DE19919583A1 - Poliereinrichtung - Google Patents
PoliereinrichtungInfo
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Abstract
Eine Poliermaschine weist eine Plattformanordnung auf, die innerhalb von drei Halterungssäulen angebracht ist. Die Plattformanordnung weist von einem Fluid unter Druck gesetzte Bälge auf, um die obere Polierplatte zur unteren Polierplatte hin und von dieser weg zu drücken. Bei einer Ausführungsform ist eine bewegliche Halterungssäule von einem darüberliegendem Gestell aus abgehängt. Die Halterungssäule steht im Eingriff mit der oberen Polierplatte, um so selektiv die Plattformanordnung anzuheben und abzusenken. Bei einer anderen Ausführungsform wird die Plattform durch Gewindestangen angehoben und abgesenkt, um so in Eingriff mit der oberen Polierplatte zu gelangen und diese zu verschieben.
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft Poliermaschinen, und
insbesondere Maschinen, die dazu dienen, bei einem oder
mehreren Werkstücken eine wohldefinierte Endbearbeitung zu
erreichen. Die vorliegende Erfindung ist besonders gut dazu
geeignet, Platten von Computerfestplattenspeicherlaufwerken
doppelseitig exakt zu polieren.
Es gibt bereits Maschinen zur Bereitstellung einer sehr
glatten, wohldefinierten Endbearbeitung auf Werkstücken,
beispielsweise Platten von Computerfestplattenspeichern.
Obwohl in begrenztem Ausmaß ein einseitiges Polieren
durchgeführt wurde, konzentrieren sich heutzutage die
Anstrengungen auf die doppelseitige Bearbeitung von
Speicherplatten, so daß beide Hauptoberflächen einer
Plattenanordnung als Speicher genutzt werden können, wodurch
die Abmessungen von Speichergeräten verringert werden, und
eine größere Speicherkapazität für ein Festplattenlaufwerk
mit vorbestimmten Abmessungen zur Verfügung gestellt werden
kann. Im Verlauf der Zeit hat die magnetische Dichte von
Speicherplatten wesentlich zugenommen, mit entsprechend
ansteigender Anzahl an Datenbits, die auf der Fläche einer
Oberfläche mit vorbestimmten Abmessungen gespeichert werden
können. Dies hat dazu geführt, daß Datenspeicherbits immer
kleinere Abschnitte auf einer Plattenoberfläche einnehmen.
Dies hat dazu geführt, daß die Oberflächeneigenschaften von
Speicherplatten stärker beachtet wurden, wobei ein äußerst
exakt definiertes Polieren der Speicherplattenoberfläche
erforderlich ist.
Um Festplattenzugriffszeiten und Speicherübertragungsraten
zu verbessern werden Speicherplatten mit höheren
Plattenumdrehungsgeschwindigkeiten betrieben. Die
Gesamtabmessungen (sogenannte Globalabmessungen) und die
Toleranzen von Speicherplatten werden daher für verbesserte
Festplattenleistungen immer wichtiger. Mit zunehmenden
Plattengeschwindigkeiten wird es darüber hinaus
erforderlich, die Wandler, die üblicherweise als
"Magnetköpfe" bezeichnet werden, so nahe wie möglich an der
Oberfläche der Speicherplatte zu halten, um eine nutzbare
Signalstärke zu erzielen. Dies bringt steigende
Anforderungen an die Maßhaltigkeit der Speicherplatten mit
sich, und Oberflächenunregelmäßigkeiten von Speicherplatten
werden genauer untersucht, um "hohe Punkte" zu verringern,
obwohl deren Höhe ohnehin immer weiter abnimmt. Weiterhin
wird bei bestimmten Arten von
Festplattenlaufwerksmechanismen die Parallelität der
doppelseitigen Oberflächen immer wichtiger, um die
gewünschte Geräteleistung zu erzielen.
Ein Ziel der vorliegenden Erfindung besteht in der
Bereitstellung einer Hochleistungspoliermaschine, die an
sich genau ist, einfach zu verwenden ist, und die sich mit
den üblichen Bedingungen bei der Herstellung verträgt. Es
ist wesentlich, daß eine derartige Poliermaschine an sich
während sämtlicher Phasen eines Poliervorgangs stabil ist,
ohne daß sich ändernde Umstände speziell berücksichtigt
werden müssen, sowie Effekte, welche sich ergebende
Abweichungen auf die Oberflächenqualität des behandelten
Werkstücks haben mögen.
Bei bestimmten Anwendungen ist es erforderlich, daß sich die
Werkstücke weiter drehen, wenn der Polierdruck freigegeben
wird, und zu diesen Zeiten wird den Polieroberflächen und
dem umgebenden Mechanismus, der diese Oberflächen haltert,
ein bestimmtes Ausmaß an Bewegungsfreiheit gegeben. Jede
wesentliche Fehlausrichtung oder innere Bewegung der
verschiedenen zusammenwirkenden Bauteile kann zu einer
unerwünschten Berührung der Polieroberflächen mit den
bearbeiteten Werkstücken führen, und ein Ziel der
vorliegenden Erfindung besteht in der Kontrolle derartiger
Berührungen.
Es hat sich als wesentlich herausgestellt, die Steifigkeit
der Konstruktion der gesamten Maschine zu untersuchen, und
neue Anordnungen zum Haltern der Polierteile zu entwickeln,
um unerwünschte Bewegungen auszuschalten, insbesondere
während kritischer Momente, beispielsweise dann, wenn der
Polierdruck gelöst wird.
Die Erfindung wird nachstehend anhand zeichnerisch
dargestellter Ausführungsbeispiele näher erläutert, aus
welchen weiter Vorteile und Merkmale hervorgehen. Gemäß der
Erfindung wird eine Einrichtung zum Polieren eines
Werkstücks zur Verfügung gestellt, welche aufweist:
ein Gestell;
eine obere Polierplatte;
eine untere Polierplatte, die unterhalb der oberen Polierplatte angeordnet ist;
eine Plattenhalterungswelle, die von der oberen Polierplatte aus nach oben verläuft und eine Zentrumsachse aufweist;
eine Montagevorrichtung zum Montieren der Plattenhalterungswelle, so daß diese sich in Vertikalrichtung hin- und herbewegen kann, und sich um ihre Zentrumsachse drehen kann;
eine Plattform, die durch die Welle so gehaltert wird, daß sie sich mit dieser zusammen bewegt, wobei die Plattenhalterungswelle durch diese Plattform geht;
eine Plattformhalterungsvorrichtung, die von dem Gestell getragen wird, so daß sie mit der Plattform in einer festen Position im Eingriff steht, während sie eine Bewegung der Welle in Bezug auf die Plattform zuläßt; und
eine Positioniervorrichtung, welche eine doppelt wirkende, von einem Fluid unter Druck gesetzte Balgvorrichtung aufweist, die von der Plattform getragen wird, und in Eingriff mit der Plattenhalterungswelle gelangt, um die Plattenhalterungswelle und daher die obere Polierplatte in Bezug auf die Plattform verschieben, damit die obere Polierplatte zur unteren Polierplatte oder von dieser weg bewegt wird.
ein Gestell;
eine obere Polierplatte;
eine untere Polierplatte, die unterhalb der oberen Polierplatte angeordnet ist;
eine Plattenhalterungswelle, die von der oberen Polierplatte aus nach oben verläuft und eine Zentrumsachse aufweist;
eine Montagevorrichtung zum Montieren der Plattenhalterungswelle, so daß diese sich in Vertikalrichtung hin- und herbewegen kann, und sich um ihre Zentrumsachse drehen kann;
eine Plattform, die durch die Welle so gehaltert wird, daß sie sich mit dieser zusammen bewegt, wobei die Plattenhalterungswelle durch diese Plattform geht;
eine Plattformhalterungsvorrichtung, die von dem Gestell getragen wird, so daß sie mit der Plattform in einer festen Position im Eingriff steht, während sie eine Bewegung der Welle in Bezug auf die Plattform zuläßt; und
eine Positioniervorrichtung, welche eine doppelt wirkende, von einem Fluid unter Druck gesetzte Balgvorrichtung aufweist, die von der Plattform getragen wird, und in Eingriff mit der Plattenhalterungswelle gelangt, um die Plattenhalterungswelle und daher die obere Polierplatte in Bezug auf die Plattform verschieben, damit die obere Polierplatte zur unteren Polierplatte oder von dieser weg bewegt wird.
Es zeigt:
Fig. 1 eine Perspektivansicht in Explosionsdarstellung
einer Poliereinrichtung gemäß den Grundlagen der
vorliegenden Erfindung;
Fig. 2 eine entsprechende Vorderansicht;
Fig. 3 eine entsprechende Aufsicht;
Fig. 4 eine entsprechende Seitenansicht;
Fig. 5 eine Teilquerschnittsansicht entlang der Linie 5-5
von Fig. 3;
Fig. 6 eine Teilansicht einer alternativen Anordnung, in
vergrößertem Maßstab;
Fig. 7 einen Abschnitt von Fig. 6 in vergrößertem Maßstab;
Fig. 8 eine Querschnittsansicht einer alternativen
Anordnung;
Fig. 9 eine Teilquerschnittsansicht ähnlich wie Fig. 6,
wobei jedoch eine alternative Anordnung für die Montage der
oberen Polierplatte gezeigt ist;
Fig. 10 eine Vorderansicht eines Polierwerkzeugs;
Fig. 11 eine entsprechende Aufsicht, teilweise
weggeschnitten;
Fig. 12A und 12B zusammen eine Perspektivansicht in
Explosionsdarstellung einer alternativen Poliereinrichtung
gemäß den Grundlagen der vorliegenden Erfindung;
Fig. 13 eine Aufsicht, teilweise weggeschnitten, einer
Poliermaschine, bei welcher die Einrichtung von Fig. 12
vorgesehen ist;
Fig. 14 eine entsprechende Vorderansicht; und
Fig. 15 eine Teilquerschnittsansicht entlang der Linie 15-15
von Fig. 13.
Es wird zunächst auf die Fig. 1 bis 11 Bezug genommen, in
welchen ein Polierwerkzeug 8 (vergleiche Fig. 10) gemäß den
Grundlagen der vorliegenden Erfindung eine innere
Maschinenanordnung aufweist, die in Fig. 1 dargestellt ist,
und insgesamt mit dem Bezugszeichen 10 bezeichnet ist. Das
Werkzeug 8 war sofort im Handel erfolgreich, auf dem Gebiet
des Polierens von Speicherplattensubstraten, obwohl das
Werkzeug 8 auch leicht an andere Einsatzzwecke angepaßt
werden kann, einschließlich Schleifen, Polieren, Texturieren
und Einebnen von Werkzeugmaschinenteilen und Wafern für
integrierte Schaltungen, als Beispiel.
Bei der bevorzugten Ausführungsform wird mit einer großen
Anzahl an Werkstücken, (beispielsweise 50), etwa
Speicherplatten, Plattensubstraten, Maschinenteilen oder
anderen Werkstücken, eine gleichzeitige doppelseitige
Polierung durchgeführt, was für den Benutzer des Werkzeugs
wesentliche Kostenvorteile mit sich bringt. Um eine große
Anzahl an Werkstücken aufzunehmen, werden
Arbeitskäfigmechanismen eingesetzt, einschließlich mit
Zahnrädern versehener Werkstückhalter oder Träger 12 (siehe
Fig. 11), um die Werkstücke während eines Poliervorgangs
festzuhalten. Allgemein wird bevorzugt, daß die
Werkstückkäfigmechanismen vom Planetentyp sind, bei welchen
man mehrere Träger 12 zwischen einem äußeren Ringzahnrad 14
und einem zentralen "Sonnenrad" 16 umlaufen läßt. Die
äußeren gezahnten Ränder der Träger kämmen mit dem zentralen
Sonnenrad, welches eine Drehbewegung auf die Träger
überträgt, so daß sich die Werkstücke in jeweiligen,
überlicherweise zykloidenförmigen Pfaden bewegen, und um die
Achse ihrer Träger umlaufen, wenn sich die Träger in Bezug
auf die Achse des zentralen Sonnenrades drehen. Weiterhin
kann die Drehung der oberen und unteren Polierplatten und
des Werkstückkäfigmechanismus, der zwischen den
Polierplatten angeordnet ist, in entgegengesetzter Richtung
erfolgen, wenn dies gewünscht ist. Durch Einstellung der
Richtungen und Geschwindigkeiten der Umdrehung der Sonnen-
und Ringzahnräder, sowie der oberen und unteren
Polierplatten, kann praktisch jede gewünschte Polierwirkung
erzielt werden.
Bei der bevorzugten Ausführungsform werden fünf
Speicherplatten 18 in jeden Träger geladen, wobei zehn
Träger in kämmendem Eingriff zwischen dem zentralen
Sonnenrad und dem äußeren, umgebenden Ringzahnrad angeordnet
sind. Zur Vereinfachung der Darstellung sind in den Figuren
nur zwei Speicherplatten dargestellt. Allerdings kann
praktisch jede Anzahl an Speicherplatten oder anderen
Werkstücken aufgenommen werden, wenn geeignete Änderungen
der Konstruktion der Träger vorgenommen werden. Der gesamte
Werkstückkäfigmechansimus wird mit einer unabhängig
steuerbaren Geschwindigkeit gedreht, während die obere und
untere Polierplatte 20, 26 (vergleiche beispielsweise Fig.
12B) unabhängig mit ihren eigenen ausgewählten
Geschwindigkeiten gedreht werden. Wie nachstehend noch
verdeutlicht wird, wird die obere Polierplatte 20 von
oberhalb durch einen Motor 44 (siehe Fig. 12A) angetrieben,
wogegen die untere Polierplatte 26 von unterhalb auf
herkömmliche Weise angetrieben wird, durch eine Einrichtung,
die in einem hohlen Basisschrank 48 enthalten ist. Der
Zugang zu den Einrichtungen zum Antrieb der unteren
Polierplatte erfolgt über Zugangstüren 52, wie aus Fig. 10
hervorgeht.
Bei der vorliegenden Erfindung ist es vorzuziehen, daß die
obere und untere Polierplatte mit einander
gegenüberliegenden kreisringförmigen Polieroberflächen
versehen sind, und daß sie unabhängig drehbar auf einer
einzelnen gemeinsamen Achse angebracht sind (siehe die
gestrichelte Linie 28 in Fig. 12B). Um die gewünschten
Polierergebnisse zu erzielen hat es sich als wesentlich
herausgestellt, daß eine gemeinsame Ausrichtung der Achsen
erzielt wird, oder eine sogenannte "Fokussierung",
insbesondere wenn die zahnradgetriebenen Käfigmechanismen zu
komplizierten Bewegungen veranlaßt werden, wie dies bei der
bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung der
Fall ist. Um die konzentrische Ausrichtung oberer und
unterer Polierplatten zu verbessern, und diese Ausrichtung
in verschiedenen Phasen des Betriebs der Maschinen
sicherzustellen, wird allgemein vorgezogen, daß die
Anordnung, welche die obere und untere Polierplatte haltert,
so hergestellt wird, daß ihre Positionierungselemente bei
der Herstellung gleichzeitig gefräst werden, wobei die
Bauteile an ihre jeweiligen Positionen angeordnet sind.
Wie nachstehend noch deutlicher wird, weisen verschiedene
Teile der Halterungsanordnung einen im wesentlichen
dreieckigen Aufbau auf. Daher wird allgemein vorgezogen, daß
drei vertikale Halterungssäulen 32, 34 und 36 verwendet
werden, wobei sich eine dreieckigen, im wesentlichen
horizontal verlaufende obere Wand 38 zwischen den oberen
Enden der Säulen erstreckt (vergleiche beispielsweise Fig.
12A). Die Basis 40 des Rahmengestells ist vorzugsweise so
ausgebildet, daß sie im wesentlichen rechteckförmig ist
(siehe Fig. 12B), obwohl auch eine dreiseitige, im
wesentlichen dreieckige Form verwendet werden könnte.
Wie aus den Fig. 2 und 3 hervorgeht, gehen die
Halterungssäulen 32 bis 36 von der oberen Wand 38 aus, und
werden von unten gehaltert, wobei sie durch das Basisabteil
48 (siehe Fig. 10) zur Maschinenbasis 40 heruntergehen.
Gemäß Fig. 4 und 5 weist eine insgesamt mit dem
Bezugszeichen 60 bezeichnete Plattformanordnung eine
Plattform 66 auf, die so ausgebildet ist, daß sie innerhalb
der Halterungssäulen 32, 34 und 36 eine Vertikalbewegung
durchführen kann.
Die mit dem Bezugszeichen 60 bezeichnete Plattformanordnung,
bei welcher Linearlager 72 ein Gleitlager zur Verfügung
stellen, weist eine zentrale Halterungssäule 70 auf (siehe
Fig. 5). Wie aus Fig. 5 hervorgeht, ist die
Zentralhalterung 70 hohl ausgebildet, so daß eine
Drehantriebsspindel 72 sich durch die Plattformanordnung
bewegen kann, so daß ihr unteres Ende 74 mit der oberen
Polierplatte 20 gekuppelt ist, und sich gemeinsam mit dieser
drehen kann. Bei der in Fig. 5 gezeigten Anordnung ist die
zentrale Halterungssäule 70 mit einer Hebevorrichtung
gekuppelt (beispielsweise eine Anordnung aus Ritzel und
Zahnstange), die in den Zeichnungen nicht dargestellt ist,
und oben auf der Wand 38 angebracht ist. Die Hebevorrichtung
tritt in Eingriff mit der zentralen Halterungswelle 70, um
die Halterungswelle 70 in einem gewünschten Ausmaß anzuheben
oder abzusenken.
Wie aus Fig. 5 hervorgeht, ist die zentrale Halterungswelle
70 an ihrem unteren Ende mit einer Lageranordnung 78
verbunden. Das Lager 78 wiederum ist mit einer oberen
Druckplatte 20 gekuppelt. Eine Drehantriebsspindel 74 kann
sich frei um ihre Zentrumsachse drehen, um hierdurch die
obere Druckplatte 20 zu drehen. Die zentrale Halterungssäule
70 ist vorzugsweise so angebracht, daß sie sich wie erwähnt
anheben und absenken kann, jedoch nicht drehen kann.
Wie wiederum aus Fig. 5 hervorgeht, weist die
Plattformanordnung 60 einen Halterungstisch auf, der eine
obere Wand 82 und Seitenwände 84 aufweist, deren unter Enden
an der Plattform 66 befestigt sind. Eine im Wesentlichen
vollständige Umhüllung ist innerhalb des Tabels angeordnet
und bildet einen Hohlraum, welcher die zentrale
Halterungssäule umgibt. Die Umhüllung weist eine obere Wand
86 auf, eine zylindrische Außenwand 88, und Bodenwände 90,
92. Die zentrale Halterungssäule 70 weist ein erstes und ein
zweites vorspringendes, scheibenförmiges Plattenteil 94
beziehungsweise 96 auf. Die erste Platte 94 ist innerhalb
des Hohlraums so angeordnet, daß die Platte 94 mit der
oberen Wand 86 so zusammenarbeitet, daß ein erster
Kammerabschnitt gebildet wird, und mit der unteren Wand 90,
so daß ein zweiter Kammerabschnitt gebildet wird. Die zweite
Platte 96 ist in dem Hohlraum angeordnet, der zwischen der
Bodenwand 92 und der Plattform 66 vorhanden ist.
Ein oberer, von einem Fluid unter Druck gesetzter Balg 102
ist in dem ersten Kammerabschnitt angeordnet, und ein
zweiter, von einem Fluid unter Druck gesetzter Balg 104 ist
in dem übrigen (unteren) Kammerabschnitt vorgesehen. Die von
einem Fluid unter Druck gesetzten Bälge 102, 104 können
einen elastischen (also aufblasbaren) Aufbau ausweisen, oder
einen inelastischen Aufbau mit gefalteten Wänden, damit sich
das Volumen vergrößern kann. Bei der bevorzugten
Ausführungsform sind die von einem Fluid unter Druck
gesetzten Bälge 102, 104 aus einem elastischen Material
hergestellt, beispielsweise einer Gummiverbindung.
Gemäß Fig. 5 wird, wenn der untere Balg 104
druckbeaufschlagt wird, der Balg aufgebläht, so daß er
vollständig den unteren Kammerabschnitt unterhalb der Platte
94 einnimmt. Wie in Fig. 5 gezeigt wird der Balg durch die
Platte 94 begrenzt, die äußere zylindrische Wand 88 und die
untere Wand 90, die gegen eine Bewegung festgehalten ist.
Bei einem weiteren Druckanstieg drückt der Balg 104 die
Platte 94 in Richtung nach oben, wodurch das Volumen des
oberen Kammerabschnitts verringert wird, und hierdurch der
obere Balg 102 abgeflacht wird, was durch einen ausreichend
niedrigen Innendruck unterstützt werden kann.
Abhängig von dem Druck innerhalb des oberen Balges 102 hört
die Druckvergrößerung des unteren Balges 104 bei einem
bestimmten Betriebspunkt auf. Da die Platte 94 an der
zentralen Halterungssäule 70 befestigt ist, die wiederum an
der oberen Druckplatte 20 befestigt ist, kann die Position
der oberen Druckplatte 20 so wie der Druck, der auf die
Werkstücke durch die obere Druckplatte 20 ausgeübt wird,
einfach festgelegt werden. Wenn ein Druckanstieg gewünscht
ist, oder wenn die Druckplatte 20 weiter abgesenkt werden
muß, kann Druck aus dem unteren Balg 104 abgelassen werden,
so daß sich die Platte 94 an einem tiefer gelegenen Punkt
innerhalb der Umhüllung absetzt. Falls gewünscht kann auch
der Druck innerhalb des oberen Balges 102 erhöht werden, um
einen größeren Steuerbereich in Bezug auf die obere
Druckplatte 20 zur Verfügung zu stellen. Wenn beispielsweise
der obere und untere Balg 102, 104 vollständig
druckbeaufschlagt bleiben, so daß sie vollständig in den
Kammerabschnitten aufgeblasen sind, in welchen sie sich
befinden, so wird der Druckplatte 20 zusätzliche
Positionsstabilität und Steifigkeit bei jedem gewünschten
Betriebspunkt verliehen, so daß sie momentanen Kräften
widersteht, die sie verschieben wollen.
Wie erwähnt wird die untere Platte 96 innerhalb einer Kammer
festgehalten, die zwischen der Plattform 66, der Wand 92 und
der äußeren zylindrischen Wand 84 gebildet ist. Der
Freiheitsgrad, der für die untere Platte 96 zugelassen wird,
setzt den Bereich der Bewegung der oberen Druckplatte 20
fest. Wie noch verdeutlicht wird, wird vorgezogen, die
Plattform 66 an einem festen Ort in Bezug auf die
Halterungsanordnung festzulegen. Die untere Platte 96 wird
vorzugsweise so angeordnet, daß sie bei einem bestimmten
Betriebspunkt die Plattform 66 berührt, um die weiteste
Verschiebung nach unten der oberen Druckplatte 20
festzulegen, falls dies für den Betrieb wesentlich sein
sollte.
In Bezug auf die Fig. 1 und 2 ist es im Allgemeinen
vorzuziehen, daß die Plattform 66 und die obere Druckplatte
20 von oben aus aufgehängt werden (beispielsweise der oberen
Wand 38), durch die zentrale Halterungssäule 70. Wie noch
verdeutlicht wird, werden im Betrieb die Plattform 66 und
die obere Druckplatte 20 zusammen angehoben und abgesenkt,
und zwar gemeinsam. Während des Absenkvorgangs wird die
Plattform 66 an einen vorbestimmten Punkt angehalten, und
wird daraufhin die obere Druckplatte 20 um einen weiteren
Betrag abgesenkt, der von der Relativbewegung zwischen der
Plattform und der oberen Druckplatte abhängt. In dieser
Hinsicht ist es dazu vorzuziehen, daß die Halterung der
oberen Druckplatte 66 so fest und stabil ist, wie dies
überhaupt nur möglich ist.
Unter Bezugnahme auf Fig. 5 wird deutlich, daß die
Plattform 66 ein Bezugsgestell für das Linearlager 72 zur
Verfügung gestellt, und daß eine stabile Halterung der
Linearlager dazu führt, daß ein weiteres Absenken der oberen
Druckplatte exakter erfolgt. Daher sind, wie aus den Fig.
1 und 2 hervorgeht, mehrere einstellbare Anschlagteile 110
auf den Halterungssäulen 32, 34 und 36 angebracht. Weiterhin
sind diamantförmige Stifthalterungen 112 an den
Anschlagteilen 110 befestigt, und werden in entsprechend
geformten Ausnehmungen aufgenommen, die in der Unterseite
der Plattform 66 vorgesehen sind. Auf die Weise wird eine
exakte Positionierung der Plattform 66 sichergestellt, mit
wiederholbarer Präzision für jeden Zyklus des Betriebs des
Polierwerkzeuges. Falls gewünscht können die Anschlagstifte
einstellbar ausgebildet werden. Durch Befestigung der
Plattform 66 in ihrer Position wird auch das Linearlager 72
und daher die obere Polierplatte 20 exakt in ihrer Position
festgelegt, in Bezug auf den Überbau oder das Rahmengestell
für das Werkzeug.
Wie wiederum aus den Fig. 10 und 11 hervorgeht, sind die
zentrale Halterungswelle und eine Drehantriebsspindel
innerhalb einer flexiblen faltenbalgartigen Manschette 116
angebracht. Der Ritzel-Zahnstangenhebemechanismus für die
zentrale Halterungssäule 70 ist in einer Umhüllung 118
angeordnet, die oben auf der oberen Wand 88 angebracht ist.
