstück und Substrat während der gegenseitigen Ausrichtung durch ein nachgiebiges Anpassungsglied (44) von transparenter Beschaffenheit beobachtet v/erden.Verfahren zum Verbinden eines ersten Werkstücks mit einem zweiten Werkstück (Substrat), nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte:a) das erste Werkstück (30) wird mit einem vorgegebenen Abschnitt eines transparenten Anpassungsiliedes (44) zur fluchtenden Ausrichtun., gebracht, während dieses Werkstück durch das Anpassun;$3gliod beobachtet wird;b) das erste Werkstück und das Anpassungsglied werden unter Aufrechterhaltung ihrer Ausrichtung in gegenseitige Berührung gebracht;c) das mit dem Anpassungsglied in Berührung stehende erste Werkstück wird zur fluchtenden Ausrichtung mit einem vorgegebenen Abschnitt des zweiten Werkstücks (4o) gebracht« während die109 828/1336" ^ * BAD ORIGINALWerkstücke durch das Anpassungsglied beobachtet werden;d) zur HeKsbelluijLg. der Verbindung zwischen den Werkstücken wird ein Verbindungswerkzeug für eine vorgegebene Zeitdauer zur Anpressun.j ^egen den zur Ausrichtung herangezogenen Abschnitt des zweiten Werkstücks sowie gegen das erste Werkstück und das zwischenlie^end angeordnete Anpassungsglied gebracht, während die Werkstücke durch das Anpassungsglied hindurch beobachtet werden.Verfahren nach Anspruch Λ, gekennzeichnet durch folgende weiteren Verfahrensschritte:a) eine Mehrzahl von ersten Werkstücken wird auf eine transparente Auflage (70) gebraht;b) die Auflage wird in eine überschneidende Anordnung bezüV;livh der Verbindungsaciise (51O einer VerbLndungsmaschIne (20) gebracht;c) das Verbindun -swerkzeug wird gleichzeitig mit einem der ersten Werkstücke oder im Bereich der Verbindurigsachse bzw. auf dieser befindlichen Werkstückabschnitten durch die· trfisparente Auflage hindurch sowie über.ein vergrößerndes optisches System (27a 28) längs der Verbindungsachse beobachtetid) die Auflage wird in Abhängigkeit von der Beobachtung auf fluchtende Ausrichtung eines der ersten Werkstücke mit dem Werkzeug eingestellt;e) das Werkzeug wird längs der Verbindungaaehae zum Anggriff an dem fluchtend ausgerichteten ersten Markstliok gebracht;BAD ORiG(NAL 10 9 8 2 8/1336 . κ „f) das Werkzeug wird in eine Rückzugsstellung überführt;g) die Auflage wird aus ihrer überschneidenden Anordnung bezüglich der Verbindün^sächse herausgefahren. .6. Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein ausfahrbarer Tragblock (224) mit zwei sich schneidenden Bezugsflächen (230) und Halterungsmitteln (232) zur Aufrechterhaltung einer vorgegebenen Stellung eines gewünschten Substratabschnitts gegenüber den Bezu-flachen vorgesehen ist (Fi^. 17)·7* Einrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens zwei einstellbare Anschlüge (226) für die Bezugsflächen (230) vorgeseh-en isind.8. Einrichtung nach Anspruch 6 oder 7jf- dadurch gekenzeiehnet, daß ein Werkstückträger (184) mit einem transparenten Element (204) vorgesehen ist (Fig. 18).9. Einrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 6 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß ein wenigstens abschnittsweise lichtdurchlässiger Verbindungskopf (46) mit einer Kammer vorgesehen ist und dass diese Kammer an zwei Seiten von der Verbindungsachse durchsetzt und auf einer dieser Seiten durch ein transparentes Anlageteil sowie auf der entgegengesetzten dieser Seiten durch eine transparentes Glied abgeschlossen ist.10 9 8 2 8/1336BAD ORIGINAL-Ä-10. Einrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet» daß der Verbindungskopf auf einer dritten Seite seiner Kammer mit einer an eine ünfcerdruckqueile ansehliessbaren öffnung versehen ist.11. Einrichtung naeh Anspruch 9 oder 10» dadurch gekennzeichnet, daß die Form des transparenten Anlageteils einem Abschnitt des Seheifoenkörpers eines integrierten Iragansehluss-Sehaltungselementes angepasst ist* wobei sich die Anschlussleiter des Scha Itungse leflientes an dem Änlageteil abstützen.12. Einrichtung nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche 9 bis 11» dadurch gekennzeichnet, dass das transparente AnIajeteil aus Quarz besteht.