DE29823690U1

DE29823690U1 - Oberflächenmeßvorrichtung

Info

Publication number: DE29823690U1
Application number: DE29823690U
Authority: DE
Original assignee: Waelde Juergen
Current assignee: BREITMEIER, ULRICH, DE
Priority date: 1998-02-12
Filing date: 1998-02-12
Publication date: 2000-01-05
Anticipated expiration: 2008-02-13

Description

Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt

Claims

1. Vorrichtung zum Messen der Linearkontur und/oder der Rauheit einer Werkstückoberfläche, mit einem Meßtisch (10), mit einem Tastkopf (26) und einem die sen tragenden Tastkopfträger (24; 56) und mit mindes tens einem Linearantrieb (18, 20) zum Bewegen des Tast kopfträgers (24; 56) in einer ersten Richtung, dadurch gekennzeichnet, daß der Tastkopfträger (24; 56) zusätzlich durch mindestens einen Linearvorschub (54, 58; 58, 66 bis 70) angetrieben ist, dessen Arbeitsrichtung die Arbeits richtung des Linearantriebes (18, 20) schneidet, und daß Stellungserfassungsmittel (22; 60; 90; 110; 126) vorgesehen sind, welche die Stellung des Tastkopfes (26) in den beiden Verstellrichtungen messen.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Arbeitsrichtungen von Linearantrieb (18, 20) und Linearvorschub (54, 58; 58, 66 bis 70) einander senkrecht schneiden.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn zeichnet, daß Linearantrieb (18, 20) und/oder Linear vorschub (54, 58; 58, 66 bis 70) aus der nachstehenden Gruppe von Antrieben ausgewählt sind: Spindelantrieb, Kurbel- oder Exzenterantrieb mit Kulissengetriebe, elek trischer Linearmotor eingeschlossen elektrische Festkörper- Aktuatoren, Zahnstangenantrieb, Riemenantrieb.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Linearantrieb (18, 20) und/oder der Linear vorschub (54, 58; 58, 66 bis 70) als Antriebsmotor (20; 58) einen Schrittmotor umfaßt.

5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, da durch gekennzeichnet, daß die Stellungserfassungs mittel für Linearantrieb (18, 20) und/oder Linearvor schub (54, 58; 58, 66 bis 70) einen Stellungsgeber.(22; 60) aufweisen, der mit einem Antriebsmotor (20; 58) von Linearantrieb (18, 20) bzw. Linearvorschub (54, 58; 58, 66 bis 70) gekoppelt ist.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, da durch gekennzeichnet, daß auf den Tastkopf (26) einer weiterer Linearvorschub (80 bis 88) arbeitet, dessen Arbeitsrichtung die Arbeitsrichtung des ersten Linearvorschubes (58, 66 bis 70) schneidet, vorzugsweise unter rechtem Winkel, und daß die Stellungserfassungsmittel auch einen die Stellung des zweiten Linearvorschubes (80 bis 88) bestimmenden Sensor (90) umfassen.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, da durch gekennzeichnet, daß die Linearvorschübe (54, 58; 58, 66 bis 70; 80 bis 88) verglichen mit der Präzi sion der Linearantriebe (18, 20; 106, 108) hohe Präzision aufweisen.

8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, gekennzeichnet durch eine Einrichtung (114) zum Kombinieren von Teil bildern (116-i) der Werkstückoberfläche, welche in unter schiedlichen Stellungen der Linearantriebe (18, 20; 106, 108) erhalten werden.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Linearantriebe (18, 20; 106, 108) durch eine Steuereinheit (114) zur Weiterbewegung um Wegstrecken aktiviert werden, die kleiner sind als die Kanten der Teilbilder (116-i), und daß eine Teilbild-Fügeeinrichtung (114) vorgesehen ist, welche die Teilbilder (116-i) so relativ zueinander verschiebt und/oder verdreht, daß auf den Teilbildern im überlappenden Bildbereich liegende Oberflächendefekte (118) fluchtend übereinander liegen.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, ge kennzeichnet durch eine Einrichtung (33) zum Abheben des Tastkopfes (26) von der Werkstückoberfläche.

11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, gekennzeichnet durch einen zweiten Linearantrieb (106, 108), dessen Arbeitsrichtung die Arbeitsrichtung des ersten Linearantriebes (18, 20) schneidet, vorzugs weise unter rechtem Winkel.

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Linearvorschübe (54, 58; 58, 66 bis 70; 80 bis 88) auf einem Montage teil (46) angeordnet sind, das lösbar an einem alten Tastkopfträger (24) angebracht ist, der zum Messen der Linearkontur oder der Rauheit verwendet wird und der durch das Abtriebsteil des Linearantriebes (16, 18) bewegt wird.

13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Linearantrieb (18, 20) und/oder mindestens einer der Linearvorschübe (54, 58; 58, 66 bis 70; 80 bis 88) mit konstanter Geschwindig keit arbeitet und die Stellungserfassungsmittel für den Linearantrieb (18, 20) und/oder einen der Linearvor schübe (54, 58; 58, 66 bis 70; 80 bis 88) einen Zeit messer (142, 136) umfaßt.

14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Zeitmesser (136, 142) durch mit dem Abtriebs teil des Linearantriebes (18, 20) und/oder eines der Linearvorschübe (54, 58; 58, 66 bis 70; 80 bis 88) zusam menarbeitende Endschalter (122, 124) voreingestellt wird.

15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die abgespeicherten jeweils einer Abtastlinie zugeordneten Sätze von Ausgangssignalen des Tastkopfes (26) durch die Steuer- und Auswerteeinheit (90) so aufein ander ausgefluchtet werden, daß die Anfangspunkte und die Endpunkte der Abtastlinien fluchten.