DE204365T1 - Messverfahren und -vorrichtung unter verwendung harter roentgenstrahlen. - Google Patents
Messverfahren und -vorrichtung unter verwendung harter roentgenstrahlen.Info
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Claims (14)
1. Vorrichtung zum quantitativen Messen eines Gegenstands
unter Verwendung harter Röntgenstrahlen, mit einem Paar
erster und zweiter Sensoreinrichtungen zum Empfang harter, von einer identischen Röntgenstrah IenqueI Ie ausgesandter
Röntgenstrahlen, wobei die erste Sensoreinrichtung die
harten Röntgenstrahlen von der Quelle direkt empfängt,
während die zweite Sensorei&eegr;richtung die harten Röntgenstrahlen
empfängt, die durch den Gegenstand, der auf einem unterhalb der RöntgenstrahlenqueI Ie angeordneten
Tisch abgestützt ist, hindurchgedrungen sind, und wobei
die Intensität der von der ersten Sensorei&eegr;richtung erfaßten,
harten Röntgenstrahlen als ein Bezugswert zur Ausführung
der quantitativen Messung mit den harten Röntgenstrahlen verwendet wird, dadurch g e k e &eegr; &eegr; zeichnet,
daß der Tisch zum Abstützen des Meßgegenstands beweglich ist und daß die zweite Sensoreinrichtung
eine RöntgenbiId-Aufnahmekamera und einen Röntgenstrahlen-
Bildpunktsensor aufweist, die alternativ zu einer Empfangsstelle der von der Röntgenstrahlenquelle
stammenden, harten Röntgenstrahlen relativ verschiebbar
angeordnet sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, die ferner eine Filtereinrichtung aufweist, die an einer Stelle zwischen der Röntgenstrahlenquelle
und der ersten und zweiten Sensoreinrichtung angeordnet ist, wobei die Filtereinrichtung einen ersten
Filterabschnitt für die erste Sensoreinrichtung und einen
zweiten Filterabschnitt für die zweite Sensoreinrichtung
aufweist und der erste und zweite Filterabschnitt so festgelegt
sind, daß die Relation zwischen der Dicke des Gegenstands und dem Absor&rgr;tionskoeffi&zgr;ient en der harten Röntgenstrahlen
in x, y-Ko-ordinaten durch eine gerade Linie
graphisch beschrieben ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, wobei die FiLtereinrichtung
eine Drehfilterscheibe ist und der erste und zweite Filterabschnitt jeweils eine Vielzahl von Filterelementen
aufweist, die in der Scheibe gegenseitig und längs des Um
fangs mit Zwischenräumen angeordnet sind und jeweils einer
von verschiedenen Spannungen entsprechen, die wahlweise an
die Röntgenstrahlenquelle angelegt wird, und wobei die
Drehfilterscheibe gedreht wird, um auf eines der Filterelemente umzuschalten, das der ausgewählten, der Quelle angelegten Spannung entspricht, so daß es sich an der Stelle
zwischen der Quelle und der ersten und zweiten Sensoreinrichtung befindet.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, wobei der Tisch in drei Richtungen x, y und &zgr; dreidimensional beweglich ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4 , wobei der Röntgenstrahlen-Bi Idpunktsensor mit einem Gehäuse ausgestattet ist, das
eine BiIdpunktöffnung aufweist, durch die die harten
Röntgenstrahlen hindurchgehen, und wobei das Gehäuse be
züglich der Empfangsstelle der durch den Gegenstand hin
durchgegangenen, harten Röntgenstrahlen hin- und herbeweglich ausgestaltet ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 4, die ferner eine Steuer-/Verarbeitungsstation umfaßt, die wenigstens eine erste und
eine zweite Steuereinrichtung und einen Rechner aufweist,
der mit der' ers te &eegr; und zweiten Steuereinrichtung zur Be
tätigung der Drehfi 11erscheibe durch die erste Steuerein
richtung und des Tisches durch die zweite Steuereinrichtung
zusammenarbeitet.
7. Vorrichtung nach Anspruch 1, die ferner eine Steuer-/Verärbeitungsstation umfaßt, die eine Funktionseinrichtung,
die ein erstes von der ersten Sensoreinrichtung erfaßtes
Signal und ein zweites von dem in der zweiten Sensoreinrichtung vorgesehenen Röntgenstrahlen-BiLdpunktsensor erfaßtes
Signal, empfängt, und einen der Funktionseinrichtung
betrieblich zugeordneten Rechner aufweist, wobei die Funktionseinrichtung den logarithmischen Wert des Verhältnisses
zwischen dem ersten und dem zweiten erfaßten Signal bi Idet .
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, die ferner eine Anzeigestation
zur Anzeige des zweiten, von der zweiten Sensoreinrichtung
erfaßten Signals aufweist.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, wobei die Anzeigestation ein
Oszilloskop aufweist, auf dem ein Röntgenbild des Gegenstands von der RöntgenbiId-Aufnahmekamera angezeigt wird.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, wobei die Anzeigestation der
Steuer-/Verarbeitungsstation betrieblich zugeordnet ist.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, wobei die Anzeigestation
ferner einen Drucker aufweist.
12. Verfahren zum quantitativen Messen eines Gegenstands unter
Verwendung harter Röntgenstrahlen, bei dem man an einer
ersten Sensoreinrichtung die harten Röntgenstrahlen
empfängt, die von einer Röntgenstrahlenque11e ausgesandt
werden, ohne dabei den zu messenden Gegenstand zu durchdringen, bei dem man an einer zweiten Sensoreinrichtung
die harten Röntgenstrahlen, die von der gleichen Röntgenst
rah L enque I I e stammen und den Gegenstand durchdrungen
haben, empfängt und bei dem man das Verhältnis zwischen einer Bezugsint ensität der mit Hilfe der ersten Sensoreinrichtung
erfaßten, harten Röntgenstrahlen und der Intensität
der mit Hilfe der zweiten Sensoreinrichtung erfaßten,
harten Röntgenstrahlen gewinnt, dadurch . g e -
ke &eegr; &eegr; &zgr; e i c h &eegr; e t ,daß man den Empfang der.harten
RöntgenstrahLen an der zweiten Sensoreinrichtung durchführt, während der Gegenstand bewegt wird, und daß die
zweite Sensoreinrichtung abwechselnd eine Erfassung eines
RöntgenbiIdes des Gegenstands und eine hochpräzise Erfassung bezüglich eines begrenzten Teils des Gegenstandes
ausführt.
13. Verfahren nach Anspruch 12, wobei der Schritt der Gewinnung des Intensitätsverhältnisses den Schritt der
Erstellung der Relation zwischen der Dicke des Gegenstands und dem Absorptionskoeffizienten der harten Röntgenstrahlen
umfaßt, die in x, y-Koordinaten graphisch als gerade Linie
dargestellt wird.
14. Verfahren nach Anspruch 13, wobei der Schritt der Gewinnung des Intensitätsverhältnisses den Schritt der Ermittlung des logarithmischen Werts der Relation umfaßt.
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