DE2048125A1 - Verfahren zum Abgleich eines mecham sehen Filters - Google Patents

Description

SIEMENS AKTIEU(JESELLSCHAFT München, den 3 O. SER 19-70.

Berlin und München ■ Wittelsbacherplatz 2

™ 70/6774

Verfahren zum Abgleich eines mechanischen Filters

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abgleich eines mechanischen Filters, das aus mehreren, über mechanische Koppelelemente gekoppelten mechanischen Resonatoren besteht, von denen zumindest die Endresonatoren mit elektromechanischen Wandlern verbunden sind und die Einstellung einer vorgegebenen Übertragungscharakteristik durch Veränderung einzelner Filterelemente erfolgt.

Mechanische Filter sind bekanntlich in dem für sie geeigneten Frequenzbereich den aus konzentrierten Schaltelementen bestehenden Filtern unter anderem deshalb erheblich überlegen, weil sie bei einem nur geringen Raumverbrauch eine hohe Schwingungsgüte der einzelnen Resonatoren sowie eine hohe zeitliche Konstanz in Verbindung mit einer verhältnismäßig großen thermischen Konstanz aufzuweisen haben. Aufgrund der nicht zu vermeidenden Herstellungstoleranzen sowie der Schwankungen der Materialeigenschaften ist. es jedoch nicht möglich, bei einem Filter unmittelbar die theoretisch vorgegebene Übertragungscharakteristik zu erreichen und es ist deshalb erforderlich, die einzelnen Filterelemente so zu korrigieren, daß sich die Übertragungscharakteristik des Filters möglichst wenig von der theoretisch vorgegebenen unterscheidet. Für diese Korrektur der einzelnen Filterelemente ist bekanntlich auch der Ausdruck "Abgleich" üblich.

Allgemein läßt sich sagen, daß -die Eigenschaften eines mechanischen Bandfilters durch die Eigenfrequenzen und die Massen der einzelnen Resonatoren sowie durch die Stei· flgkeiten der Koppler gegeben sind. Diese drei Größen unterliegen Abweichungen von ihren Sollwerten, verursacht

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durch unvermeidliche Werkstoff- und Baufehler, Während , die Eigenfrequenzen der Resonatoren sich im Verlauf ihrer Herstellung in einfacher Weise abgleichen lassen, scheidet ein Abgleich der Massenfehler im allgemeinen sowohl aus wirtschaftlichen Gründen als auch wegen der Gefahr einer unzulässigen Veränderung des Ersatzschaltbildes aus. Ein Abgleich der Koppler wäre nur am.fertigen Filter möglich, da sich die Koppelfehler wesentlich aus Fehlern beim Zusammenbau bilden. Ein nachträglicher iterativer Abgleich an den Kopplern des fertigen Filters von Hand unter gleichzeitiger Beobachtung des Betriebsverhaltens scheidet jedoch ebenfalls aus, da das Betriebsverhalten bei jeder Frequenz in komplizierter Weise von sämtlichen Elementen abhängt und sich eine einmal vollzogene Änderung eines mechani-r schen Filterelements nicht mehr rückgängig machen läßt.

Aus diesen Gründen ist es bisher üblich, die Resonatoren vor dem Zusammenbau des Filters auf ihre Sollfrequenz abzugleichen, die Werkstoff- und Baufehler jedoch so gering zu halten, daß die Abweichungen des Filterverhaltens vom Sollverhalten ausreichend klein bleiben. Diesem Vorgehen sind jedoch bei sehr hohen Anforderungen an ein Filter, z.B. an seine Ebnung mit einem Reflexionsfaktor r *c 5#, gegenüber bisher r^10$, oder an sein Phasenverhalten, technische und wirtschaftliche Grenzen gesetzt.

Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Abgleich eines mechanischen Filters anzugeben, bei dem einerseits ein gezielter Abgleich der einzelnen Filterelemente möglich ist, und das andererseits einem vollautomatischen Abgleich unter Verwendung eines Prozeßrechners zugänglich ist, der alle für den Filterabgleich erforderlichen Maßnahmen steuert.

