DE20204832U1 - Einrichtung zur Messung der Grob- und/oder Feinstruktur einer Oberfläche eines Werkstücks - Google Patents

Einrichtung zur Messung der Grob- und/oder Feinstruktur einer Oberfläche eines Werkstücks

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    • G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines

Description

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Claims (9)

1. Einrichtung zur Messung der Grob- und/oder Fein­ struktur einer Oberfläche eines Werkstücks,
  • 1. mit einem Taster (18),
    • - mit einem Vorschubgerät (10), das den Taster (18) hält und längs einer Abtastbahn (22) bewegt,
    • - mit einer Säule (8), an der das Vorschubgerät (10) längs einer Z-Richtung verstellbar gehalten ist und
    • - mit einem an der Säule (8) angeordneten Fuß (6) mit einer Auflagefläche zur Auflage auf der Ober­ fläche (4) eines Meßtisches (2),
gekennzeichnet durch,
  • 1. Mittel zur Bewegung der Säule (8) in einer X-Rich­ tung senkrecht zu der Z-Richtung der Säule (8) und
    • - Mittel zur Bewegung der Säule (8) in einer Y-Rich­ tung senkrecht zu der Z-Richtung und senkrecht zu der X-Richtung.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Bewegung der Säule (8) in X- Richtung eine in X-Richtung verlaufende X-Führungs­ schiene (38) aufweisen, auf der ein X-Schlitten (34) verschieblich gehalten ist.
3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeich­ net, daß der X-Schlitten (34) mit dem Fuß (6) der Säule (8) verbunden ist.
4. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeich­ net, daß der X-Schlitten (34) mit einem Antriebsmotor (36) zur Bewegung des X-Schlittens (34) längs der X-Führungsschiene (38) verbunden ist.
5. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß die X-Führungsschiene (38) vorzugsweise im rechten Winkel mit einer Y-Führungsschiene (46) verbun­ den ist, auf der ein Y-Schlitten (44) verschieblich gehalten ist.
6. Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeich­ net, daß der Y-Schlitten (44) mit einem Antriebsmotor 50 zur Bewegung des Y-Schlittens (44) und damit der X- Führungsschiene (38) in Y-Richtung verbunden ist.
7. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß die Unterseite des Fußes (6) im wesentlichen luftdicht auf der Oberfläche (4) des Meßtisches (2) aufliegt und einem Anschluß für Druckluft aufweist, um den Fuß (6) bei Bewegung auf der Oberfläche (4) des Meßtisches (2) luftkissenartig anzuheben.
8. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß das der Y-Schiene Führungsschiene (46) abgewandte Ende der X-Führungsschiene (38) ein Auflager (42) zur Auflage auf der Oberfläche (4) des Meßtisches (2) aufweist.
9. Einrichtung nach Anspruch (8), dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Unterseite des Auflagers (42) im we­ sentlichen luftdicht auf der Oberfläche (4) des Meßti­ sches (2) aufliegt und einen Anschluß für Druckluft aufweist, um das Auflager (42) bei Bewegung des Aufla­ gers (42) auf der Oberfläche (4) des Meßtisches (2) luftkissenartig anzuheben.
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