DE2012446B2

DE2012446B2 - Einrichtung zum optoelektrischer! Prüfen von mit Leiterbahnen versehenen Lagen von Ein- oder Mehrlagenleiterplatten

Info

Publication number: DE2012446B2
Application number: DE19702012446
Authority: DE
Inventors: Guenter Dipl.-Ing. 8016 Feldkirchen Schade
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1970-03-16
Filing date: 1970-03-16
Publication date: 1974-04-25
Also published as: DE2012446A1; DE2012446C3

Description

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wegt werden, daß sie in Spalten und jede Spalte in sein. In Spaltenrichtung kann der Schlitten vorteil

Zeilen unterteilt erscheint.. Mit Hilfe der Bewegung hafterweise an beiden Seiten über die von der zu prü

des Abtaststrahles der Abtasteinrichtung (bzw. eines fenden Lage her notwendige Randlage hinaus weiter

Spiegels) kann dann noch jede Zeile in Punkte einge- bewegt werden. Dies ist dann der Beschleunigungs

teilt werden. Die Einstellung auf die gewünschte 5 bzw. Bremsbereich bei Start und Stop des Schlittern

Spalte und die gewünschte Zeile wird somit von in Spaltenrichtung. Während ?^;ch die zu prüfend<

einem in zwei Dimensionen verschiebbaren Schlitten Lage unter der Abtasteinrichtung befindet, soll dei

SCH durchgeführt, auf dem die zu prüfende Lage Schlitten konstante Geschwindigkeit haben, um der

aufgespannt ist, während die Auswahl eines be- Lagefehler möglichst Vlein zu halten. Der Zeitraum

stimmten Punktes innerhalb der betreffenden Zeile io in dem sich die zu prüfende Lage nicht mehr untei

von einer mechanisch feststehenden optoelektroni- der Abtasteinrichtung befindet, kann dazu benutzi

sehen Abtasteinrichtung A TE vorgenommen wird. werden, um den Schlitten auf die nächste Spalte ein-

Natürlich könnte auch die Abtasteinrichtung bewegt zustellen,

und der Prüfling feststehend gelassen werden Ein Ausführungsbeispiel der Abtast- und Ver

Die Schlittensteuerung SLS gibt einen Befehl zui :j gleichssteuerung AVS ist in Fig.2 dargestellt. Wäh-Einstellung auf eine bestimmte Spalte. Auf einen rend der Abtastung einer Zeile werden von der Ab-Startbefshl hin, bewegt sich dann der Schlitten SCH tasteinrichtung ATE der Punktzähltakt dem Einmit annähernd gleichförmiger Geschwindigkeit über gang A und das Istwertsignal dem Eingang B der Abdie gesamte Spaltenlänge hinweg, so daß der Reihe last- und Vergleichssteuerung A VS zugeführt. Dabei nach alle Zeilen der betreffenden Spalte unter die ao herrscht zwischen dem Punktzähltakt und dem Istoptoelektronische Abtasteinrichtung ATE zu liegen wertsignal ein Synchronismus. Das heißt, wenn dei kommen. Die Abtastung erfolgt dabei fliegv„d. Bei n-te Punktzähltakt geliefert wird, entspricht das Istjeder Zeile liefert die Schlittensteuerung SLS ein Syn- wertsignal dem Oberflächenzustand des η-ten Punkchronisiersignal (Zeilenzähltakt) an die Spiegelsteue- tes auf der Zeile, wobei die Zeile als Ganzes innerrung SPS. Diese wiederum führt auf jedes dieser Syn- »5 halb eines gegebenen Toleranzbereiches verschoben chronisiersignale hin ein Startsignal der Abtastein- sein darf. Der Punktzähltakt wird einem Absolutrichtung ATE τη. Diese tastet dann die Punkte einer punktzäh'er AP zugeleitet. Er zählt die Punktzähl-Zeile ab. Die Abtasteinrichtung oder die Ablauf- takte pro Zeile.

steuerung selbst liefert für jeden abgetasteten Punkt Der Stand des Absoluipunktzählers AP gibt also

einen Zählimpuls, den sogenannten Punktzähltakt, 30 Aufschluß darüber, an welcher Stelle innerhalb einer

der in der Ablaufsteuerung ABL weiterverarbeitet Zeile sich der Abtaststrahl gerade befindet. Über die

wird. UND-Schaltung Gl wird der jeweilige Momentan-

Für jede Zeile erzeugt die Abtasteinrichtung A TE v,>ert des Istwertsignals zur Zwischenspeicherung, ein digitales Istwertsignal, das in jedem Moment dem einem Istwertregistsr IR zugeführt. Am Ausgang des Zustand des gerade abgetasteten Punktes der betref- 35 Istwettregisters IR ist ein Differenzierglied DG ange fenden Zeile auf der Oberfläche des Prüflings ent- schlossen, das die Istwertsignale differenziert. An seispricht (z.B. Metali = »1«, Isolierstoff - »0«). nem Ausgang erscheint nur zu den Zeitpunkten eine Gleichzeitig werden die Punktzähltakte erzeugt. Soll binäre »1«, an denen sich der Istwert gerade von Null z. B. jede Zeile in 500 Punkte unterteilt werden. auf Eins oder von Eins auf Null geändert hat. d. h. an dann muß die Abtasteinrichtung ATE während der 40 dem sich der Oberflächcuzusiand der zu prüfenden Abtastung jeder Zeile 500 Punktzähltakte liefern, und Lage geändert hat. Das differenzierte Istwertsignal, das Istwertsignal muß zur Verarbeitung (Sollwert- das im folgenden als Wertewechselsignal bezeichnet Istwertvergleich) in 500 Bits unterteilt werden. Der wird, wird über die Wertewechselsignalleitung WS Punktzähltakt erhöht laufend einen Punktzähler. dem Rücksetzeingang eines Relativpunktzählers RP Dieser gibt also Auskunft darüber, welchem Punkt 45 zugeleitet. Der Zähleingang des Relativpunktzählers der betreffenden Zeile der jeweilige Momentanwert RP ist mit dem Eingang A für die Punktzähltakte des Istwertsignals zugeordnet ist. verbunden. Der Stand des Relativpunktzählers RP

Die Abtasteinrichtung A TE ist z. B. so realisiert, im Moment des Rücksetzens gibt somit darüber Aufdaß jeder Punkt der (genügend hell beleuchteten) ab- Schluß, wie weit benachbarte Leiterbahnkanten vonzutastenden Zeile nach dem anderen über einen 50 einander entfernt sind.

Schwing- oder Drehspiegel und eine Optik auf einen Der Ausgang des Absolutpunktzählers AP ist mit schnellen Licht-Spannungswandler (z. B. Fotover- einer Vergleichsschaltung VG1 verbunden. Der Vervielfacher) abgebildet wird, an dessen Ausgang das gleichsschaltung FGl wird außerdem von einem Istwertsignal abgenommen werden kann. Oder ein Absolutsollwertregister ASR der Sollwert der Lage Laserstrahl wird über eine Optik mit einem Schwing- 55 der Leiterbahnkanten auf dem Prüfling zugeleitet, oder Drehspiegel auf je einen Punkt der abzutasten- Der Stand des Absolutpunktzählers AP und der Soliden Zeile gelenkt, und das Streulicht wird in eine wert von dem Absolutsollwertregister ASR werden in Spannung umgewandelt. Schließlich könnte das Ab- der Vergleichsschaltung VG1 verglichen. Weichen tastsystem auch aus einem Fernsehauge bestehen, die beiden Werte voneinander ab, dann liegt ein Fehdas eine ganze Anzahl von Zeilen jeweils zwischen- 60 lerfall vor, und die Vergleichsschaltung VG1 gibt ein speichert und dieses Bild anschließend elektronisch Fehlersigna] ab. Dieses Fehlersignal steuert eine abtastet. UND-Schaltung G 4 an, die außerdem mit dem Aus-

Der Schlitten ist in zwei Richtungen verschiebbar. gang des Absolutpunktzählers AP verbunden ist. Im

Es ist jedoch nicht notwendig, daß er in beiden Rieh- Fehlerfall wird die UND-Schaltung GA geöffnet, und

tungen gleichzeitig bewegt werden kann. In der Zei- 65 der Inhalt des Absolutpunktzählers AP wird in ein

lenrichrung kann er programmgesteuert eine be- Fehlerregister FR eingespeichert,

stimmte Spalte ansteuern, im allgemeinen wird das Auf die gleiche Art wird der Inhalt des Relativ-

immer eine benachbarte Spalte nach der anderen punktzählers RP mit dem Inhalt eines Relativsoll-

A Λ A Λ

u ij υ ι

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wertregisters ASR in einer Vergleichsschaltung VG 2 gebbarer Schranken liegt. Nach durchgeführtem Ververglichen. Bei Ungleichheit wird ebenfalls ein Feh- gleich werden alle vier Registergruppen um ein Regiiersigna¹ in der Vergleichsschaltung VG 2 angezeigt, ster weiter geschoben, damit die nächsten Sollwerte das die UND-Schaltung G 4 ansteuert. In dem ReIa- /um Vergleich bereitstehen. Bei jeder Zeile werden tivsoll wert register RSR steht der Sollwert des Ab- 5 also alle Register insgesamt um einen vollen Umlauf Standes von nebeneinanderliegenden Leiterbahnkan- verschoben,
ten einer Lage. An manchen Stellen einer Leiterplatte ist der Zu-

Die Sollwertregister ASR und RSR können nun stand in einem Teil einer Zeile Undefiniert (s. dazu

vorteilhaJ'terweise aus ersten und zweiten Registern F i g. 3). Wegen der Toleranz eines Lötauges LA und

aufgebaut sein. In den ersten Registern sind dann die io des Schlittens ist nicht sicher, ob die betreffende

oberen Grenzen des Sollwertes, in den zweiten Regi- Zeile ZL das Lötauge LA anschneidet oder nicht an-

stern die unteren Grenzen des Sollwertes gespeichert. schneidet (Toleranzbereich 7"L). Es muß deshalb das

Dann muß der Istwert nicht genau mit einem Soll- Wertewechselsignal eine Zeit lang gesperrt werden,

wert übereinstimmen, es genügt vielmehr, daß er zwi- Dies erfolgt mit Hilfe eines Maskenregtsters MR. In

sehen der oberen und der unteren Grenze des Soll- 15 den Registerstufen des Maskenregisters stehen die

wertes liegt. Durch den Bereich zwischen der oberen Anfangs- und Endadresse des zu maskierenden Be-

und der unteren Grenze des Sollwertes wird ein reiches, d. h. des Bereiches, in dem keine Wertewech-

Toleranzbereich vorgegeben, in dem die Leiterbahn- selsignale zu dem Relativpunktzähler RP gelangen

kanten verschoben sein können. dürfen. Diese Adressen werden in einer Vergleichs-

Die ersten Register des Absolutso'iwertregisters 20 schaltung VG 3 mit dem Inhalt des Absolutpunkt- ASR sind im Ausführungsbeispiel der F i g. 2 mit RA Zählers AP vergehen; bei Gleichheit wird eine bezeichnet, die zweiten Register mit RB. Die ersten UND-Schaltung G 3 angesteuert, die dann offen ist. Register des Relativsollwertregisters RSR sind mit wenn das dieser Adresse zugeordnete ivlarkierungsbit RC, die zweiten Register mit RD benannt. Es sind 16 in den Speicherstellen 5PM »1« ist. Das Ausgangssi-Registerstufen aus ersten und Zweiten Registern vor- 25 gnal der UND-Schaltung G 3 setzt ein Maskengesehen, wobei die Anzahl der Registerstufen der Flip-Flop MFF, das eine in die Wertewechselsignalmaximalen Anzahl der Leiterbahnkanten innerhalb zuleitung WS eingefügte UND-Schaltung G 2 sperrt, einer Zeile entsprechen. Die Registerstufen der er- Die Wertewechselsignale können dann nicht mehr sten und zweiten Register sind jeweils zu einem Ring von dem Differenzierglied DG zum Relativpunktzähzusammengeschlccsen. Sollen nicht alle ersten und 30 ler RP gelangen.

zweiten Register zum Vergleich herangezogen wer- Die in den ersten und zweiten Registern des Absoden, dann werden entsprechende Markierungsbits. iutsollwertregisters ASR und des Relativsollwertregiz. B. eine binäre »0«. in die den ersten und zweiten sters RSR und die in dem Maskenregister MR ste-Registern zugeordneten Speicherzellen SP einge- henden Informationen bleiben im allgemeinen über schrieben. ^{35 vieIe} Zeilen hinweg konstant, da die Leiterbahnen

Entsprechend der Unterteilung der Sollwertregister auf dem Prüfling zum großen Teil parallel verlaufen. ASR und RSR in erste und zweite Register, werden In einem Weckregister WR ist nun hinterlegt, bei auch die Vergleichsschaltungen FGl, VGl in je welchem nächsten Stand eines Zeilenzählers ZZ die zwei ^v°rgleicher unterteilt. Ein erster Vergleicher ist Register der Abtast- und Vergleichssteuerung AVS der unteren Grenze des Sollwertes zugeordnet, der 40 umgeladen werden müssen. Dazu wird der Abtastandere Vergleicher der oberen Grenze des Sollwer- und Vergleichssteuerung A VS von der Schlittensteue-'.cs. Zum Beispiel besteht die Vergleichsschaltung rung SLS ein Zeilenzähltakt zugeführt, der auf den VG1 aus dem Vergleicher A U für die untere Grenze Zeilenzähler ZZ gelangt. Der Inhalt des Zeilenzählers des Sollwertes und aus dem Vergleicher AO für die ZZ wird mit dem Inhalt des Weckregisters WR verobere Grenze des Sollwertes, entsprechend die Ver- 45 glichen, und zwar in der Vergleichsschaltung VG 4. alcichsschaltung VG2 aus dem Vergleicher RU für Bei Gleichheit werden dann Informationen, z.B. von die untere Grenze des Sollwertes und dem Verglei- einer Datenverarbeitungsanlage DVA, an die SoIlc her RO für die obere Grenze des Sollwertes. Wertregister und das Maskenregister geliefert. Die

Die Wirkungsweise der Register und der Verglei- Adresse der in die Sollwertregister und das Masken-

c-lier soll an einem Beispiel erläutert werden. Es sei 50 register zu speichernden Information kann z. B. in

angenommen, daß innerhalb der abzutastenden Zeile einem Leseadreßregister eingeschrieben sein.

vier Leiterbahnen liegen. Beim Abtasten der Zeile Der Inhalt der Fehlerregister FR kann der Daten-

wird folglich achtmal ein Wertewechselsignal am verarbeitungsanlage DVA geliefert werden. Die

Ausgang des Differenziergliedes DG erscheinen. Der Übernahme der Information von den Fehlerregistem

jeweilige momentane Stand des Absolutpunktzählers 55 in die Datenverarbeitungsanlage und von der Daten-

AP gibt Aufschluß darüber, wie weit die betreffende verarbeitungsanlage in die Sollwert- und Maskenregi-

Leiterbahnkante vom Zeilenanfang entfernt ist, der ster kann während der Zeit erfolgen, in der die Ab-

ieweilige momentane Stand des Relativpunktzählers tasteinrichtung von einer Zeile auf die nächste umge-

RP gibt Aufschluß darüber, wie weit die betreffende schaltet wird.

1 eiterbahnkante von der vorhergegangenen Leiter- 60 Die Schaltungsanordnung nach F i g. 2, bei der die bahnkante entfernt ist Die jeweiligen momentanen einzelnen Bausteine, z. B. die Register und die Zäh-Stände von Absolutpunktzähler AP und Relativ- ler, auf bekannte Weise aufgeb-ut sein können, soll punktzähler RP werden nun — falls nicht das betref- nur em Beispiel dafür angeben, vie die Abtast- und fende Markierungsbit in den Speicherzellen »0« ge- Vergleichssteuerung ausgeführt sein kann. Andere setzt ist — mit dem Inhalt der Stufe 1 der vier Soll- «5 technische Realisierungen sind möglich.
wertreeistergruDpen verglichen, wobei festgestellt Wesentliche Vorteile der erfindungsgemäßen Anwird, ob der Zeitpunkt und damit auch der Ort des Ordnung sind:

Überganges innerhalb gewisser durch Programm vor- 1. Wahrend der Abtastung hat der Schlitten eine

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konstante hohe Geschwindigkeit. Dadurch ist es möglich trotz hoher Arbeitsgeschwindigkeit des Prüfsystems den Lagefehler des Schlittens sehr klein zu halten.

Die optoelektronische Abtasteinrichtung braucht nur eine eindimensionale Ablenkmöglichkeit zu besitzen.

Es werden keine Istwerte gespeichert, sondern diese werden .bei der Abtastung sofort und direkt verarbeitet.

4. Durch Verwendung von jeweils zwei Sollwertschrankenregistern für die untere und obere Grenze ist die Auflösung bei der Abtastung unabhängig von der zulässigen Toleranz der Breite und der Lage der Leiterbahnen.

5. Durch die Verwendung von Absolutsollwertregistern und Relativsollwertregistern kann die zulässige Toleranz der Breite der Leiterbahn unabhängig von der zulässigen Toleranz der Lage der Leiterbahn überprüft werden.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Einrichtung zum optoelektrischen Prüfen von mit Leiterbahnen versehenen Lagen von Ein- S oder Mehrlagenleiterplatten auf Maßhaltigkeit, richtige Anordnung und fehlerfreie Ausführung der Leiterbahnen, gekennzeichnet durch einen bewegbaren Schlitten (SCH), auf dem der in Spalten, in senkrecht zu den Spalten liegende Zeilen und in Richtung der Zeilen liegende Punkte unterteilte Prüfling befestigt ist, durch eine optoelektrische Abtasteinrichtung (ATE), die die Zeilen während der Schlittenbewegung in Richtung einer Spalte abtastet und die pro abzutastendem Punkt einer Zeile ein dem Oberflächenzustand des Prüflings entsprechendes Istwertsignal und einen Punktzähltakt abgibt, und durch eine Ablaufsteuerung (ABL), der zum Vergleich mit einem Sollwert das Istwertsignal und der Punktzähltakt zugeführt werden und die ein Fehlersignal abgibt, wenn der Sollwert nicht mit dem Istwert übereinstimmt.

2. Anordnung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Ablaufsteuerung aus einer Spiegelsteuerung (SPS), die die Bewegung eines Spiegels zur Abtastung der Zeilen auf dem Prüfling steuert, aus einer Abtast- und Vergleichssteuerung (AVS), die den Istwert-Sollwertvergleich durchführt, aus einer Schlittensteuerung (SLS), die Jie Bewegung des Schlittens steuert und aus einem Zentralteil (ZT), der den Datenverkehr zwischen einer Datenverarbeitungsanlage (DVA) und der Ablaufsteuerung und zwischen den Steuerungen (5PS, SLS, A VS) steuert.

3. Anordnung nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch eine Abtast- und Vergleichssteuerung mit einem Differenzierglied (DG), das in Abhängigkeit von dem Istwertsignal Wertewechselsignale erzeugt, wenn sich der Oberflächenzustand des Prüflings ändert, mit einem Absolutpunktzahler (AP), der die Punktzähltakte pro Zeile zählt, mit einem Relativpunktzähler (RO), der die Punktzähltakte zwischen zwei Wcrtewechselsignalen zählt, mit einem Absolutsollwertregistcr (ASR), in dem der Sollwert der Lage der Leiterbahnkanten auf dem Prüfling gespeichert ist, mit einer ersten Vergleichsschaltung (FGl), die den Inhalt des Absolutsollwertregisters (ASR) und des Absolutpunktzählers (-4P) vergleicht und bei Abweichung ein Fehlersignal abgibt, mit einem Relativsollwertregister (RSR), in dem der Sollwert des Abstandes von nebeneinanderliegenden Leiterbahnkanten gespeichert ist, mit einer zweiten Vergleichsschaltung (VG 2), die den Inhalt des Relativsollwertreg:sters (RSR) mit dem Inhalt des Relativpunktzählers (RP) vergleicht und bei Abweichung ein Fehlersignal abgibt, mit einem Fehlerregister (FR), in das im Fehlerfall der Inhalt des Absolutpunktzählers (5P) eingeschrieben wird und mit einer Steuerschaltung zum Umladen der Sollwertinformationen aus einem Speicher in die Sollwertregister (ASR, RSR).

4. Anordnung nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch Soilwertregister (ASR, RSR) aus ersten Registern (RA, RC) für die Speicherung einer unteren Grenze des Sollwertes und aus zweiten Registern (RB, RD) zur Speicherung der oberen Grenze des Sollwertes und durch Vergleichsschaltungen (KG 1, VG 2) aus zwei Vergleichern (AU, AO bzw. RU, RO), der eine zum Vergleichen der Inhalte der Register für die untere Grenze und des Punktzählers (AP bzw. RP), der andere zum Vergleich der Inhalte der Register für die obere Grenze und des Punktzählers (AP bzw. RP).

5. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine der maximalen Anzahl der Leiterbahnen auf einem Prüfling entsprechende Anzahl von Registerstufen vorgesehen ist, von denen jede das erste und zweite Register enthält, daß sowohl die ersten Register als auch die zweiten Register aller Registerstufen zu einem Ring zusammengeschlossen sind und daß der Ausgang des ersten Registers (RA 1 bzw. RGl) der ersten Registersrufe mit dem einen Vergleicher (AU bzw. RU) und der Ausgang des zweiten Registers (RB 1, RD 1) der ersten Registerstufe mit dem anderen Vergleicher (RO bzw. AO) verbunden ist.

6. Anspruch nach einem der Ansprüche 3 bis 5, gekennzeichnet durch eine erste UND-Schaltung (G 1), derem ersten Eingang der Punktzähltakt und derem zweiten Eingang das Istwertsignal zugeführt werden, durch ein Istwertregister (IR), das mit dem Ausgang der ersten UND-Schaltung (Gl) verbunden ist, durch das Differenzierglied (DG), an dessen Eingang das Istwertregister (IR) angeschlossen ist und dessen Ausgang über eine Wertewechselsignalleitung (WS) mit dem Rücksetzeingang des Relativpunktzählers (RP) verbunden ist.

7. Anordnung nach einem der Ansprüche 3 bis 6, gekennzeichnet durch ein Maskenregister (MR), in dem die Anfangs- und Endadresse eines Bereiches auf der Oberfläche des Prüflings gespeichert ist, in dem erzeugte Wertewechselsignale dem Relativpunktzähler (RP) nicht zugeführt werden, durch eine dritte Vergleichsschaltung (FG 3), die mit dem Ausgang des Absolutpunktzählers (AP) und des Maskenregisters (Mi?) verbunden ist und deren Ausgang mit einer bistabilen Kippschaltung (KFF) verbunden ist, die eine in die Wertewechselsignalleitung (WS) eingefügte UND-Schaltung (G 2) während ihres Setzzustandes sperrt.

8. Anordnung nach einem der Ansprüche 3 bis 7, gekennzeichnet duich eine Steuerung aus einem Zeilenzähler (ZZ), dem von der Schlittensteuerung pro Zeile einer Spalte ein Zeilentakt zugeführt wird, aus einem Weckregister (WR) zur Speicherung des Standes des Zeilenzählers, bei dem die Sollwertregister (ASR, RSR) und das Maskenregister (MR) geladen werden, aus einer vierten Vergleichsschaltung (VG 4), deren Eingang mit den Ausgängen des Weckregisters (WR) und des Zeilenzählers (ZZ) verbunden ist, und die bei Übereinstimmung des Inhaltes des Weckregisters (WR) und des Zeilenzählers (ZZ) ein Signal zum Einschreiben von Informationen in die Sollwertregister (ASR, RSR) und das Maskenregister (MR) abgibt.

9. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Abtasteinrichtung mit einem Lichtspannungswandler und

mit einem Drehspiegel, der die von einer Licht- während der Schlittenbewegung in Richtung einer quelle beleuchtete Zeile des Prüflings auf den Spalte abtastet und die pro abzutastendem Punkt Lichtspannungswandler abbildet. einer Zeile ein dem Oberflächenzustand des Prüflings

10. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 entsprechendes Istwertsignal und einen Punktzählbis 8, gekennzeichnet durch eine Abtasteinrich- 5 takt abgibt und durch eine Ablaufsteuerung, der zum tung mit einem Laser, mit einem Drehspiegel, der Vergleich mit einem Sollwert das Isiwertsignal und den Laserstrahl auf die abzutastende Zeile des der Punktzähltakt zugeführt werden und die ein Feh-Prüflings lenkt, und einem Lichtspannungswand- lersignal abgibt, wenn der Sollwert nicht mit dem Istter, dem das von dem Prüfling reflektierte Licht wert übereinstimmt.

zugeführt wird. io Mit der erfindungsgemäßen Einrichtung wird so

mit festgestellt, wo die Leiterbahnen einer Lage liegen und welche Ausdehnung sie haben. Die dadurch

gewonnenen Istwerte werden mit Sollwerten verglichen, die z. B. einer fehlerfreien Lage entnommen 15 werden. Die Prüfung geht also davon aus, daß eine

Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung ^mit Leiterbahnen versehene Lage dann einwandfrei zum optoelektrischen Prüfen von mit Leiterbahnen ^ist> ^{wenn die auf der La}S^e aufgebrachten Leiterbahversehenen Lagen von Ein- oder MehrlagenJeiter- ^{nen richti}g angeordnet sind, die richtige Breite haben platten auf Maßhaltigkeit, richtige Anordnung und «"d fehlerfrei ausgeführt sind.

fehlerfreie Ausführung der Leiterbahnen. *° Da mit der erfindungsgemäßen Einrichtung die

Datenverarbeitungsanlagen und viele andere nach- geometrische Anordnung der Leiterbahnen auf einer richtentechnische Geräte enthalten als wichtigen Be- Lage überprüft wird, ist sie besonders zur Prüfung standteil Mehrlagenleiterplatten mit unter Umständen solcher Mehrlagenleiterplatten geeignet, bei denen vielen Innenanlagen für Erdpotential, Versorgungs- durch das Zusammenfügen der Lagen Hochfrequenzpotentiale und Signalverbindungen. Im Fertigungs- «5 leiternachbildungen entstehen. Denn bei solchen gang ist eine Prüfung jeder Lage einzeln äußerst Mehrlagenleiterplatten sind an die Maßhaltigkeit der wünschenswert, damit mögliche Fehler noch vor dem Leiterbahnen und die richtige Anordnung sehr Zusammenkleben bzw. vor dem Auflegen der nach- strenge Anforderungen zu stellen, weil der vorgesten Lage korrigiert werden können. Eine vollstän- schriebene Wellenwiderstand, den die Hochfrequenzdige elektrische Prüfung jeder Lage (im folgenden 3<> leiternachbildungen aufweisen müssen, in extremem Prüfling genannt) ist wegen der hohen Zahl von zu Maß von der Maßhaltigkeit der Leiterbahnen abhänkontaktierenden Punkten ziemlich teuer und langwie- g'g ist.

rig. und die genaue Lokalisierung eines eventuellen Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus

Fehlers ist dabei nicht möglich. Solche Fehler kön- den Unteransprüchen.

nen z. B dadurch entstehen, daß die einzelnen 35 Die Erfindung soll an Hand eines Ausführungsbei-Leiterbahnen nicht fehlerfrei ausgeführt sind. Die Spieles weiter erläutert werden. Es zeigt
Leiterbahnen können Unterbrechungen enthalten, Fig. 1 ein Blockschaltbild der Einrichtung,

oder zwischen verschiedenen Leiterbahnen kann ein F i g. 2 ein Blockschaltbild eines Teiles der AbKurzschluß bestehen. Weiterhin hat die rein elektri- laufsteuerung,

sehe Prüfung den Nachteil, daß Abweichungen der 4o F i g. 3 eine mögliche Leiterbahnkonfiguration.
Breite der Leiterbahnen normalerweise nicht erfaßt In F i g. 1 ist ein prinzipielles Blockschaltbild der

werden können. Eine konstante Breite der Leiterbah- erfindungsgemäßen Einrichtung dargestellt. Mit ABL nen und damit ein konstanter Wellenwiderstand sind ist eine Ablaufsteuerung, mit A TE eine optoelektriaber für das störungsfreie Arbeiten von sehr schnei- sehe Abtasteinrichtung und mit SCH ein Schlitten len Datenverarbeitungsanlagen äußerst wichtig. 45 bezeichnet. Die Ablaufsteuerung ist aufgeteilt in achließlich kann mit der rein elektrischen Prüfung einen Zentralteil ZT, eine Spiegelsteuerung SPS, eine die richtige Anordnung einer Leiterbahn auf einer Abtast- und Vergleichssteuerung AVS und eine Lage nicht überprüft werden. Dies ist aber notwen- Schlittensteuerung SLS. Der Zentralteil ZT vermittelt dig. wenn mehrere Lagen zu einer Mehrlagenleiter- den Datenverkehr zwischen einer Datenverarbeiplatte zusammengefügt werden. Da dann Leiterbah- 5° tungsanlage DVA und der Ablaufsteuerung ABL r.en verschiedener Lagen miteinander verbunden und den Steuerungen SPS, A VS, SLS untereinander, werden, beeinflußt die Anordnung der Leiterbahnen Die Spiegelsteuerung SPS steuert die Bewegung eines auf den I ;i^cn das Leitungsverhalten der miteinander Schwing- bzw. Prehspiegels, mit dem eine beleuchverbundenen Leiterbahnen. tete Zeile auf einen Lichtspannungswandler abgebil-

Die Aufgabe der Erfindung besteht deshalb darin, 55 det oder ein Lichtstrahl auf die Lage geleitet wird, eine Einrichtung zum Prüfen von mit Leiterbahnen Die Abtast- und Vergleichssteuerung AVS, die in versehenen L2pcn von Ein- oder Mehrlagenleiter- F i g. 2 ausführlicher gezeigt ist, empfängt von der platten anzugeben, durch die auch Abweichungen Abtasteinrichtung ATE das Istwertsignal und den der Maßhaltigkeit, der richtigen Anordnung der Punktzähltakt und führt den Soll-Istwertvergleich Leiterbahnen erfaßt werden können und eine fehler- 6° durch. Die Schlittensteuerung SLS steuert die Bewefreie Ausführung der Leiterbahnen festgestellt wer- gung des Schlittens zu den Spalten und Zeilen der den kann und bei der jeder Fehler direkt lokalisiert Lage. Die Datenverarbeitungsanlage DVA kann z. B. werden kann. Diese Aufgabe wird gelöst durch einen mit einem Plattenspeicher PTS (z.B. zur Speicherung bewegbaren Schlitten, auf dem der in Spalten, in der Sollwerte) und mit einem Blattschreiber BSR senkrecht zu den Spalten liegende Zeilen und in 65 ausgerüstet sein.

Richtung der Zeilen liegende Punkte unterteilte Prüf- Die zu prüfende Lage (im folgenden Prüfling geling befestigt ist, durch eine optoelektrische Abtast- nannt) kann durch den Schlitten SCH im Verhältnis einrichtung, die die Zeilen, eine nach der anderen, zu der optoelektronischen Abtasteinrichtung so be-