Ausgehend von einem Verfahren zum Abgleich eines mechanischen Filters, das aus mehreren, über mechanische Koppel-

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elemente gekoppelten mechanischen Resonatoren besteht, von denen zumindest die Endresonatoren mit elektromechanischen Wandlern verbunden sind und die Einstellung einer vorgegebenen Übertragungscharakteristik durch Veränderung einzelner Filterelemente erfolgt, wird diese Aufgabe erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das Filter durch einen der elektromechanischen Wandler zu mechanischen Schwingungen erregt wird, daß diese Schwingungen abgenommen werden und die Frequenzen der gemessenen Extremwerte dieser Schwingungen bei Leerlauf oder Kurzschluß des anderen elektromechanischen Wandlers einem Soll-Ist-Wert-Vergleich unterzogen werden, und daß aus den sich ergebenden Frequenzdifferenzen die Stellgrößen für eine Abgleichvorrichtung ermittelt werden, durch die der Abgleich der einzelnen Filterelemente nach Maßgabe dieser Stellgrößen vorgenommen wird.

Bei der Erfindung wird von der Überlegung ausgegangen, daß die Eigenschaften des Filters durch die vier Elemente seiner Kettenmatrix /A₁ B \vollständig bestimmt sind.

Λ =

Verhältnismäßig leicht meßbare und sehr scharfe Kriterien eines Filters sind seine Eigenfrequenzen, die in den vier Extremalbetriebszuständen, nämlich R₁=IZRg=OjOD ; R₁=Rg=OjCD den Nullstellen der Matrixelemente A₁, Ag, B, C entsprechen. Unter R. und Rg sind dabei die Abschlußwiderstände des Filters zu verstehen. Die Zahl der Nullstellen reicht aus, um mit Hilfe der Nullstellenfehler sämtliche Elementfehler zu bestimmen. Wegen der Kleinheit der Fehler ist ein nahezu linearer Zusammenhang zwischen Nullstellen- und Elementfehlern zu erwarten.

Es wird daher vorgeschlagen, die Nullstellen der Matrixelemente zu messen, aus den Nullstellenfehlern die Elementfehler zu bestimmen und diese als Ausgangsgrößen für den FiIterabgleich zu benutzen.

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Insbesondere wird zur wesentlichen Vereinfachung vorgeschlagen, bei Ersatzschaltungen entsprechend der später noch zu erläuternden Fig.2 lediglich die Nullstellen des Matrixelementes C des abzugleichenden Filters zu messen und die.daraus bestimmbaren Korrekturen für die Resonatorfrequenzen und Koppler anzubringen. Diese setzen sich zusammen aus einem Anteil zur teilweisen Korrektur der eigentlichen Koppelfehler sowie aus einem Anteil zur teilweisen Korrektur der Wirkungen der Massenfehler der durch die jeweiligen Koppler miteinander verbundenen Resonatoren, wobei wegen der Symmetrie der Schaltung und des Betriebszustandes, also wegen der daraus resultier-enden Nichtunterscheidbarkeit symmetrisch liegender Elemente die erforderlichen Korrekturen gleichmäßig auf zueinander symmetrisch liegende Elemente zu verteilen sind.

In der Regel sind dabei die infolge des Ausgleichs von Massenfehlern an den Kopplern notwendig gewordenen Korrekturen der Resonatorfrequenzen so klein, daß auf ihre Anbringung verzichtet werden kann.

Nachstehend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen noch näher erläutert.

Es zeigen in der Zeichnung:

Fig.1 ein aus mehreren, mechanisch gekoppelten, mechanischen Resonatoren bestehendes Filter;

Fig.2 das elektrische Ersatzschaltbild eines mechanischen Filters gemäß Fig.1;

Fig.3, 4 Fehlerverteilungen der Koppelfehler vor und nach der Korrektur an den Koppelelementen;

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Pig.5 den Aufbau einer Abgleichvorrichtung im Blockschaltbild;

Pig.6 eine weitere Anordnung zur Durchführung des Abgleiches im Blockschaltbild.

Fig.1 zeigt ein mechanisches Filter, das aus mehreren mechanischen Resonatoren 1, 2, 3...η besteht. Die einzelnen Resonatoren sind über die Koppler K12, K23, K34·.· miteinander gekoppelt und die gestrichelte Linie zwischen den Resonatoren 3 und η soll kenntlich machen, daß an sich beliebig viele weitere Resonatoren und Koppler vorhanden sein können. Die Endresonatoren des Filters, nämlich der Resonator 1 und der Resonator n, sind jeweils mit einem elektromechanischen Wandler W bzw. W verbunden. Die Wandler bestehen beispielsweise aus Plättchen elektrostriktiven Materials, die unmittelbar auf die aus einem metallischen Material bestehenden Resonatoren 1 und η aufgebracht und auf der den Resonatoren abgewandten Seite mit einer Metallisierung versehen sind. Es sei angenommen, daß der Wandler W den Eingangswandler und der Wandler W¹ den Ausgangswandler darstellen, wobei im Ausführungsbeispiel die Resonatoren als Biegeschwinger ausgebildet sind, deren Kopplung über im Bereich der Schwingungsmaxima angreifende Koppler erfolge. Legt man an die Eingangsklemmen 5» 5' eine elektrische Wechselspannung, so wird diese durch den Wandler W in mechanische Schwingungen umgewandelt, die am Ausgangswandler W¹ wiederum in elektrische Schwingungen umgewandelt werden und an den Klemmen 6, 6¹ als elektrische Wechselspannung abnehmbar sind.

Ein vereinfachtes elektrisches Ersatzschaltbild des mechanischen Filters nach Fig.1 ist in Fig.2 dargestellt, die eine Abzweigschaltung zeigt, in deren Querzweigen die Resonanzkreise 1 bis η liegen. Die einzelnen Resonanzkreise aind über in den Längszweigen liegende Koppelinduktivi-

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täten 112, 123» 134... miteinander gekoppelt. Die Resonanzkreise 1 bis η bilden dabei unmittelbar die Resonatoren■ .1 bis η von Fig.1 nach, so daß also auch die Eigenfrequenzen f1, f2, f3...fn der Resonatoren und der Schwingkreise übereinstimmen. Die elektromechanischen Wandler,W und W sind im Ersatzschaltbild durch die im Eingangslängszweig bzw. die im Ausgangslängszweig liegenden Spulen Io nachgebildet.

Entsprechend den eingangs angestellten Überlegungen läßt man die Ausgangsklemmen 6,6' des Wandlers W' entweder leerlaufen oder es werden diese Klemmen kurzgeschlossen.

φ Über den Eingangswandler W wird das Filter durch eine an den Klemmen 5, 5' anliegende Wechselspannung variabler Frequenz zu mechanischen Schwingungen erregt. Diese Schwingungen werden wiederum abgenommen und die Frequenzen der Extremwerte gemessen. Dies läßt sich beispielsweise im Falle des Leerlaufs mit Hilfe eines extrem hochohmigen Spannungsmessers bewerkstelligen, der an die Ausgangsklemmen 6, 6^f angeschlossen ist. Im Falle des Kurzschlusses läßt sich der Spannungsmesser durch einen geeigneten extrem niederohmigen Strommesser ersetzen. Die Frequenzen der gemessenen Extremwerte entsprechen praktisch den freien Eigenschwingungen eines mechanisch gekoppelten mechanischen Systems, das ein- und ausgangssei-

™ tig nicht belastet ist und es ist für diese Frequenzen auch der Ausdruck Koppelfrequenzen üblich. Durch eine dem Filterabgleich vorhergehende Netzwerkanalyse lassen sich die Koppelfrequenzen genau bestimmen und es kommt nun beim Abgleich des Filters darauf an, die gemessenen Koppelfrequenzen mit den theoretischen möglichst genau zur Übereinstimmung zu bringen. Hierzu werden die Frequenzen der gemessenen Extremwerte, wie später noch erläutert wird, einem Soll-Ist-Wert-Vergleich unterzogen und aus den sich dabei ergebenden Fiequenzdifferenzen werden dann die Stellgrößen für eine Abgleichvorrichtung ermittelt.

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Die Abgleichvorrichtung selbst nimmt dann den Abgleich der -einzelnen Filterelemente nach Maßgäbe dieser Stellgrößen vor.

Anstelle eines Kurzschlusses oder eines Leerlaufes kann der Ausgangswandler W auch durch ein Reaktanznetzwerk, wie z.B. elektrische Endkreise, abgeschlossen sein.

Erleichternd für den Abgleich wirkt sich insbesondere aus, wenn die Eigenfrequenzen aller Resonatoren auf ihre Sollwerte abgestimmt sind, und wenn die elektromechanischen Ankoppelelemente, dargestellt durch die Induktivitäten 1_Q in Fig.1, 2, ebenfalls vorab gemessen und gegebenenfalls abgeglichen werden können. Darüber hinaus genügt es in nahezu allen Fällen, nur elementsymmetrisehe Filter zu betrachten und sich auf kleine Fehler zu beschränken.

In der Regel genügt es, nur die Nullstellen des Leerlaufleitwertes, d.h. also das Matrixelement C der Kettenmatrix heranzuziehen. Für den Abgleich elementsymmetrischer Filter genügt es, daß der Abgleich auf symmetrisch liegende Filterelemente gleichermaßen verteilt wird. Ferner ist es möglich, die Messung der Istfrequenzen bei mechanisch freien oder bei mechanisch fest eingespannten, d.h. also bei mechanisch geklemmten Filterenden, vorzunehmen. Dabei erfolgt die Schwingungsanregung bzw. die Schwingungsabnähme durch elektromagnetische oder elektroakustisch^ Wandler und als Abgleichkriterium werden die Geschwindigkeitsresonanzen des Filterkörpers verwendet. Bei Verwendung relativ genau vorabgeglichener Resonatoren 1 bis η braucht der Abgleich häufig nur mehr an den Koppelelementen K12, K23... vorgenommen zu werden.

Die Nullstellen des Matrixelementes C werden bei beidseitigem Leerlauf der Ersatzschaltung, Fig.1, 2, gemessen und berücksichtigen daher voraussetzungsgemäß nicht die

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elektromechanischen Ankoppelelemente 1_Q in Fig.1, 2. Gemäß der gewählten Kraft-Strom-Arfalogie nach Fig.1, 2 entspricht dieser Betriebsfall einem in beidseitig elektrischem Kurzschluß gemessenen mechanischen Filter mit piezoelektrischen Antrieben.

Der Zusammenhang zwischen den Fehlern der zur Korrektur heranzuziehenden Elemente und den Nullstellenfehlern, dargestellt durch die Koeffizienten der "Fehlermatrix", ist für eine bestimmte Filterschaltung einmalig durch Analyse zu bestimmen. Zum Abgleich werden sodann aus den Nullstellenfehlern eines Filters über die aus der Fehlermatrix durch Inversion gewonnene "Korrekturmatrix" die Korrekturgrößen bestimmt.

Selbst bei einer sehr starken Vereinfachung des Verfahrens durch eine Beschränkung auf nur ein Matrixelement sowie auf die Anbringung gleich großer Korrekturen an symmetrisch zueinander liegenden Elementen, wobei im wesentlichen die sich sehr stark auswirkenden gleichsinnig gerichteten Fehleranteile dieser Elemente korrigiert werden, ergeben sich bereits ganz wesentliche Verbesserungen des Filterverhaltens, wie dies das Beispiel in den Fig.3, 4 zeigt. In den Fig.3 und 4 ist die Betriebsdämpfung a, nach Abzug des durch die Verluste hervorgerufenen Dämpfungsanteils im Durchlaßbereich eines Filters in Abhängigkeit von der Frequenz aufgetragen. Fig.3 zeigt eine größere Anzahl von Fehlerverteilungen, d.h. den Streubereich einer größeren Anzahl mechanischer Filter. Hierbei sind entweder die Koppler allein oder Koppler und Massen eines mechanischen

Bandpasses mit Fehlern behaftet, die sich aus einem systematischen Fehler und aus zufälligen Fehlern zusammensetzen. Sodann werden die mit Hilfe der Nullstellenfehler des Matrixelementes C über die Korrekturmatrix erfindungsgemäß bestimmten Korrekturen angebracht. Wie aus Fig.4 zu erkennen ist, ist der Streubereich bei genau der gleichen An-

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zahl mechanischer Filter durch den Abgleich erheblich kleiner geworden.

Zur Durchführung des Abgleiches ist z.B. ein Teinsandstrahlgebläse geeignet. Da hiermit nur ein Materlaiabtrag möglich ist, sind die Koppler mit einem entsprechenden Vorhalt zu bemessen. Die automatische Messung der Nullstellen, die Gewinnung der Abgleichgrößen und die Steuerung der Abgleicheinrichtung werden von einem Prozeßrechner vorge nommen .

In Fig.5 ist ein Beispiel dargestellt, bei dem die Steuerung zur Peststellung der Istfrequenzen, die Auswertung der Frequenzdifferenzen, die Ermittlung der Stellgrößen sowie die Veranlassung zur Durchführung des Abgleiches durch einen Prozeßrechner vorgenommen wird. Innerhalb der gestrichelt umrahmten Schaltung 10 ist hierbei ein Prozeßrechner PR angeordnet, der vor- und rückwirkend mit einem ihm zugeordneten Prozeßelement PE verbunden ist, wie dies durch den Pfeil 11 kenntlich gemacht ist. Das Prozeßelement PE steht einerseits mit einem Frequenzmesser FM in Verbindung, der die Istfrequenzen des ebenfalls nur schematisch dargestellten Filters F feststellt. Es sei dabei angenommen, daß das Filter F ein Filter gemäß Fig.1 sei. Der Prozeßrechner in Verbindung mit dem ihm fest zugeordneten Prozeßelement steuert dabei die Feststellung der Istfrequenzen und nimmt gleichzeitig die Auswertung der Frequenzdifferenzen aufgrund der in den Prozeßrechner fest eingegebenen Werte für die Koppelfrequenzen, d.h. also für die freien Schwingungen des mechanisch gekoppelten Systems, vor. Gleichzeitig ermittelt der Prozeßrechner PR die Stellgrößen und veranlaßt über das Prozeßelement PE die Abgleichvorrichtung A am Filter F, d.h. also an den Resonatoren und an den Koppelelementen des Filters F, den Abgleich vorzunehmen. Der Abgleich läßt sich gegebenenfalls in mehrere Schritte, also beispiels-

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weise in einen Grob- und einen Feinabgleich unterteilen» Darüber hinaus ist es möglich, daß durch den Prozeßrechner PR mehrere Abgleicheinrichtungen simultan gesteuert werden, wie dies durch die Pfeile 12 kenntlich gemacht ist. Mit anderen Worten heißt dies, daß mehrere Frequenz>messer PM und Abgleichvorrichtungen A an den Prozeßrechner PR angeschlossen werden können, was insbesondere deshalb günstig ist, weil die grofle Rechenkapazität eines derartigen Rechners dadurch gut ausgenutzt wird.

In Pig.6 ist eine weitere Möglichkeit zum automatischen Abgleich des Filters P gezeigt. Es wird hierbei wiederum ein Prozeßrechner PR in Verbindung mit einem ihm unmittelbar zugeordneten Prozeßelement PE verwendet. Durch die Pfeile 12 ist wiederum kenntlich gemacht, daß vom Prozeßrechner PR mehrere Abgleichvorrichtungen gesteuert werden können. Zur Schwingungsanregung des Filters F wird ein digitaler Sender 16 verwendet, dessen Frequenz über eine Prequenzsteuereinrichtung 17 vom Prozeßelement PE gesteuert wird. Die Amplituden Amp der vom Filter F abgegebenen elektrischen Schwingungen werden über einen Empfänger 18 und das Prozeßelement PE dem Prozeßrechner PR zugeführt. Entsprechend den Frequenzänderungen der Empfangsamplitude steuert der Prozeßrechner die erforderlichen Frequenzstellschritte für den Sender 16 zur Auffindung aller Resonanzfrequenzen und übergibt nach Auffindung aller Resonanzen, nach der Ermittlung sämtlicher Frequenadifferenzen und nach der Berechnung der Änderungsgrößen die Stellgrößen über das Prozeßelement PE an die Abgleichvorrichtung A zur Ausführung. Die Abgleicheinrichtung kann beispielsweise in Form eines Sandstrahlgebläses oder in Form eines Lasers ausgebildet sein. Das Sandstrahlgebläse nimmt nacheinander an allen abzugleichenden Stellen, also beispielsweise an Resonatoren und Kopplern, so viel Material weg, bis die Istwerte der Koppelfrequenzen mit den theoretischen Sollwerten in vorgebbaren Grenzen über-

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einstimmen. Wenn zum Abgleich ein Laserstrahl verwendet wird, dann wird das abzutragende Resonator- bzw. Kopplermaterial beispielsweise durch Verdampfen abgetragen. Die Strahlzeit bzw. die Lichtintensität für die Abgleicheinrichtung A wird also mit Hilfe der vom Prozeßelement PE gesteuerten Schaltungseinheit T gesteuert. Zum Abgleich der Koppelelemente ist es ebenfalls möglich, eine Einrichtung zum Nachtempern des für die Koppler verwendeten Materials vorzusehen. Es ist dies immer dann möglich, wenn für die Koppelelemente ein Material verwendet wird, das eine Anomalie im Temperaturkoeffizienten des Elastizitätsmoduls aufweist, wie dies in einem älteren Vorschlag bereits ausgeführt ist. In-diesem Pail wird also durch die Schaltungseinheit T die Temperatur zum Nachtempern der Koppelelemente gesteuert.

11 Patentansprüche
6 Figuren

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Claims (11)

1. Patentansprüche

   ( 1./Verfahren zum Abgleich eines mechanischen Filters, das aus mehreren, über mechanische Koppelelemente gekoppelten mechanischen Resonatoren besteht, von denen zumindest die Endresonatoren mit elektromechanischen Wandlern verbunden sind und die Einstellung einer vorgegebenen Übertragungscharakteristik durch Veränderung einzelner Filterelemente erfolgt, dadurch gekenn zeichnet , daß das Filter durch einen der elektromechanischen Wandler (W) zu mechanischen Schwingungen erregt wird, daß diese Schwingungen abgenommen werden und die Frequenzen der gemessenen Extremwerte dieser Schwingungen bei Leerlauf oder Kurzschluß des anderen elektromechanischen Wandlers (W¹) einem SoIl-Ist-Wert-Vergleich unterzogen werden, und daß aus den sich ergebenden Frequenzdifferenzen die Stellgrößen für eine Abgleichvorrichtung (A) ermittelt werden, durch die der Abgleich der einzelnen Filterelemente (1 bis n; K12,K23,K34...) nach Maßgabe dieser Stellgrößen vorgenommen wird.
2. 2. Verfahren nach Anspruch 1,dadurch gekennzeichnet , daß zumindest einer der elektromechanischen Wandler (z.B. W') durch ein Reaktanznetzwerk abgeschlossen ist.
3. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,dadurch gekennzeichnet, daß für den Abgleich elementsymmetrischer Filter der sich aus den Stellgrößen ergebende Abgleich auf symmetrisch liegende Filterelemente gleichermaßen verteilt wird.
4. 4. Verfahren nach Anspruch 3,dadurch gekennzeichnet, daß die Messung der Ist-Frequenzen bei mechanisch freien oder bei mechanisch geklemmten

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   Filterenden (i,n) erfolgt, und daß als Abgleichkriteriura die G-eschwindigkeitsresonanzen des Filterkörpers verwendet werden.
5. 5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , daß bei Verwendung relativ genau vorabgeglichener Resonatoren (1 bis n) der Abgleich nur mehr an den-Koppelelementen (K12,K23,K34..·) vorgenommen wird.
6. 6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuerung zur Feststellung der Ist-Frequenzen, die Auswertung der Frequenzdifferenzen, die Ermittlung der Stellgrößen und die Veranlassung zur Durchführung des Abgleiche (A) durch einen Prozeßrechner (PR) vorgenommen werden.
7. 7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet , daß der Abgleich (A) in mehrere Schritte unterteilt wird.
8. 8. Verfahren nach Anspruch 6 oder 7,dadurch gekennzeichnet, daß durch den Prozeßrechner (PR) mehrere Abgleicheinrichtungen (12) simultan gesteuert werden.
9. 9. Anordnung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der vorhergehenden Ansprüche unter Verwendung eines Prozeßrechners, dadurch gekennzeichnet, daß zur Schwingungsanregung des Filters (F) ein über ein Prozeßelement (PE) vom Prozeßrechner (PR) gesteuerter digitaler Sender (16) vorgesehen ist, daß die Amplitude (Amp) der vom Filter (F) abgegebenen elektrischen Schwingungen über einen Empfänger (18) und das ProzeQelement (PE) dem Prozeßrechner (PR) zuge-

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   führt wird, der entsprechend den Prequenzanderungen der Empfangsamplitude (Amp) die erforderlichen Frequenzstellschritte für den Sender (16) zur Auffindung aller Resonanzfrequenzen steuert, und nach Auffindung aller Resonanzen, nach Ermittlung der Frequenzdifferenzen und Berechnung der Änderungsgrößen die Stellgrößen über das Prozeßelement (PE) an die Abgleichvorrichtung (A) zur Ausführung übergibt.
10. 10. Anordnung nach Anspruch 9» dadurch gekennzeichnet, daß die Abgleicheinrichtung (A) als Sandstrahlgebläse oder in Form eines Lasers ausgebildet ist. '
11. 11. Anordnung nach Anspruch 9 oder 10»dadurch gekennzeichnet, daß zum Abgleich der Koppelelemente (K12,K23,K34....) eine Einrichtung zum Nachtempern zur Änderung ihres Ε-Moduls vorgesehen ist.

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