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Die Erfindung betrifft ein Scanmikroskop,
das einen Strahlengang definiert, mit einem in dem Strahlengang
angeordnetem optischen Bauteil, das eine ebene Eintrittsfläche, durch
die ein Lichtstrahlenbündel
unter einem Eintrittswinkel einkoppelbar ist, und eine ebene Austrittsfläche, durch
die das Lichtstrahlenbündel
unter einem Austrittswinkel auskoppelbar ist, aufweist.
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Die Erfindung betrifft auch ein optisches
Bauteil, das eine ebene Eintrittsfläche, durch die ein Lichtstrahlenbündel unter
einem Eintrittswinkel einkoppelbar ist, und eine ebene Austrittsfläche durch die
das Lichtstrahlenbündel
unter einem Austrittswinkel auskoppelbar ist, aufweist.
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In der Scanmikroskopie wird eine
Probe mit einem Lichtstrahl beleuchtet, um das von der Probe emittierte
Reflexions- oder Fluoreszenzlicht zu beobachten. Der Fokus eines
Beleuchtungslichtstrahles wird mit Hilfe einer steuerbaren Strahlablenkeinrichtung,
im Allgemeinen durch Verkippen zweier Spiegel, in einer Objektebene
bewegt, wobei die Ablenkachsen meist senkrecht aufeinander stehen,
so dass ein Spiegel in x-, der andere in y-Richtung ablenkt. Die
Verkippung der Spiegel wird beispielsweise mit Hilfe von Galvanometer-Stellelementen
bewerkstelligt. Die Leistung des vom Objekt kommenden Lichtes wird
in Abhängigkeit
von der Position des Abtaststrahles gemessen. Üblicherweise werden die Stellelemente
mit Sensoren zur Ermittlung der aktuellen Spiegelstellung ausgerüstet.
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Speziell in der konfokalen Scanmikroskopie wird
ein Objekt mit dem Fokus eines Lichtstrahles in drei Dimensionen
abgetastet.
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Ein konfokales Rastermikroskop umfasst
im Allgemeinen eine Lichtquelle, eine Fokussieroptik, mit der das
Licht der Quelle auf eine Lochblende – die sog. Anregungsblende – fokussiert
wird, einen Strahlteiler, eine Strahlablenkeinrichtung zur Strahlsteuerung,
eine Mikroskopoptik, eine Detektionsblende und die Detektoren zum
Nachweis des Detektions- bzw. Fluoreszenzlichtes. Das Beleuchtungslicht wird über einen
Strahlteiler eingekoppelt. Das vom Objekt kommende Fluoreszenz-
oder Reflexionslicht gelangt über
die Strahlablenkeinrichtung zurück
zum Strahlteiler, passiert diesen, um anschließend auf die Detektionsblende
fokussiert zu werden, hinter der sich die Detektoren befinden. Detektionslicht,
das nicht direkt aus der Fokusregion stammt, nimmt einen anderen
Lichtweg und passiert die Detektionsblende nicht, so dass man eine
Punktinformation erhält,
die durch sequentielles Abtasten des Objekts zu einem dreidimensionalen
Bild führt.
Meist wird ein dreidimensionales Bild durch schichtweise Bilddatennahme
erzielt, wobei die Bahn des Abtastlichtstrahles auf bzw. in dem
Objekt idealer Weise einen Mäander
beschreibt. (Abtasten einer Zeile in x-Richtung bei konstanter y-Position,
anschließend
x-Abtastung anhalten und per y-Verstellung
auf die nächste
abzutastende Zeile schwenken und dann, bei konstanter y-Position,
diese Zeile in negativer x-Richtung abtasten u.s.w.). Um eine schichtweise
Bilddatennahme zu ermöglichen,
wird der Probentisch oder das Objektiv nach dem Abtasten einer Schicht
verschoben und so die nächste
abzutastende Schicht in die Fokusebene des Objektivs gebracht.
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Bei vielen Anwendungen werden Proben
mit mehreren Markern, beispielsweise mehreren unterschiedlichen
Fluoreszenzfarbstoffen präpariert.
Diese Farbstoffe können
sequentiell, beispielsweise mit Beleuchtungslichtstrahlen, die unterschiedliche
Anregungswellenlängen
aufweisen, angeregt werden. Auch eine simultane Anregung mit einem
Beleuchtungslichtstrahl, der Licht mehrerer Anregungswellenlängen beinhaltet,
ist üblich.
Aus der Europäischen
Patentanmeldung
EP 0 495 930 : „Konfokales Mikroskopsystem
für Mehrfarbenfluoreszenz" ist beispielsweise ein
Anordnung mit einem einzelnen mehrere Laserlinien emittierenden
Laser bekannt. Derzeit sind in der Praxis solche Laser meist als
Mischgaslaser, insbesondere als ArKr-Laser, ausgebildet.
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In der Scanmikroskopie kommt es oft
zu Abbildungsfehlern, die auf Interferenzerscheinungen zurückzuführen sind.
Meist entstehen diese Interferenzen durch Mehrfachreflexionen an
verschiedenen optischen Grenzschichten innerhalb des Scanmikroskops.
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Aus der Deutschen Offenlegungsschrift
DE 100 42 114.8 A1 ist
ein Verfahren zur Beleuchtung eines Objekts mit Licht einer Laserlichtquelle,
vorzugsweise in einem konfokalen Rastermikroskop bekannt. Mit dem
Verfahren kann die Kohärenzlänge des
Laserlichts herabgesetzt werden, so dass störende Interferenzerscheinungen
im Bild weitgehend eliminiert werden können. Falls sich dennoch Interferenzerscheinungen
ausbilden, sollen diese derart beeinflusst werden, dass sie auf
die Detektion keinen Einfluss haben. Das erfindungsgemäße Verfahren
ist dadurch gekennzeichnet, dass die Phasenlage des Lichtfelds mit
einem Modulationsmittel derart variiert wird, dass Interferenzerscheinungen
im optischen Strahlengang innerhalb eines vorgebbaren Zeitintervalls
nicht oder nur in einem nicht detektierbaren Umfang auftreten.
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Das in der Offenlegungsschrift offenbarte Verfahren
ist insbesondere für
hohe Messgeschwindigkeiten oder Abbildungen aufwendig und erlaubt auf
Grund der speziellen Anforderungen an die Beleuchtung nur schwierig
einen Wechsel der Beleuchtungslicht-Wellenlänge oder gar eine Beleuchtung mit
Licht, das mehrere Wellenlängen
beinhaltet.
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Es ist Aufgabe der Erfindung ein
Scanmikroskop anzugeben, bei dem durch störende Interferenzen verursachte
Abbildungsfehler vermieden sind und das gleichzeitig einen Wechsel
der Beleuchtungslicht-Wellenlänge
oder der Detektionslichtwellenlänge
oder die simultane Beleuchtung der Probe mit einem Beleuchtungslichtstrahl
mehrerer Wellenlängen
oder die simultane Detektion von Detektionslicht mehrerer Wellenlängen weitgehend
fehlerfrei ermöglicht.
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Diese Aufgabe wird durch ein Scanmikroskop
gelöst,
das dadurch gekennzeichnet ist, dass das optische Bauteil zumindest
zwei Elemente, die zumindest zwei unterschiedliche Brechungsindices
aufweisen, beinhaltet und dass der Eintrittswinkel und Austrittswinkel
unterschiedlich sind.
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Eine andere Aufgabe der Erfindung
ist es, ein optisches Bauteil anzugeben, das in einem Strahlengang
positionierbar ist, ohne dass störende
Interferenzen auftreten.
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Diese Aufgabe durch ein optisches
Bauteil gelöst,
das dadurch gekennzeichnet ist, dass das optische Bauteil zumindest
zwei Elemente, die zumindest zwei unterschiedliche Brechungsindices
aufweisen, beinhaltet und dass der Eintrittswinkel und Austrittswinkel
unterschiedlich sind und dass von dem Lichtstrahlenbündel durch
das optische Element abgespaltene Teilstrahlenbündel räumlich soweit von dem Lichtstrahlenbündel separiert
sind, dass diese nicht mit dem Lichtstrahlenbündel interferieren.
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Die Erfindung hat den Vorteil, dass
eine Verbesserung der Bildqualität
bei gleichzeitiger flexibler Einsetzbarkeit in Bezug auf die Beleuchtungslicht- und
die Detektionslichtwellenlänge
ermöglicht
ist.
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In einer bevorzugten Ausgestaltung
wird das Lichtstrahlenbündel
durch das optische Bauteil nicht abgelenkt oder nicht wesentlich
abgelenkt, so dass die Ablenkung insgesamt weniger als 5 Grad beträgt. Dies
das den Vorteil, dass das optische Bauteil anstelle anderer optischer
Elemente, die einen weitgehend durchgehenden Strahlverlauf aufweisen,
in den Strahlengang einbringbar ist.
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Vorzugsweise ist der Austrittswinkel
für zumindest
zwei Wellenlängen
identisch. Der guten Ordnung halber sei klargestellt, dass der Eintrittswinkel bzw.
Austrittswinkel der Winkel des Lichtstrahlenbündels zur Flächennormalen
ist.
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In einer bevorzugten Ausgestaltung
sind die Interferenzen durch Schrägstellen der Eintritts- und/oder
Austrittsfläche
des optischen Bauteils vermieden, wobei der durch das Schrägstellen
auftretende Dispersionseffekt beispielsweise dadurch kompensierbar
ist, dass das optische Bauteil achromatisch korrigiert ist. In einer
besonderen Ausführungsvariante
weist das optische Bauteil mindestens zwei optische Medien mit jeweils
unterschiedlicher Brechzahl auf, die beispielsweise als Keile ausgebildet
sein können,
die vorzugsweise zu einem Doppelkeil zusammenfügt sind. Die Eigenschaften
und die Form der optischen Medien, wie beispielsweise die Brechzahl,
der Keilwinkel oder die Dicke sind so gewählt, dass ein Lichtstarhlenbündel mit
unterschiedlichen Wellenlängen
nach Austreten aus dem optischen Bauteil derselben optischen Achse
folgen.
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Die Erfindung hat in einer bevorzugten
Ausgestaltung, bei der das Lichtstrahlenbündel zumindest zwei Anteile
unterschiedlicher Wellenlängen aufweist,
insbesondere den Vorteil, dass Anteile unterschiedlicher Wellenlängen des
Lichtstrahlenbündels
nach dem Austritt aus dem optischen Bauteil kollinear verlaufen.
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In einer bevorzugten Ausgestaltung
ist das optische Bauteil ein Strahlteiler. Dieser kann zusätzlich beispielsweise
dafür vorgesehen
sein, einen Referenzstrahl aus dem Beleuchtungslichtstrahl abzuspalten,
um die aktuelle Beleuchtungslichtleistung, ggf. wellenlängenspezifisch,
zu messen, zu überwachen
oder zu steuern.
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Der Strahlteiler dient in einer anderen
Ausführungsvariante
dazu, den Beleuchtungslichtstrahl vom Detektionslichtstrahl räumlich zu
trennen. Insbesondere in dieser Variante kann der Strahlteiler funktionell
wie ein Strahlteilerwürfel
ausgebildet sein ohne dass die störende Interferenzen auftreten.
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In einer vorteilhaften Ausführungsvariante
ist das optische Bauteil eine Strahlablenkeinrichtung. Diese ist
vorzugsweise monolithisch aufgebaut und kann beispielsweise als
K-Scanner ausgeführt
sein. Ein K-Scanner ist beispielsweise aus der Deutschen Offenlegungsschrift
DE 100 33 549.7 A1 bekannt.
In einer besonders bevorzugten Ausführung ist die Strahlablenkeinrichtung
aus Prismen zusammengesetzt, die drehbar bzw. schwenkbar angeordnet
sind. Die Prismen sind vorzugsweise miteinander verkittet. Die Form
und die optischen Eigenschaften der Prismen, insbesondere deren
Brechzahlen, Winkel und Durchtrittslängen derart aufeinander abgestimmt sind,
dass Beleuchtungs- und/oder Detektionslichtstrahlen mit unterschiedlichen
Wellenlängen
nach Austreten aus der Strahlablenkeinrichtung der gleichen optischen
Achse folgen wie im herkömmlichen Bauteil
jedoch ohne Störinterferenzen.
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In einer Variante weist das optische
Bauteil mindestens zwei optische Medien mit jeweils unterschiedlicher
Brechzahl auf, wobei zwischen den Medien ein Luftspalt bestehen
kann. In einer besonderen Ausführungsform
beinhaltet das optische Bauteil einen Doppelkeil.
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Vorzugsweise ist das optische Bauteil
derart ausgeführt,
dass ein Lichtstrahlenbündel
zumindest zwei Anteile unterschiedlicher Wellenlänge aufweist und dass die Anteile
unterschiedlicher Wellenlänge nach
dem Austritt aus dem optischen Bauteil kollinear verlaufen.
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In einer bevorzugten Ausgestaltung
beinhaltet das optische Bauteil ein akustooptisches Bauteil. Akustooptische
Bauteile sind beispielsweise als akustooptische Filter bekannt.
Nur beispielsweise sei hier die Deutsche Offenlegungsschrift
DE 199 44 355.6 A1 genannt,
die ein Scanmikroskop mit einem akustooptischen Bauteil zur Einkopplung
eines Beleuchtungslichtstrahles und zur Auskopplung eines Detektionslichtstrahls
offenbart.
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In einer ganz besonders bevorzugten
Ausgestaltung ist das Scanmikroskop ein konfokales Scanmikroskop.
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In der Zeichnung ist der Erfindungsgegenstand
schematisch dargestellt und wird anhand der Figuren nachfolgend
beschrieben, wobei gleich wirkende Bauteile mit denselben Bezugszeichen
versehen sind. Dabei zeigen:
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1 Ein
erfindungsgemäßes Scanmikroskop,
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2 ein
weiteres erfindungsgemäßes Scanmikroskop,
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3 eine
Detailansicht eines Strahlteilers.
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1 zeigt
schematisch ein erfindungsgemäßes Scanmikroskop,
das als konfokales Scanmikroskop ausgeführt ist. Der von einer Lichtquelle 1,
die als Mehrlinienlaser 3 ausgeführt ist, kommende Beleuchtungslichtstrahl 5 trifft
auf ein optisches Bauteil 7, das als Strahlteiler 9 ausgeführt ist.
Der Strahlteiler 9 spaltet interferenzenfrei aus dem Beleuchtungslichtstrahl 5 einen
Referenzlichtstrahl 11 ab, der mit einem Referenzdetektor 13 detektiert
wird. Der Referenzdetektor 13 erzeugt ein in der Amplitude
zur Lichtleistung des Referenzlichtstrahles 11 proportionales
elektrisches Referenzsignal, das an eine Verarbeitungseinheit 15 zur Überwachung
der Beleuchtungslichtleistung übergeben
wird. Der Strahlteiler 9 weist eine Eintrittsfläche 17 und
eine Austrittsfläche 19 auf,
auf die der Beleuchtungslichtstrahl 5 jeweils mit einem
von 0 Grad verschiedenen Einfallswinkel auftrifft. Der Strahlteiler 9 ist
in Bezug auf seine Form und seine optischen Eigenschaften derart
ausgestaltet, dass Anteile unterschiedlicher Wellenlänge des Beleuchtungslichtstrahles 5 nach
dem Austritt aus dem optischen Bauteil 7 kollinear verlaufen.
Hierzu weist der Strahlteiler 9 ein erstes Element 21 und
ein weiteres Element 23 auf, die kittfrei aufeinander gefügt sind.
Der aus dem optischen Bauteil 7 austretende Beleuchtungslichtstrahl 5 wird
mit Hilfe der Optik 25 auf die Beleuchtungslochblende 27 fokussiert. Nach
Passieren der Beleuchtungslochblende 27 wird der Beleuchtungslichtstrahl 5 von
einem Strahlteiler 29 zu einem kardanisch aufgehängten Scanspiegel 31,
der den Beleuchtungslichtstrahl 5 durch die Scanoptik 33,
die Tubusoptik 35 und das Objektiv 37 hindurch über bzw.
durch die Probe 39 führt.
Die Probe 39 ist mit mehreren Fluoreszenzfarbstoffen markiert. Der
Beleuchtungslichtstrahl 5 wird bei nicht transparenten
Proben 39 über
die Probenoberfläche
geführt. Bei
biologischen Proben 39 (Präparaten) oder transparenten
Proben kann der Beleuchtungslichtstrahl 5 auch durch die
Probe 39 geführt
werden. Der von der Probe 39 ausgehende Detektionslichtstrahl 41 gelangt
durch das Objektiv 37, die Tubusoptik 35 und die
Scanoptik 33 hindurch und über den Scanspiegel 31 zum
Strahlteiler 29, passiert diesen und trifft nach Passieren der
Detektionsblende 43 auf einen Detektor 45, der
als Multibanddetektor 47 ausgeführt ist und der elektrische,
zur Leistung des Detektionslichtstrahls 41 proportionale
elektrische Detektionssignale erzeugt. Diese werden an die Verarbeitungseinheit 15 weitergeleitet
und dort bei der Erzeugung von Bilddaten mit dem Referenzsignal
verrechnet. Die Bilddaten werden einem PC 49 übergeben, der dem Benutzer
ein Abbild der Probe auf seinem Monitor 51 anzeigt. Erfindungsgemäß treten
keine störenden
Interferenzen auf, die die Bildqualität verschlechtern könnten.
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2 zeigt
ein weiteres erfindungsgemäßes Scanmikroskop,
das als konfokales Scanmikroskop ausgeführt ist, mit einer Lichtquelle 1,
die einen Lichtstrahl 5 zur Beleuchtung einer Probe 39 emittiert.
Der Lichtstrahl 5 wird auf eine Beleuchtungslochblende 27 fokussiert
und wird anschließend
von einem dichroitischen Strahlteiler 29 und einem nachfolgenden Umlenkspiegel 53 zu
einem optischen Bauteil 7, nämlich einer Strahlablenkeinrichtung 57 reflektiert, die
den Lichtstrahl 5 über
die Scanoptik 33, die Tubusoptik 35 und durch
das Objektiv 37 hindurch über bzw. durch die Probe 39 führt. Der
von der Probe 39 ausgehende Detektionslichtstrahl 41 gelangt
durch das Objektiv 37 hindurch, über die Tubusoptik 35 und die
Scanoptik 33, und über
die Strahlablenkeinrichtung 57 zum dichroitischen Strahlteiler 29,
passiert diesen und die folgende Detektionsblende 43 und
gelangt schließlich
zum Detektor 45, der als Photomultiplier ausgeführt ist.
Im Detektor 45 werden elektrische, zur Leistung des vom
Objekt ausgehenden Detektionslichtstrahls 41 proportionale
Detektionssignale erzeugt. Die Probe wird schichtweise abgetastet, um
aus den Detektionssignalen ein dreidimensionales Bild der Probe 39 zu
erzeugen.
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Die Strahlablenkeinrichtung 57 beinhaltet
einen drehbaren Ablenkblock 59, der um die erste Achse 85 drehbar
ist. Der Ablenkblock 59 ist aus einem Prisma 61 und
einem polygonalen Glasblock 63 gebildet, der einem Prisma ähnelt, wobei
die Hypotenusenfläche
aus einer ersten Fläche 65 und
einer zweiten Fläche 67,
die in einem Winkel zueinander stehenden, gebildet ist. Die erste
Fläche 65 bildet
die Austrittsfläche 19 des
optischen Bauteils 7. An die zweite Fläche 67 ist die eine
Kathetenfläche
des Prismas 61 gekittet. Die andere Kathetenfläche bildet
die Eintrittsfläche 17 des
optischen Bauteils 7. Der Beleuchtungslichtstrahl 5 trifft
stets unter einem von 0 Grad verschiedenen Einfallswinkel auf die
Eintrittsfläche 17 und
auf die Austrittsfläche 19 des
optischen Bauteils 7. Die Hypotenusenfläche des Prismas 61 bildet
eine Total-Reflexionsfläche,
die den Beleuchtungslichtstrahl zum Glasblock 63 ablenkt.
Durch Totalreflexion wird der Beleuchtungslichtstrahl 5 in
dem Glasblock 63 zwei weitere Male umgelenkt und trifft nach
Verlassen des Glasblocks 63 auf einen Scanspiegel 69,
der um die zweite Achse 71 drehbar ist. Durch Drehen des
Ablenkblocks 59 um die erste Achse 85 wird der
Lichtstrahl 5 senkrecht zur Papierebene abgelenkt. Das
Drehen der des Scanspiegels 69 um die zweite Achse 71 bewirkt
eine Ablenkung des Lichtstrahles 5 in der Zeichenebene.
Zum Drehen des Ablenkblocks 59 ist ein Galvanometerantrieb 73 vorgesehen,
der den Ablenkblock 59 über
den Arm 75 bewegt. Der Scanspiegel 69 ist ebenfalls
von einem Galvanometer angetrieben, das der Übersichtlichkeit halber nicht
gezeigt ist. Die Form und die optischen Eigenschaften des Ablenkblocks
sind so gewählt,
dass Beleuchtungslichtstrahlen mit unterschiedlichen Wellenlängen nach
Austreten aus dem optischen Bauteil derselben optischen Achse folgen.
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Weggelassen sind in der Figur wegen
der besseren Anschaulichkeit einige optische Elemente zur Führung und
Formung der Lichtstrahlen. Diese sind einem auf diesem Gebiet tätigen Fachmann
hinlänglich
bekannt. Auch bei dieser Variante treten keine störenden Interferenzen
auf und somit keine Abbildungsfehler oder Artefakte.
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3 zeigt
als optisches Bauteil 7 einen weiteren Strahlteiler 55 für ein Scanmikroskop,
der insbesondere zur Trennung der Strahlengänge von einem Beleuchtungslichtstrahl 5 und
einem Detektionslichtstrahl 41 einsetzbar ist. Das optische
Bauteil weist eine Eintrittsfläche 17 und
eine Austrittsfläche 19 für den Beleuchtungslichtstrahl 5 auf.
Der Strahlteiler besteht aus drei in Form und optischer Beschaffenheit
unterschiedlichen Glasbausteinen, nämlich einem ersten Glasbaustein 79,
einem zweiten Glasbaustein 81 und einem dritten Glasbaustein 83.
An der Grenzfläche
zwischen dem ersten und zweiten Glasbaustein wird der Beleuchtungslichtstrahl 5 zur
Austrittsfläche 19 reflektiert,
auf die er mit einem von 0 Grad verschiedenen Einfallswinkel trifft. Die
Form und die optischen Eigenschaften der Glasblöcke 79, 81, 83 sind
so gewählt,
dass Beleuchtungslichtstrahlen mit unterschiedlichen Wellenlängen nach
Austreten aus dem optischen Bauteil derselben optischen Achse folgen.
Auf derselben optischen Achse trifft in umgekehrter Richtung der
Detektionslichtstrahl 41 auf den dritten Glasblock, wobei die
Austrittsfläche
für den
Detektionslichtstrahl als Eintrittsfläche fungiert, auf die mit einem
von 0 Grad verschiedenen Einfallswinkel trifft. Der Detektionslichtstrahl
durchläuft
das optische Bauteil und verlässt
es durch die weitere Austrittsfläche 77.
Die Form und die optischen Eigenschaften der Glasblöcke 79, 81, 83 sind
so gewählt,
dass sowohl Beleuchtungslichtstrahlen 5 mit unterschiedlichen
Wellenlängen
als auch Detektionslichtstrahlen 41 mit unterschiedlichen
Wellenlängen
nach Austreten aus dem optischen Bauteil jeweils derselben optischen
Achse folgen. Im Falle, dass der Beleuchtungslichtstrahl 5 und/oder
der Detektionslichtstrahl 41 jeweils Anteile mit mehreren
Wellenlängen
aufweisen, so verlaufen diese Anteile jeweils kollinear zueinander
auch nach dem Durchlaufen des optischen Bauteils. Es kommt weder
zu störenden
Interferenzen, noch zu störenden
spektralen Aufspaltungen.
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Die Erfindung wurde in Bezug auf
eine besondere Ausführungsform
beschrieben. Es ist jedoch selbstverständlich, dass Änderungen
und Abwandlungen durchgeführt
werden können,
ohne dabei den Schutzbereich der nachstehenden Ansprüche zu verlassen.
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- 1
- Lichtquelle
- 3
- Mehrlinienlaser
- 5
- Beleuchtungslichtstrahl
- 7
- optisches
Bauteil
- 9
- Strahlteiler
- 11
- Referenzlichtstrahl
- 13
- Referenzdetektor
- 15
- Verarbeitungseinheit
- 17
- Eintrittsfläche
- 19
- Austrittsfläche
- 21
- erstes
Element
- 23
- weiteres
Element
- 25
- Optik
- 27
- Beleuchtungslochblende
- 29
- Strahlteiler
- 31
- Scanspiegel
- 33
- Scanoptik
- 35
- Tubusoptik
- 37
- Objektiv
- 39
- Probe
- 41
- Detektionslichtstrahl
- 43
- Detektionsblende
- 45
- Detektor
- 47
- Multibanddetektor
- 49
- PC
- 51
- Monitor
- 53
- Umlenkspiegel
- 55
- weiterer
Strahlteiler
- 57
- Strahlablenkeinrichtung
- 59
- Ablenkblock
- 61
- Prisma
- 63
- Glasblock
- 65
- erste
Fläche
- 67
- zweite
Fläche
- 69
- Scanspiegel
- 71
- zweite
Achse
- 73
- Galvanometerantrieb
- 75
- Arm
- 77
- weitere
Austrittsfläche
- 79
- erster
Glasbaustein
- 81
- zweiter
Glasbaustein
- 83
- dritter
Glasbaustein
- 85
- erste
Achse