Ϊ3. Einrichtung zur Durchführung des Verbindung»- Verfahrens nach Anspruch 3», dadurch gekennzeichnet» dass das transparente Anpassungsglied aus einem Polyiinld-PilDi besteht.ORIGiNAL1Ö9S28/1338Leersei te
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US88944769A | 1969-12-31 | 1969-12-31 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2064129A1 true DE2064129A1 (de) | 1971-07-08 |
Family
ID=25395107
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19702064129 Pending DE2064129A1 (de) | 1969-12-31 | 1970-12-28 | Verfahren und Einrichtung zum Ver binden von Werkstucken |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3696985A (de) |
BE (1) | BE761038A (de) |
CH (1) | CH521698A (de) |
DE (1) | DE2064129A1 (de) |
ES (1) | ES387427A1 (de) |
FR (1) | FR2072157B1 (de) |
GB (1) | GB1329290A (de) |
IE (1) | IE34783B1 (de) |
NL (1) | NL7019010A (de) |
SE (1) | SE369551B (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0013979A1 (de) * | 1979-01-25 | 1980-08-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Gerät zur Montage elektronischer Bauteile |
Families Citing this family (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL165332C (nl) * | 1970-10-07 | 1981-08-17 | Philips Nv | Inrichting voor het verbinden van een halfgeleider- inrichting met een substraat. |
US3774834A (en) * | 1971-07-20 | 1973-11-27 | J And A Keller Machine Co Inc | Bonding apparatus |
US3771711A (en) * | 1971-08-20 | 1973-11-13 | Western Electric Co | Compliant bonding |
US3901429A (en) * | 1972-05-01 | 1975-08-26 | Western Electric Co | Apparatus for compliant bonding |
US3800409A (en) * | 1972-05-01 | 1974-04-02 | Western Electric Co | Method for compliant bonding |
US3900244A (en) * | 1972-09-21 | 1975-08-19 | Teledyne Inc | Visual selection and precision isolation system for microelectronic units |
US3909915A (en) * | 1972-10-10 | 1975-10-07 | Leopold Samuel Phillips | Bonding apparatus |
FR2205800B1 (de) * | 1972-11-09 | 1976-08-20 | Honeywell Bull Soc Ind | |
US3860405A (en) * | 1972-11-13 | 1975-01-14 | Western Electric Co | Bonding of optical components |
JPS5647697B2 (de) * | 1973-06-26 | 1981-11-11 | ||
US3846905A (en) * | 1973-07-09 | 1974-11-12 | Texas Instruments Inc | Assembly method for semiconductor chips |
US3949926A (en) * | 1974-01-30 | 1976-04-13 | Diepeveen John C | Apparatus for incremental movement of die frame |
US4010885A (en) * | 1974-09-30 | 1977-03-08 | The Jade Corporation | Apparatus for accurately bonding leads to a semi-conductor die or the like |
US3946931A (en) * | 1974-11-27 | 1976-03-30 | Western Electric Company, Inc. | Methods of and apparatus for bonding an article to a substrate |
DE2841465B2 (de) * | 1978-09-23 | 1980-08-21 | Messerschmitt-Boelkow-Blohm Gmbh, 8000 Muenchen | Vorrichtung zum Verschweißen von Kontaktfahnen mit Sonnenzellen |
US4832251A (en) * | 1983-12-13 | 1989-05-23 | General Electric Company | Method of mounting semiconductor lasers providing improved lasing spot alignment |
US4603802A (en) * | 1984-02-27 | 1986-08-05 | Fairchild Camera & Instrument Corporation | Variation and control of bond force |
