DE19952322C2 - Verfahren und Vorrichtung zur Partikeltrennung - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur PartikeltrennungInfo
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Abstract
In einem Partikelgemisch (1) aus einer Vielzahl von Partikeln in einem fluidischen Mikrosystem werden Zielpartikel (2) mit vorbestimmten Partikeleigenschaften von Restpartikeln (3) getrennt. Es erfolgen ein Positionieren von Partikeln in Beobachtungsfeldern an Funktionselementen (30) in einer ersten Kanalstruktur (10), wobei die Funktionselemente Elektrodenanordnungen aufweisen, an denen inhomogene elektrische Felder erzeugt werden, die dielektrophoretische Kräfte auf die Partikel ausüben, ein Vermessen der Partikel zur Ermittlung der Partikeleigenschaften mit einer Erfassung der Beobachtungsfelder, die die Zielpartikel (2) bzw. die Restpartikel (3) enthalten, ein Ausbilden optischer Käfige an den Beobachtungsfeldern, die die Ziel- oder Restpartikel enthalten, und ein gleichzeitiges Übertragen der Ziel- und Restpartikel in eine benachbarte zweite Kanalstruktur (20), wobei optische Kräfte der optischen Käfige und dielektrische Polarisationskräfte der Funktionselemente (30) zusammenwirken.
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Trennen von Partikel
gemischen nach bestimmten Partikeleigenschaften, insbesondere
ein Trennverfahren für Gemische mikroskopisch kleiner Partikel
in fluidischen Mikrosystemen, und eine Trenneinrichtung zur
Durchführung des Verfahrens.
Eine häufig bei biologischen oder medizinischen Untersuchun
gen, in der Diagnostik sowie in biotechnologischen Prozessen
gestellte Aufgabe besteht in der Trennung von Suspensionsge
mischen durch Verteilung oder Sortierung von Zellen oder Mi
kropartikeln aus einer großen Ausgangsmenge in bestimmte
Gruppen mit jeweils den gleichen Eigenschaften. Beispielswei
se kann die Transfektion einer Zellinie oft nur unvollständig
durchgeführt werden, so daß vor einer weiteren Bearbeitung
oder Nutzung dieser Zellinie die erfolgreich transfizierten
Zellen von den nicht erfolgreich bearbeiteten Zellen getrennt
werden müssen. Insbesondere das Aussortieren selten vorkom
mender Individuen stellt eine sehr hohe Anforderung an das
Trennverfahren hinsichtlich der Reinheit und Homogenität der
Zielfraktion. Ein weiteres Beispiel im medizinischen Bereich
ist mit der Knochenmarktransplatation gegeben, bei der Stamm
zellen von einer großen Zahl anderer Zellen getrennt werden
müssen. Auch bei der Analyse von fetalen Zellen im mütterli
chem Blut müssen einige wenige fetale Zellen von dem Zellen
gemisch abgetrennt werden, das sich im mütterlichen Blut be
findet. Eine wichtige Aufgabe in der Tumordiagnostik ist die
Erkennung, das Aussortieren und die Analyse von metastasie
renden Krebszellen im Blut des Patienten. Es sind verschiede
ne Methoden zur Trennung von Zellgemischen bekannt, die die
Trennaufgabe jedoch nur unvollkommen lösen. Hierzu zählen
insbesondere die Affinitätschromatographie, Trennverfahren
auf der Basis von Fluoreszenzmarkierungen wie zum Beispiel
die Fluoreszenz-aktivierte Zellsortierung (FACS), auf der Ba
sis von Markierung mit ferromagnetischen Partikeln, die Ma
gnet-aktivierte Zellsortierung (MACS) und mikroskopische Ver
fahren.
Die Affinitätschromatographie wie auch die MACS (oder: Pan
ning-Verfahren) sind auf Trennvorgänge beschränkt, bei denen
die Zellen an der Zelloberfläche ein Molekül exprimieren, das
eine Affinität zu einer weiteren, bekannten oder unbekannten
Substanz besitzt. Bei der Affinitätschromatographie wird die
se Substanz auf eine Chromatographiematrix, zum Beispiel auf
der Basis von Beads, aufgebracht. Eine Suspension der zu tren
nenden Zellen wird über diese Matrix gegeben, so daß die ex
primierenden Zellen daran haften, während die anderen Zellen
fort gespült werden. Der Nachteil dieses Verfahrens besteht
neben der Beschränkung auf zelluläre Systeme mit einer Ober
flächenexpression von Molekülen, in der hohen mechanischen
Belastung der Zellen und der geringen Trennschärfe der Chroma
tographie. Die Trennschärfe ist schwach, da viele Zellen mit
geringer Affinität unspezifisch an der Matrix hängenbleiben,
die eigentlich nicht zu den abzutrennenden Zellen gehören. In
der Praxis ist die Affinitätschromatographie auf die Trennung
von mechanisch wenig empfindlichen Bakterien beschränkt.
Beim Magnet-aktivierten Trennen von Zellen wird die Zellsus
pension mit mikrometergroßen Magnetpartikeln, auf die die af
fine Substanz aufgebracht ist, gemischt und die Magnetpartikel
zusammen mit den Zielzellen mithilfe eines außerhalb des Reak
tionsgefäßes befindlichen Magneten abgetrennt. Auch hier ist
die Verschleppung unspezifisch anhaftender Zellen an die Ma
gnetpartikel eine erhebliche Einschränkung des Verfahrens hin
sichtlich der Reinheit der Zielfraktion.
Beim Fluoreszenz-aktivierten Trennen von Zellen (FACS) werden
diese in einem Flüssigkeitsstrom durch eine dünne Kapillare
transportiert, wobei in der Regel noch ein weiterer, zell
freier Hüllstrom vorgesehen ist. Dieser Strom wird von einem
Tropfengenerator in Einzeltropfen zerlegt, die aus der Kapil
lare in einen freien Meßraum emittiert werden. Die Tropfen
passieren im Flug eine optische Meßstrecke, in der sie einer
Streulicht- und/oder Fluoreszenzlichtmessung unterzogen wer
den. Hierzu werden ein oder mehrere Laser auf die Flugbahn der
Tropfen in der optischen Meßfläche fokussiert. Die gemessenen
Streulicht- und/oder Fluoreszenzintensitäten erlauben die
Feststellung, ob bestimmte Zelleneigenschaften gegeben sind
oder nicht. In Abhängigkeit vom Meßergebnis wird eine nach der
Meßstrecke angeordnete Verteilereinrichtung, zum Beispiel auf
der Basis einer mechanischen Prallplatte oder einer elek
trostatischen Ablenkvorrichtung, betätigt.
Der Nachteil der fluoreszenzaktivierten Zelltrennung besteht
darin, daß es sich um ein serielles Verfahren handelt. Der
optische Aufwand für die Meßstrecke ist so groß, daß eine Par
allelisierung für praktische Anwendungen zu aufwendig ist.
Entsprechendes gilt für die Tropfenerzeugung und die Vertei
lereinrichtung. Um beispielsweise 10000 Zellen pro Sekunde
analysieren zu können, muß bei einer seriellen Verfahrensweise
die Meßzeit auf 100 ms oder weniger beschränkt werden. In der
art kurzen Zeitbereichen sind Messungen zwar möglich, aber
auch mit relativ großen Fehlern behaftet, so daß die Trenn
schärfe des Verfahrens negativ beeinflußt wird.
Die mikroskopische Zelltrennung basiert darauf, eine zweidi
mensionale Schicht von Zellen (sogenannter Zellrasen) zu bil
den und mit einem Mikroskop abzurastern. Von jeder Zelle wird
ein Bild aufgenommen, das einer Bildauswertung zur Feststel
lung vorbestimmter Zelleigenschaften unterzogen wird. Je nach
dem Auswertungsergebnis wird eine Pickvorrichtung dazu verwendet,
einzelne Zellen nach der Messung aus dem Zellrasen zu
lösen und einem Zielort zuzuführen. Eine besonders hohe Auflö
sung bei der Bildaufnahme wird durch Einsatz der konfokalen
Mikroskopie erzielt. Auch dieses Verfahren besitzt Beschrän
kungen vor allem in bezug auf den Durchsatz der Pickvorrich
tung. Ohne Zellen zu beschädigen, kann maximal im Rhythmus von
ca. 10 s jeweils ein Pickvorgang erfolgen, der darüber hinaus
eine mechanische Belastung der zu trennenden Zellen darstellt.
Die genannten Probleme treten nicht nur bei der Trennung von
Zellgemischen, sondern allgemein bei der Trennung von Parti
kelgemischen natürlichen und/oder synthetischen Ursprungs auf.
In Fig. 7 ist ein aus der Mikrosystemtechnik allgemein bekann
tes Prinzip der Verteilung von Partikeln illustriert. Ein
fluidisches Mikrosystem 100' enthält eine erste Kanalstruktur
10' und eine zweite Kanalstruktur 20', die aneinandergrenzen
de, zum Beispiel nebeneinander oder übereinander angeordnete,
Kanäle oder Kammern umfassen. Ein in einer Flüssigkeit suspen
diertes Partikelgemisch 1' wird in der ersten Kammerstruktur
10' zu einem Feldkäfig 30' bewegt. Sobald ein Partikel im
Feldkäfig 30' positioniert ist, erfolgen an dieser Beobach
tungsposition eine Vermessung des Partikels mit elektrischen
Mitteln und nach Freigabe des Partikels vom Feldkäfig 30' in
Abhängigkeit vom Meßergebnis eine Ansteuerung einer Ablenke
lektrode 40' derart, daß der Partikel in die zweite Kanal
struktur 20' überführt oder zur weiteren Bewegung in der er
sten Kanalstruktur 10' verbleibt (siehe Pfeile). Dieses Ver
fahren ist wegen der seriellen Trennweise nachteilig. Soll das
Trennverfahren gemäß Fig. 5 mit mehreren. Feldkäfigen durchge
führt werden, so müßten entsprechend mehrere Ablenkelektroden
selektiv verstimmt werden. Dies ist jedoch wegen der elektri
schen Wechselwirkung benachbarter Strukturen in praktisch in
teressierenden Zeitbereichen nicht zuverlässig durchführbar
und es würde zu unerwünschten Fehltrennungen kommen. Ein weiterer
Nachteil besteht in der Beschränkung auf die Messung
elektrischer Eigenschaften der Partikel im Mikrosystem.
Aus EP 0 827 371 ist ein Gerät zur Manipulierung mikroskopisch
kleiner Proben in einer Zellenanordnung mit Hilfe von
Laserstrahlen bekannt.
Die Aufgabe der Erfindung ist es, ein verbessertes Trennver
fahren anzugeben, das sich durch einen hohen Durchsatz, eine
hohe Trennschärfe und eine geringe mechanische Belastung der
zu trennenden Partikel auszeichnet. Die Aufgabe der Erfindung
ist es auch, eine Trennvorrichtung zur Implementierung eines
derartigen Verfahrens anzugeben.
Diese Aufgaben werden durch ein Verfahren und eine Vorrichtung
mit den Merkmalen gemäß den Patenansprüchen 1 bzw. 17 gelöst.
Vorteilhafte Ausführungsformen und Anwendungen der Erfindung
ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.
Die Grundidee der Erfindung besteht darin, eine Partikeltren
nung in einem fluidischen Mikrosystem durchzuführen, in dem
die zu trennenden Partikel zunächst einzeln oder gruppenweise
in einer Vielzahl von Funktionselementen auf der Basis von
Feldkäfigen oder anderen geeigneten Feldbarrieren durch nega
tive Dielektrophorese positioniert und an dieser Beobach
tungsposition (oder: in diesem Beobachtungsfeld) vermessen
werden. Beim Vermessen werden vorbestimmte Eigenschaften der
zu trennenden Partikel und dementsprechend die Positionen der
Partikel ermittelt, die aus dem Gemisch zu trennen sind bzw.
die Positionen der Partikel, die zum Restgemisch gehören. Im
Rahmen der vorliegenden Beschreibung werden die abzutrennen
den Partikel auch Zielpartikel und die zum übrigen Gemisch
gehörenden Partikel Restpartikel genannt. Um die Ziel- oder
Restpartikel in eine benachbarte Kanalstruktur des Mikrosys
tems zu übertragen, werden die Ziel- oder Restpartikel nach
der Vermessung einzeln oder simultan einer Laserbestrahlung
zur Bildung jeweils eines optischen Käfigs unterzogen. Die
Laserbestrahlung kann hierbei innerhalb eines Feldkäfigs, an
einer Feldbarriere oder in Fließrichtung unmittelbar hinter
einem Feldkäfig oder einer Feldbarriere erfolgen. Dementspre
chend werden die Ziel- oder Restpartikel zusätzlich zu den
elektrischen Feldkräften auch optischen Kräften ausgesetzt.
Je nach Ausführungsform der Erfindung erfolgt die Übertragung
der Ziel- oder Restpartikel durch Verschiebung der optischen
Käfige in die benachbarte Kanalstruktur oder durch Öffnen des
elektrischen Feldkäfige hin zur benachbarten Kanalstruktur
bei gleichzeitigem Festhalten der optischen Käfige. Diese
Übertragung kann auch für mehrere Ziel- oder Restpartikel
gleichzeitig erfolgen. Die Zielpartikel werden entsprechend
in der benachbarten oder in der ursprünglichen Kanalstruktur
des Mikrosystems gesammelt und weiter bearbeitet.
Gemäß einer Grundform der Erfindung erfolgt ein Verteilen der
Ziel- bzw. Restpartikel in zwei Gruppen. Durch stufenweises
Wiederholen der Trennung jeweils unter Bezug auf andere Parti
keleigenschaften kann auch ein Sortieren in mehrere Ziel- bzw.
Restpartikelgruppen erfolgen.
Eine Vorrichtung zur Partikeltrennung in fluidischen Mikrosy
stemen umfaßt erfindungsgemäß eine erste Kanalstruktur mit
Elektrodeneinrichtungen zur Bildung einer Vielzahl von Funkti
onselementen (z. B. dielektrische Feldkäfige) eine benachbarte,
zweite Kanalstruktur, die an den Positionen der Funktionsele
mente mit der ersten Kanalstruktur über Öffnungen verbunden
ist, eine Lasereinrichtung, die zur Bildung optischer Käfige
in jedem dielektrischen Feldkäfig ausgebildet ist, und eine
Lichtmodulatoreinrichtung, mit der in jeder vorgegebenen Posi
tion der jeweilige optische Käfig einzeln ein- bzw. ausge
schaltet werden kann.
Gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung erfolgt die
Übertragung der Zielpartikel durch Einschalten der optischen
Käfige in oder hinter den Feldkäfigen oder Feldbarrieren mit
den Zielpartikeln, Einfangen der Zielpartikel in den optischen
Käfigen und Verschieben der optischen Käfige in die zweite
Kanalstruktur, während die Restpartikel in der ersten Kanal
struktur bleiben. Die zweite Kanalstruktur liegt dabei entwe
der in y-Richtung parallel seitlich zu der ersten (relativ zur
Fließrichtung des Partikelstroms) versetzt. In diesem Fall
geschieht das Verschieben der in den optischen Käfigen gehal
tenen Partikel durch Verschieben der Vorrichtung in xy-
Richtung relativ zur optischen Achse des Laserstrahls. Oder
die zweite Kanalstruktur liegt in z-Richtung entlang der opti
sche Achse über der ersten Kanalstruktur. In diesem Fall ge
schieht das Verschieben der Partikel in die zweite Ebene durch
Fokusverstellung der optischen Käfige.
Gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung werden die
Zielpartikel ebenfalls in den jeweiligen dielektrischen Feld
käfigen in optischen Käfigen gehalten, während die Restparti
kel in den übrigen dielektrischen Feldkäfigen unbeleuchtet und
somit frei von optischen Kräften bleiben. Zur Partikeltrennung
werden sämtliche Feldkäfige derart verstimmt, daß dielektri
sche Abstoßungskräfte ausgebildet werden, die auf die Partikel
in den Feldkäfigen hin zu der zweiten Kanalstruktur gerichtet
sind. Darauf hin werden die Restpartikel in die zweite Kanal
struktur übertragen, während die Zielpartikel unter Wirkung
der optischen Kräfte trotz der Feldkäfigverstimmung in der
ersten Kanalstruktur verbleiben.
Die Erfindung besitzt die folgenden Vorteile. Mit dem erfin
dungsgemäßen Prinzip des seriellen oder parallelen Vermessens
einer Vielzahl von Partikeln mit einer anschließenden paralle
len Übertragung der Zielpartikel wird der Durchsatz der Parti
keltrennung im Vergleich zu den herkömmlichen Techniken erheb
lich erhöht. Die Vermessung der Partikel in den dielektrischen
Feldkäfigen kann schonend ohne nachteilige. Auswirkungen auf
die Partikel durchgeführt werden. Für die Vermessung steht
genügend Zeit zur Verfügung, um die jeweils gesuchten Eigenschaften
der Partikel zuverlässig zu ermitteln. Insbesondere
das Aussortieren von selten vorkommenden Partikeln in einer
großen Ausgangspopulation kann so mit hoher Zuverlässigkeit
erfolgen, da alle Partikel einzeln adressierbar sind. Die
dielektrischen Feldkäfige oder Feldbarrieren trennen die ein
zelnen Partikel während der Prozedur räumlich voneinander. Die
optischen Käfige ermöglichen ein Erfassen einzelner Partikel
ohne Übersprechen auf andere Partikel. Damit wird die Trenn
schärfe der Partikeltrennung erheblich verbessert. Die Vermes
sung kann sich auf elektrische und/oder optische Eigenschaften
der Partikel beziehen. Die Erfindung ist mit beliebigen Parti
keln natürlichen oder synthetischen Ursprungs implementierbar,
die in fluidischen Mikrosystemen manipulierbar sind. Ein wei
terer Vorteil besteht in der Kompatibilität des Trennverfah
rens mit der verfügbaren Mikrosystemtechnik.
Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung werden aus der
folgenden Beschreibung der beigefügten Zeichnungen ersicht
lich. Es zeigen:
Fig. 1: eine schematische Draufsicht eines Mikrosystems mit
einer erfindungsgemäßen Trennvorrichtung,
Fig. 2: eine schematische Seitenansicht eines Mikrosystems
gemäß Fig. 1,
Fig. 3: eine schematische Draufsicht eines Mikrosystems mit
einer weiteren erfindungsgemäßen Trennvorrichtung,
Fig. 4: eine schematische Seitenansicht auf ein Mikrosystem
gemäß Fig. 3,
Fig. 5: eine schematische Draufsicht eines Mikrosystems mit
einer zweidimensionalen, flächigen Matrixanordnung von Feldkäfigen
und einem für die erfindungsgemäße Ausführung typi
schen Strömungsprofil,
Fig. 6: eine schematische Draufsicht eines Mikrosystems mit
einer zweidimensionalen, flächigen Matrixanordnung von Feld
barrieren, und
Fig. 7: eine schematische Draufsicht auf einen herkömmli
chen Einzelpartikelverteiler (Stand der Technik).
Eine erste Ausführungsform der Erfindung, die in den Fig. 1
und 2 illustriert ist, basiert auf der Kombination von dielek
trischen Feldkäfigen mit verstellbaren optischen Käfigen. Eine
erfindungsgemäße Trennvorrichtung 200, die in ein fluidisches
Mikrosystem 100 integriert ist, umfaßt eine Vielzahl dielek
trischer Feldkäfige 30, in denen mit der Lasereinrichtung 40
und der Optik 42 jeweils ein optischer Käfig mit verstellbarem
Fokus 41 gebildet ist. Das Bezugszeichen 43 weist auf einen
Lichtmodulator, mit dem die optischen Käfige in den Feldkäfi
gen 30 selektiv ein- bzw. ausgeschaltet werden können.
Die Erzeugung optischer Käfige und deren Verwendung zur Mani
pulierung mikroskopisch kleiner Partikel ist an sich bekannt
(s. z. B. A. Ashkin et al. in "Nature", Bd. 330, 1987,
S. 796 ff., und G. Weber et al in "International Review of
Cytology", Bd. 133, 1992, S. 1 ff.). Einzelheiten des Laser
betriebs (z. B. Leistung, Wellenlänge etc.) und der Strahlfo
kussierung können bei der Realisierung des erfindungsgemäßen
Systems auf der Grundlage der bekannten Techniken an die kon
krete Trennaufgabe angepaßt werden.
Das Mikrosystem 100 umfaßt mindestens zwei Kanalstrukturen
10, 20. Die Kanalstrukturen 10, 20 umfassen jeweils Mikroka
näle oder Mikrokammern mit anwendungsabhängig gewählter Ge
stalt. Beim dargestellten Beispiel sind beispielsweise zwei
in Betriebsfunktion übereinander angeordnete Kanäle vorgese
hen. Sie können aber auch nebeneinander angeordnet sein. Die
Kanäle sind aus Kunststoff-, Glas oder Halbleitermaterialien
mit aus der Mikrosystemtechnik an sich bekannten Verfahren
hergestellt und dazu ausgelegt, von Flüssigkeiten mit suspen
dierten Partikeln durchströmt zu werden. Die Kanäle besitzen
charakteristische Dimensionen, die in Abhängigkeit von der
Anwendung so gewählt sind, daß ein unbehinderter Suspensions
durchsatz möglich ist. Dient das Mikrosystem beispielsweise
der Manipulierung biologischer Zellen (charakteristische Grö
ße: 10 µm), so besitzt jeder Kanal einen typischen Quer
schnitt, der größer als 10 µm ist und beispielsweise bis zu
50 µm beträgt. Zum Trennen synthetischer Partikel (beads),
zum Beispiel bei Anwendungen in der kombinatorischen Chemie,
können die Kanäle aber auch charakteristische Querschnittsdi
mensionen im Bereich von 100 bis 200 µm besitzen. Um eine op
tische Partikelvermessung in den Feldkäfigen zu gewährlei
sten, werden die Wände des Mikrosystems 100 entsprechend min
destens teilweise transparent gestaltet.
In der ersten Kanalstruktur 10 des Mikrosystems 100 ist eine
Vielzahl von Feldkäfigen 30 gebildet. Jeder Feldkäfig 30 um
faßt eine Gruppe von schematisch dargestellten Mikroelektroden
31, die an den Deck- und Bodenflächen der jeweiligen Kanal
struktur angebracht sind. Die Mikroelektroden 31 sind dazu
ausgelegt, mit Hochfrequenzfeldern derart beaufschlagt zu wer
den, daß sich zwischen den Mikroelektroden 31 eine Feldvertei
lung ergibt, in der auf dielektrische Partikel Polarisations
kräfte erzeugt werden, die die Partikel im Inneren des Feldkä
figs halten. Einzelheiten des Aufbaus und der Ansteuerung von
dielektrischen Feldkäfigen und Feldbarrieren sind an sich be
kannt (s. z. B. G. Fuhr et al. in "Electromanipulation of
Cells", CRT Press Inc., 1996, S. 259 ff.).
Im Mikrosystem 100 ist ferner eine Ladeeinrichtung 50 vorgese
hen, die zur Verteilung von Partikeln auf die Feldkäfige 30
der Trennvorrichtung 200 ausgelegt ist. Die Ladeeinrichtung
50, deren Funktion im einzelnen unten erläutert wird, ist je
doch kein zwingendes Merkmal der Erfindung und kann alternativ
auch durch andere Lade- oder Aufreihglieder ersetzt werden.
Die Beladung der Beobachtungspositionen oder -felder kann
beispielsweise auch passiv durch Transport der Partikelsus
pension über den laminaren Flüssigkeitsstrom vorgenommen wer
den. Das Strömungsprofil in den Mikrokanälen der Vorrichtung
ist nicht parabolisch, sondern verläuft über den größten Teil
des Kanals - mit Ausnahme der äußersten Randbereiche - gerad
linig (siehe Fig. 5), da der Kanal erheblich breiter ist, als
hoch. So werden die Partikel über den größten Teil des Kanals
gleichmäßig schnell transportiert und die Feldkäfige oder
Feldbarrieren werden statistisch gleichmäßig beladen. Ablen
kelektroden 63 am Rand des Kanals dienen dazu, Partikel aus
den strömungsberuhigten Randzonen des Kanals in Zonen mit
gleichförmiger Strömung zu befördern. Die Ablenkelektroden
können dabei auch Teil von Feldkäfig- oder Feldbarrierenelek
troden sein. Sollte eine Beobachtungsposition einmal unbe
setzt bleiben, ist dies für das weitere Verfahren unerheb
lich.
Die Kanalstrukturen 10, 20 sind, abgesehen von Öffnungen 11 im
Bereich jedes Feldkäfigs 30, durch eine durchgehende Wandung
voneinander getrennt. Die Aufgabe des Trennverfahrens besteht
nun darin, ein in der ersten Kanalstruktur 10 entsprechend der
Pfeilrichtung A eingeströmtes Partikelgemisch 1 in Zielparti
kel 2, die bei dieser Ausführungsform der Erfindung in die
zweite Kanalstruktur 20 übertragen werden sollen, und Restpar
tikel 3 zu trennen, die in der ersten Kanalstruktur 10 ver
bleiben sollen. So werden zunächst die Partikel 2 einzeln oder
gruppenweise z. B. unter Verwendung der Ladeeinrichtung 50 in
die in einer Reihe (siehe Fig. 1) angeordneten Beobachtungspo
sitionen (Feldkäfige oder Feldbarrieren) 30 geladen. Die Lade
einrichtung 50 umfaßt zwei gerade, an den oberen und unteren
Kanalseiten angeordnete, streifenförmige Mikroelektroden, die
bei Beaufschlagung mit hochfrequenten elektrischen Feldern un
ter Wirkung negativer Dielektrophorese Abstoßungskräfte auf
die anströmenden Teilchen ausüben und damit eine schräg zur
Strömungsrichtung (Pfeil A) verlaufende Feldbarriere bilden.
Der erste anströmende Partikel 1a läuft bei eingeschalteter
Feldbarriere zunächst entlang der Pfeilrichtung B bis zum Ende
der Ladeeinrichtung 50 und dann in den Feldkäfig 30a (siehe
Fig. 2). In diesem Zustand ist der Feldkäfig 30a auf der
stromaufwärts gelegenen Seite offen, so daß der Partikel frei
bis zum Mittelpunkt 31a des Feldkäfigs 30a gelangt. Sobald das
Eintreffen des Partikels zum Beispiel mit optischen oder elek
trischen Mitteln erfaßt ist, wird der Feldkäfig 30a auch auf
der stromaufwärts gelegenen Seite geschlossen. Die übrigen
Feldkäfige 30b, 30c, . . . werden analog durch Einströmen von
Partikeln beladen. Die Ladeeinrichtung 50 wird synchron zum
Beladungszustand der Feldkäfige betätigt. An der Ladeeinrich
tung 50 sind ggf. weitere Aufreihglieder, Feldkäfige oder Bar
rieren zur Anordnung der anströmenden Partikel vorgesehen.
Wenn alle Feldkäfige mit Partikeln beladen sind, erfolgt die
Vermessung zur Bestimmung physikalischer und/oder biologisch-
chemischer Parameter der Partikel. Diese Vermessung erfolgt
beispielsweise auf optischem Wege (zum Beispiel Fluoreszenz-
oder Streulichtmessung) und/oder auf elektrischem Wege (zum
Beispiel Elektrorotationsmessung in den Feldkäfigen). Es kann
auch vorgesehen sein, mit der Suspensionsflüssigkeit im Mikro
system Zusatzstoffe zu den Feldkäfigen zu spülen, deren Wech
selwirkung mit den gehalterten Partikeln optisch und/oder
elektrisch erfaßt wird. Die Feldkäfige, in denen sich die
Zielpartikel mit vorbestimmten Parametern befinden, werden zur
Vorbereitung des folgenden Trennschrittes erfaßt.
Zur gleichzeitigen Übertragung der Zielpartikel in die zweite
Kanalstruktur 20 wird der Lichtmodulator 43 derart betätigt,
daß eine Laserbestrahlung in die erfaßten Feldkäfige mit den
Zielpartikeln freigegeben wird. Durch diese Bestrahlung wird
jeweils ein optischer Käfig gebildet, dessen Fokus 41 mit dem
Zentrum (z. B. 31a) des dielektrischen Feldkäfigs 30 überein
stimmt. Die Zielpartikel werden in den optischen Käfigen wie
mit einer Laserpinzette gefangen. Anschließend wird gleichzei
tig für alle optischen Käfige der Fokus 41 durch die Öffnung
11 zwischen den Kanalstrukturen (Pfeil C) verschoben. Diese
Verschiebung erfolgt beispielsweise durch Verstellung der Op
tik 42. Sobald die Zielpartikel mit dem verschobenen Fokus in
die zweite Kanalstruktur 20 übertragen worden sind, wird mit
dem Lichtmodulator 43 die Laserstrahlung abgeschaltet. Dadurch
werden die Zielpartikel freigegeben, um einer weiteren Bewe
gung und/oder Bearbeitung in der zweiten Kanalstruktur 20 un
terzogen zu werden. Simultan werden die Feldkäfige 30 in der
ersten Kanalstruktur 10 auf der stromabwärts gelegenen Seite
geöffnet, so daß die Restpartikel 3 ebenfalls freigegeben wer
den. Die Ziel- bzw. Restpartikel 2, 3 können jeweils einer
oder mehreren weiteren Trennungen nach dem erläuterten Prinzip
unterzogen werden, um eine Sortierung in eine Vielzahl von
Partikelgruppen vorzunehmen.
Die Trennvorrichtung 200 umfaßt insbesondere die Lasereinrich
tung 40, deren Licht mit der Optik 42 zur Bildung des Fokus 41
gebündelt wird, und den Lichtmodulator 43. Die Lasereinrich
tung 40 umfaßt eine Laserdiodenanordnung oder einen einzelnen
Laser mit einer Strahlaufweitungsoptik. Es können auch mehrere
Laserstrahlen zur Bildung jeweils eines optischen Käfigs vor
gesehen sein. Bei der Laserdiodenanordnung sind eine Vielzahl
von Laserdioden entsprechend der Position der Feldkäfige oder
Feldbarrieren im Mikrosystem ausgerichtet. Beim Einsatz eines
einzelnen Lasers hingegen wird die gesamte Anordnung der Feldkäfige
mit dem einzelnen aufgeweiteten Strahl beleuchtet. Die
Lasereinrichtung 40 wird vorzugsweise bei einer Wellenlänge
betrieben, die sich zur Ausbildung effektiver optischer Käfige
bei möglichst geringer Lichtleistung besonders gut eignet. Bei
den meisten Anwendungen wird die Wellenlänge im infraroten oder
roten Spektralbereich gewählt.
Der Lichtmodulator 43 ist ein Transmissions- oder Reflektions-
Modulator. Als Transmissions-Modulator sind an sich bekannte
Mikroshutteranordnungen verwendbar, bei denen eine Vielzahl von
Mikroshuttern entsprechend der Position der Feldkäfige
ausgerichtet ist. Es werden mechanische Mikroshutter oder
schaltbare Flüssigkristall-Anordnungen verwendet. Als Reflek
tions-Modulator kann eine schaltbare Matrix von Spiegelelemen
ten (sog. Digital Mirror Array) verwendet werden. Alternativ
ist es bei Ausbildung der Lasereinrichtung 40 mit einer Laser
diodenanordnung auch möglich, den Lichtmodulator in die
Lasereinrichtung 40 zu integrieren. In diesem Fall ist der
Lichtmodulator eine Steuerschaltung, mit der die einzelnen
Laserdioden individuell ein- bzw. ausgeschaltet werden können.
Die Optik 42 umfaßt eine Mikrolinsen-Anordnung aus einer Viel
zahl von Mikrolinsen, die entsprechend den Positionen der
Feldkäfige ausgerichtet sind. Die Mikrolinsenanordnung ist zur
Verstellung des Fokus 41 vertikal beweglich angebracht, wie es
an sich von Laserpinzetten bekannt ist.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform erfolgt die Vermessung
der Partikel in den Feldkäfigen unter Verwendung einer
optischen Detektoreinrichtung, die beispielsweise durch einen
Array-Detektor auf der Basis von CCD-, CID- (Charge Injection
Device), CMOS-, APD- (Avalanche Photodiode) oder PD- (Photodiode)
Anordnungen gebildet ist. Die Detektoreinrichtung wird
vorzugsweise auf der relativ zur Lasereinrichtung 40 gegenüber
liegenden Seite des Mikrosystems 100 angebracht. Die Detektor
elemente der Detektoreinrichtung sind vorzugsweise für eine
wellenlängenselektive Lichterfassung ausgelegt. Hierzu sind
Filtereinrichtungen, die ggf. in die Detektoreinrichtung inte
griert sind, vorgesehen. Die wellenlängenselektive Messung
dient insbesondere der Fluoreszenzmessung an den Partikeln.
Eine weitere Ausführungsform der Erfindung, die ebenfalls mit
der in den Fig. 1 und 2 illustrierten Anordnung implemen
tiert werden kann, basiert auf der Kombination optischer Käfi
ge mit verstellbaren dielektrischen Feldkäfigen. Bei dieser
Gestaltung werden zunächst, wie oben beschrieben wurde, die
Partikel des Ausgangsgemisches 1 in den Feldkäfigen 30 posi
tioniert und vermessen. Um nun die Ziel- und Restpartikel von
einander zu trennen, wird in Abhängigkeit vom Meßergebnis für
eine Gruppe von Feldkäfigen 30, die beispielsweise die Ziel
partikel enthält, mit dem Lichtmodulator 43 die Laserbestrah
lung freigegeben. Dadurch wird jeder Zielpartikel in einem
optischen Käfig gefangen. Zur Trennung der Partikel werden nun
sämtliche Feldkäfige 30 derart verstimmt, daß eine resultie
rende dielektrische Kraft auf die Partikel durch die Öffnung
11 hin in die zweite Kanalstruktur 20 ausgeübt wird. Dieser
Kraftwirkung folgen alle Partikel, die nicht zusätzlich durch
den optischen Käfig gehaltert werden, so daß sich eine ent
sprechende Sammlung in der zweiten Kanalstruktur 20 ergibt.
Die beleuchteten Partikel (z. B. Zielpartikel) bleiben in die
sem Fall in der ersten Kanalstruktur 10. Nach Freigabe der
optischen bzw. dielektrischen Kräfte werden die Ziel- bzw.
Restpartikel in der ersten bzw. zweiten Kanalstruktur 10, 20
weiter transportiert.
Eine weitere abgewandelte Ausführungsform der Erfindung, die
entsprechend einem der beiden oben genannten Kombinationsprin
zipien betrieben werden kann, ist in den Fig. 3 und 4 illu
striert. Das Mikrosystem 100 enthält wiederum zwei übereinan
der angeordnete Kanalstrukturen 10, 20 mit zumindest teilweise
transparenten Kanalwänden. Auf den inneren Deck- bzw. Bodenflächen
der Kanalstrukturen sind anwendungsabhängig gestaltete
Mikroelektroden zur Erzeugung von Feldkäfigen und/oder
Barrieren ausgebildet. Im Unterschied zu der in Fig. 1 ge
zeigten Feldkäfigreihe umfaßt die Trennvorrichtung 200 bei
dieser Ausführungsform eine flächige Matrixanordnung von
Feldkäfigen 30 in geraden Reihen und Spalten. So sind mehrere
Reihen von Beobachtungspositionen in Strömungsrichtung hin
tereinander angeordnet. Dies hat einerseits den Vorteil, daß
individuelle Partikel mehrmals hintereinander bewertet werden
können, was die Zuverlässigkeit der Analyse und damit auch
der Trennung beträchtlich verbessert. Auf der anderen Seite
erhöht ein solches zweidimensionales Array an Beobachtungs
feldern erheblich den Durchsatz an Partikeln, die gleichzei
tig bewertet werden.
Eine weitere abgewandelte Ausführungsform der Erfindung hin
sichtlich der Form der Elektroden zur Ausbildung von Feldkä
figen 60 zeigt die Fig. 5. Hier werden die einzelnen Feldkä
fige durch Zinken- oder Kamm-artige Elektroden (61a, 61b,
61c . . .) gebildet. Die Partikel 62a, 62b, 62c . . . ordnen sich
in einer solchen Anordnung in den Zwischenräumen der Zinken
an. Diese Elektrodenform hat vor allem Vorteile hinsichtlich
einer einfachen Elektrodenprozessierung mit verbundenen Zu
leitungen.
Eine weitere Abwandlung der Erfindung ist in Fig. 6 demon
striert. Hier werden keine vollständigen Feldkäfige geformt,
sondern Feldbarrieren 70 mithilfe von Elektroden, wie bei
70a, 70b, 70c . . . gezeigt. Die Partikel 71a, 71b, 71c . . . wer
den durch einen stetigen Flüssigkeitsstrom 72 gegen die die
lektrischen Feldbarrieren gedrückt und so an den jeweiligen
Beobachtungspositionen gehalten.
Erfindungsgemäß können verschiedene Richtungen der Bestrahlung
durch die Lasereinrichtung 40 vorgesehen sein. Gemäß Fig. 4
erfolgt die Bestrahlung von der Unterseite des Mikrosystems,
d. h. von der Seite der ersten Kanalstruktur 10 her. Dement
sprechend besteht mindestens der Kanalboden 12 aus einem
transparenten Material. Eine optische Vermessung der in den
Feldkäfigen 30 gefangenen Partikel kann ebenfalls von der Un
terseite des Mikrosystems 100 her oder auch von der entgegen
gesetzten Seite her erfolgen. Das Licht von der Lasereinrich
tung 40 wird wiederum über einen Lichtmodulator 43 und über
eine Optik 42 in die Feldkäfige 30 fokussiert.
Bei der in den Fig. 3 und 4 gezeigten Ausführungsformen ist
als Ladeeinrichtung 50 eine Aufreihung von Feldkäfigen vorge
sehen. Die in der ersten Kanalstruktur 10 anströmenden Parti
kel 1 (zu trennendes Gemisch) werden zunächst in der Ladeein
richtung 50 positioniert. Sobald jeder Feldkäfig 51 der Lade
einrichtung 50 einen Partikel enthält, wird die gesamte Reihe
der Feldkäfige 51 und die benachbarte Reihe der Feldkäfige 30a
so angesteuert, daß die Partikel in die Feldkäfige 30a über
nommen werden. Anschließend werden die Feldkäfige 51 der Lade
einrichtung 50 erneut beschickt. Wiederum werden die Partikel
an die Feldkäfige 30a und von dieser zur Reihe der Feldkäfige
30b weitergegeben, bis schrittweise alle Reihen der Feldkäfige
30 gefüllt sind. Anschließend erfolgt die Vermessung und die
Trennung der Partikel nach den oben erläuterten Prinzipien.
Ein wichtiger Vorteil der in den Fig. 1 bis 6 gezeigten
Ausführungsformen der Erfindung besteht darin, daß sämtliche
dielektrischen Feldkäfige simultan angesteuert werden. Dadurch
werden Störfelder oder ein Übersprechen zwischen den Feldkäfi
gen vermieden, wodurch die Genauigkeit der erfindungsgemäßen
Trennung insbesondere im Vergleich zu der unter Bezug auf
Fig. 5 erläuterten herkömmlichen Technik erheblich verbessert
wird.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung erfolgt die
Partikeltrennung ausschließlich unter der Wirkung optischer
Kräfte. Bei dieser (nicht dargestellten) Ausführungsform wer
den die zu trennenden Partikel nicht in dielektrischen Feldkä
figen, sondern an mechanisch ausgebildeten Halterungen im Mi
krosystem positioniert. Derartige Halterungen werden bei
spielsweise durch Löcher in der Kanalwandung gebildet. Nach
der Partikelvermessung wird die Gruppe der Zielpartikel in
entsprechende optische Käfige aufgenommen und mit diesen von
den Halterungen weg in die benachbarte Kanalstruktur gehoben.
Bei einer weiteren Abwandlung des oben erläuterten Trennprin
zips ist vorgesehen, daß drei Kanalstrukturen zueinander be
nachbart angeordnet sind, wobei das Positionieren und Vermes
sen der Partikel in der mittleren Kanalstruktur und das Über
tragen von Zielpartikeln in die benachbarten Kanalstruktur
erfolgt, indem zunächst eine erste Gruppe von Zielpartikeln
z. B. in die obere Kanalstruktur und anschließend eine weitere
Gruppe von Zielpartikeln in die untere Kanalstruktur übertra
gen wird.
Claims (26)
1. Verfahren zur Partikeltrennung, bei dem aus einem Partikel
gemisch (1) aus einer Vielzahl von Partikeln in einem fluidi
schen Mikrosystem Zielpartikel (2) mit vorbestimmten Parti
keleigenschaften von Restpartikeln (3) getrennt werden, mit
den Schritten:
- - Positionieren von Partikeln des Partikelgemisches (1) in Be obachtungsfeldern an Funktionselementen (30) in einer ersten Kanalstruktur (10) des Mikrosystems (100), wobei die Funkti onselemente Elektrodenanordnungen aufweisen, an denen inhomo gene elektrische Felder erzeugt werden, die abstoßende oder anziehende dielektrophoretische Kräfte auf die Partikel aus üben,
- - Vermessen der Partikel in den Beobachtungsfeldern zur Er mittlung der Partikeleigenschaften und Erfassen der Beobach tungsfelder, die die Zielpartikel (2) oder die Restpartikel (3) enthalten,
- - Ausbilden optischer Käfige an den Beobachtungsfeldern, die die Ziel- oder Restpartikel enthalten, unter Verwendung einer Lichtmodulatoreinrichtung, mit der die optischen Käfige ein zeln ein- oder ausgeschaltet werden können, und
- - gleichzeitiges Übertragen der Ziel- oder Restpartikel von ihren jeweiligen Beobachtungsfeldern in eine benachbarte zwei te Kanalstruktur (20) des Mikrosystems, wobei optische Kräfte der optischen Käfige und dielektrische Polarisationskräfte der Funktionselemente (30) zusammenwirken.
2. Verfahren gemäß Anspruch 1, bei dem zum Übertragen der Par
tikel die Fokuspunkte (41) der optischen Käfige mit den Ziel-
oder Restpartikeln simultan von der ersten in die zweite
Kanalstruktur (20) verschoben werden, während die jeweils
übrigen Partikel in der ersten Kanalstruktur (10) bleiben.
3. Verfahren gemäß Anspruch 1, bei dem die Funktionselemente
als dielektrische Feldkäfige (30) verwendet werden.
4. Verfahren gemäß Anspruch 3, bei dem zum Übertragen der Par
tikel die dielektrischen Feldkäfige (30) einseitig hin zur
zweiten Kanalstruktur (20) geöffnet und die Ziel- oder Rest
partikel mit den optischen Käfigen in den dielektrischen Feld
käfigen gehalten werden, während sich die jeweils übrigen Par
tikel in die zweite Kanalstruktur (20) bewegen.
5. Verfahren gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem
zum Vermessen der Partikel optische Messungen und/oder elek
trische Messungen durchgeführt werden.
6. Verfahren gemäß Anspruch 5, bei dem die optischen Messungen
Fluoreszenz- und Streulichtmessungen umfassen.
7. Verfahren gemäß Anspruch 6, bei dem zu den optischen Mes
sungen eine Lasereinrichtung verwendet wird, die auch zur Bil
dung der optischen Käfige ausgelegt ist.
8. Verfahren gemäß Anspruch 5, bei dem die elektrischen Mes
sungen Elektrorotationsmessungen an den Partikeln umfassen.
9. Verfahren gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem
als Lichtmodulatoreinrichtung zur Bildung der optischen Käfige
eine Mikroshutteranordnung und/oder eine schaltbare Matrix aus
Spiegelelementen an den jeweils erfaßten Funktionselementen
oder dielektrischen Feldkäfigen (30) mit den Ziel- oder Rest
partikeln betätigt wird.
10. Verfahren gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, bei
dem die Partikel in einer Flüssigkeit suspendiert sind, die
mit einem Flüssigkeitstransportsystem durch das Mikrosystem
befördert wird.
11. Verfahren gemäß Anspruch 10, bei der als Flüssig
keitstransportsystem eine Spritzenpumpe, eine peristaltische
Pumpe, eine Membranpumpe, eine Zahnradpumpe, eine elektroosmo
tische Pumpe und/oder eine piezolektrische Pumpe verwendet
werden.
12. Verfahren gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, bei
dem die Partikel Strömungskräften und elektrischen Kräften der
Elektrodenanordnungen ausgesetzt sind, um die Partikel aufge
reiht und/oder vereinzelt an die Beobachtungsfelder zu füh
ren.
13. Verfahren gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, bei
dem die Ziel- oder Restpartikel (2, 3) nach der Partikeltren
nung in verschiedene Auffangeinheiten überfördert werden.
14. Verfahren gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, bei
dem die Partikel synthetische Partikel, biologische Zellen,
Zellverbände, Zellbestandteile, Makromoleküle, Makromolekülver
bände, Bakterien, Viren, Alginat-Beads oder Verbundpartikel
aus synthetischen und natürlichen Teilen umfassen.
15. Verfahren gemäß Anspruch 14, bei dem die Partikel sphäri
sche Polymere (Beads) aus organischem (z. B. Polystyrol, Algi
nat) oder anorganischem (z. B. Silikagel) Material, eukarioti
sche oder prokariotische Zellen, Zellverbände und/oder Aggre
gate aus diesen umfassen, wobei die Aggregate sowohl aus glei
chen als auch unterschiedlichen Spezies bestehen können.
16. Verfahren gemäß Anspruch 15, bei dem die Partikel vor dem
Einbringen in das Mikrosystem oder im Mikrosystem mit einer
magnetischen oder einer fluoreszierenden Sondensubstanz mar
kiert werden.
17. Trennvorrichtung zum Trennen eines Partikelgemisches (1)
aus Zielpartikeln (2) mit vorbestimmten Partikeleigenschaften
und Restpartikeln (3) in einem fluidischen Mikrosystem, die
umfaßt:
- - eine erste Kanalstruktur (10) mit einer Vielzahl von Funkti onselementen (30) und einer Ladeeinrichtung (50) zum Positio nieren von Partikeln des Partikelgemisches (1) an den Funkti onselementen (30), wobei die Funktionselemente Elektrodenan ordnungen aufweisen, die zur Erzeugung inhomogener elektri scher Felder eingerichtet sind, mit denen abstoßende oder an ziehende dielektrophoretische Kräfte auf die Partikel ausgeübt werden können,
- - eine zweite Kanalstruktur (20), die an den Positionen der Funktionselemente (30) mit der ersten Kanalstruktur (10) über Öffnungen (11) verbunden ist,
- - eine Lasereinrichtung (40), die zur Bildung jeweils eines optischen Käfigs an jedem Funktionselement (30) ausgelegt ist, und
- - einen Lichtmodulator (43), mit dem die optischen Käfige an den Funktionselementen (30) ein- oder ausgeschaltet werden können.
18. Trennvorrichtung gemäß Anspruch 17, bei der eine verstell
bare Optik (42) vorgesehen ist, mit der die Fokuspunkte (41)
der optischen Käfige von den Funktionselementen (30) in der
ersten Kanalstruktur (10) in die zweite Kanalstruktur (20)
verstellbar sind.
19. Trennvorrichtung gemäß Anspruch 17 oder 18, bei der eine
Meßvorrichtung zur Ermittlung optischer und/oder elektrischer
Partikeleigenschaften vorgesehen ist.
20. Trennvorrichtung gemäß Anspruch 19, bei der die Meßvor
richtung eine Detektoreinrichtung umfaßt, die relativ zur Lasereinrichtung
(40) auf der entgegengesetzten Seite des Mikro
systems (100) angeordnet ist.
21. Trennvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 17 bis 20, bei
der der Lichtmodulator (43) eine Mikroshutteranordnung oder
eine schaltbare Matrix von Spiegelelementen umfaßt.
22. Trennvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 17 bis 21, bei
der die Elektrodenanordnungen dielektrische Feldkäfige (30,
60) oder dielektrische Feldbarrieren (70) bilden.
23. Trennvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 17 bis 22, die
ein Flüssigkeitstransportsystem auf der Basis einer Spritzen
pumpe, einer peristaltischen Pumpe, einer Membranpumpe, einer
Zahnradpumpe, einer elektroosmotischen Pumpe und/oder einer
piezoelektrischen Pumpe aufweist.
24. Trennvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 19 bis 23, bei
dem die Meßvorrichtung einen optischen Array-Detektor auf der
Basis eines CCD-, CID (Charge Injection Device)-, CMOS-, APD
(Avalanche-Photodiode)- oder PD (Photodiode)-Arrays umfaßt.
25. Trennvorrichtung gemäß Anspruch 24, bei der der Array-
Detektor eine Vielzahl von Detektorelementen umfasst, die zu
mindest zum Teil mit wellenlängenselektiven Schichten versehen
sind.
26. Verwendung eines Verfahrens oder einer Trennvorrichtung
gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche zur Trennung von Par
tikelgemischen in fluidischen Mikrosystemen.
Priority Applications (3)
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DE19952322A DE19952322C2 (de) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | Verfahren und Vorrichtung zur Partikeltrennung |
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