DE19937209A1 - Antriebsvorrichtung - Google Patents
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- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000002730 additional effect Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
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Abstract
Bei einer Antriebsvorrichtung werden Piezoaktoren (4) von einer Schwingschaltung angetrieben, wobei die Piezoaktoren (4) zusammen mit den von ihnen bewegten mechanischen Antriebsbauteilen ein erstes Feder-Masse-System bilden, das von den Piezoaktoren (4) in einer ersten Resonanzfrequenz in Schwingung versetzt wird. Dessen Antriebsbauteile treiben ein zweites Feder-Masse-System (1, 2) an, was eine zweite Resonanzfrequenz aufweist, die kleiner ist als die erste Resonanzfrequenz. Die zweite Resonanzfrequenz bestimmt eine Hüllkurve gleicher Frequenz, während der die Piezoaktoren (4) der ersten Resonanzfrequenz betrieben werden. Die Piezoaktoren (4) werden eingeschaltet, wenn die Masse (1) des zweiten Feder-Masse-Systems (1, 2) in mechanische Wirkverbindung mit den Antriebsbauteilen des zweiten Feder-Masse-Systems kommt.
Description
Die Erfindung betrifft eine Antriebsvorrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruches
1.
Ausgangspunkt der Erfindung ist eine elektroaktischer Motor nach der EP 0 552 346 B1
und der DE 94 19 802 U1. Die dort verwendeten Piezoaktoren und die von ihnen
bewegten mechanischen Antriebsbauteile bilden ein erstes Feder-Masse-System, dessen
Antriebsbauteile ein zweites Feder-Masse-System antreiben. Jedes dieser Feder-Masse-
Systeme weist eine Eigenfrequenz auf, wobei das die Piezoaktoren umfassende Feder-
Masse-System eine im Vergleich zum anderen Feder-Masse-System eine relativ hohe
Resonanzfrequenz aufweist. Hierbei wird als bekannt vorausgesetzt, daß das den
Piezoaktor umfassende Feder-Masse-System im Resonanzbetrieb den höchsten
Wirkungsgrad aufweist.
Da die Piezoaktoren ständig bei der Resonanzfrequenz ihres Feder-Masse-Systems
arbeiten, die Antriebsbauteile jedoch nur relativ kurzzeitig das angetriebene Feder-
Masse-System antreiben, ist hierdurch der Wirkungsgrad der Antriebsvorrichtung
relativ gering. Da der Frequenzunterschied zwischen den beiden Resonanzfrequenzen
erheblich ist, tritt zusätzlich der Effekt auf, daß das die Piezoaktoren umfassende Feder-
Masse-System außer Resonanz gerät und damit die Vorteile des Resonanzbetriebs
aufgehoben werden.
Es besteht die Aufgabe, die Antriebsvorrichtung so auszubilden, daß sie mit optimalem
Wirkungsgrad arbeitet.
Gelöst wird diese Aufgabe mit den Merkmalen des Anspruches 1. Vorteilhafte
Ausgestaltungen sind den Unteransprüchen entnehmbar.
Ausführungsbeispiele werden nachfolgend anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es
zeigen:
Fig. 1 ein antreibendes und angetriebenes Feder-Masse-System bei
zusammengezogenen Piezoaktoren;
Fig. 2 die Vorrichtung nach Fig. 1 bei sich ausdehnenden
Piezoaktoren;
Fig. 3 ein Schaltbild zur Erläuterung der nachfolgenden elektrischen
Ausführungsbeispiele;
Fig. 4 eine erste Ausführungsform einer Schaltung;
Fig. 5 eine zweite Ausführungsform einer Schaltung;
Fig. 6 eine dritte Ausführungsform einer Schaltung;
Fig. 7 bis 10 verschiedene mögliche Ausführungsformen der Hüllkurven;
Fig. 11 bis 15 weitere Ausführungsformen der Schaltung und
Fig. 16 ein Diagramm zur Erläuterung der Arbeitsweise der Schaltung
nach Fig. 11.
Nachfolgend wird die mechanische Lösung der Aufgaben erläutert.
An einem starren Fundament 7 ist eine erste Bogenfeder 3 angeordnet, zwischen der ein
Stapel 4 von Piezoaktoren gespannt gehalten wird. Am Fundament ist eine weitere
Bogenfeder 2 angeordnet, die eine Masse 1 trägt. Die Bogenfeder 3 weist stirnseitig
eine Kontaktfläche 9 auf, der eine Kontaktfläche 9' der Masse 1 gegenübersteht. Der
Stapel 4 wird über die Leitungen 5, 6 von einer nicht dargestellten
Schwingungsschaltung mit Strom versorgt.
Die Bogenfeder 3 und der Stapel 4 bilden ein erstes antreibendes Feder-Masse-System,
während die Bogenfeder 2 und die Masse 1 ein zweites angetriebenes Feder-Masse-
System bilden.
Bei der in Fig. 1 dargestellten Stellung bewegt sich die Masse 1 in Richtung des
Doppelpfeils 10 nach links. Der Stapel 4 der Piezoaktoren ist hierbei eingezogen, also
ohne Stromversorgung. Sobald bei ihrer Bewegung nach links die Kontaktfläche 9' die
Kontaktfläche 9 berührt, wie dies in Fig. 2 dargestellt ist, wird dem Stapel 4 Energie
zugeführt, so daß er nach rechts expandiert. Hierdurch wird die Kontaktfläche 9' nach
rechts bewegt, d. h. die Masse 1 führt eine Bewegung in Richtung des Doppelpfeils
nach rechts aus. Sobald die Beschleunigung der Masse 10 so groß ist, daß die beiden
Kontaktflächen 9, 9' außer Kontakt miteinander treten, wird der Stapel 4 der
Piezoaktoren außer Betrieb gesetzt. Nachdem die Maximalamplitude der Masse 1 nach
rechts erreicht ist, findet wiederum eine Bewegung der Masse 1 nach links statt, womit
sich die beschriebene Arbeitsweise wiederholt.
Während des Einschaltens des Stapels 4 schwingt das erste Feder-Masse-System in
seiner Eigenfrequenz.
Das Ein- und Abschalten des Stapels 4 kann durch einen Sensor 8 bewirkt werden, der
an einer der Kontaktflächen 9, 9' angeordnet ist.
Nachfolgend werden die elektrischen Lösungen der gestellten Aufgabe beschrieben.
Die Kondensatoren C1 und C2, die Induktivität L1 und der Widerstand R1 stellen das
Ersatzschaltbild des ersten Feder-Masse-Systems dar, das den Piezoaktor umfaßt. C1 ist
hierbei umgekehrt proportional der Federkonstante der Bogenfeder 3, die Induktivität
L1 ist proportional der bewegten Masse des ersten Feder-Masse-Systems und der
Widerstand R1 ist proportional der mechanischen Wirkleistung der
Antriebsvorrichtung. Die zweite Kapazität C2 stellt im wesentlichen die statische
Piezokapazität zuzüglich externer Schaltkapazitäten dar. Das erste Feder-Masse-System
wird durch M verdeutlicht.
Das Wesen der elektrischen Lösung besteht darin, daß parallel zum Piezoaktor eine
Induktivität L2 geschaltet wird. C2 und L2 bilden somit einen Parallelschwingkreis E
mit einer vorgegebenen Resonanzfrequenz. Diese Resonanzfrequenz wird so gewählt,
daß sie der Resonanzfrequenz des zweiten Feder-Masse-Systems entspricht.
Bezugnehmend auf die Fig. 7 erzeugen C2 und L2 eine sinusförmige Hüllkurve 10, für
die hochfrequenten Schwingungen 11 des ersten Feder-Masse-Systems. Die Frequenz
des aus C2 und L2 bestehenden Schwingkreises E entspricht hierbei in etwa der
Resonanzfrequenz des zweiten Feder-Masse-Systems im Ausführungsbeispiel nach den
Fig. 1 und 2 gebildet von der Masse 1 und der Bogenfeder 2. Die Resonanzfrequenz
des Schwingkreises M kann beispielsweise S0 kHz betragen, während diejenige des
Schwingkreises E beispielsweise 5 kllz beträgt.
Gemäß dem praktischen Ausführungsbeispiel der Schaltung nach Fig. 4 wird die
Induktivität L2 gebildet durch einen Transformator T, dessen Primärseite über einen
Schalter S1 mit einer Gleichspannungsquelle V verbindbar ist. Der Schalter S1 wird
angesteuert durch eine Steuerschaltung 12, der die augenblickliche Istamplituden der
hochfrequenten Schwingung 11 und die Sollamplitude der niederfrequenten
Schwingung 10 zugeführt werden. Ist- und Sollamplitude werden miteinander
verglichen und in Abhängigkeit dieses Vergleichs der Schaltern S1 geöffnet oder
geschlossen. Die dem Schwingkreis E zugeführte Energie und damit die Form der
Hüllkurve 10 werden somit bestimmt. Dies wird durch die unterschiedliche Form der
Hüllkurven 10 in den Fig. 7, 8 und 9 verdeutlicht.
Die Energiezufuhr zum Schwingkreis E durch Schließen des Schalters S1 erfolgt
jeweils, wenn die Hüllkurve 10 ihr Amplitudenminimum aufweist. Wird eine kleine
Energiemenge 12 zugeführt, dann ergibt sich eine Hüllkurve 10. Wird eine dazu größere
Energiemenge 12' zugeführt, ergibt sich eine Hüllkurve 10' größerer Amplitude.
Gemäß Fig. 4 wird die Istamplitude direkt abgegriffen am Piezoaktor selbst. Gemäß
Fig. 5 kann am Piezoaktor und vom ihm isoliert ein weiteres Piezoelement C3
befestigt sein, dem die Schwingungen des Piezoaktors aufgedrückt werden und der
somit einen der Istamplitude Proportionalwert der Steuerschaltung 12 zuführt.
Die Schaltung nach Fig. 11 entspricht derjenigen Fig. 4, jedoch mit dem Unterschied,
daß im Schwingkreis E zusätzlich ein Schalter S2 geschaltet ist. Auf dessen
Funktionsweise wird in Zusammenhang mit der Fig. 16 eingegangen.
Die Schaltung nach Fig. 12 unterscheidet sich von derjenigen nach Fig. 11 dadurch,
daß mehrere Piezoaktoren C21, C22, C23 und C24 parallel geschaltet sind, wobei es sich
jeweils um einen Stapel 4 handeln kann. Es handelt sich hierbei bevorzugt um die
Vorschubaktoren und die Spreizaktoren nach der EP 0 552 346 B1.
Die Schaltung nach Fig. 13 unterscheidet sich von derjenigen nach Fig. 11 dadurch,
daß vier Piezoaktoren bzw. vier Stapel solcher Aktoren in Serie geschaltet sind.
Gemäß Fig. 14 sind diese Aktoren in Sternschaltung geschaltet.
Je nach Parallel-, Serien- oder Sternschaltung gemäß den Fig. 12, 13 und 14 ist
sowohl die Frequenz des Schwingkreises E als auch diejenige des Schwingkreises M
veränderbar.
Nach Fig. 15 weist die Sekundärwicklung des Transformators T mehrere Abgriffe auf,
die über Schalter S21, S22, . . ., S2m getrennt in den Schwingkreis E schaltbar sind, womit
sich die Größe der Induktivität L2 verändern läßt. Hierdurch ist die Frequenz der
Hüllkurve 10 veränderbar. Die Veränderung der Größe der Induktivität L2 erfolgt
hierbei stufenweise.
Eine stufenlose Veränderung der Induktivität L2 ist in Fig. 6 gezeigt, wo auf dem
Transformator T zusätzlich eine Drossel D angeordnet ist. Der Stromfluß durch die
Drossel D ist veränderbar durch einen stufenlosen Schalter S3, hier dargestellt durch
einen Transistor, der von der Steuerschaltung 12 angesteuert wird.
Nachfolgend wird Bezug genommen auf die Fig. 11 und 16 und die Wirkungsweise
des Schalters S2 erläutert. Die Hüllkurve 10 nach Fig. 16 weist eine sinusförmige
Anstiegsflanke 14 auf, einen geradlinigen Abschnitt 15 und eine sinusförmige
Abfallflanke 16. Während der Anstiegsflanke 14 ist der Schalter S2 geschlossen und der
sinusförmige Verlauf wird durch die Sollamplitude bestimmt. Ist die Maximalamplitude
der Hüllkurve 10 erreicht, wird der Schalter S2 geöffnet, womit der Schwingkreis M
unterbrochen ist und alle Energie dieses Schwingkreises in der Kapazität C2 gespeichert
ist. Am Ende des geradlinigen Abschnitts 15 wird der Schalter S2 geschlossen und die
sinusförmige Abfallflanke 16 ergibt sich durch die Vorgabe der Sollamplitude.
Wird der Schalter S2 geöffnet, wenn die Minimalamplitude der Hüllkurve erreicht ist,
womit der Schwingkreis M unterbrochen wird, dann erfolgt die Speicherung der
Energie in der Induktivität L2.
Claims (11)
1. Antriebsvorrichtung mit mindestens einem von einer Schwingschaltung
angetriebenen Piezoaktor, der zusammen mit den von ihm bewegten mechanischen
Antriebsbauteilen ein erstes Feder-Masse-System (3, 4) bildet, das vom Piezoaktor
in einer ersten Resonanzfrequenz in Schwingung versetzt wird und dessen
Antriebsbauteile ein zweites Feder-Masse-System (1, 2) antreibt, das eine zweite
Resonanzfrequenz aufweist, die kleiner ist als die erste Resonanzfrequenz, dadurch
gekennzeichnet, daß die zweite Resonanzfrequenz eine Hüllkurve (10) etwa
gleicher Frequenz bestimmt, während der der Piezoaktor mit der ersten
Resonanzfrequenz (11) betrieben wird.
2. Antriebsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der
Piezoaktor eingeschaltet wird, in die Masse (1) des zweiten des Feder-Masse-
Systems (1, 2) in mechanischer Wirkverbindung mit den Antriebsbauteilen kommt
und eingeschaltet bleibt, solange diese Wirkverbindung besteht.
3. Antriebsvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der
Schwingschaltung und dem Piezoaktor ein Schalter (8) angeordnet ist, der
geschlossen ist, solange in Antriebsrichtung gesehen die Antriebsbauteile in
Wirkverbindung mit der Masse (1) des zweiten Feder-Masse-Systems (1, 2) stehen.
4. Antriebsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß parallel zum
Piezoaktor eine Induktivität (L2) geschaltet ist und die Parallelresonanzfrequenz von
Piezoaktor und Induktivität (L2) etwa der zweiten Resonanzfrequenz entspricht.
5. Antriebsvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die
Induktivität (L2) von der Sekundärseite eines Transformators (T) gebildet wird,
dessen Primärseite über einen Schalter (S1) mit einer Gleichspannungsquelle (V)
anschließbar ist, eine den Schalter (S1) steuernde Steuerschaltung (12) vorgesehen
ist und die Steuerschaltung (12) durch Ansteuern des Schalters (S1) die
Hüllkurvenform bestimmt.
6. Antriebsvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die
Steuerschaltung (12) die Spannungsistamplitude der Schwingung (11) der ersten
Resonanzfrequenz mit einer Sollamplitude vergleicht und der Schalter (S1) in
Abhängigkeit des Soll-Ist-Vergleichs angesteuert wird.
7. Antriebsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet,
daß die Größe der Induktivität (L2) veränderbar ist.
8. Antriebsvorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet,
daß der Schalter (S1) geschlossen wird, wenn die Hüllkurve (10) ein
Amplitudenminimum aufweist.
9. Antriebsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet,
daß in den aus Piezoaktor und Induktivität (L2) gebildeten Schaltkreis (E) ein
mindestens weiterer Schalter (S2) zwischengeschaltet ist, der von der
Steuerschaltung (12) angesteuert wird.
10. Antriebsvorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der weitere
Schalter (S2) geöffnet wird, wenn die Hüllkurve (10) ein Amplitudenmaximum oder
-minimum aufweist.
11. Antriebsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet,
daß mehrere Piezoaktoren vorgesehen sind, die wahlweise in Serienschaltung,
Parallelschaltung oder Sternschaltung geschaltet werden.
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19937209A DE19937209A1 (de) | 1999-01-29 | 1999-08-06 | Antriebsvorrichtung |
PCT/EP2000/000495 WO2000045444A1 (de) | 1999-01-29 | 2000-01-22 | Antriebsvorrichtung |
CN00800095A CN1300447A (zh) | 1999-01-29 | 2000-01-22 | 驱动装置 |
EP00903616A EP1086499A1 (de) | 1999-01-29 | 2000-01-22 | Antriebsvorrichtung |
AU25434/00A AU2543400A (en) | 1999-01-29 | 2000-01-22 | Drive device |
JP2000596607A JP2002536146A (ja) | 1999-01-29 | 2000-01-22 | 駆動装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19903484 | 1999-01-29 | ||
DE19905191 | 1999-02-06 | ||
DE19937209A DE19937209A1 (de) | 1999-01-29 | 1999-08-06 | Antriebsvorrichtung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19937209A1 true DE19937209A1 (de) | 2000-08-10 |
Family
ID=27218941
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19937209A Withdrawn DE19937209A1 (de) | 1999-01-29 | 1999-08-06 | Antriebsvorrichtung |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP1086499A1 (de) |
JP (1) | JP2002536146A (de) |
CN (1) | CN1300447A (de) |
AU (1) | AU2543400A (de) |
DE (1) | DE19937209A1 (de) |
WO (1) | WO2000045444A1 (de) |
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-
1999
- 1999-08-06 DE DE19937209A patent/DE19937209A1/de not_active Withdrawn
-
2000
- 2000-01-22 JP JP2000596607A patent/JP2002536146A/ja active Pending
- 2000-01-22 EP EP00903616A patent/EP1086499A1/de not_active Withdrawn
- 2000-01-22 AU AU25434/00A patent/AU2543400A/en not_active Abandoned
- 2000-01-22 CN CN00800095A patent/CN1300447A/zh active Pending
- 2000-01-22 WO PCT/EP2000/000495 patent/WO2000045444A1/de not_active Application Discontinuation
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---|---|
AU2543400A (en) | 2000-08-18 |
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JP2002536146A (ja) | 2002-10-29 |
WO2000045444A1 (de) | 2000-08-03 |
WO2000045444A8 (de) | 2001-04-05 |
EP1086499A1 (de) | 2001-03-28 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |