DE19960630A1 - Kunststoffventil - Google Patents
KunststoffventilInfo
- Publication number
- DE19960630A1 DE19960630A1 DE1999160630 DE19960630A DE19960630A1 DE 19960630 A1 DE19960630 A1 DE 19960630A1 DE 1999160630 DE1999160630 DE 1999160630 DE 19960630 A DE19960630 A DE 19960630A DE 19960630 A1 DE19960630 A1 DE 19960630A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- valve
- plastic
- valve element
- section
- valve according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K11/00—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K11/00—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves
- F16K11/02—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with all movable sealing faces moving as one unit
- F16K11/04—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with all movable sealing faces moving as one unit comprising only lift valves
- F16K11/048—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with all movable sealing faces moving as one unit comprising only lift valves with valve seats positioned between movable valve members
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K11/00—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves
- F16K11/02—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with all movable sealing faces moving as one unit
- F16K11/022—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with all movable sealing faces moving as one unit comprising a deformable member
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/86493—Multi-way valve unit
- Y10T137/86879—Reciprocating valve unit
- Y10T137/86895—Plural disk or plug
Abstract
Ein Kunststoffventil, speziell ein Dreiwege-Kunststoffventil, mit einem Ventilgehäuse (52), das einen ersten Ventilsitz (78), der auf das Ventilgehäuse (52) axial ausgerichtet ist und mit einem ersten Ventilelement (80) zusammenwirkt, einen zweiten Ventilsitz (82), der auf das Ventilgehäuse (52) axial ausgerichtet ist und mit einem zweiten Ventilelement (80) zusammenwirkt, und eine Betätigungseinrichtung (54), die die Ventilelemente (80, 86) axial bewegt und mit einem axial beweglichen Verbindungsabschnitt (151) versehen ist, der sich von der Betätigungseinrichtung (54) zum zweiten Ventilelement (86) erstreckt, umfaßt, wobei ein gekapselter und zusammenpreßbarer Federabschnitt (142-152) zwischen der Betätigungseinrichtung (54) und dem ersten Ventilelement (80) angeordnet ist und in axialer Richtung beweglich ist, ohne sich zusammenzuziehen, bis das erste Ventilelement (80) auf dem ersten Ventilsitz (78) aufsitzt.
Description
Die Erfindung betrifft ein Kunststoffventil gemäß dem Oberbegriff des An
spruchs 1.
In der Halbleiterverarbeitungsindustrie werden stark korrosive oder ät
zende Fluids bei Temperaturen verwendet, die 1500°C übersteigen. Herkömmli
che Metallventile, Anschlußstücke und Armaturen sind für derartige Anwendungen
nicht geeignet. Statt dessen werden hochgradig inerte Werkstoffe, etwa Fluorpo
lymere, z. B. PFA (Perfluoralkoxid) und PTFE (Polytetrafluorethylen), verwendet.
In solchen Anwendungen ist es kritisch, wenn Ventile einen sehr hohen Lei
stungspegel aufweisen. Ein Problem, das allgemein bei Kunststoff und insbeson
dere bei Kunststoffventilen anzutreffen ist, besteht darin, daß Kunststoff unter Be
lastung kriechen kann, wodurch die Integrität des Ventils beeinträchtigt wird. Das
Kriechen wird durch hohe Temperaturen sowie durch schwankende Temperaturen
verstärkt. Typischerweise sind die Ventilspindel, der Ventilsitz und das Ventilge
häuse bei Belastung dem Kriechen unterworfen. Ein solches Kriechen kann die
Zuverlässigkeit reduzieren, die Lebenserwartung solcher Ventile herabsetzen, den
Wartungsaufwand solcher Ventile erhöhen und allgemein die mit den Ventilen
verbundenen Kosten erhöhen.
Kunststoffventile werden außerdem in vielen weiteren Anwendungen ver
wendet, etwa bei der Bewässerung. Das Kriechen von Kunststoffkomponenten ist
in solchen Ventilen ebenfalls problematisch, obwohl vielleicht nicht potentiell öko
nomisch so katastrophal wie in der Halbleiterverarbeitungsindustrie.
In den Fig. 1 und 2 ist ein in der Halbleiterverarbeitungsindustrie
verwendetes manuell betätigtes Dreiwege-Ventil 10 erläutert, das ein Ventilge
häuse 11 mit einem davon abstehenden Handgriff 12 umfaßt, der zur Betätigung
des Ventils 10 gedreht wird. Ein Stellglied 13 enthält den Handgriff 12, die Stell
gliedwelle 14 und einen Bewegungsübertragungsmechanismus 16. Das Stellglied
13 ist mit einer Ventilspindelanordnung 18 in Eingriff, die ein erstes oder oberes
Ventilelement 20 und ein zweites oder unteres Ventilelement 22 aufweist, die je
weils als Teller konfiguriert sind und jeweils eine von ihnen abstehende Membran
24 aufweisen. Der Bewegungsübertragungsmechanismus 28 kann etwa eine Ge
windewelle 32 sein oder aus Nockenflächen 34 bestehen, um die Drehbewegung
des Handgriffs in eine lineare Bewegung der Ventilspindelanordnung umzuwan
deln. Es werden beide Mechanismen erläutert, obwohl bei einem einzelnen Ventil
im allgemeinen lediglich ein Mechanismus verwendet werden würde. Eine erste
Feder 36 ist unter dem unteren Ventilelement 22 angeordnet und schafft den Sitz
druck, um das untere Ventilelement 22 und den entsprechenden unteren Ventilsitz
40 zu verschließen. Eine zusätzliche Feder 38 kann verwendet werden. Der Betä
tigungsmechanismus wirkt gegen die Federkraft, um das untere Ventilelement 22
vom Ventilsitz zu trennen und den unteren Ventilabschnitt 42 zu öffnen.
