DE20008723U1 - Vorrichtung zum Führen eines Tisches in der X-Y-Ebene - Google Patents

Vorrichtung zum Führen eines Tisches in der X-Y-Ebene

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Claims (10)

1. Vorrichtung zum Führen eines Tisches (14) in der X-Y-Ebene, mit einem aus zwei Linearführungen (2, 3; 4, 5) bestehenden Kreuztisch (1) sowie einer Abstützplatte (9), auf welcher der Tisch (14) mittels Luftlagerung (15, 16) und einer Druckluftzuführung (17, 18) zwischen Tisch (14) und Abstützplatte (9) auf einem Luftpolster beweglich ist [Luftlagertisch (14)], wobei auf dem obe­ ren beweglichen Teil (5) der oberen Linearführung (4, 5) des Kreuztisches (1) eine Koppelplatte (13) angeordnet ist, welche in X-Y-Richtung starr und in Z- Richtung verformbar gehaltert ist, und auf der Koppelplatte (13) eine sich in vertikaler Richtung erhebende Tragsäule (21) angeordnet ist, auf deren obe­ ren Ende der Tisch (14) waagrecht sich befindet.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Koppelplatte (13) mit ihrem peripheren Rand zwischen zwei Ton (11, 12) fest eingespannt ist, welche fest mit dem oberen beweglichen Teil (5) der oberen Linearführung (4, 5) des Kreuztisches (1) verbunden sind, wobei innerhalb des freien lichten Durchmessers der Ton (11, 12) und somit inner­ halb des verformbaren Teils der Koppelplatte (13) die Tragsäule (21) ange­ ordnet ist, deren Durchmesser kleiner als derjenige des verformbaren Teils der Koppelplatte (13) ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der obere bewegliche Teil (5) der oberen Linearführung (4, 5) ein Schlit­ ten (5) ist, auf welchen die Ton (11) mit der Koppelplatte (13) dazwischen lie­ gend fest aufgeschraubt sind.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass innerhalb der Oberfläche des oberen beweglichen Teils (5) der oberen Linearführung (4, 5) eine Aussparung angeordnet ist, über welche die Koppel­ platte (13) gespannt und mit ihrem peripheren Rand fest mit dem oberen be­ weglichen Teil (5) des Kreuztisches befestigt ist.
5. Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Koppelplatte (13) in ihrer Halterung vorge­ spannt ist.
6. Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Tragsäule (21) an ihrem unteren Ende ei­ nen Flansch (22) aufweist, mit welchem die Tragsäule (21) auf der Koppel­ platte (13) befestigt ist, beispielsweise mittels Schrauben (25, 26) und Kon­ termuttern (27, 28) aufgeschraubt ist.
7. Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Ton (11, 12) sowie die Koppelplatte (13) runden oder quadratischen Querschnitt aufweisen, wobei die Tragsäule (21) zentrisch bzw. mittig innerhalb der Ton (11, 12) auf der Koppelplatte (13) an­ geordnet ist.
8. Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Durchmesser der Tragsäule (21) bzw. der Radius des geometrischen Ortes der Einspannstellen des unteren Flansches (22) der Tragsäule (21) um eine Strecke (a) kleiner als der Innendurchmesser der Ton (11, 12) ist, wobei die Strecke (a) zwischen 1/10 bis 1/3 des Radius der Ton (11, 12) beträgt.
9. Luftlagertisch (14), bestehend aus einer Abstützplatte (9), auf welcher der Luftlagertisch (14) mittels Luftlagerung (15, 16) und einer Druckluftzufüh­ rung (17, 18) zwischen Tisch (14) und Abstützplatte (9) auf einem Luftpolster beweglich ist [Luftlagertisch (14)], mit einem aus zwei Linearführungen (2, 3; 4, 5) bestehenden Kreuztisch (1), dessen feststehender Teil (2) der unte­ ren Linearführung (2, 3) fest mit der Abstützplatte (9) verbunden ist, wobei auf dem oberen beweglichen Teil (5) der oberen Linearführung (4, 5) des Kreuztisches (1) eine Koppelplatte (13) angeordnet ist, welche in X-Y- Richtung starr und in Z-Richtung verformbar gehaltert ist, und auf der Kop­ pelplatte (13) eine sich in vertikaler Richtung erhebende Tragsäule (21) ange­ ordnet ist, auf deren oberen Ende der Luftlagertisch (14) waagrecht sich be­ findet.
10. Luftlagertisch nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Koppelplatte (13) mit ihrem peripheren Rand zwischen zwei Ton (11, 12) fest eingespannt ist, welche fest mit dem oberen beweglichen Teil (5) der oberen Linearführung (4, 5) des Kreuztisches (1) verbunden sind, wobei innerhalb des freien lichten Durchmessers der Ton (11, 12) und somit inner­ halb des verformbaren Teils der Koppelplatte (13) die Tragsäule (21) ange­ ordnet ist, deren Durchmesser kleiner als derjenige des verformbaren Teils der Koppelplatte (13) ist.
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