DE19918689A1 - Vorrichtung zur dreidimensionalen confocalen optischen Untersuchung eines Objektes mit Beleuchtung durch eine Lochplatte - Google Patents
Vorrichtung zur dreidimensionalen confocalen optischen Untersuchung eines Objektes mit Beleuchtung durch eine LochplatteInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur dreidimensionalen
Untersuchung eines Objektes nach dem Oberbegriff des Anspruches 1.
In der confocalen Mikroskopie wird das Objekt in an sich bekannter Weise durch
eine Lochblende beleuchtet und der beleuchtete Punkt des Objektes wird mit
einem Strahlungsempfänger beobachtet, dessen lichtempfindliche Fläche ebenso
klein ist wie der von der Beleuchtungsblende erzeugte Beleuchtungspunkt
(Minsky, M., US Patent 3 013 467 und Minsky, M., Memoir on inventing the
confocal scanning microscope, Scanning 10, p. 128-138). Confocale Mikroskopie
hat gegenüber konventioneller den Vorteil, daß sie Tiefenauflösung (Messung in
z-Koordinate) liefert und daß wenig Streulicht bei der Bildaufnahme entsteht. Nur
die im Focus befindliche Ebene des Objektes wird hell beleuchtet. Objektebenen
oberhalb und unterhalb der Focusebene erhalten deutlich weniger Licht. Das Bild
wird durch einen Scannvorgang aufgebaut. Es können einer oder mehrere Punkte
gleichzeitig beleuchtet und beobachtet werden.
Drei Methoden für den Scannvorgang sind bekannt: Spiegelscannen,
Nipkowscheibe und electropisches Scannen mit Matrixempfänger. Weitere
Einzelheiten zum Stand der Technik beim Scannen mit Spiegel oder mit
Nipkowscheibe finden sich zum Beispiel im Handbook of Biological Confocal
Microscopy, Plenum Press, New York, London (Hrsg. James B. Pawley).
Ein confocales Bildaufnahmesystem mit confocaler Beleuchtung durch eine
Lochplatte und Bildscan durch Matrixempfänger wurde erstmals in DE 40 35 799
vorgeschlagen. Dabei kommt ein Matrixempfänger zum Einsatz, dessen Pixel nur
auf einem Teil (z. B. 30%) der dem Pixel zugeordneten Fläche lichtempfindlich
sind und auf der Beleuchtungsseite wird typischerweise eine Lochplatte
eingesetzt, die ebenso viele Löcher hat wie der Bildsensor lichtempfindliche Pixel.
Die Tiefeninformation ergibt sich durch Aufnahme mehrerer Bilder aus
verschiedenen Focusebenen und Auswertung des Helligkeitsmaximums
individuell für die verschiedenen Pixel im Computer.
In der Druckschrift DE 198 48 316 wird eine Anordnung geschildert, bei der
typischerweise zugeordnet zu je vier Empfängerpixeln ein Beleuchtungsloch auf
der Lochplatte vorgesehen ist und bei der unmittelbar vor dem Matrixempfänger
ein Prismenarray vorgesehen ist. Das Prismenarray wirkt als strahlformendes
Element, mit dem das Licht eines jeden Beleuchtungspunktes so aufgespalten
wird, daß sich außerhalb des Focus zwei halbmondförmige Bilder ergeben. In der
Druckschrift DE 196 51 667 A1 ist eine Anordnung beschrieben, bei der ebenfalls
typischerweise je vier Empfängerpixeln ein Beleuchtungsloch auf der Lochplatte
zugeordnet ist und die unmittelbar vor dem Empfängerarray ein Array
anamorphotischer Linsen enthält. Jedem Beleuchtungsloch ist eine Linse
zugeordnet. Die anamorphotischen Linsen wirken hier ebenfalls als
strahlformende Elemente, so daß sich im Focus eine kreisförmiges und außerhalb
ein ovales Bild des Beieuchtungspunktes ergibt. Bei den beiden letztgenannten
Anordnungen wird die Tiefeninformation durch Auswertung der Differenz der
Lichtsignale benachbarter Pixel gewonnen.
Die Anordnungen nach DE 40 35 799, DE 196 48 316 und DE 196 51 667 A1
haben unter anderem den Vorteil, daß sehr viele Tiefenmeßpunkte gleichzeitig
aufgenommen werden können und sie haben den Nachteil, daß keine Farbbilder
aufgenommen werden können. Die vorliegende Erfindung hat deshalb zur
Aufgabe, einen Weg aufzuzeigen, wie unter Einsatz verfügbarer, farbtauglicher
Matrixempfänger confocal Bilder aufgenommen werden können. Diese Aufgabe
stellt sich unter anderem in der Gentechnologie, der Krebsforschung und der
Krebsvorsorgeuntersuchung (Screening). Dort gilt es, in kurzer Zeit viele
Gewebszellen nach kleinen (z. B. 200 nm) fluoreszierenden oder angefärbten
Stellen dreidimensional abzuscannen.
Die Erfindung sieht dazu vor, in Ebenen, die der Focusebene des Objektes
optisch konjugiert sind, sowohl auf der Beleuchtungsseite als auch auf der
Beobachtungsseite je eine Lochplatte anzuordnen und hinter der auf der
Beobachtungsseite befindlichen Lochplatte, also außerhalb des Focus, in
geeignetem Abstand einen farbtauglichen Matrixempfänger anzuordnen.
Die Figuren zeigen beispielhaft mögliche praktische Ausführungen der Erfindung.
Fig. 1 zeigt eine Gesamtanordnung einer Bildaufnahmeeinrichtung nach der
Erfindung.
Fig. 2a, 2b und 2c zeigen eine kompakte Baugruppe mit zwei Lochplatten,
Strahlteilerwürfel und farbtauglichem Matrix-Strahlungsempfänger, die
erfindunsgemäß verwendet werden.
Fig. 3a, 3b und 3c zeigen den Strahlengang im Strahlteilerwürfel in
verschiedenen Focuslagen.
Fig. 4a und 5a zeigen zwei Ausführungen von Farbzellen des Matrixempfängers.
Fig. 4b und 5b zeigen die den Farbzellen zugeordneten spektralen
Lichtdurchlaßkurven der den Pixeln vorgelagerten Lichtfilterelemente.
Fig. 6 zeigt ein Beispiel für eine Anordnung des Matrixempfängers (17) in
geeignetem Abstand von der Ebene der confocalen Beobachtungsblenden.
Fig. 7 zeigt die zu Fig. 6 gehörigen drei Sensorzellen des Matrixempfängers in
Draufsicht.
In Fig. 1 ist mit (11) eine Lichtquelle, z. B. eine Halogenlampe, bezeichnet, die mit
Hilfe des Kondensors (11k), Löcher in einer Schicht beleuchtet. Eine derartige
Schicht kann in bekannter Weise z. B. aus Chrom auf einer Glasplatte (12g)
hergestellt werden. Die Löcher sind in der Schicht rasterförmig angeordnet. Zum
Beispiel enthält die Schicht 256.256 Löcher mit einem Abstand von 22 µm und
mit einer Lochgröße von z. B. 4 µm × 4 µm. Die Löcher sind also erheblich kleiner
als ihr Abstand. Der Abstand der Löcher bzw. Bereiche von Mitte zu Mitte wird als
Rastermaß bezeichnet.
Das durch die beleuchteten Löcher in der Schicht erzeugte Beleuchtungsraster
liegt in der Beleuchtungsebene (120b). Diese wird durch die Linsen (13o, 13u) in
die Focusebene (13f) abgebildet, so daß in letzterer das Objekt (14) mit
rasterförmig angeordneten Lichtpunkten beleuchtet wird. Bei nicht transparenten
Objekten kann nur die Oberfläche (14o) beleuchtet werden, während bei
transparenten Objekten auch Schichten (14s) im Inneren mit den Lichtpunkten
befeuchtet werden können. Die vom Objekt in der Focusebene (13f) reflektierten
Lichtstrahlen werden von den Linsen (13u, 13o) über einen Strahlteiler (16) in der
Blendenebene (121b) focussiert.
Der vorerwähnte Strahlteiler (16) ist für Auflichtanwendungen als
halbdurchlässiger Spiegel ausgeführt. Für Fluoreszenzanwendungen wird in an
sich bekannter Weise ein dichroitischer Spiegel eingesetzt.
Das Objekt (14) kann durch eine Verstellvorrichtung (15) in allen 3
Raumrichtungen bewegt werden, so daß verschiedene Schichten (14s) des
Objektes (14) abgescannt werden können. Dabei kann die Bewegung in x- und y-
Richtung kleiner gewählt werden als das Rastermaß der Lichtpunkte.
Selbstverständlich kann die Bewegung des Objektes (14) in z-Richtung auch
durch Verschieben der Linsen (13o, 13u) in Richtung der optischen Achse (10)
erreicht werden und ebenso können anstelle der Bewegung des Objektes in x-
und y-Richtung auch die Schicht mit den Löchern und das Empfängerarray (17)
entsprechend bewegt werden.
Die Signale des Empfängerarrays (17) werden über die Verbindungsleitung (17v)
in einen Computer (18) übertragen, der in bekannter Weise die Auswertung
übernimmt und auf einem Bildschirm (18b) die Ergebnisse der Auswertung z. B. in
Form von graphischen Darstellungen wiedergibt. Der Computer (18) kann auch
über die Verbindungsleitung (18v) die Verschiebung der Focusebene (13f) im
Objekt und das Scannen in x- und y- Richtung steuern. Diese Steuerung kann im
Computer als festes Programm vorliegen oder abhängig von den Ergebnissen der
Auswertung erfolgen.
Fig. 2a zeigt, wie die erfindungsgemäß vorgesehenen zwei Lochplatten (120),
(121) und der Matrixempfänger (17) zusammen mit dem Strahlteilerwürfel (20) in
einer kompakten Baugruppe angeordnet werden können. Im dargestellten Beispiel
sind die Lochplattenmuster direkt auf Oberflächen des Strahlteilerwürfels
aufgebracht. Die Teilerschicht (16) im Strahlteiler kann einen für alle
Lichtwellenlängen gleichartigen Tellerfaktor von z. B. 50% haben, oder sie kann
z. B. für Fluoreszenzanwendungen als dichroitische Schicht ausgebildet sein.
Fig. 2b zeigt den Strahlteilerwürfel aus der Ansicht B, gibt also das
Lochplattenmuster der Beleuchtungsebene wieder. Es versteht sich, daß in
Wirklichkeit sehr viel mehr Löcher vorhanden sind als das im Beispiel
wiedergegebene Raster von 6.6 Löchern. Typischerweise werden z. B. 512.512
Löcher zum Einsatz kommen. In der Praxis wird das Lochmuster der Matrix der
Strahlungsempfänger auf dem zum Einsatz kommenden Empfänger angepaßt.
Fig. 2c zeigt den Strahlteilerwürfel aus der Ansicht C, wobei der Matrixempfänger
selbst hier weggelassen worden ist, so daß das Lochplattenmuster der
Beobachtungsebene sichtbar ist. Es ist mit dem gleichen Rastermaß und der
gleichen Lochanzahl ausgeführt wie das Lochplattenmuster der
Beleuchtungsseite. So ergibt sich für jeden der parallel verlaufenden
Strahlengänge ein confocaler Strahlengang. Es werden also z. B. 512.512 =
262144 Bildpunkte gleichzeitig farbig und confocal erfaßt. Diese parallele
Anordnung von sehr vielen Strahlengängen erlaubt die rasche Erfassung großer
Probenvolumina. So gelingt es zum Beispiel, in kurzer Zeit viele krebsverdächtige
Zellen, deren Gene spezifisch mit Markern versehen sind, auf das Vorhandensein
oder nicht Vorhandensein der Marker in den individuellen Zellen zu untersuchen.
Verfahren zur spezifischen Markierung von Krebsgenen sind in jüngster Zeit
entwickelt worden. Siehe dazu z. B. die Habilitationsschrift "Spektrale
Kariotypisierung und vergleichende genomische Hybridisierung - neue Methoden
zur umfassenden Analyse chromosomaler Aberrationen in der klinisch
genetischen Diagnostik und der Tumorgenetik" von E. Schröck, Humboldt-
Universität, Berlin.
Fig. 3a, b und c veranschaulichen den confocalen Effekt. In Fig. 3a ist der
Strahlengang im Strahlteilerwürfel für einen der parallelen Strahlengänge
wiedergegeben, wobei angenommen ist, daß der zugehörige Objektpunkt sich im
Focus befindet. Sämtliches von der Beleuchtungsebene (120b) ausgehende und
von dem Objektpunkt zurückgesandte Licht tritt durch das zugehörige Loch in der
Beobachtungsebene (121b) hindurch. Der hier nicht eingezeichnete, links von der
Ebene (121) befindliche Sensor erhält also für dieses Bildelement viel Licht.
In Fig. 3b ist ebenfalls der Strahlengang im Strahlteilerwürfel für einen der
parallelen Strahlengänge wiedergegeben, wobei hier angenommen ist, daß der
zugehörige Objektpunkt sich außerhalb des Focus befindet. Nur ein Teil des von
der Beleuchtungsebene (120b) ausgehenden und von dem Objektpunkt
zurückgesandten Lichtes kann durch das zugehörige Loch in der
Beobachtungsebene (121b) hindurchtreten. Das Bild des Objektpunktes, das in
der Ebene (121) entsteht, ist links davon schematisch wiedergegeben. Der
schraffierte Bereich veranschaulicht, welcher Lichtanteil abgedunkelt wird. Der
hier nicht eingezeichnete, links von der Ebene (121) befindlich Sensor erhält also
für dieses Bildelement weniger Licht als es im Focus der Fall wäre.
Während in Fig. 3b angenommen ist, daß der Objektpunkt näher am Objektiv
liegt als der Focuslage entspricht, ist für Fig. 3c angenommen, daß der
Objektpunkt weiter weg vom Objektiv liegt als die Focusebene. Die abblendende
Wirkung ist, wie links im Bild dargestellt, die gleiche wie bei der Ablage
entsprechend Fig. 3b.
Fig. 4a zeigt eine Sensorzelle (17a), der vier verschiedene und unabhängig
voneinander auslesbare lichtempfindliche Bereiche des Matrixempfängers
zugeordnet sind und denen je ein Lichtfilter A, B, C, D vorgelagert ist. Die
Lichtfilter A, B, C, D haben unterschiedliche spektrale Lichtdurchlaßkurven, die in
Fig. 4b wiedergegeben sind.
Fig. 5a zeigt eine andere Ausführung der Sensorzelle (17a), der wiederum vier
verschiedene und unabhängig voneinander auslesbare lichtempfindliche Bereiche
des Matrixempfängers zugeordnet sind. Die hier wiedergegebene
Lichtfilteranordnung ist dem Datenblatt des Matrixempfängers ICX084AK des
Herstellers Sony entnommen. Dabei haben die mit Gb und Gr bezeichneten
Teilflächen eine spektrale Empfängercharakteristik, die in Fig. 5b mit G
bezeichnet ist. Gb und Gr gehören jedoch zu verschiedenen Zeilen des
Matrixempfängers. Die mit B (blau) und R (rot) bezeichneten lichtempfindlichen
Bereiche des Matrixempfängers haben die zugehörigen in Fig. 5b dargestellten
Durchlaßkurven B und R.
Fig. 6 veranschaulicht, in welchem Abstand der Matrixempfänger
zweckmäßigerweise hinter dem empfängerseitigen Lochmuster angeordnet
werden kann. Dieser Abstand hängt vom Aperturwinkel α der Abbildungsoptik und
dem Lochabstand auf den Lochplatten ab. In einer zweckmäßigen Ausführung der
Erfindung wird - wie erwähnt - als Lochabstand auf den Lochplatten das gleiche
Maß gewählt, wie der Abstand der Empfängerzellen auf dem zum Einsatz
kommenden Matrixarray. Damit nun zur Farbaufnahme für jeden beleuchteten
Probenort eine vollständige Farbauswertung möglich wird, muß das Licht, das
durch das zugehörige Beobachtungsloch hindurchtritt, auf alle Teilflächen der
Sensorzelle verteilt werden. Die divergierenden Linien (22a, 22b)
veranschaulichen, daß sich das Licht links von der Lochplattenebene (121b) auf
eine mit dem Abstand größer werdende Fläche verteilt. Erfindungsgemäß ist es
zweckmäßig, den Matrixempfänger in einem solchen Abstand s von der
Lochplattenebene (121b) anzuordnen, daß seine Empfängerebene (17b) mit den
Schnittpunkten der divergierenden Randstrahlen (22a, 22b) benachbarter Löcher
zusammenfällt. So werden die Empfängerzellen voll ausgeleuchtet und die
Farbcharakteristik der Probenpunkte kann vollständig erfaßt werden.
Zur weiteren Veranschaulichung ist in Fig. 7 der zur Anordnung nach Fig. 6
gehörige Teil des Farbempfängerarrays (17) wiedergegeben (Ansicht um 90 Grad
gedreht).
Dia Anordnung ist nicht auf den Einsatz von farbtüchtigen Matrixsensoren
beschränkt. Anstelle der vier verschiedene Spektralbereiche erfassenden Zellen
können auch einzelne, entsprechend größere Pixel eines schwarz-weiß
empfindlichen Matrixsensors eingesetzt werden, die auf ihrer ganzen Oberfläche
lichtempfindlich sind. In solcher Ausführung dient die Erfindung einer confocalen
Bildaufnahme mit Matrixsensoren, deren Pixel auf der gesamten ihnen
zugeordneten Fläche lichtempfindlich sind.
Es ist auch nicht erforderlich, obgleich zweckmäßig, daß das Rastermaß der zum
Einsatz kommenden Matrixsensoren gleich oder ein ganzzahliges Vielfaches des
Rastermaßes der Lochplatten ist. Die confocale Wirkung entsteht durch die beiden
Lochplatten. Deshalb darf das Rastermaß der Matrixsensoren im Prinzip beliebig
vom Rastermaß der Lochplatten abweichen. Allerdings können sich dann Effekte
des Aliasing und andere Bildartefakte ergeben, die unter Umständen störend sein
können.
10
optische Achse
11
Lichtquelle
11
f Filter
11
k Kondensor
12
l Löcher
12
s Schicht
13
f Focusebene
13
m Mittenstrahl
13
t Telezentrieblende
13
o,
13
u Linsen
14
Objekt
14
o Oberfläche
14
s Schicht
15
Verstellvorrichtung
16
Strahlteiler
17
Farbbildsensor
17
a Sensorzelle
17
b Farbempfängerebene
17
v Verbindungsleitung
18
Computer
18
b Bildschirm
18
v Verbindungsleitung
20
Strahlteilerwürfel
22
a,
22
b divergierende Linien
82
Bild des Objektpunktes,
120
Lochplatte auf der Beleuchtungsseite
120
b Ebene der confocalen Beleuchtungsblenden
121
Lochplatte auf der Beobachtungsseite
121
b Ebene der confocalen Beobachtungsblenden
s Abstand zwischen Lochplatte und Farbempfängerarray
α Aperturwinkel der Abbildungsoptik
A, B, C, D Lichtfilter
Gr, Gb Lichtfilter für grün
B Lichtfilter für blau
R Lichtfilter für rot
T Transmissionsverlauf des Lichtfilters
λ Lichtwellenlänge
s Abstand zwischen Lochplatte und Farbempfängerarray
α Aperturwinkel der Abbildungsoptik
A, B, C, D Lichtfilter
Gr, Gb Lichtfilter für grün
B Lichtfilter für blau
R Lichtfilter für rot
T Transmissionsverlauf des Lichtfilters
λ Lichtwellenlänge
Claims (4)
1. Vorrichtung zur dreidimensionalen Untersuchung eines Objektes,
- 1. mit einem in einer Beleuchtungsebene angebrachten Beleuchtungsraster (120), das eine Vielzahl Leuchtpunkte erzeugt,
- 2. mit einem oder mehreren optischen Elementen (13o, 13u), die das Beleuchtungsraster in eine Focusebene am Ort des zu messenden Objektes (14) und das von dort abgestrahlte Licht in eine Beobachtungsebene abbilden,
- 3. und mit einem Empfängerarray (17) mit lichtempfindlichen Bereichen, das das von den optischen Elementen (13o, 13u) übertragene und im oder am Objekt reflektierte oder durch Fluoreszenz emittierte Licht registriert,
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Lochplatten
(120, 121) ebenso viele Löcher enthalten, wie der Bildsensor (17) Sensorzellen
(17a) oder daß die Anzahl der Sensorzellen ein ganzzahliges Vielfaches der
Anzahl der Löcher ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die
Sensorzellen (17a) Farbinformation aufnehmen können.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der
Matrixempfänger (17) in einem solchen Abstand von der beleuchtungsseitigen
Lochplatte angeordnet sind, daß das unscharfe Bild der Beleuchtungspunkte
jeweils eine Sensorzelle (17a) ausleuchtet.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19918689A DE19918689C2 (de) | 1999-04-23 | 1999-04-23 | Vorrichtung zur dreidimensionalen konfocalen optischen Untersuchung eines Objektes mit Beleuchtung durch eine Lochplatte |
DE1999145031 DE19945031B4 (de) | 1999-04-23 | 1999-09-10 | Anordnung zur dreidimensionalen Bildaufnahme von Partikeln mit Durchflußssystemen |
US09/539,037 US6525828B1 (en) | 1999-04-23 | 2000-03-30 | Confocal color |
JP2000118311A JP2000356513A (ja) | 1999-04-23 | 2000-04-19 | 対象物の3次元検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19918689A DE19918689C2 (de) | 1999-04-23 | 1999-04-23 | Vorrichtung zur dreidimensionalen konfocalen optischen Untersuchung eines Objektes mit Beleuchtung durch eine Lochplatte |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19918689A1 true DE19918689A1 (de) | 2000-11-16 |
DE19918689C2 DE19918689C2 (de) | 2003-05-28 |
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Family Applications (1)
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Country Status (3)
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---|---|
US (1) | US6525828B1 (de) |
JP (1) | JP2000356513A (de) |
DE (1) | DE19918689C2 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1429169A1 (de) * | 2002-12-13 | 2004-06-16 | Commissariat A L'Energie Atomique | Mikroskop mit veränderbarer Beleuchtung und Betriebsverfahren dafür |
WO2007090865A1 (de) * | 2006-02-08 | 2007-08-16 | Sirona Dental Systems Gmbh | Verfahren und anordnung zur schnellen und robusten, chromatisch-konfokalen 3d-messtechnik |
DE102010049212A1 (de) | 2010-10-21 | 2012-04-26 | Rudolf Grosskopf | Simultane Fluoreszenzkorrelationsspektroskopie (sFCS) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6856457B2 (en) * | 2001-03-27 | 2005-02-15 | Prairie Technologies, Inc. | Single and multi-aperture, translationally-coupled confocal microscope |
DE10231475A1 (de) * | 2002-07-12 | 2004-01-22 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Scanmikroskop mit optischem Bauteil und optisches Bauteil |
US7130489B2 (en) * | 2004-02-25 | 2006-10-31 | Searete Llc | Chromatic aberration correction by moving photo-detector array |
WO2005114291A1 (en) * | 2004-05-12 | 2005-12-01 | Beth Israel Deaconess Medical Center, Inc. | Method and apparatus for detecting microscopic objects |
EP1607041B1 (de) | 2004-06-17 | 2008-01-16 | Cadent Ltd. | Verfahren zum Bereitstellen von Daten im Zusammenhang mit der Mundhöhle |
DE102007019267A1 (de) * | 2007-04-24 | 2008-10-30 | Degudent Gmbh | Messanordnung sowie Verfahren zum dreidimensionalen Messen eines Objekts |
US8681343B2 (en) * | 2010-10-31 | 2014-03-25 | Camtek Ltd. | Three dimensional inspection and metrology based on short pulses of light |
JP6056058B2 (ja) * | 2012-08-17 | 2017-01-11 | Jukiオートメーションシステムズ株式会社 | 3次元測定装置、3次元測定方法、プログラム及び基板の製造方法 |
CN103226009B (zh) * | 2013-03-19 | 2015-06-24 | 陕西科技大学 | 一种自成像结构光投影和相移装置及方法 |
US9675430B2 (en) | 2014-08-15 | 2017-06-13 | Align Technology, Inc. | Confocal imaging apparatus with curved focal surface |
ITUB20154591A1 (it) * | 2015-10-12 | 2017-04-12 | Crestoptics S R L | Apparato di microscopia confocale e relativo procedimento di acquisizione ed elaborazione di immagini |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3013467A (en) * | 1957-11-07 | 1961-12-19 | Minsky Marvin | Microscopy apparatus |
DE3837063C1 (de) * | 1988-10-31 | 1990-03-29 | Reimar Dr. 8000 Muenchen De Lenz | |
US5877807A (en) | 1988-10-31 | 1999-03-02 | Lenz; Reimar | Optoelectronic colored image converter |
DE4035799C2 (de) * | 1990-11-10 | 1995-10-12 | Groskopf Rudolf Dr Ing | Vorrichtung zur dreidimensionalen optischen Untersuchung eines Objektes |
US5239178A (en) | 1990-11-10 | 1993-08-24 | Carl Zeiss | Optical device with an illuminating grid and detector grid arranged confocally to an object |
DE4113279C2 (de) * | 1991-04-24 | 1996-08-29 | Miodrag Dipl Phys Milicev | Konfokales optisches Rastermikroskop |
US5587832A (en) * | 1993-10-20 | 1996-12-24 | Biophysica Technologies, Inc. | Spatially light modulated confocal microscope and method |
DE19648316C1 (de) * | 1996-11-21 | 1998-04-09 | Rudolf Dr Ing Groskopf | Vorrichtung zur dreidimensionalen Untersuchung eines Objektes |
DE19651667C2 (de) * | 1996-12-12 | 2003-07-03 | Rudolf Groskopf | Vorrichtung zur dreidimensionalen Untersuchung eines Objektes |
DE19653413C2 (de) * | 1996-12-22 | 2002-02-07 | Stefan Hell | Rastermikroskop, bei dem eine Probe in mehreren Probenpunkten gleichzeitig optisch angeregt wird |
JP3438855B2 (ja) * | 1997-01-23 | 2003-08-18 | 横河電機株式会社 | 共焦点装置 |
JP3585018B2 (ja) * | 1997-05-15 | 2004-11-04 | 横河電機株式会社 | 共焦点装置 |
US6226036B1 (en) | 1997-11-04 | 2001-05-01 | Rudolf E. Grosskopf | Device for optical investigation of an object |
-
1999
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1429169A1 (de) * | 2002-12-13 | 2004-06-16 | Commissariat A L'Energie Atomique | Mikroskop mit veränderbarer Beleuchtung und Betriebsverfahren dafür |
FR2848682A1 (fr) * | 2002-12-13 | 2004-06-18 | Commissariat Energie Atomique | Microscope optique a eclairage structure modifiable |
US7064893B2 (en) | 2002-12-13 | 2006-06-20 | Commissariat A L'energie Atomique | Optical microscope with modifiable lighting and operating process of such a microscope |
WO2007090865A1 (de) * | 2006-02-08 | 2007-08-16 | Sirona Dental Systems Gmbh | Verfahren und anordnung zur schnellen und robusten, chromatisch-konfokalen 3d-messtechnik |
DE102010049212A1 (de) | 2010-10-21 | 2012-04-26 | Rudolf Grosskopf | Simultane Fluoreszenzkorrelationsspektroskopie (sFCS) |
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