Das obere Ventilelement 20 wird durch den Bewegungsübertragungs
mechanismus, der Zwischenverbindungselemente 44 enthalten kann, axial
bewegt. In Ventilen, die eine mit Gewinde versehene Betätigungswelle
verwenden, kann der Sitzdruck zwischen dem Ventilelement und dem Ventilsitz
direkt vom dem auf den Handgriff wirkenden Drehmoment abhängen. Ein Nachteil
dieser Anordnung besteht darin, daß der Sitzdruck von der subjektiven
Feststellung des Bedieners, daß das Ventil ausreichend dicht ist, abhängt.
Bediener neigen dazu, beim Schließen solcher Ventile eine übermäßige Kraft auf
zuwenden, um sicher zu sein, daß sie ausreichend dicht sind. Dies kann einen
sofortigen Ventilausfall zur Folge haben oder am Betätigungsmechanismus, ein
schließlich des Bewegungsübertragungsmechanismus, sowie am Ventilsitz und
weiteren Abschnitten des Ventilgehäuses ein übermäßiges Kriechen verursachen.
Ein hinreichend ausgeprägtes Kriechen, das die Funktion des Ventils nachteilig
beeinflußt, kann nach einer begrenzten Anzahl von Benutzungszyklen auftreten.
Ein Weg, um diesem Problem zu begegnen, besteht darin, einen Anschlag
zur Begrenzung der Drehung des Handgriffs und der Welle zu schaffen, um dem
Bediener das freie Ermessen beim Abdichten zu nehmen. Diese Ventilarten sind
auch einem Kriechen unterworfen und weisen typischerweise eine Einstellmutter
auf, so daß der Betätigungsmechanismus zum Kompensieren des Kriechens ein
gestellt werden kann. Ein diesen Ventilen innewohnendes Problem besteht darin,
zu erkennen, wann ein Kriechen aufgetreten ist, und zu erkennen, wie stark die
Einstellmutter einzustellen ist. Dies sind oftmals subjektive, durch Bediener ge
troffene Festlegungen.
In Ventilen, die Nockenflächen verwenden, weist die Welle typischerweise
einen Drehanschlag auf und der Anpreßdruck des Ventilelements auf den Ventil
sitz ist nicht vom Drehmoment des Handgriffs abhängig, solange der Handgriff
vollständig gedreht wird. Diese mit Nocken versehenen Übertragungsmechanis
men weisen effektiv eine begrenzte Drehung auf, z. B. eine Vierteldrehung, um ein
vollständiges Schließen und Öffnen zu bewirken. Kunststoffventile, die Nockenflä
chen verwenden, sind ebenfalls dem Kriechen unterworfen, wobei dort, wo die
kurze Vierteldrehung verwendet wird, die Kriechauswirkungen ausgeprägt sind.
Diese Ventile benötigen typischerweise eine Einstellmutter, die nach ausgedehn
ter Nutzung der Ventile eingestellt werden kann, um die ursprünglichen Schließ
drücke zwischen dem oberen Ventilelement und dem Ventilsitz wiederherzustel
len.
Kunststoffventile, insbesondere jene, die in der Halbleiterfertigungsindu
strie verwendet werden, weisen am Ventilsitz oftmals eine ringförmige Rille oder
Vertiefung 48 auf. Dieses Merkmal verleiht dem Ventilsitz eine gewisse Flexibilität,
die eine größere Haltbarkeit von Sitz und Abdichtung, die Absenkungen der Ferti
gungstoleranzen der Kunststoffkomponenten und somit geringere Herstellungsko
sten schafft. Der flexible Ventilsitz macht den Ventilsitz außerdem empfindlicher
auf Kriechen.
Die Aufgabe der Erfindung ist es, ein Kunststoffventil gemäß dem Oberbe
griff von Anspruch 1 zu schaffen, das eine Selbstkompensation wegen Kriechens
ermöglicht.
Diese Aufgabe wird gemäß dem kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1
gelöst.
Demgemäß weist ein Kunststoffventil ein das Kriechen kompensierendes
Merkmal auf, das einen reproduzierbaren Eingriff zwischen Ventilelementen und
ihren entsprechenden Ventilsitzen schafft. Die Merkmale kompensieren eine
Kompression innerer Ventilkomponenten sowie die Ausdehnung des Ventilgehäu
ses. Derartige Ventile sind speziell für Anwendungen in der Halbleiterindustrie ge
eignet.
Eine Ausführungsform ist eine Dreiwege-Membranventilkonfiguration mit
einer unteren Feder, die die Schließkraft für ein unteres Ventilelement schafft. Ein
zusätzlicher gekapselter Federmechanismus schafft eine reproduzierbare
Schließkraft für das obere Ventilelement, anstatt auf der Abwärtskraft einer Bestä
tigungsanordnung aus dem Drehen des Handgriffs zu beruhen. Die gekapselte
Feder kompensiert jedes Kriechen der Ventilkomponenten selbsttätig.
In einer bevorzugten Ausführungsform weist ein manuell betätigtes Drei
wege-Membranventil mit Vierteldrehung einen offenen Innenraum mit Kammern
und Fließkanälen auf, die durch obere und untere Ventilabschnitte getrennt sind,
wobei jeder Ventilabschnitt ein axial ausgerichtetes Ventilelement und einen Ven
tilsitz enthält. Ein Ventilspindelabschnitt enthält beide Ventilelemente, die durch
eine Hohlspindel getrennt sind, und weist Membranen auf, die von jedem Ventil
element abstehen. Eine Betätigungsanordnung mit einer Betätigungsverbin
dungswelle bewegt sich durch eine Drehung des Handgriffs axial aufwärts und
abwärts. Dies bewirkt, daß sich die Ventilspindelanordnung axial bewegt und daß
sich die Ventilabschnitte öffnen und schließen. Die Betätigungsverbindungswelle
erstreckt sich durch die Hohlspindel, ist mit dem Ventilelement des unteren Ventil
abschnitts in direktem Eingriff und ist innerhalb des ersten Ventilelements axial
verschiebbar.
Die untere Feder schafft an der Ventilspindelanordnung eine aufwärts ge
richtete Vorspannung und schafft insbesondere eine aufwärts gerichtete Kraft zum
Schließen des unteren Ventilabschnitts, wenn die Betätigungsverbindungswelle
das untere Ventilelement nicht geöffnet hält. Wenn sich die Betätigungsanordnung
durch eine Drehung des Handgriffs nach unten bewegt, verursacht die Betäti
gungswelle, daß das untere Ventilelement vom unteren Ventilsitz getrennt wird,
und veranlaßt dementsprechend, daß die erste Feder durch die Betätigungswelle
zusammengedrückt wird. Außerdem drückt die Abwärtsbewegung der Betäti
gungsanordnung über einen Mechanismus zum Kompensieren des Kriechens in
Abwärtsrichtung auf das obere Ventilelement des oberen Ventilabschnitts, um das
obere Ventilelement auf den oberen Ventilsitz aufzusetzen. Der Mechanismus
zum Kompensieren des Kriechens enthält einen gekapselten vorgespannten Fe
dermechanismus. Der Mechanismus hat eine ausgedehnte Stellung und kann
durch Anwenden einer axial zusammenpressenden Kraft in eine zusammengezo
gene und zusammengepreßte Stellung zusammengedrückt werden. Der Betäti
gungsmechanismus ist derart aufgebaut, daß das obere Ventilelement aufsitzt,
bevor der Handgriff über seinen gesamten Bewegungsbereich gedreht worden ist.
Wenn der Handgriff weiter gedreht wird, bleibt das obere Ventilelement aufgesetzt
und eine weitere Abwärtsbewegung der Betätigungsanordnung drückt den gekap
selten vorgespannten Federmechanismus zusammen. Diese zusätzlich zur Verfü
gung stehende Bewegung der Betätigungsanordnung bewirkt somit keine entspre
chende Bewegung des oberen Ventilelements. Somit wird dann, wenn sich die
Ventilspindel aufgrund von Kriechen der Kunststoffventilspindel zusammenzieht,
d. h., wenn sie sich verkürzt, das erste Ventilelement etwas später als bei einer
nicht zusammengezogenen Ventilspindel aufsetzen, wobei sich der gekapselte
Federmechanismus trotzdem zusammenziehen wird, sich jedoch später in der
Drehbewegung des Handgriffs und etwas geringer zusammenziehen wird. Die
Abwärtskraft des Ventilelements auf den Ventilsitz wird im wesentlichen die glei
che sein wie im Fall einer nicht zusammengezogenen Ventilspindel. Somit kom
pensiert der gekapselte Federmechanismus effektiv und automatisch das zusam
menziehend wirkende Kriechen in der Ventilsitzanordnung. Ein auseinander
drückend wirkendes Kriechen in den Ventilgehäuseelementen wird in einer ähnli
chen Weise kompensiert.
Verbundene Ventile sind minimalen und gesteuerten internen Belastungen
unterworfen, wodurch das Auftreten von Kriechen minimiert wird. Kriechen wird
durch das Ventil ohne die Notwendigkeit einer Einstellung automatisch kompen
siert. Es wird keine Einstellmutter benötigt. Solche Kunststoffventile weisen einen
höheren Grad an Zuverlässigkeit und eine längere Lebenserwartung auf.
Die Schließkraft jedes Ventilelements wird durch die Federwirkung einer
separaten Feder geschaffen. Überdies arbeiten die Federn nicht gegeneinander,
um den inneren Ventilkomponenten keine zusätzliche Belastung aufzuerlegen.
Dies minimiert das Auftreten von Kriechen.
Weitere Ausführungsformen der Erfindung sind in der folgenden Beschrei
bung und in den Unteransprüchen enthalten.
Die Erfindung wird nun in Verbindung mit einer in der beigefügten Zeich
nung gezeigten Ausführungsform im einzelnen erläutert.
Fig. 1 zeigt eine Querschnittansicht eines bekannten manuell betätigten
Dreiwege-Ventils,
Fig. 2 zeigt eine perspektivische Ansicht eines manuell betätigten Drei
wege-Ventils,
Fig. 3 zeigt eine Querschnittansicht einer Ausführungsform eines manuell
betätigten Dreiwege-Kunststoffventils,
Fig. 4 bis 6 zeigen schematische und graphische Querschnittansich
ten, die ein Dreiwege-Ventil in verschiedenen Stellungen erläutern,
Fig. 7 zeigt eine Explosionsansicht der Komponenten der Betätigungsein
richtung und des Abschnitts zum Kompensieren des Kriechens des Ventils von
Fig. 3,
Fig. 8 zeigt eine perspektivische Ansicht der Ventilspindel des Ventils von
Fig. 3.
Das in den Fig. 2 und 3 gezeigte Ventil 50 ist hauptsächlich aus
Kunststoffkomponenten hergestellt, wobei die Hauptkomponenten ein Ventilge
häuse 52, ein Betätigungsabschnitt 54, eine Ventilspindelanordnung 56 und ein
Abschnitt 58 zum Kompensieren des Kriechens sind. Das Ventilgehäuse 52 weist
eine Achse A und einen offenen Innenbereich 62 aus, der eine obere Kammer 64,
eine mittlere Kammer 66 und eine untere Kammer 68 enthält. Ein erster Strö
mungskanal 70 ist mit der oberen Kammer 64 verbunden, ein zweiter Strömungs
kanal 72 ist mit der unteren Kammer 68 verbunden und ein dritter Strömungskanal
74 ist mit der mittleren Kammer 66 verbunden. Zwischen der oberen Kammer und
der mittleren Kammer befindet sich ein unterer oder erster Ventilabschnitt 76 mit
einem ersten Ventilsitz 78, der ein damit zusammenwirkendes oberes erstes Ven
tilelement 80 aufweist, das als ein Teller aufgebaut ist. Zwischen der mittleren
Kammer 66 und der unteren Kammer 68 befindet sich ein unteres oder zweites
Ventil 82 mit einem unteren zweiten Ventilsitz 84, der mit einem unteren zweiten
Ventilelement 86 zusammenwirkt, das ebenfalls tellerförmig ist.
Die Ventilelemente 80, 86 sind Teil der Ventilspindelanordnung 56, die
außerdem den Hohlspindelabschnitt 90 enthält, der einen ausdehnbaren Abschnitt
aufweist, der wie eine Ziehharmonika oder ein Blasebalg 92 aufgebaut ist, und der
ermöglicht, daß der Spindelabschnitt 90 in axialer Richtung ausdehnbar und zu
sammenziehbar ist. Von jedem Ventilelement 80, 86 steht eine flexible Membran
94, 96 ab, wobei eine Ventilspindelanordnung 56 aus PTFE gebildet sein kann
und günstig in zwei Abschnitten gebildet ist, die entweder mechanisch aneinander
befestigt oder durch Schweißen versiegelt sind. Die Ventilspindelanordnung 56 ist
in geeigneter Weise gefertigt.
Das Ventilgehäuse 52 kann aus einem Hauptgehäuseabschnitt 102, ei
nem unteren Gehäuseabschnitt 104 und einem oberen Gehäuseabschnitt 106 be
stehen. Der untere Gehäuseabschnitt 104 weist eine Federkammer 108 auf, in der
eine untere erste Feder 110 angeordnet ist, die aus einer Hauptfeder 111 und ei
ner Zusatzfeder 112 besteht. Eine Federnabe 114 ist mit der Feder 110 in Eingriff
und weist eine integrale Membran 116 auf. Der obere Gehäuseabschnitt 106 ist
durch eine Mutter 117 am Hauptgehäuseabschnitt 102 befestigt, während der un
tere Gehäuseabschnitt 104 durch eine zusätzliche Mutter 118 am Hauptgehäuse
abschnitt 102 befestigt ist. Die Gehäuseabschnitte sind in geeigneter Weise aus
PFA gebildet, etwa durch Druckguß. Die Muttern 117, 118 sind in geeigneter
Weise aus PVDF (Polyvinylidenfluorid) gebildet.
Der Betätigungsabschnitt 54 ist prinzipiell im oberen Gehäuseabschnitt
106 eingespannt. Der Betätigungsabschnitt 54 enthält einen Handgriff 120, eine
rotierbare Welle 122, die am Handgriff 120 befestigt ist und sich in den oberen
Gehäuseabschnitt 106 erstreckt, sowie einen Abschnitt 58 zum Kompensieren des
Kriechens. Der Betätigungsabschnitt 54 enthält ferner einen Bewegungsübertra
gungsabschnitt 126, der in der gezeigten Ausführungsform als mit Nocken verse
hene Abschnitte 128 aufgebaut ist, die mit Nocken versehene Flächen 129 auf
weisen. Alternativ kann der Bewegungsübertragungsabschnitt 126 einen mit Ge
winde versehenen Abschnitt 132 auf der rotierbaren Welle 122 in Zusammenwir
kung mit einem mit Gewinde versehenen Abschnitt 134 am Ventilgehäuse 52 ent
halten.
Der Abschnitt 58 zum Kompensieren des Kriechens ist im oberen
Gehäuseabschnitt 106 enthalten und als ein Mechanismus aufgebaut, der in einer
Struktur 144 eine gekapselte obere zweite Feder 142 enthält. Die Struktur ist aus
einem Käfig aufgebaut, der einen unteren Trägerkörper 146 mit einem "W"-förmi
gen Querschnitt, einen oberen Halteabschnitt 148 und mehrere längliche Ele
mente aufweist, die als Trägerstifte oder Stäbe 150 aufgebaut sind, die sich durch
den unteren Trägerkörper 146 und den oberen Halteabschnitt 148 und zwischen
diesen erstrecken. Der untere Körper und/oder der obere Halteabschnitt 148 sind
gleitfähig mit den Stäben 150 derart in Eingriff, daß die gekapselte Feder 142 auf
eine kleinere axiale Länge als die in Fig. 3 gezeigte zusammenziehbar ist. Ein
Verbindungsabschnitt 151 erstreckt sich vom Bewegungsübertragungsabschnitt
126 zum zweiten Ventilelement 86 und zum Abschnitt 58 zum Kompensieren des
Kriechens. Der Verbindungsabschnitt 151 enthält ein Verbindungselement 152,
wobei sich ein T-förmiger Querschnitt vom Eingriff mit dem oberen Halteabschnitt
148 in Abwärtsrichtung erstreckt, um ein unteres Verbindungselement 156, das
ebenfalls Teil des Verbindungsabschnitts 151 ist, zu berühren und an diesem in
Eingriff zu gelangen. Das untere Verbindungselement 156 erstreckt sich durch den
Hohlspindelabschnitt 90, um mit Hilfe der Federnabe 114 am zweiten Ventilele
ment 86 und an der ersten Feder 110 in Eingriff zu gelangen. Das untere Verbin
dungselement ist in geeigneter Weise aus kohlefaserverstärktem PEEK (Poly
etheretherketon) gebildet. Der obere Halteabschnitt 148 und der untere Träger
körper 146 können aus PVDF, PFA o. ä. gebildet sein. Die Trägerstäbe oder Stifte
können als Bolzen aufgebaut sein und können aus kohlefaserverstärktem PEEK
oder rostfreiem Stahl gebildet sein.
Eine Abwärtsbewegung des oberen T-förmigen Verbindungselements 152
verursacht eine Abwärtsbewegung des unteren Verbindungselements 156, um die
erste Feder 110 zusammenzudrücken und um das untere oder zweite Ventilele
ment 86 aus der in der Fig. 3 gezeigten geschlossenen Stellung in eine geöffnete
Stellung zu bewegen. Diese Abwärtsbewegung des oberen Halteabschnitts 148
verursacht eine entsprechende Abwärtsbewegung der unteren zweiten Feder 144
und des Ventilelements 80, bis es mit dem Ventilsitz 78 in Eingriff gelangt und die
weitere Abwärtsbewegung durch den Ventilsitz 78 gestoppt wird. Nachfolgend
verursacht eine weitere Abwärtsbewegung des oberen Halteabschnitts 146 keine
Abwärtsbewegung des unteren Trägerkörpers 146, statt dessen drückt sie die
zweite Feder 142 und den Mechanismus zum Kompensieren des Kriechens zu
sammen. Wenn das obere Ventilelement 80 mit dem Ventilsitz 78 in einer ge
schlossenen Stellung ist, wird die Schließkraft durch die zweite Feder 142 gelie
fert, wobei die Kraft durch den Widerstand dieser Feder und die Federcharakteri
stiken bestimmt ist. Die ersten und zweiten Federn 144, 142 sind vorzugsweise
aus rostfreiem Stahl, der mit einem Fluoropolymer beschichtet ist.
In den Fig. 4, 5 und 6 ist die Funktionsweise der Merkmale zum
Kompensieren des Kriechens in vereinfachten diagrammartigen Querschnittsan
sichten erläutert. Diese Figuren zeigen den Bewegungsübertragungsabschnitt 126
als einen Gewindeabschnitt 132 auf der Welle, der mit einem Gewindeabschnitt
134 am Gehäusekörper 52 in Eingriff ist. In Fig. 4 ist der Handgriff 120 so gedreht,
daß er vollständig offen ist, wobei das untere Ventilelement 86 in Schließstellung
mit dem unteren Ventilsitz 84 ist, der durch die von der ersten Feder 110 gelieferte
Schließkraft am unteren Ventilelement 86 gehalten wird. Der Abschnitt 58 zum
Kompensieren des Kriechens ist in seiner vollständig ausgestreckten Stellung, so
daß die Vorbelastung der zweiten Feder 142 eine Kraft lediglich gegen die Struk
tur 144 zum Kompensieren des Kriechens ausübt. Das obere Ventilelement 80 ist
in der geöffneten Stellung, wodurch ein Fließen zwischen dem ersten Strömungs
kanal 80 und dem dritten Strömungskanal 74 bewirkt wird.
In Fig. 5 ist der Handgriff 120 bis zu dem Punkt gedreht worden, an dem
das obere Ventilelement 80 am ersten Ventilsitz 78 in Eingriff gelangt. An diesem
Punkt hat sich der Abschnitt 58 zum Kompensieren des Kriechens abwärts be
wegt, er ist jedoch noch vollständig ausgestreckt, wobei das untere Verbindungs
element 156 das untere Ventilelement 86 abwärts geschoben und somit vom er
sten Ventilsitz 84 getrennt hat. Somit ist nun der Ventilabschnitt 76, der den ersten
Strömungskanal 70 vom dritten Strömungskanal 74 trennt, geschlossen, ferner ist
der Ventilabschnitt 82 zwischen dem zweiten Strömungskanal 72 und dem dritten
Strömungskanal 74 geöffnet.
In Fig. 6 ist der Handgriff bis zum Ende seines Bereichs der Drehbewe
gung gedreht worden, wobei sich der Abschnitt 58 zum Kompensieren des Krie
chens durch eine weitere Abwärtsbewegung des oberen Halteabschnitts 148 zu
sammengezogen hat, wodurch sich die Stifte 150 von dem Abschnitt 58 nach
oben erstrecken. Die weitere Abwärtsbewegung des oberen Halteabschnitts 148
hat außerdem das untere Ventilelement 86 für einen größeren Abstand vom unte
ren Ventilsitz 84 weiter nach unten geschoben. Dadurch, daß das obere Ventil
element 80 gegen eine weitere Abwärtsbewegung blockiert ist, wenn sich das un
tere Ventilelement 86 bewegt, ist die Ventilspindelanordnung 56 gezwungen, sich
axial auszudehnen, was am Balgabschnitt 92 erfolgt. Es ist anzumerken, daß die
erste Feder 110 in Fig. 5 im Vergleich zu Fig. 4 zusammengepreßt ist und in Fig. 6
noch weiter zusammengepreßt ist. Die zweite Feder 142 im Abschnitt zum Kom
pensieren des Kriechens ist in Fig. 6 im Vergleich zu den Fig. 4 und 5 zusammen
gepreßt.
Somit werden durch die ersten und zweiten Federn 110, 144 die Schließ
kräfte der Ventilelemente 80, 86 an den Ventilsitzen 78, 82 erzeugt. Jedes Krie
chen, das in den Ventilkomponenten stattfindet, wird weder in irgendeinem be
deutenden Umfang die Schließdrücke noch dementsprechend die Integrität der
Ventilabschnitte beeinflussen.
Der Handgriff 120 und die drehbare Welle 122 werden sich vorzugsweise
um eine vorgegebene Drehstrecke drehen, die eine Vierteldrehung sein kann, wie
durch den mit dem Bezugszeichen 162 (Fig. 2) bezeichneten Kreisbogen ange
zeigt ist. Dies wird mit den in Fig. 7 gezeigten Nockenabschnitten 128 einfach rea
lisiert. Wenn die in den Fig. 4, 5 und 6 erläuterten Gewindeabschnitte 128 ver
wendet werden, sind für die vollständige Drehstrecke einer solchen Konfiguration
mehrere Umdrehungen notwendig. Die Bewegungsübertragungsabschnitte über
setzen die Drehbewegung in eine lineare und axiale Bewegung, die das obere
Ventilelement 80, wie in den Fig. 4 und 5 gezeigt ist, um eine erste vorgegebene
lineare Strecke d1 bewegt. Die Drehbewegung verschiebt außerdem ein Verbin
dungselement 166, wie etwa den in den Fig. 4, 5 und 6 gezeigten oberen Halteab
schnitt 148 um eine zweite vorgegebene Strecke d2, wie in Fig. 6 erläutert ist. Die
Differenz zwischen d2 und d1 ist gleich der Kontraktion des Mechanismus 58 zum
Kompensieren des Kriechens, wie durch die Strecke d3 von Fig. 6 gezeigt ist. Au
ßerdem wird in Fig. 6 die Abwärtsbewegungsstrecke d4 des unteren Ventilele
ments 86 durch die Kontraktion des Abschnitts 58 zum Kompensieren des Krie
chens nicht beeinflußt und ist diese Strecke d4 gleich der Strecke d2.
Die Verwendung der Federkräfte zum Schaffen der Schließdrücke für die
Ventilelemente 80, 86 minimiert effektiv das Vorkommen von Kriechen und schafft
eine Selbstkompensation von auftretendem Kriechen. Derartige Ventile sind in
Umgebungen geeignet, in denen die Fluiddrücke nicht ausreichend sind, um die
Schließdrücke zu überwinden.
Claims (13)
1. Kunststoffventil, speziell ein Dreiwege-Kunststoffventil, mit einem Ventilge
häuse (52), das einen ersten Ventilsitz (78), der auf das Ventilgehäuse (52) axial
ausgerichtet ist und mit einem ersten Ventilelement (80) zusammenwirkt, einen
zweiten Ventilsitz (82), der auf das Ventilgehäuse (52) axial ausgerichtet ist und
mit einem zweiten Ventilelement (80) zusammenwirkt, und eine Betätigungsein
richtung (54), die die Ventilelemente (80, 86) axial bewegt und mit einem axial be
weglichen Verbindungsabschnitt (151) versehen ist, der sich von der Betätigungs
einrichtung (54) zum zweiten Ventilelement (86) erstreckt, umfaßt, gekennzeich
net durch einen gekapselten und zusammenpreßbaren Federabschnitt (142-152),
der zwischen der Betätigungseinrichtung (54) und dem ersten Ventilelement (80)
angeordnet ist und in axialer Richtung beweglich ist, ohne sich zusammenzuzie
hen, bis das erste Ventilelement (80) auf dem ersten Ventilsitz (78) aufsitzt.
2. Kunststoffventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das
zweite Ventilelement (86) gegen den zweiten Ventilsitz (82) federvorbelastet ist.
3. Kunststoffventil nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Ventilelemente (80, 86) über einen ausdehnbaren und zusammenziehba
ren Spindelabschnitt (90) verbunden sind.
4. Kunststoffventil nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der
Spindelabschnitt (90) einen Balgabschnitt (92) aufweist.
5. Kunststoffventil nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Betätigungseinrichtung (54) eine mit Nocken versehene Fläche
(126) zur Bewegungsübertragung enthält.
6. Kunststoffventil nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Betätigungseinrichtung (54) einen Handgriff (120) aufweist, der
einen vorgegebenen Drehbewegungsbereich von vorzugsweise einer Vierteldre
hung aufweist.
7. Kunststoffventil nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Ventilelement (80, 86) eine einteilig ausgebildete Membran
aufweist, die sich hiervon in dichtem Eingriff mit dem Ventilgehäuse (52) erstreckt.
8. Kunststoffventil nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekenn
zeichnet, daß der Ventilsitz einen Ventilelement-Kontaktabschnitt aufweist, wobei
radial benachbart zu diesem eine kreisförmige Nut angeordnet ist, um dem Ventil
sitz eine Flexibilität zu verleihen.
9. Kunststoffventil nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Ventilelement (80, 86) einen Teller und eine umlaufende Mem
bran enthält.
10. Kunststoffventil nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die
Ventilelemente (80, 86) mit ihren Tellern und Membranen zusammen mit dem
Hohlspindelabschnitt (90) einteilig ausgebildet sind.
11. Kunststoffventil nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Ventilsitze (78, 82) und ihre Ventilelemente (80, 86) axial ausge
richtet sind.
12. Kunststoffventil nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekenn
zeichnet, daß der gekapselte und zusammenpreßbare Federabschnitt (142-152)
zwei Träger (146, 148) enthält, die in axialer Richtung beabstandet sind und eine
Feder (142) einkapseln.
13. Kunststoffventil nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die
zwei Träger (146, 148) mit axial sich erstreckenden Stiften (150) in Gleiteingriff
sind.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US21665698A | 1998-12-18 | 1998-12-18 | |
US216656 | 1998-12-18 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19960630A1 true DE19960630A1 (de) | 2000-06-21 |
DE19960630B4 DE19960630B4 (de) | 2014-01-16 |
Family
ID=22807961
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1999160630 Expired - Fee Related DE19960630B4 (de) | 1998-12-18 | 1999-12-16 | Kunststoffventil |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6595240B2 (de) |
JP (1) | JP2000227168A (de) |
KR (1) | KR100770757B1 (de) |
CA (1) | CA2292279A1 (de) |
DE (1) | DE19960630B4 (de) |
FR (1) | FR2787547B1 (de) |
GB (1) | GB2344870B (de) |
HK (1) | HK1028631A1 (de) |
IT (1) | IT1311326B1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112006003392B4 (de) * | 2005-12-22 | 2016-03-17 | Flowserve Management Company | Druckausgleichendes Ventil |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10014133A1 (de) * | 1999-03-23 | 2000-11-09 | Fluoroware Inc | Dreiwegeventil |
US6860469B2 (en) * | 2002-05-30 | 2005-03-01 | Swagelok Corporation | Rotary valve actuator |
US6837484B2 (en) * | 2002-07-10 | 2005-01-04 | Saint-Gobain Performance Plastics, Inc. | Anti-pumping dispense valve |
JP4085012B2 (ja) | 2003-02-13 | 2008-04-30 | 忠弘 大見 | 真空排気系用バルブ |
WO2004081428A2 (en) * | 2003-03-07 | 2004-09-23 | Swagelok Company | Valve with adjustable stop |
JP2006070946A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 調節弁 |
US7644840B2 (en) * | 2005-02-04 | 2010-01-12 | Fluid Management Operations Llc | Valve assembly for viscous fluid dispensers |
US20060175570A1 (en) * | 2005-02-04 | 2006-08-10 | Fluid Management Operations Llc | Valve assembly |
WO2006089110A1 (en) * | 2005-02-18 | 2006-08-24 | Swagelok Company | Flow control device with flow adjustment mechanism |
US7651070B2 (en) * | 2006-01-19 | 2010-01-26 | Clean & Clear Corporation | Canter element controlled combination manifold, valve and filter module system |
EP1996850B1 (de) * | 2006-03-15 | 2013-04-24 | Norgren GmbH | Ventil mit federmembran |
CN102936918B (zh) * | 2012-11-30 | 2016-01-20 | 株洲南车时代电气股份有限公司 | 气控换向水阀及其真空集便器的水增压装置 |
WO2017210291A2 (en) | 2016-06-01 | 2017-12-07 | Entegris, Inc. | Conductive filter device |
JP6599838B2 (ja) * | 2016-10-11 | 2019-10-30 | Ckd株式会社 | ウエア形手動開閉弁 |
SG11202010624WA (en) | 2018-05-07 | 2020-11-27 | Entegris Inc | Fluid circuit with integrated electrostatic discharge mitigation |
KR102561519B1 (ko) * | 2018-12-18 | 2023-08-01 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 유체 흐름을 제어하기 위한 밸브 및 밸브 부재 |
HUP1900114A1 (hu) * | 2019-04-05 | 2020-10-28 | Kerox Ipari Es Kereskedelmi Kft | Vezérelt dugattyús szelep |
KR20210157913A (ko) | 2019-05-23 | 2021-12-29 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 정전 방전 완화 배관 |
Family Cites Families (46)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE7227309U (de) * | 1973-10-25 | Armaturenfabrik Schneider F | Absperrventil | |
US2010129A (en) | 1934-09-26 | 1935-08-06 | Ingersoll Rand Co | Valve assembly |
DE1209386B (de) * | 1960-11-15 | 1966-01-20 | Asea Ab | Druckmittelbetaetigtes Ventil |
US3150536A (en) | 1961-07-11 | 1964-09-29 | Link Belt Co | Valve assembly component |
US3195574A (en) * | 1961-08-25 | 1965-07-20 | Carls William | Lever operated valve assembly with lost motion connection |
GB1076662A (en) | 1964-02-12 | 1967-07-19 | Erich Herion | A solenoid-operated multiway valve |
US3332440A (en) | 1965-03-19 | 1967-07-25 | Robertshaw Controls Co | Sequentially-actuated multiplefunction control valve |
US3540478A (en) | 1966-11-02 | 1970-11-17 | Yamada Yuki Seizo Co Ltd | Diaphragm type pneumatic logic element |
DE1917792A1 (de) * | 1969-04-08 | 1970-11-05 | Paschke Dipl Ing Hans Dieter | Druckmittelbetriebene Vorrichtung zur Erzeugung einer hin- und hergehenden Bewegung |
DE2034273A1 (de) * | 1970-07-10 | 1972-01-20 | Sanitaertechnik Wolfsburg Reim | Absperrventil |
DE2038846C3 (de) | 1970-08-05 | 1978-03-30 | Festo Maschf Stoll G | Steuerventil in Mehrwegebauart mit einstellbarer Betätigungskraft |
IT947485B (it) * | 1972-02-10 | 1973-05-21 | Sirai S R L Soc Italiana Regol | Valvola in particolare ad aziona mento elettromagnetico |
US3815633A (en) | 1972-03-01 | 1974-06-11 | Itt | Fluid flow control manifolds and devices |
CH565963A5 (de) | 1972-03-01 | 1975-08-29 | Festo Maschf Stoll G | |
US4010769A (en) | 1972-11-27 | 1977-03-08 | Plast-O-Matic Valves, Inc. | Leak detection arrangement for valve having sealing means |
US3827670A (en) | 1972-12-11 | 1974-08-06 | Richdel | Valve assembly |
DE2743829C2 (de) | 1977-09-29 | 1984-03-29 | Festo-Maschinenfabrik Gottlieb Stoll, 7300 Esslingen | Mehrwegeventil |
CH624197A5 (en) | 1977-12-16 | 1981-07-15 | Fischer Ag Georg | Gate valve |
IL53914A (en) * | 1978-01-30 | 1980-09-16 | Givat Chaim Ichud | Two-postion three-way valve |
US4181154A (en) | 1978-02-27 | 1980-01-01 | Ara Services, Inc. | Deflector valve for fluids |
US4293118A (en) * | 1979-11-26 | 1981-10-06 | American Standard Inc. | Multi-function operator for control valve device |
US4343456A (en) * | 1980-05-16 | 1982-08-10 | Galtek Corporation | Plastic control valve |
US4377182A (en) * | 1981-05-20 | 1983-03-22 | Semon Albert L | Three-way valve |
USRE34261E (en) * | 1981-11-06 | 1993-05-25 | Solenoid valve | |
US4481971A (en) | 1983-01-28 | 1984-11-13 | Elkay Manufacturing Company | Regulator and shut-off valve assembly |
US4669700A (en) | 1985-05-13 | 1987-06-02 | Sundstrand Corporation | Pilot operated valve |
YU47401B (sh) | 1986-08-25 | 1995-03-27 | Stanić, Miodrag | Ventilski zatvarač |
US4819691B1 (en) | 1986-10-21 | 1997-09-23 | Steridose Systems Ab | Valve device |
USRE33246E (en) | 1986-12-16 | 1990-07-03 | Marathon Oil Company | High speed, high temperature three-way valve for switching high pressure fluids under low pressure control |
SE456689B (sv) * | 1987-03-05 | 1988-10-24 | Tour & Andersson Ab | Trevaegsventil med kombinerat system foer reglering och hydraulisk inbalansering |
US4798527A (en) | 1988-03-07 | 1989-01-17 | Vickers, Incorporated | Control system for injection molding machine |
US5400823A (en) | 1989-01-13 | 1995-03-28 | Kysor Industrial Corporation | Viscous fluid shear clutches and control valves therefor |
US5191915A (en) | 1989-01-13 | 1993-03-09 | Kysor Industrial Corporation | Viscous fluid shear clutches and control valves therefor |
US4901751A (en) | 1989-06-15 | 1990-02-20 | Systems Chemistry, Inc. | Fluid control valve and system with leak detection and containment |
US5295907A (en) | 1990-05-04 | 1994-03-22 | Ava International Corporation | Rorque limiting device |
US5002086A (en) | 1990-05-11 | 1991-03-26 | Fluoroware, Inc. | Plastic control valve |
DE4104656A1 (de) | 1991-02-15 | 1992-08-20 | Grohe Armaturen Friedrich | Betaetigungsglied mit ueberlastsicherung |
DE4201442A1 (de) * | 1992-01-21 | 1995-01-05 | Wolfgang Offenwanger | Elektronisch geregeltes direkt betätigtes 3-Wege-Druckregelventil für gasförmige und flüssige Medien |
US5261442A (en) * | 1992-11-04 | 1993-11-16 | Bunnell Plastics, Inc. | Diaphragm valve with leak detection |
US5345857A (en) | 1993-02-02 | 1994-09-13 | Osmonics, Inc. | Thermoplastic bellows and method of forming the same |
US5335696A (en) | 1993-03-10 | 1994-08-09 | Fluoroware, Inc. | Three-way weir style valve |
US5549134A (en) | 1994-05-27 | 1996-08-27 | Marcvalve Corporation | Diaphragm valve |
US5558125A (en) * | 1994-09-06 | 1996-09-24 | Ingersoll-Rand Company | Air winch control valve |
US5649567A (en) | 1995-06-12 | 1997-07-22 | Itt Fluid Technology Corporation | Sealing arrangement, for use with, and in combination with, a steam and fuel oil control and furge valve, and a valve seat therefor |
US5924441A (en) * | 1996-09-11 | 1999-07-20 | Fluoroware, Inc. | Diaphragm valve |
IT1290225B1 (it) * | 1997-01-31 | 1998-10-22 | Voith Riva Hydro S P A | Valvola idraulica e relativo impianto elettro-idraulico per il comando degli organi di regolazione di turbine idrauliche |
-
1999
- 1999-12-16 DE DE1999160630 patent/DE19960630B4/de not_active Expired - Fee Related
- 1999-12-16 CA CA 2292279 patent/CA2292279A1/en not_active Abandoned
- 1999-12-17 GB GB9929947A patent/GB2344870B/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-12-17 KR KR1019990058531A patent/KR100770757B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1999-12-17 FR FR9915975A patent/FR2787547B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1999-12-17 IT IT1999TO001113 patent/IT1311326B1/it active
- 1999-12-20 JP JP36149399A patent/JP2000227168A/ja active Pending
-
2000
- 2000-11-27 HK HK00107599A patent/HK1028631A1/xx not_active IP Right Cessation
-
2001
- 2001-08-13 US US09/928,541 patent/US6595240B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112006003392B4 (de) * | 2005-12-22 | 2016-03-17 | Flowserve Management Company | Druckausgleichendes Ventil |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
HK1028631A1 (en) | 2001-02-23 |
ITTO991113A0 (it) | 1999-12-17 |
IT1311326B1 (it) | 2002-03-12 |
GB9929947D0 (en) | 2000-02-09 |
GB2344870B (en) | 2003-09-10 |
KR20000048207A (ko) | 2000-07-25 |
FR2787547B1 (fr) | 2004-12-03 |
US6595240B2 (en) | 2003-07-22 |
US20020066488A1 (en) | 2002-06-06 |
CA2292279A1 (en) | 2000-06-18 |
ITTO991113A1 (it) | 2001-06-17 |
DE19960630B4 (de) | 2014-01-16 |
JP2000227168A (ja) | 2000-08-15 |
GB2344870A (en) | 2000-06-21 |
FR2787547A1 (fr) | 2000-06-23 |
KR100770757B1 (ko) | 2007-10-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE19960630B4 (de) | Kunststoffventil | |
DE4434634C2 (de) | Druckreduzierventil | |
EP0742398B1 (de) | Ventil mit einer Membranabdichtung | |
EP0932780B1 (de) | Einplatten-schieber, insbesondere einplatten-rohrbrückenschieber | |
DE602004007356T2 (de) | Ventil und verfahren zur bereitstellung eines fluidimpulses | |
DE10014133A1 (de) | Dreiwegeventil | |
CH688833A5 (de) | Ventil. | |
DE19737516A1 (de) | Ventil, insbesondere Membranventil | |
EP0380754B1 (de) | Kraftausgeglichenes Hubventil | |
WO2013170931A1 (de) | Ventil und membran für ein ventil | |
DE69920110T2 (de) | Schieberanordnung für Doppelsitzschiebeventil | |
DE2553250B2 (de) | Membranbetätigtes 5/2-Mehrwegeventil | |
DE10300772A1 (de) | Fluidbetätigter Aktuator | |
DE3042818A1 (de) | Kugelventil | |
EP0882916B1 (de) | Ventilanordnung | |
DE3322912A1 (de) | Mehrwege-sitzventil | |
WO2017148769A1 (de) | Ventilvorrichtung für eine verbrennungskraftmaschine | |
DE2752364C2 (de) | Kugelhahn | |
CH675759A5 (de) | ||
EP0811795A2 (de) | Servogesteuertes Wasserventil | |
EP0364407B1 (de) | Dichtung für Ventile oder Flansche, insbesondere für die Vakuumtechnik | |
DE2243173A1 (de) | Ventil mit einem kanal fuer ein stroemendes fluid | |
DE4422478A1 (de) | Durchgangsventil und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE3219309A1 (de) | Ventil mit einem ventilverschluss | |
EP3714993B1 (de) | Vorrichtung zum ausgeben eines fliessfähigen mediums |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8128 | New person/name/address of the agent |
Representative=s name: SPARING . ROEHL . HENSELER, 40237 DUESSELDORF |
|
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: ENTEGRIS, INC., CHASKA, MINN., US |
|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R079 | Amendment of ipc main class |
Free format text: PREVIOUS MAIN CLASS: F16K0011000000 Ipc: F16K0011048000 Effective date: 20131121 |
|
R020 | Patent grant now final | ||
R020 | Patent grant now final |
Effective date: 20141017 |
|
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |