DE3932449C2 - Antriebsmechanismus - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Antriebsmechanismus, insbesondere auf einen Antriebsmechanismus vom sogenannten Gleit-Kriechtyp, wie er in der Tierwelt von Raupenarten an­ gewendet wird (inchworm type). Ein derartiger Antriebs­ mechanismus kann bei einer Feinpositionierungsvorrichtung verwendet werden, die in verschiedenen Vorrichtungen, bei­ spielsweise einer Belichtungsvorrichtung zur Herstellung von Halbleiterbauteilen, Anwendung finden kann.

Die Fig. 3A und 3B zeigen ein Beispiel eines derartigen Antriebsmechanismus herkömmlicher Bauart, wobei Fig. 3A eine Aufsicht und Fig. 3B eine ausschnittsweise Schnittdar­ stellung einer Klemmvorrichtung 3 bzw. 3′ zeigen. Wie in Fig. 3B dargestellt ist, weist die Klemmvorrichtung 3 bzw. 3′ eine elektrostriktive Vorrichtung 4 bzw. 4′ und einen Hebelmechanismus 30 bzw. 30′ auf. Infolge einer Ausdehnung bzw. einer Zusammenziehung der elektrostriktiven Vorrich­ tung 4 bzw. 4′ wird ein bewegbares Element 1, 1′ gegen ein ortsfestes Teil 21, 21′ gepreßt, wodurch es festgeklemmt wird.

Die bewegbaren Elemente 1 und 1′ werden in nachstehend be­ schriebener Weise angetrieben. Beispielsweise soll angenom­ men werden, daß die bewegbaren Elemente 1 und 1′ gemäß Fig. 3A in Uhrzeigerrichtung bzw. im Uhrzeigersinn angetrieben werden sollen.

In einem Zustand, in dem die Klemmvorrichtung 3 wirkt bzw. klemmt, wird eine ausdehnbare und zusammenziehbare Vorrich­ tung 5 zusammengezogen, während eine andere ausdehnbare und zusammenziehbare Vorrichtung 5′ ausgedehnt wird. Dadurch wird das bewegbare Element 1′ im Uhrzeigersinn angetrieben, während das bewegbare Element 1 fixiert ist. In diesem Zu­ stand wird dann die Klemmvorrichtung 3′ aktiviert, um das bewegbare Element 1′ unbewegbar zu halten, und die Klemm­ vorrichtung 3 wird deaktiviert. Dann wird die ausdehnbare und zusammenziehbare Vorrichtung 5 ausgedehnt, während die ausdehnbare und zusammenziehbare Vorrichtung 5′ zusammenge­ zogen wird. Als Folge davon wird das bewegbare Element 1 im Uhrzeigersinn angetrieben. Weiterhin wird die zuerst akti­ vierte Klemmvorrichtung 3 nochmals aktiviert, während die andere Klemmvorrichtung 3′ deaktiviert wird. Mittels Wie­ derholung dieser Vorgänge werden die bewegbaren Elemente 1 und 1′ angetrieben. Die bewegbaren Elemente 1 und 1′ können in ähnlicher Weise in entgegengesetzter Richtung angetrie­ ben werden.

Die Klemmung erfolgt dabei dadurch, daß jedes bewegbare Element 1 und 1′ mit einer großen Kraft gegen das ortsfeste Teil 21 bzw. 21′ gepreßt wird. Dies hat den Nachteil zur Folge, daß eine geringe Verformung oder Verzerrung des be­ wegbaren Elementes oder alternativ dazu eine Schrägstellung eines auf dem bewegbaren Element zu seiner Positionierung angeordneten Werkstückes auftreten kann.

Während bei dieser bekannten, in Fig. 3B gezeigten Vorrichtung die Klemmung über einen auf einem Lagerbock schwenkbar gelagerten Hebel 30 (30′) erfolgt, der mittels einer auf der dem bewegbaren Element 1 abgewandten Seite des Lagerbocks angeordneten ausdehnbaren und zusammenziehbaren Vorrichtung 4 (4′) bewegbar ist, um das bewegbare Element 1 (1′) gegen das ortsfeste Teil 21 (21′) zu pressen und damit festzuklemmen, kann das Festklemmen des bewegbaren Teils auch, wie aus einer im wesentlichen gleichartigen Vorrichtung gemäß US-PS-4 455 501 bekannt ist, mittels eines Stempels erfolgen, der das bewegbare Element gegen eine ortsfeste Unterlage preßt.

Diese Form der Klemmung hat jedoch ebenfalls den vorgenannten Nachteil, daß die Klemmung zur Deformation oder zur Schrägstellung des bewegbaren Elements und damit zu einer verringerten Positioniergenauigkeit führen kann.

Ferner ist aus der DD-PS-143 682 ein piezoelektrischer Vibrationsantrieb bekannt, der ein von einem zangenartigen Antriebselement erfaßbares Abtriebselement aufweist, wobei die federnden Zangenarme zusammen mit jeweils einem Piezoelement und einer Masse einen erregbaren Feder-Masse- Schwinger bilden, so daß sich die Zangenarme bei Erregung durch die Piezoelemente abwechselnd öffnen und schließen. Die Zange bzw. das Antriebselement selbst bildet zusammen mit einer Masse, einem Piezoelement und einer Feder ebenfalls einen Feder-Masse-Schwinger, der parallel zur Bewegungsrichtung des Abtriebselements zu Schwingungen anregbar ist. Die Schwingungen der Zangenarme und die der Zange bzw. des Antriebselements sind so aufeinander abgestimmt, daß die Zangenarme bei einer Bewegung des Antriebselements in der gewünschten Antriebsrichtung geschlossen sind und das eingeklemmte Abtriebselement in diese Richtung mitnehmen, während bei einer Bewegung der Zange gegen die gewünschte Antriebsrichtung die Zangenarme geöffnet sind und das Abtriebselement freigeben, so daß dieses in seiner Position verharrt und erst bei dem nächsten Vorschub des Antriebselements bzw. der Zange weiterbewegt wird.

Ein solcher Vibrationsantrieb hat jedoch den Nachteil, daß das Abtriebselement in den Vorschubpausen freigegeben ist, so daß bei entsprechenden Gegenkräften die erreichbare Positioniergenauigkeit vermindert ist.

Folglich ist es Aufgabe der Erfindung, einen Antriebsmechanismus der genannten Art derart weiterzubilden, daß die Positioniergenauigkeit verbessert ist, wobei eine Klemmeinrichtung zum Festlegen bewegbarer Teile des Antriebsmechanismus diese ohne Deformation sicher fixiert.

Die Aufgabe wird mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.

Erfindungsgemäß hat die Klemmvorrichtung zur Festlegung bewegbarer Teile oder Elemente des Antriebsmechanismus mindestens zwei Klemmarme, die an einem Lagerbock einander gegenüberliegend schwenkbar angeordnet sind und eine Klemmseite haben, auf der das festzuklemmende Teil zwischen den Klemmarmen einklemmbar ist. Auf der der Klemmseite abgewandten Seite der Klemmarme ist zwischen diesen ein längenveränderliches Element angeordnet, das die Klemmarme wahlweise auseinanderspreizt, so daß die Klemmarme in Reaktion darauf an der Klemmseite aufeinander zu bewegt werden, um zwischen sich das festzuklemmende Teil einzuklemmen.

Mit diesem erfindungsgemäßen Aufbau kann das bewegbare Element mittels der Hebelelemente, die zwecks Pressens gegen entgegengesetzte Seiten des bewegbaren Elementes schwenkbar sind, erfaßt und festgeklemmt werden. Auf diese Weise wird keine über­ mäßige Kraft auf das bewegbare Element ausgeübt, wenn die Abstände auf den entgegengesetzten Seiten des bewegbaren Elementes auf einen gleichen Wert eingestellt sind. Als Folge davon tritt eine Schrägstellung oder Verzerrung des bewegbaren Elementes nicht auf.

Gemäß der Erfindung ist die Einstellung der Abstände auf den entgegengesetzten Sei­ ten des bewegbaren Elementes nicht notwendig, weil die Klemmvorrichtung von einer Lagerbasis mit ei­ ner geringen Festigkeit in Klemmrichtung und mit einer ho­ hen Festigkeit in einer zur Klemmrichtung senkrechten Rich­ tung, beispielsweise mittels der Verwendung einer Blattfe­ dervorrichtung oder einer Kupplungsvorrichtung mit einem elastischen Gelenk, gehalten ist. In diesem Fall ist das mittels der Klemmvorrichtung festgeklemmte bewegbare Ele­ ment in Richtung senkrecht zur Klemmrichtung fest gehalten, während es in der Klemmrichtung nachgiebig gehalten ist. Auf diese Weise können die oben beschriebenen Wirkungen er­ zielt werden, ohne daß die Notwendigkeit einer hochpräzisen Einstellung der Höhe der Klemmvorrichtung besteht.

Weitere Anwendungen und Vorteile der Erfindung werden in der folgenden ausführlichen Beschreibung von bevorzugten Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1A und 1B einen Antriebsmechanismus gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung, wobei in Fig. 1A eine teilweise geschnitten dargestellte Draufsicht und in Fig. 1B eine teilweise geschnitten dargestellte Seitenansicht dargestellt ist,

Fig. 2A und 2B einen Antriebsmechanismus gemäß einem zwei­ ten Ausführungsbeispiel der Erfindung, wobei in Fig. 2A eine teilweise geschnitten dargestellte Draufsicht und in Fig. 2B eine teilweise geschnitten dargestellte Seitenan­ sicht dargestellt ist, und

Fig. 3A und 3B einen herkömmlichen Antriebsmechanismus, wo­ bei in Fig. 3A eine Draufsicht und in Fig. 3B eine aus­ schnittsweise Schnittdarstellung gezeigt sind.

In den Fig. 1A und 1B ist ein Antriebsmechanismus gemäß ei­ nem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt. Bewegbare Elemente 1 und 2 sind über vier Blattfedern 11 miteinander verbunden. Die Blattfedern 11 sind zwischen den bewegbaren Elementen 1 und 2 vorgesehen und in Umfangsrich­ tung, d.h. in Θ-Richtung, in regelmäßigen Abständen ange­ ordnet. Die Blattfedern 11 sind einstückig mit den bewegba­ ren Elementen 1 und 2 ausgebildet und können in Umfangs­ richtung elastisch verformt werden. Mittels einer Klemmvor­ richtung 3 bzw. 3′ können die bewegbaren Elemente 1 und 2 jeweils festgeklemmt werden. Die Klemmvorrichtungen 3 und 3′ sind mittels elektrostriktiver Vorrichtungen 4 und 4′, die in Z-Richtung ausdehnbar und zusammenziehbar sind, be­ tätigbar, d.h. aktivierbar und deaktivierbar. Eine weitere elektrostriktive bzw. ausdehnbare und zusammenziehbare Vor­ richtung 5 dient zur Erzielung einer in Umfangsrichtung verlaufenden relativen Verschiebung zwischen den bewegbaren Elementen 1 und 2. Eine Lagervorrichtung 6 hält die beweg­ baren Elemente 1 und 2 an einem ortsfesten Teil 7, das an einer Lagerbasis 9 gehalten ist. Die Lagervorrichtung 6 weist einen inneren Laufring auf, der mit dem ortsfesten Teil 7 in Kontakt steht. Ortsfeste Tische 8 und 8′ dienen dazu, die Klemmvorrichtungen 3 und 3′ an der Lagerbasis 9 zu befestigen. Mittels der Lagervorrichtung 6 können die bewegbaren Elemente 1 und 2 in Umfangsrichtung relativ zu der Lagerbasis 9 frei drehen.

Im folgenden werden die strukturellen Einzelheiten der Klemmvorrichtungen 3 und 3′ beschrieben. Da die Klemmvor­ richtungen 3 und 3′ jeweils den gleichen Aufbau aufweisen, werden die folgenden Erläuterungen nur unter Bezug auf die Klemmvorrichtung 3 vorgenommen, während die Klemmvorrich­ tung 3′ nicht zusätzlich erläutert wird, wobei die Bauteile der Klemmvorrichtung 3′ Bezugszeichen aufweisen, die aus den Bezugzeichen der entsprechenden Bauteile der Klemmvor­ richtung 3 unter Hinzufügung eines Strichindex gebildet sind.

In Fig. 1B sind Hebelarme 30a und 30b dargestellt, die um die Y-Achse in Drehrichtung, d.h. in wy-Richtung, relativ zu einem Lagerblock 34 schwenkbar sind. Elastische Gelenke 33a und 33b sind einstückig mit dem Lagerblock 34 sowie den jeweiligen Hebelarmen 30a und 30b ausgebildet. Über die elastischen Gelenke 33a und 33b sind die Hebelarme 30a und 30b an dem Lagerblock 34 gehalten. Jeder Hebelarm 30a bzw. 30b weist einen Endabschnitt 31a bzw. 31b auf, der annä­ hernd im rechten Winkel in Z-Richtung derart umgebogen ist, daß das freie Ende des Endabschnitts 31a bzw. 31b mit der oberen bzw. unteren Oberfläche des bewegbaren Elementes 2 (im Falle der Klemmvorrichtung 3′ des bewegbaren Elementes 1) in Kontakt bringbar ist. Zwischen den anderen Endab­ schnitten 32a und 32b der Hebelarme 30a und 30b ist die elektrostriktive Vorrichtung 4 angeordnet. Mittels der Aus­ dehnung bzw. der Zusammenziehung der elektrostriktiven Vor­ richtung 4 können die Hebelarme 30a und 30b jeweils um die Achsen der elastischen Gelenke 33a und 33b in wy-Richtung geschwenkt werden. Befestigungselemente 35 und 36 dienen der Befestigung des Lagerblocks 34 an dem ortsfesten Tisch 8.

Im Betrieb wird an die elektrostriktive Vorrichtung 4′ eine elektrische Spannung angelegt, wodurch sie zur Ausdehnung gebracht wird. Als Folge dieser Ausdehnung werden die He­ belarme 30a′ und 30b′ der Klemmvorrichtung 3′ im Gegenuhr­ zeigersinn bzw. im Uhrzeigersinn verschwenkt, wodurch das bewegbare Element 1 mittels der Endabschnitte 31a′ und 31b′ der Hebelarme 30a′ und 30b′ von oben bzw. von unten festge­ klemmt wird. Wenn in diesem Zustand eine elektrische Span­ nung an die elektrostriktive Vorrichtung 5 angelegt wird, wird das bewegbare Element 2 in Umfangsrichtung, d.h. in Θ- Richtung, etwas verschoben, wobei die Blattfedern 11 als Führung dienen. Anschließend wird an die elektrostriktive Vorrichtung 4 eine elektrische Spannung angelegt, um sie zur Ausdehnung zu bringen. Als Folge dieser Ausdehnung wer­ den die Hebelarme 30a und 30b der Klemmvorrichtung 3 im Uhrzeigersinn bzw. im Gegenuhrzeigersinn verschwenkt, wo­ durch das bewegbare Element 2 mittels der freien Endab­ schnitte 31a und 31b der Hebelarme 30a und 30b festgeklemmt wird. Danach wird die Zuführung der elektrischen Spannung zu der elektrostriktiven Vorrichtung 4′, die noch aktiviert ist, unterbrochen, wodurch die elektrostriktive Vorrichtung 4′ zusammengezogen und die Klemmwirkung der Klemmvorrich­ tung 3′ aufgehoben wird. Wenn anschließend die Zuführung der elektrischen Spannung zu der elektrostriktiven Vorrich­ tung 5 ebenfalls unterbrochen wird, wird das bewegbare Ele­ ment 1 in Umfangsrichtung, d.h. in Θ-Richtung, etwas ver­ schoben, wobei die Lagervorrichtung 6 als Führung dient. Dann wird wiederum eine elektrische Spannung an die elek­ trostriktive Vorrichtung 4′ gelegt, um die Klemmvorrichtung 3′ zu aktivieren, so daß diese in genannter Weise das be­ wegbare Element 1 festklemmt. Danach wird die Zuführung der elektrischen Spannung zu der elektrostriktiven Vorrichtung 4 unterbrochen, wodurch diese zusammengezogen und die Klemmwirkung der Klemmvorrichtung 3 aufgehoben wird. Somit ist wiederum der Ausgangszustand des Klemmsystems erreicht. Durch Ablauf der oben genannten Vorgänge wurden die beweg­ baren Elemente 1 und 2 um ein geringes Maß drehend verscho­ ben. Dementsprechend können die bewegbaren Elemente 1 und 2 durch Wiederholung der oben genannten Vorgänge in einer Richtung verdreht werden. Für eine Verdrehung in die entge­ gengesetzte Richtung ist lediglich die zeitliche Abfolge der Zuführung der elektrischen Spannung zu den Klemmvor­ richtungen 3 und 3′ umzukehren.

Bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel wirken die Klemm­ vorrichtungen 3 und 3′ derart, daß sie die bewegbaren Ele­ mente 1 bzw. 2 in vertikaler Richtung zwischen sich ein­ klemmen. Wenn die Höhe des ortsfesten Tisches 8 bzw. 8′ einstellbar ist, so daß die Abstände zwischen der Klemmvor­ richtung 3 bzw. 3′ und dem bewegbaren Element 2 bzw. 1 im deaktivierten Zustand der Klemmvorrichtung, d.h. der Ab­ stand in Z-Richtung zwischen dem freien Ende 31a bzw. 31a′ des Hebelarms 30a bzw. 30a′ und der oberen Oberfläche des bewegbaren Elementes 2 bzw. 1 einerseits und der Abstand in Z-Richtung zwischen dem freien Ende 31b bzw. 31b′ des He­ belarms 30b bzw. 30b′ und der unteren Oberfläche des beweg­ baren Elementes 2 bzw. 1 andererseits im deaktivierten Zu­ stand der Klemmvorrichtung, gleich gemacht werden können, dann wirken bei einem Klemmvorgang in Z-Richtung gleiche Kräfte von oben und von unten auf die bewegbaren Elemente 1 und 2 ein. Dadurch ist es möglich, eine Beschädigung der bewegbaren Elemente 1 und 2 und deren Neigung relativ zu der X-Y-Ebene zu vermeiden.

Wenn die Klemmvorrichtungen 3 und 3′ derart aufgebaut sind, daß die Verschiebung der elektrostriktiven Vorrichtungen 4 bzw. 4′ über einen Hebelmechanismus mit Schwenkpunkten in Form von elastischen Gelenken 33a, 33b bzw. 33a′, 33b′ auf die klemmenden, freien Endabschnitte 31a, 31b bzw. 31a′, 31b′ übertragen wird, tritt kein Verlust an Verschiebeweg infolge Spiel auf. Somit ist dieser Aufbau hinsichtlich der Reduzierung der Baugröße vorteilhaft.

Darüber hinaus kann die Klemmvorrichtung 3 bzw. 3′ unter Verwendung separater Teile, wie sie beispielsweise mit den Bezugszeichen 34, 35 und 36 bzw. 34′, 35′ und 36′ darge­ stellt sind, gefertigt werden. Demgemäß kann die Feinein­ stellung der Abstände zwischen den freien Enden der Hebel­ arme der Klemmvorrichtungen 3 und 3′ und den bewegbaren Elementen 1 und 2 in günstiger Weise vorgenommen werden, indem die Dicke eines Zwischenelementes 35 bzw. 35′ ge­ eignet gewählt wird oder indem eine dazwischenzulegende Me­ tallfolie verwendet wird.

In den Fig. 2A und 2B ist ein Antriebsmechanismus gemäß ei­ nem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt, wobei Bauteile, die Bauteilen des in den Fig. 1A und 1B dargestellten Antriebsmechanismus entsprechen, mit entspre­ chenden Bezugszeichen versehen sind.

Gemäß den Fig. 2A und 2B weisen Klemmvorrichtungen 3 und 3′ obere Hebelarme 30a und 30a′ und untere Hebelarme 30b und 30b′ auf. Die oberen Hebelarme 30a und 30a′ sind je­ weils über elastische Gelenke 33a bzw. 33a′ mit Lagerele­ menten 34 bzw. 34′ verbunden. In ähnlicher Weise sind die unteren Hebelarme 30b und 30b′ jeweils über elastische Ge­ lenke 33b bzw. 33b′ mit Lagerelementen 35 bzw. 35′ verbun­ den. Die Lagerelemente 34 und 35 bzw. 34′ und 35′ sind zu einer einstückigen Struktur zusammengefügt und werden in diesem zusammengefügten Zustand mittels paralleler Blattfe­ dern 10 bzw. 10′, die in Z-Richtung verformbar sind, an der Lagerbasis gehalten. Wenn jede Klemmvorrichtung 3 bzw. 3′ mittels zweier paralleler Blattfedern 10 bzw. 10′ gehalten ist, ist sie in Klemmrichtung, d.h. in Z-Richtung, relativ frei bewegbar, während sie in Drehrichtung (Θ-Richtung) des bewegbaren Elementes 1 bzw. 2, d.h. in einer Richtung pa­ rallel zu der X-Y-Ebene, mit hoher Steifigkeit gehalten ist. Auf diese Weise wird die Einstellung zur Erzielung gleicher oberer und unterer Abstände zwischen dem freien Ende jedes Hebelarms der Klemmvorrichtung 3 bzw. 3′ und dem bewegbaren Element 2 bzw. 1 überflüssig.

Bei dem in Fig. 2 gezeigten Mechanismus sind die Lagerele­ mente 34 und 35 bzw. 34′ und 35′ zu einer einstückigen Struktur zusammengefügt, die mittels zweier paralleler Blattfedern 10 bzw. 10′ gehalten ist. Die Lagerelemente 34 und 35 bzw. 34′und 35′ können aber auch voneinander ge­ trennt ausgebildet und mittels jeweils separaten oberen und unteren Blattfedern gehalten sein.

Eine ähnliche Lagerung kann bei Verwendung eines Kupplungs­ mechanismus mit einen elastischen Gelenk erreicht werden.

Bei dem beschriebenen Antriebsmechanismus werden Klemmvor­ richtungen mit bewegbaren Hebelarmen verwendet, die gegen entgegengesetzte Seiten eines bewegbaren Elementes gepreßt werden. Somit ist es möglich, eine unerwünschte Verformung, Verzerrung oder Schrägstellung des bewegbaren Elementes zu verhindern.

Bei dieser Ausführungsform besitzt die Klemmvor­ richtung in Klemmrichtung eine geringe Festigkeit und in einer senkrecht zur Klemmrichtung verlaufenden Richtung eine hohe Festigkeit. Dadurch wird erreicht, daß der Abstand zwischen der Klemmvorrichtung und dem be­ wegbaren Element in einfacher Weise einstellbar ist.

Claims (4)

1. Antriebsmechanismus mit einem Abtriebselement, das zwei elastisch miteinander verbundene Abschnitte (1, 2) aufweist, die mittels eines ersten längenveränderlichen Antriebselementes (5) relativ zueinander bewegbar sind, und denen jeweils eine Klemmeinrichtung (3, 3′) zugeordnet ist, um den jeweiligen Abschnitt (1, 2) wahlweise festzulegen, dadurch gekennzeichnet,

• - daß jede Klemmeinrichtung (3, 3′) mindestens zwei bewegbare Klemmarme (30a, 30b; 30a′, 30b′) aufweist, zwischen denen der jeweilige Abschnitt (1, 2) einklemmbar ist,
• - daß die Klemmarme (30a, 30b; 30a′, 30b′) an den jeweils gegenüberliegenden Seiten eines Lagerblockes (34, 35; 34′, 35′) im wesentlichen mittig angelenkt sind,
• - daß die der Klemmseite abgewandten Enden der Klemmarme von einem weiteren längenveränderlichen Antriebselement (4, 4′) beaufschlagbar sind, und
• - daß der Lagerblock (34, 35; 34′, 35′) an einer Tragevorrichtung (8) in Klemmeinrichtung beweglich gehalten ist, um einen Versatz der Klemmeinrichtung in Klemmrichtung gegenüber dem Abtriebselement (1, 2) auszugleichen.

2. Antriebsmechanismus nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebselemente (4, 4′, 5) elektrostriktive Vorrichtungen sind, deren Ausdehnungs- und Kontraktionsrichtung im wesentlichen in der Längsrichtung der Antriebselemente (4, 4′, 5) gelegen ist.

3. Antriebsmechanismus nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Lagerblock (34, 35; 34′, 35′) an der Tragevorrichtung (8) über parallel zueinander angeordnete Blattfedern (10, 10′) gehalten ist, die im wesentlichen parallel zur Haupterstreckungsrichtung des bewegbaren Abtriebselementes (1, 2) angeordnet sind.

4. Antriebsmechanismus nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrostriktiven Vorrichtungen (4, 4′, 5) Piezoelemente sind.