DE2037704C - - Google Patents

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DE2037704C
DE2037704C DE19702037704 DE2037704A DE2037704C DE 2037704 C DE2037704 C DE 2037704C DE 19702037704 DE19702037704 DE 19702037704 DE 2037704 A DE2037704 A DE 2037704A DE 2037704 C DE2037704 C DE 2037704C
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DE3805161A1 (de) * 1988-01-20 1989-08-03 Schmidt Feinmech Verfahren zum messen einer beschleunigung, beschleunigungssensor und verfahren zu dessen herstellung

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