FR2571923B1 (fr) * | 1984-10-16 | 1987-02-20 | Farco Sa | Procede de soudage d'un composant electrique a un ensemble de pattes de connexion ainsi que machine et ruban pour la mise en oeuvre de ce procede |
US4768698A (en) * | 1986-10-03 | 1988-09-06 | Pace Incorporated | X-Y table with θ rotation |
US4899921A (en) * | 1988-10-28 | 1990-02-13 | The American Optical Corporation | Aligner bonder |
DE4207874C2 (de) * | 1992-03-12 | 2002-12-12 | Fraunhofer Ges Forschung | Visuelle Kontrolleinrichtung |
JP3132269B2 (ja) * | 1993-11-17 | 2001-02-05 | 松下電器産業株式会社 | アウターリードボンディング装置 |
NZ302567A (en) * | 1995-02-07 | 1999-04-29 | Procter & Gamble | Package or cap has a venting means permeable to gases and a protecting means to inhibit splashing against the venting means |
US6484585B1 (en) | 1995-02-28 | 2002-11-26 | Rosemount Inc. | Pressure sensor for a pressure transmitter |
US5637802A (en) * | 1995-02-28 | 1997-06-10 | Rosemount Inc. | Capacitive pressure sensor for a pressure transmitted where electric field emanates substantially from back sides of plates |
JP3346983B2 (ja) | 1996-06-17 | 2002-11-18 | 松下電器産業株式会社 | バンプボンディング装置及び方法 |
US6561038B2 (en) | 2000-01-06 | 2003-05-13 | Rosemount Inc. | Sensor with fluid isolation barrier |
US6505516B1 (en) | 2000-01-06 | 2003-01-14 | Rosemount Inc. | Capacitive pressure sensing with moving dielectric |
US6520020B1 (en) | 2000-01-06 | 2003-02-18 | Rosemount Inc. | Method and apparatus for a direct bonded isolated pressure sensor |
CN1151367C (zh) | 2000-01-06 | 2004-05-26 | 罗斯蒙德公司 | 微机电系统(mems)用的电互联的晶粒生长 |
US6508129B1 (en) | 2000-01-06 | 2003-01-21 | Rosemount Inc. | Pressure sensor capsule with improved isolation |
US6848316B2 (en) | 2002-05-08 | 2005-02-01 | Rosemount Inc. | Pressure sensor assembly |
US6814273B2 (en) * | 2002-09-12 | 2004-11-09 | Visteon Global Technologies, Inc. | Flatwire repair tool systems and methods |
US7342402B2 (en) * | 2003-04-10 | 2008-03-11 | Formfactor, Inc. | Method of probing a device using captured image of probe structure in which probe tips comprise alignment features |
CN104048779B (zh) * | 2014-05-30 | 2016-07-06 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 一种测温样本制作治具和制作设备 |
CN113858078B (zh) * | 2021-10-25 | 2023-04-07 | 山东瑞博电机有限公司 | 一种三相异步电动机壳体加工用夹具 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2710046A (en) * | 1954-11-24 | 1955-06-07 | Aristocrat Leather Products In | Ornamental sheet material and method of making same |
US3048690A (en) * | 1960-11-02 | 1962-08-07 | Bell Telephone Labor Inc | Bonding apparatus |
US3275795A (en) * | 1963-09-25 | 1966-09-27 | Westinghouse Electric Corp | Welding apparatus |
US3271555A (en) * | 1965-03-29 | 1966-09-06 | Int Resistance Co | Handling and bonding apparatus |
NL134969C (de) * | 1965-04-21 | |||
US3388848A (en) * | 1966-07-15 | 1968-06-18 | Signetics Corp | Alignment and bonding device and method |
US3520055A (en) * | 1967-04-26 | 1970-07-14 | Western Electric Co | Method for holding workpieces for radiant energy bonding |
US3448911A (en) * | 1967-06-15 | 1969-06-10 | Western Electric Co | Compensating base for simultaneously bonding multiple leads |
US3533155A (en) * | 1967-07-06 | 1970-10-13 | Western Electric Co | Bonding with a compliant medium |
US3458102A (en) * | 1967-08-09 | 1969-07-29 | Kulicke & Soffa Ind Inc | Semiconductor wafer pickup and bonding tool |
US3548493A (en) * | 1967-09-05 | 1970-12-22 | Wells Gardner Electronics | Method and apparatus for assembling electrical components on printed circuit boards |
-
1969
- 1969-12-31 US US889447A patent/US3696985A/en not_active Expired - Lifetime
-
1970
- 1970-12-03 IE IE1546/70A patent/IE34783B1/xx unknown
- 1970-12-23 SE SE17500/70D patent/SE369551B/xx unknown
- 1970-12-28 DE DE19702064129 patent/DE2064129A1/de active Pending
- 1970-12-29 GB GB6150370A patent/GB1329290A/en not_active Expired
- 1970-12-30 BE BE761038A patent/BE761038A/xx unknown
- 1970-12-30 CH CH1933770A patent/CH521698A/de not_active IP Right Cessation
- 1970-12-30 ES ES387427A patent/ES387427A1/es not_active Expired
- 1970-12-30 FR FR7047373A patent/FR2072157B1/fr not_active Expired
- 1970-12-30 NL NL7019010A patent/NL7019010A/xx unknown
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0013979A1 (de) * | 1979-01-25 | 1980-08-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Gerät zur Montage elektronischer Bauteile |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
IE34783L (en) | 1971-06-30 |
GB1329290A (en) | 1973-09-05 |
FR2072157B1 (de) | 1973-12-28 |
FR2072157A1 (de) | 1971-09-24 |
IE34783B1 (en) | 1975-08-20 |
NL7019010A (de) | 1971-07-02 |
BE761038A (fr) | 1971-05-27 |
CH521698A (de) | 1972-04-15 |
ES387427A1 (es) | 1974-08-01 |
SE369551B (de) | 1974-09-02 |
US3696985A (en) | 1972-10-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2064129A1 (de) | Verfahren und Einrichtung zum Ver binden von Werkstucken | |
DE3886979T2 (de) | Stanzvorrichtung für dünne Platten und in der Vorrichtung verwendete Stanzeinheiten. | |
DE3851065T2 (de) | Vorrichtung zum montieren einer druckplatte auf einem zylinder. | |
DE2613736A1 (de) | Werkzeugmaschine | |
DE3045243A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum genauen positionieren und einrichten von werkzeugsaetzen | |
DE3223992A1 (de) | Spannvorrichtung | |
DE3623891A1 (de) | Anordnung zur genauen gegenseitigen ausrichtung einer maske und einer halbleiterscheibe in einem lithographiegeraet und verfahren zu ihrem betrieb | |
DE3808210C2 (de) | ||
DE102014223121A1 (de) | Kunststoffschweißvorrichtung sowie dazugehöriges Kunststoffschweißverfahren | |
DE102013207599A1 (de) | Platziervorrichtung und Platzierverfahren zum lagegenauen Ausrichten und /oder Bestücken eines Substrates mit einem Bauelement | |
DE3142794A1 (de) | Siebdruckverfahren und -vorrichtung | |
DE3422566A1 (de) | Ueberwachungsvorrichtung fuer hochgeschwindigkeitsdrucke | |
DE102018001438A1 (de) | Vorrichtung zur Bearbeitung mindestens eines Werkstücks | |
DE102014014367A1 (de) | Kunststoffschweißvorrichtung sowie Kunststoffschweißverfahren hierfür | |
DE19857263A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Positionieren von Bauelementen auf Trägern | |
DE102010007890B4 (de) | Werkzeugmaschine zum Bearbeiten von schlanken Werkstücken | |
DE4239995A1 (de) | Gerät und Verfahren zum Bedrucken eines Schaltungsträgers | |
DE102020120198B4 (de) | Verfahren zur Montage einer Detektionsanordnung für ein Mikroskopsystem | |
EP0217741A2 (de) | Haltevorrichtung für einen Bild- oder Objektivrahmen einer Fachkamera | |
DE3330705A1 (de) | Werkzeugwechselvorrichtung fuer eine zentraleinheit fuer spanabhebende bearbeitung | |
DE4223158C2 (de) | Werkstück-Aufspannvorrichtung | |
DE2542159B2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Zusammensetzen eines stereoskopischen Bildes | |
DE202024100679U1 (de) | Werkzeugmaschine mit einer Prozesskamera und Prozessüberwachungssystem für eine Werkzeugmaschine | |
DE102005005903A1 (de) | Verfahren zum Verbinden zweier Fügeteile, Detektormodul, Detektor für Röntgenstrahlen und Computertomographiegerät | |
DE639520C (de) | Kamera mit am Gehaeuse allseitig frei beweglich gelagertem Mattscheibenrahmen |