Abschnitte der zentralen Halterungssäule, die über die obere
Wand 38 vorstehen, sind vorzugsweise innerhalb des Gehäuses
118 angeordnet. Der Drehantrieb für die Spindel 74 umfaßt
vorzugsweise einen Antriebsmotor, der oben auf der zentralen
Halterungssäule 70 angebracht ist, und vom Gehäuse 118
umschlossen ist, wobei die obere Druckplatte 20 pendelartig
von der oberen Wand 38 durch die zentrale Halterungssäule 70
gehaltert wird. Wie aus Fig. 5 hervorgeht, wird der untere
Abschnitt der zentralen Halterungssäule durch ein
Linearlager 72 geführt, welches innerhalb der Plattform 66
angeordnet ist. Die untere Druckplatte 26 (siehe Fig. 10)
wird von unterhalb durch eine herkömmliche Halterung
gehaltert, und einen Antriebsmechanismus, der innerhalb des
Gehäuseabschnitts 48 vorgesehen ist. Der
Halterungsantriebsmechanismus für den unteren Tisch 26 ist
herkömmlich ausgebildet, und in den Zeichnungen nicht
dargestellt. Gemäß Fig. 5 wird nach Beendigung eines
Poliervorgangs die zentrale Halterungssäule 70 angehoben,
wodurch die obere Druckplatte 20 angehoben wird.
Allgemein wird vorgezogen, daß das anfängliche Anheben der
oberen Polierplatte 20 dadurch durchgeführt wird, daß der
untere Balg 104 unter Druck gesetzt wird, und falls
erforderlich der obere Balg 102 druckentlastet wird. Dies
wirkt sich so aus, daß die Anfangshebekraft über die
Tischwände 84 auf die Plattform 66 übertragen wird. Wie
voranstehend erwähnt wird die Kraft wiederum über die Stifte
112 und die Halterungsblöcke 110 auf die Halterungssäulen 32
bis 36 und schließlich auf die Basisplatte 40 übertragen.
Die zentrale Halterungssäule 70 wird dann angehoben, wie
bereits erwähnt, und gelangt schließlich in Berührung mit
der unteren Oberfläche der Plattform 66. Daraufhin werden,
wobei das Anheben der zentralen Halterungssäule 70
weitergeht, die obere Druckplatte 20, die Plattform 66 und
die Plattform 60, die darauf gehaltert ist, zusammen als
einzelne Einheit angehoben, um einen zusätzlichen Abstand
zwischen der oberen und unteren Polierplatte 20
beziehungsweise 26 zur Verfügung zu stellen, damit ein
bequemes Abnehmen und Ersetzen von Werkstücken erfolgen
kann, die poliert werden. Daraufhin wird der
Polierwerkzeugzyklus wiederholt, unter Absenkung der oberen
Druckplatte, damit ein neuer Poliervorgang begonnen werden
kann.
Am Anfang wird die zentrale Halterungssäule abgesenkt, wobei
die Plattform 66 und die zugehörige Plattformanordnung 60
oben auf der oberen Druckplatte 22 aufliegen. Bei weiterem
Absenken der zentralen Halterungssäule 70 gelangt die
Plattform 66 schließlich in Berührung mit den
Halterungsstiften 112, auf die in Fig. 2 dargestellte
Weise. An diesem Punkt ist im Allgemeinen vorzuziehen, daß
die obere Polierplatte 20 mit einem geringen Abstand
oberhalb der Werkstücke angeordnet sind, die auf der unteren
Polierplatte 26 gelagert sind. Falls erwünscht kann die
obere Druckplatte direkt in Berührung mit den Werkstücken
gebracht werden. Für Poliervorgänge mit hoher Genauigkeit
ist es jedoch wesentlich, daß die Bewegung der oberen
Polierplatte sorgfältig kontrolliert wird, während sie in
Berührung mit den zu polierenden Werkstücken gebracht wird.
Es hat sich insbesondere als wesentlich herausgestellt, den
endgültigen Polierdruck zu kontrollieren, der von der oberen
Druckplatte 20 aufgebracht wird, und ebenso die Zunahmerate
des Polierdrucks.
Durch die vorliegende Erfindung kann die Zunahmerate des
Polierdrucks auf bessere Weise kontrolliert werden, so daß
eine gewünschte Betriebsablaufskurve, welche die Erhöhung
des Polierdrucks repräsentiert, wiederholt erreicht werden
kann, und zwar kostengünstig und exakt. Im Betrieb wird,
wenn die Plattform 66 in einer bestimmten Position
festgesetzt ist, wie es beispielsweise in Fig. 2 gezeigt
ist, das Gewicht der oberen Polierplatte 20 von dem unteren
Balg 104 abgefangen. Durch Verringerung des Druckes in dem
unteren Balg 104 wird die obere Polierplatte 20 so
abgesenkt, daß der Polierdruck bei dem Werkstück zunimmt,
das auf der unteren Polierplatte 26 gehaltert wird. In Fig.
5 ist mit dem Bezugszeichen 122 eine Keil- und
Schlitzanordnung in der oberen und unteren Polierplatte 20,
26 bezeichnet, die dazu dient, ihre gegenseitig
konzentrische Anordnung sicherzustellen. Weiterhin ist
schematisch eine kardanische Aufhängung dargestellt, bei
welcher die obere Polierplatte 20 an der zentralen
Halterungssäule 70 befestigt ist.
Falls gewünscht kann der Luftdruck in dem oberen Balg 102
auf praktisch jedem gewünschten Druckniveau gehalten werden.
Bei einer Betriebsart beeinflußt dies die Federeigenschaften
der Kombination aus den Bälgen 102 und 104, und widersteht
irgendwelchen Ausweichbewegungen nach oben der oberen
Polierplatte 20, die während eines Poliervorganges auftreten
können. Alternativ hierzu kann, wenn erwünscht ist, ein
Abfedern derartiger Ausweichbewegungen nach oben zu
erzielen, der Druck in dem oberen Balg 102 etwas abgesenkt
werden, um die gewünschte Pufferwirkung zur Verfügung zu
stellen, ohne daß die doppelt wirkende Federbelastung in
Bezug auf die zentrale Halterungssäule 70 wegfällt.
In Fig. 6 ist eine alternative Anordnung für die zentrale
Halterungswelle dargestellt, die hier mit dem Bezugszeichen
126 bezeichnet ist. Wie aus Fig. 6 hervorgeht, stellt die
zentrale Halterungssäule 126 eine hängenden Halterung für die
obere Polierplatte 20 zur Verfügung, ohne daß eine im
Inneren angeordnete Antriebsspindel vorgesehen ist (wie dies
beispielsweise in Fig. 5 gezeigt ist). Statt dessen wird
die zentrale Halterungssäule zur Drehung von oben aus
angetrieben, durch eine geeignete Antriebsvorrichtung, die
oben auf der oberen Platte 38 angebracht ist und innerhalb
des Gehäuses 118 angeordnet ist, wie dies in Fig. 10
gezeigt ist. Es können verschiedenen Anordnungen dazu
eingesetzt werden, den Reibungseingriff zwischen dem
plattenförmigen Vorsprung 94 und den Bälgen 102 und 104 zu
verringern.
Wie in den Fig. 6 und 7 gezeigt, werden zwei Lager 128
verwendet, wobei jedem Balg jeweils ein Lager zugeordnet
ist. Die übrigen Einzelheiten der Plattformanordnung 60 sind
ebenso, wie dies voranstehend in Zusammenhang mit Fig. 5
beschrieben wurde. Beispielsweise wird allgemein vorgezogen,
daß die Lager 130, 132 neben der oberen Wand 86
beziehungsweise der unteren Wand 90 angeordnet sind. Wie aus
Fig. 7 hervorgeht, ist ein Luftspalt oder Spalt zwischen
der zentralen Halterungssäule und der oberen Tischwand 82
und der unteren Umhüllungswand 92 vorhanden. Fall gewünscht
könnte in diesem Bereich ein luftdichtes Lager eingesetzt
werden, jedoch hat sich dies als unnötig herausgestellt.
In Fig. 8 ist eine alternative Fluidsteuer- oder
Regelanordnung für die obere Polierplatte dargestellt. Die
Anordnung von Fig. 8 gleicht im Wesentlichen jener von
Fig. 7. Beispielsweise sind Lager 128 auf beiden Seiten des
plattenförmigen Vorsprungs 94 vorgesehen. Allerdings sind
die Bälge von Fig. 7 durch einen oberen beziehungsweise
unteren Faltenbalg 140, 142 ersetzt. Fluidleitungen 144, 146
sind an einem Ende an eine Steuereinheit oder Regeleinheit
148 angeschlossen, und gehen durch die Wände der umgebenden
Umhüllung hindurch, so daß sie in das Innere der Faltenbälge
140, 142 hineingelangen. Die Faltenbälge können sich in
Vertikalrichtung ausdehnen und zusammenziehen, sind
ansonsten jedoch vorzugsweise unelastisch. Wie in Fig. 8
gezeigt, weisen die Faltenbälge Innenwände auf, die in einem
Abstand zur zentralen Halterungssäule 126 angeordnet sind.
Alternativ können, falls erwünscht, die Faltenbälge ein
offenes Inneres aufweisen, wobei der Fluiddruck auf die
Außenoberfläche der zentralen Halterungssäule 126 einwirkt.
Bei dieser letztgenannten Alternative ist ein druckdichtes
Lager oder eine andere Abdichtungsvorrichtung vorzugsweise
in Hohlräumen 150, 152 vorgesehen.
In Fig. 9 ist eine Anordnung zum Haltern der oberen
Polierplatte 20 im Wesentlichen ebenso aufgebildet, wie dies
voranstehend im Zusammenhang mit Fig. 6 beschrieben wurde,
abgesehen von der Bereitstellung einer kardanischen
Aufhängung 158, damit sich die obere Polierplatte 20
geringfügig hin- und herbewegen kann, wenn die Werkstücke
druckbeaufschlagt werden. Bei einer Betriebsart führt die
kardanische Aufhängung dazu, daß die obere Polierplatte
einen Eingriff in enger Berührung mit einem Feld aus
Werkstücken erzielen kann, die auf der unteren Polierplatte
angeordnet sind, trotz Änderungen der Werkstücke. Ohne die
kardanische Aufhängung würden sich die Polierkräfte zunächst
auf die dickeren Werkstücke konzentrieren, wobei auf die
dünneren Werkstücke ein geringerer Bearbeitungsdruck
einwirkt, bis eine ausreichende Materialmenge von den
dickeren Werkstücken entfernt ist, so daß insgesamt eine
gleichmäßige Werkstückdicke vorhanden ist.
In den Fig. 12-15 ist eine weitere Ausführungsform des
Polierwerkzeugs dargestellt und insgesamt mit dem
Bezugszeichen 200 bezeichnet (siehe die Fig. 13 und 14)
Zahlreiche Merkmale des Polierwerkzeuges 22 sind ebenso, wie
dies voranstehend bereits beschrieben wurde. Beispielsweise
gehen, wie in den Fig. 13 und 14 gezeigt, die
Halterungssäulen 32, 34 und 36 von der oberen Wand 38 aus,
und sind von unten aus gehaltert, wobei sie durch das
Basisabteil 48 bis zur Maschinenbasis 40 gehen. Eine
Plattform 26 führt eine Gleitbewegung aufwärts und abwärts
entlang den Halterungssäulen 32-36 durch.
Kugelumlaufspindelteile 210 stellen eine Verbindung der
Plattform 206 mit Schraubenwellen oder Gewindestangen 210,
212 und 214 zur Verfügung. Die Gewindestangen 210, 212 und
214 werden wiederum von oben aus durch die obere Wand 38
gehaltert, und werden zur Drehung durch Antriebsmotoren 216,
218 und 220 angetrieben (siehe Fig. 12A).
Wie in Fig. 15 gezeigt wird, wenn ein Poliervorgang beendet
ist, und ein "weiches Lösen" erwünscht ist, der Druck in dem
unteren Balg 104 erhöht, und falls erforderlich der Druck in
dem oberen Balg 102 verringert, wie dies voranstehend
bereits geschildert wurde, um so die obere Polierplatte 20
um einen Anfangsbetrag anzuheben. Daraufhin werden die
Antriebsmotoren 216, 218 und 220 in Betrieb gesetzt, um die
Gewindestangen 210, 212 und 214 zu drehen, und hierdurch das
Plattformteil 206 anzuheben. Bei fortgesetztem Anheben tritt
die obere Oberfläche 214 der Plattform in Eingriff mit dem
plattenförmigen Vorsprung 96, der an der zentralen
Halterungssäule 70 befestigt ist. Während sich die
Gewindestangen 210, 212 und 214 weiter drehen, werden dann
die zentrale Halterungssäule 70 und daher die obere
Polierplatte 20 angehoben, wobei sie sich zusammen mit der
Plattform 240 in Richtung nach oben bewegen, um einen
erhöhten Abstand zwischen der oberen und unteren
Polierplatte 20 beziehungsweise 26 zur Verfügung zu stellen.
Nachdem die Werkstücke ersetzt wurden, ist das
Polierwerkzeug für einen neuen Betriebszyklus bereit. Am
Anfang werden die Antriebsmotoren 216, 218 und 220 in
Betrieb gesetzt, um die Gewindewellen 210, 212 und 214 in
entgegengesetzte Richtung zu drehen, damit die Plattform
206, die durch sie gehalterte Plattformanordnung 60 und die
zentrale Halterungssäule 70 mit der sich entsprechend
bewegenden oberen Polierplatte 20 abgesenkt werden. Während
dieses Betriebszeitraums bleibt der plattenförmige Vorsprung
96 im Eingriff mit der oberen Oberfläche 240 der Plattform
206. Wenn sich die Gewindewellen 210, 212 und 214
weiterdrehen, wird die untere Oberfläche der Plattform 206
in Berührung mit einstellbaren Führungsstiften 246 gebracht,
die vertikal einstellbar auf Stützen angebracht sind, die
von Halterungskragen 248 ausgehen. Die Führungsstifte 246
können eine Außengewindeoberfläche für die
Vertikaleinstellung aufweisen, oder es können alternativ die
Anschlagkragen 248 im Gewindeeingriff mit den
Halterungssäulen 32, 34 und 36 stehen (mit oder ohne die
Führungsstifte 246), um eine Vertikalanschlagseinstellung
für die Plattform 206 zur Verfügung zu stellen. Bei
weitergehender Drehung der Gewindestangen 210, 212 und 214
wird die Plattform 206 so abgesenkt, daß sie in Berührung
mit den Führungsstiften 246 gelangt, und werden dann die
Motoren 216, 218 und 220 abgeschaltet. Zu diesem Zeitpunkt
ist es allgemein vorzuziehen, daß die obere Polierplatte 20
sich zumindest geringfügig oberhalb der unteren Polierplatte
26 befindet, wobei die Plattform 206 in einer festen,
stabilen Position festgelegt ist. Bei einer
Druckverringerung in dem Balg 104, einer Druckerhöhung in
dem oberen Balg 102, oder beidem, wird die zentrale
Halterungssäule 70 und daher die an ihrem Boden gehalterte
obere Druckplatte 20 um ein weiteres Ausmaß abgesenkt, bis
der gewünschte Polierdruck erzielt wird. Wie voranstehend
erwähnt gestattet es die Verwendung der von einem Fluid
druckbeschlagten Bälge, daß eine exakte Kontrolle der
Änderung und Änderungsrate der Polierdrucke erfolgt. Durch
Verwendung mehrerer Bälge kann darüberhinaus die
Doppelwirkungskontrolle der oberen Polierplatte leicht
erzielt werden, auf eine Weise, in welcher wirkungsvoll
Vibrationen bei Auslenkbewegungen in der oberen Polierplatte
während eines Betriebszyklus gedämpft oder anderweitig
gesteuert werden.
Wie bei den vorherigen Ausführungsformen ist das Gewicht der
Plattform und der Plattformanordnung größer als die nach
unten gerichtet Kraft, die dazu erforderlich ist, die
gewünschten Polierdrucke zu erzeugen. Daher ist es nicht
erforderlich, die Gewindestangen 210, 212 und 214 nach dem
Eingriff anzutreiben, um die gewünschten Polierdrucke
bereitzustellen. Wie bereits erwähnt wird es jedoch
vorgezogen, daß die nach unten gerichtete Kraft dadurch
erhöht wird, daß der Druck in dem oberen Balg 102 erhöht
wird, obwohl bei der bevorzugten Ausführungsform diese
erhöhte, nach unten gerichtete Kraft relativ klein ist, im
Vergleich zum Gewicht der oberen Polierplatte und der
zugehörigen Bauteile, etwa der zentralen Halterungssäule 70.
Obwohl dies im Allgemeinen nicht vorgezogen wird, ist es
möglich, die Betätigung der von einem Fluid unter Druck
gesetzten Bälge 102, 104 wegzulassen, durch Steuern der
Polierdrucke durch die Gewindestangen 210, 212 und 214.
In Bezug auf die Zeichnungen und die voranstehende
Beschreibung ist es nicht erwünscht, daß diese die einzigen
Ausführungsformen der Erfindung darstellen, in Bezug auf
konstruktive Einzelheiten und den Betriebsablauf. Es lassen
sich Änderungen der Form und der Proportionen von Teilen
überlegen, und ebenso der Austausch durch Äquivalente, wie
dies unter bestimmten Umständen wünschenswert oder sinnvoll
sein kann; zwar wurden bestimmte Begriffe verwendet, jedoch
sind sie allgemein und beschreibend zu verstehen, und nicht
einschränkend, wobei sich Wesen und Umfang der vorliegenden
Erfindung aus der Gesamtheit der vorliegenden
Anmeldeunterlagen ergeben und von den beigefügten
Patentansprüchen umfaßt sein sollen.
Claims (19)
1. Einrichtung zum Polieren eines Werkstückes, welche
aufweist:
ein Gestell;
eine obere Polierplatte;
eine untere Polierplatte, die unterhalb der oberen Polierplatte angeordnet ist;
eine Plattenhalterungswelle, die von der oberen Polierplatte nach oben verläuft, und eine Zentrumsachse aufweist;
eine Montagevorrichtung zur Montage der Plattenhalterungswelle, damit diese sich in Vertikalrichtung hin- und herbewegen kann, und um ihre Zentrumsachse drehen kann;
eine Plattform, die von der Welle so gehalten wird, daß sie sich mit ihr zusammen bewegt, wobei die Plattenhalterungswelle durch die Plattform hindurch geht;
eine Plattformhalterungsvorrichtung, die von dem Gestell gehaltert wird, um mit der Plattform an einer festen Position in Eingriff zu gelangen, während eine Bewegung der Welle in Bezug auf die Plattform zugelassen wird; und
eine Positioniervorrichtung, die eine doppelt wirkende, von einem Fluid druckbeaufschlagte Balgvorrichtung aufweist, die von der Plattform getragen wird, und in Eingriff mit der Plattenhalterungswelle gelangt, um die Plattenhalterungswelle und daher die obere Polierplatte in Bezug auf die Plattform zu verschieben, um so die obere Polierplatte zur unteren Polierplatte hin beziehungsweise von dieser weg zu bewegen.
ein Gestell;
eine obere Polierplatte;
eine untere Polierplatte, die unterhalb der oberen Polierplatte angeordnet ist;
eine Plattenhalterungswelle, die von der oberen Polierplatte nach oben verläuft, und eine Zentrumsachse aufweist;
eine Montagevorrichtung zur Montage der Plattenhalterungswelle, damit diese sich in Vertikalrichtung hin- und herbewegen kann, und um ihre Zentrumsachse drehen kann;
eine Plattform, die von der Welle so gehalten wird, daß sie sich mit ihr zusammen bewegt, wobei die Plattenhalterungswelle durch die Plattform hindurch geht;
eine Plattformhalterungsvorrichtung, die von dem Gestell gehaltert wird, um mit der Plattform an einer festen Position in Eingriff zu gelangen, während eine Bewegung der Welle in Bezug auf die Plattform zugelassen wird; und
eine Positioniervorrichtung, die eine doppelt wirkende, von einem Fluid druckbeaufschlagte Balgvorrichtung aufweist, die von der Plattform getragen wird, und in Eingriff mit der Plattenhalterungswelle gelangt, um die Plattenhalterungswelle und daher die obere Polierplatte in Bezug auf die Plattform zu verschieben, um so die obere Polierplatte zur unteren Polierplatte hin beziehungsweise von dieser weg zu bewegen.
2. Poliereinrichtung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Plattformhalterungsvorrichtung
mehrere Anschlagblöcke aufweist, die durch das Gestell
gehaltert sind, und so mit der Plattformvorrichtung
wechselwirken, daß sie deren Bewegung begrenzen, und um
die Plattformvorrichtung an einer festen Position
oberhalb der oberen Polierplatte zu haltern.
3. Poliereinrichtung nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die Anschlagblöcke in Bezug auf das
Gestell einstellbar positionierbar ausgebildet sind.
4. Poliereinrichtung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß das erste und zweite Plattformteil
jeweils einen im wesentlichen dreieckigen Aufbau
aufweisen, und daß das Gestell eine im wesentlichen
dreieckige obere Wand aufweist, welche eine
Hängehalterung für die obere Polierplatte zur Verfügung
stellt.
5. Poliereinrichtung nach Anspruch 4, dadurch
gekennzeichnet, daß eine zusammenwirkende
Ausrichtungsvorrichtung auf der oberen und der unteren
Polierplatte vorgesehen ist, um die obere und untere
Polierplatte zueinander ausgerichtet auszurichten, wenn
die oberen Enden unterer Polierplatten zusammengebracht
werden.
6. Poliereinrichtung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die obere Polierplatte eine
Zentrumsachse aufweist, und daß die Poliereinrichtung
weiterhin eine Vorrichtung zum Drehen der oberen
Polierplatte um die Zentrumsachse aufweist.
7. Poliereinrichtung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß miteinander zusammenwirkend eine
Sonnenradvorrichtung, eine Ringzahnradvorrichtung und
mehrere mit Zähnen versehene Trägervorrichtungen
vorgesehen sind, die koplanar zur Sonnenradvorrichtung
und der Ringzahnradvorrichtung ausgerichtet und zwischen
diesen angeordnet sind, wobei die Sonnenradvorrichtung,
die Ringzahnradvorrichtung und die mehreren gezahnten
Träger auf der unteren Polierplatte gehaltert werden, so
daß die mit Zähnen versehenen Träger um ihre jeweiligen
Zentrumsachsen gedreht werden, wenn die gezahnten Träger
um die Zentrumsachse der unteren Polierplatte gedreht
werden.
8. Poliereinrichtung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Positionierungsvorrichtung eine
Kammer aufweist, die auf der oberen Polierplatte
gehaltert ist, einen Vorsprung, der auf der
Plattenhalterungswelle gehaltert ist, und innerhalb der
Kammer angeordnet ist, sowie einen ersten und zweiten
druckdichten Behälter, die jeweils Außenwände aufweisen
und innerhalb der Kammer angeordnet sind, ein Behälter an
jeder Seite des Vorsprungs, wobei die Außenwände in
Eingriff mit dem Vorsprung gelangen, um die
Plattenhalterungswelle in Bezug auf die Plattform zu
verschieben.
9. Poliereinrichtung nach Anspruch 8, dadurch
gekennzeichnet, daß zumindest entweder der erste oder der
zweite druckdichte Behälter elastische Außenwände
aufweist, welche ihre Größe in Reaktion auf den Druck
innerhalb des betreffenden Behälters ändern.
10. Poliereinrichtung nach Anspruch 9, dadurch
gekennzeichnet, daß der zumindest eine Behälter
aufblasbar ist.
11. Poliereinrichtung nach Anspruch 9, dadurch
gekennzeichnet, daß der zumindest eine Behälter als
Faltenbalg ausgebildet ist.
12. Poliereinrichtung nach Anspruch 8, dadurch
gekennzeichnet, daß zumindest entweder der erste oder
der zweite druckdichte Behälter mit dem Vorsprung so
zusammenwirkt, daß mit diesem ein Faltenbalg ausgebildet
wird.
13. Poliereinrichtung nach Anspruch 12, dadurch
gekennzeichnet, daß die Außenwand des zumindest einen
druckdichten Behälters im wesentlichen unelastisch ist,
wobei der Hauptanteil der Kraft, die gegen den Vorsprung
entwickelt wird, dem Öffnen mit dem Federbalg zugeordnet
ist.
14. Poliereinrichtung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß weiterhin eine Transportvorrichtung
vorgesehen ist, um die Plattformhalterungsvorrichtung
und die Positioniervorrichtung zu der unteren
Polierplatte und von dieser weg zu transportieren.
15. Poliereinrichtung nach Anspruch 14, dadurch
gekennzeichnet, daß die Transportvorrichtung eine
Vorrichtung zum Anheben und Absenken der
Plattenhalterungswelle aufweist, und eine erste
Eingriffsvorrichtung, die auf der Plattform gehaltert
ist, um in Eingriff mit der Plattenhalterungswelle zu
gelangen, so daß sie zusammen mit dieser gehaltert wird,
wenn die Plattenhalterungswelle angehoben und abgesenkt
wird.
16. Poliereinrichtung nach Anspruch 14, dadurch
gekennzeichnet, daß die Transportvorrichtung eine
Vorrichtung zum Anheben und Absenken der Plattform
aufweist, sowie eine zweite Eingriffsvorrichtung, die
auf der Plattenhalterungswelle gehaltert ist, um in
Eingriff mit der Plattform zu gelangen, um mit dieser
gehaltert zu werden, wenn die Plattform angehoben und
abgesenkt wird.
17. Poliereinrichtung nach Anspruch 16, dadurch
gekennzeichnet, daß die Plattform einen im wesentlichen
dreieckigen Aufbau aufweist, und daß das Gestell
Halterungssäulen aufweist, die durch Öffnungen
hindurchgehen, die in der zweiten Plattform vorgesehen
sind, um so eine Gleithalterung zur Verfügung zu
stellen.
18. Poliereinrichtung nach Anspruch 17, dadurch
gekennzeichnet, daß das Gestell eine im wesentlichen
dreieckige obere Wand aufweist, die eine Hängehalterung
für die Plattform zur Verfügung gestellt, und daß die
Vorrichtung zur Bewegung des ersten Plattformteils zur
unteren Polierplatte hin und von dieser weg eine
Plattformaufhängevorrichtung für die hängende Halterung
des ersten Plattformteils von der oberen Wand aufweist.
19. Poliereinrichtung nach Anspruch 18, dadurch
gekennzeichnet, daß die Transportvorrichtung mehrere zur
Drehung angetriebene Stangen aufweist, die im
Gewindeeingriff mit dem ersten Plattformteil stehen.
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---|---|---|---|
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: SPEEDFAM-IPEC CORP.(N.D.GES.D.STAATES DELAWARE), C |
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8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |