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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Bearbeitungsvorrichtung und
ein Bearbeitungsverfahren, die zur Bearbeitung dünnschichtartiger Artikel für mehrschichtige
Leiterplatten von Elektrogeräten
usw. beispielsweise mittels eines Lasers angewandt werden.
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Die
Bearbeitung mit Laserlicht wird für dünnschichtartige Artikel aus
Harz oder Metall ausgewählt,
die als mehrschichtige Leiterplatten oder dergleichen verwendet
werden, wo sehr dicht angeordnete elektronische Schaltungen ausgebildet
werden müssen,
um mit hoher Geschwindigkeit und großer Genauigkeit feine Strukturen
an erforderlichen Punkten herzustellen. Bei der Herstellung dreidimensionaler,
dicht gepackter Leiterplatten ist eine hohe Bearbeitungsgenauigkeit
erforderlich, insbesondere, um Durchgangsbohrungen (Durchgangslöcher) für Durchgangselektroden
der mehrschichtigen Leiterplatte zu bilden. Gleichzeitig muß die Laserbearbeitung
jeweils an so vielen Schaltungen, wie in der Matrix auf einem großflächigen Basisdünnschichtartikel anordenbar
sind, ausgeführt
werden, um eine billige Herstellung zu erreichen.
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Um
die Oberflächen
von großflächigen Dünnschichtkörpern durch
einen Laser akkurat zu bearbeiten, wird der Dünnschichtartikel auf einem Tisch
angeordnet und gehalten und dann das Laserlicht auf den Artikel
gesendet, um ihn zu bearbeiten.
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Da
der Artikel jedoch auf dem Tisch angeordnet ist, können in
dem Artikel keine Durchgangsbohrungen mit dem Laserlicht, weil die
Tischoberfläche beschädigt werden
könnte,
wenn die Durchgangsbohrungen in dem Artikel ausgebildet werden.
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Aus
der JP 09-136 180A (Patent Abstracts of Japan) und insbesondere
aus dessen Figur, ist ein Halteelement für die Schneidbearbeitung eines
folienartigen Werkstücks
mittels Laserstrahlung bekannt, mit dem der Rand der jeweiligen
Bearbeitungsfläche
eingespannt wird. Der den Laserstrahl abgebende Bearbeitungskopf
wird mittels einer nicht näher
angegebenen Bewegungseinrichtung über die Bearbeitungsfläche geführt, die
offensichtlich – wie üblich – durch
eine Steuereinrichtung geführt
wird, mit der vermutlich auch die Bewegung des bekannten Halteelements
gesteuert wird. Während
der Bewegung des Werkstücks
relativ zum Halteelement wird das Werkstück hierbei jedoch nicht gehalten.
Ein möglichst
schnelles reibungsfreies Verschieben eine dünnschichtartigen Artikels ist
mit der bekannten Vorrichtung jedenfalls nicht möglich.
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Die
vorliegende Erfindung soll die oben beschriebene Unzulänglichkeit
beseitigen und hat zu ihrem Ziel, eine Vorrichtung und ein Verfahren
vorzusehen, durch die Durchgangsbohrungen in dünnschichtartigen Artikeln mit
Laserlicht ohne jedwede Beschädigung
eines die Artikel tragenden Teiles ausgebildet werden können.
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Zum
Ausführen
dieses und anderer Aspekte ist gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden
Erfindung eine Bearbeitungsvorrichtung für dünnschichtartige Artikel vorgesehen,
die umfaßt:
eine
Spanneinrichtung zum Halten eines dünnschichtartigen Artikels während des
Aufbringens einer Zugkraft auf den dünnschichtartigen Artikel;
ein
Halteelement zum Halten eines Teiles eines Randes einer Bearbeitungsfläche des
dünnschichtartigen Artikels,
wenn der dünnschichtartige
Artikel auf der Bearbeitungsfläche
bearbeitet wird;
eine Bewegungseinrichtung zum relativen Bewegen des
dünnschichtartigen
Artikels und des Halteelementes zum Bilden mehrerer Bearbeitungsflächen in dem
dünnschichtartigen
Artikel in einem Zustand, in dem der dünnschichtartige Artikel durch
die Spanneinrichtung gezogen und durch das Halteelement gehalten
wird; und
eine Steuereinrichtung zum Zulassen der relativen Bewegung
des dünnschichtartigen
Artikels und des Halteelementes durch die Bewegungseinrichtung, wobei
das Reiben des Halteelementes auf den bereits auf dem dünnschichtartigen
Artikel ausgebildeten Bearbeitungsflächen verhindert wird.
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Gemäß einem
zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Bearbeitungsvorrichtung
für dünnschichtartige
Artikel gemäß dem ersten
Aspekt vorgesehen, bei der der durch das Halteelement gehaltene
Teil des Randes der Bearbeitungsfläche parallel zu einer Zeilenrichtung
des dünnschichtartigen Artikels
im Fall der relativen Bewegung durch die Bewegungseinrichtung in
die Zeilenrichtung und an einer Vorderseite der Bewegung im Fall
der relativen Bewegung in einer Spaltenrichtung des dünnschichtartigen
Artikels angeordnet ist, so daß das
Halteelement nicht an den bereits bearbeiteten Flächen des dünnschichtartigen
Artikels reibt.
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Gemäß einem
dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Bearbeitungsvor richtung
für dünnschichtartige
Artikel gemäß dem ersten
oder zweiten Aspekt vorgesehen, bei der der dünnschichtartige Artikel durch
Laserlicht bearbeitet wird, und die Vorrichtung außerdem eine
Laserlichtprojektionseinrichtung zum Senden des Laserlichtes zum
dünnschichtartigen
Artikel für
die Bearbeitung umfaßt.
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Gemäß einem
vierten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Bearbeitungsvorrichtung
für dünnschichtartige
Artikel gemäß dem dritten
Aspekt vorgesehen, bei der der dünnschichtartige
Artikel so bearbeitet wird, daß durch
Laserlicht eine Durchgangsbohrung ausgebildet wird, und die Vorrichtung außerdem eine
Laserlichtprojektionseinrichtung zum Senden des Laserlichtes zum
dünnschichtartigen
Artikel für
die Bearbeitung umfaßt.
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Gemäß einem
fünften
Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Bearbeitungsvorrichtung
für dünnschichtartige
Artikel gemäß einem
der ersten bis vierten Aspekte vorgesehen, bei der das Halten des dünnschichtartigen
Artikels durch das Halteelement durch einen Saugvorgang erreicht
wird, und die Vorrichtung außerdem
eine Saugeinrichtung zum Ausführen
des Saugvorganges umfaßt.
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Gemäß einem
sechsten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum
Bearbeiten von dünnschichtartigen
Artikeln vorgesehen, das umfaßt:
Halten
eines dünnschichtartigen
Artikels während des
Aufbringens einer Zugkraft auf den zu bearbeitenden dünnschichtartigen
Artikel und Halten eines Teiles eines Randes einer zu bearbeitenden
Bearbeitungsfläche
des Dünnschichtartikels
durch ein Halteelement; und
relatives Bewegungen des dünnschichtartigen
Artikels und des Halteelementes, um mehrere Bearbeitungsflächen in
dem dünnschichtartigen
Artikel derart zu bilden, daß die
bereits auf dem dünnschichtartigen Artikel
ausgebildeten Bearbeitungsflächen
nicht von dem Halteelement abgerieben werden, während der Teil des Randes der
Bearbeitungsfläche
gehalten wird.
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Gemäß einem
siebenten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum
Bearbeiten dünnschichtartiger
Artikel gemäß dem sechsten
Aspekt vorgesehen, bei dem der dünnschichtartige
Artikel durch Laserlicht bearbeitet wird.
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Gemäß einem
achten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum Bearbeiten dünnschichtartiger
Artikel gemäß dem siebenten
Aspekt vorgesehen, bei dem der dünnschichtartige
Artikel so bearbeitet wird, daß durch
Laserlicht eine Durchgangsbohrung ausgebildet wird.
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Gemäß einem
neunten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum
Bearbeiten dünnschichtartiger
Artikel gemäß dem sechsten,
siebenten oder achten Aspekt vorgesehen, bei dem das Halten des
Teiles des Randes einer Bearbeitungsfläche durch einen Saugvorgang
erreicht wird.
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Diese
und andere Aspekte und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden
aus der folgenden Beschreibung in Verbindung mit den bevorzugten
Ausführungsformen
unter Bezugnahme auf die beigefügten
Zeichnungen deutlich, in denen:
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1 eine
Seitenansicht einer Laserbearbeitungsvorrichtung für dünnschichtartige
Artikel in einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung ist;
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2 eine
Schnittansicht eines Teiles des Halteelementes der in 1 gezeigten
Vorrichtung ist;
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3 eine
Darstellung der Struktur einer Haftträgereinrichtung der 1 ist;
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4 eine
Darstellung einer Arbeitsweise der Laserbearbeitungsvorrichtung
für dünnschichtartige
Artikel der 1 ist, die insbesondere eine
relative Bewegungsrichtung des Halteelementes und dünnschichtartigen
Artikels anzeigt;
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5 eine
Darstellung eines anderen Beispieles der relativen Bewegungsrichtung
der 4 ist;
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6 eine
Darstellung eines weiteren Beispieles der relativen Bewegungsrichtung
der 4 ist;
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7 eine
Seitenansicht einer Laserbearbeitungsvorrichtung ist;
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8 eine
Darstellung ist, die die Struktur einer in 7 gezeigten
Saughalteeinrichtung zeigt;
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9 eine
Darstellung einer Arbeitsweise der in 7 gezeigten
Laserbearbeitungsvorrichtung ist, die insbesondere eine relative
Bewegungsrichtung eines rahmenartigen Elementes und eines Dünnschichtartikels
zeigt;
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10 eine
perspektivische Ansicht eines Halteelementes einer Laserbearbei tungsvorrichtung für dünnschichtartige
Artikel in einer Modifikation der Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung ist;
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11 eine
Schnittansicht des in 10 gezeigten Halteelementes
ist;
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12 eine
Unteransicht des in 10 gezeigten Halteelementes
ist; und
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13 eine
Darstellung einer Arbeitsweise der Laserbearbeitungsvorrichtung
für dünnschichtartige
Artikel der 10 ist.
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Unter
Bezugnahme auf die Zeichnungen, in denen gleiche Teile durch gleiche
Bezugszeichen bezeichnet sind, wird eine Laserbearbeitungsvorrichtung
für dünnschichtartige
Artikel und ein durch die Laserbearbeitungsvorrichtung ausgeführtes Verfahren
gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung beschrieben.
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Bevor
die Ausführungsform
beschrieben wird, wird nachfolgend zunächst der Inhalt der vorliegenden
Erfindung beschrieben.
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Der
Anmelden hat als Beispiel die in den 7 und 8 dargestellte
Laserbearbeitungsvorrichtung 50 vorgeschlagen, wie sie
auch in der US-PS 6 090 330 gezeigt ist, um großflächige Dünnschichtartikel durch einen
Laser zu bearbeiten.
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Die
Laserbearbeitungsvorrichtung 50 besteht aus einer Aufspanneinrichtung 51,
die einen Zug auf einen Dünnschichtartikel 1 ausübt, einer Saughaltevorrichtung 52,
die ein rahmenartiges Element 11 und eine Saugeinrichtung 55 besitzt,
wie sie unten beschrieben ist, zum Ansaugen und Halten eines Teilstückes 2,
das einem Schaltungsteil des Dünnschichtartikels 1 entspricht,
um das Stück 2 durch
die oben genannte Zugkraft in einem planen Zustand zu halten, einer
Laserlichtprojektionseinrichtung 53 zum Bearbeiten des
angesaugten und durch die Saughalteeinrichtung 52 gehaltenen
Teilstückes 2 mit
Laserlicht, einer Bewegungseinrichtung 54 zum relativen
Bewegen des Dünnschichtartikels 1 zur
Laserlichtprojektionseinrichtung 53 und der Saughalteeinrichtung 52,
so daß jedes
Teilstück 2 des
Dünnschicht artikels 1 nacheinander
mit Laserlicht bearbeitet wird, und einer Positioniereinrichtung 56 zum
Bewegen und Positionieren des rahmenartigen Elementes 11 zum
Dünnschichtartikel 1 in
einer dickenbezogenen Richtung des Dünnschichtartikels 1.
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Wie
in 8 gezeigt ist, besteht die Saughalteeinrichtung 52 aus
dem rahmenartigen Element 11 eines rechteckigen Rohres
und der Saugeinrichtung 55. An einer Kontaktfläche 11a des
rahmenartigen Elementes 11, die dem dünnschichtartigen Artikel 1 gegenüberliegt,
sind eine Reihe von Leitungsendöffnungen 12a vorgesehen,
wodurch die Kontaktfläche 11a den
gesamten Umfang des Teilstückes 2 des
Dünnschichtartikels 1 umgibt,
das Teilstück 2 ansaugt
und trägt.
Die Leitungsendöffnungen 12a kommunizieren
miteinander durch eine Rohrleitung 12 in dem rahmenartigen
Element 11 und sind über
die Rohrleitung 12 und ein Rohr 13 mit der Saugeinrichtung 55 verbunden.
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Die
Positioniereinrichtung 56 bringt das rahmenartige Element 11 in
und aus dem Berührungskontakt
mit dem Dünnschichtartikel 1.
Wenn das rahmenartige Element 11 in eine Position gebracht
ist, in der das rahmenartige Element 11 vom Dünnschichtartikel 1 getrennt
ist, kann der Dünnschichtartikel 1 durch
die Bewegungseinrichtung 54 mit hoher Geschwindigkeit in
einen Nichtkontaktzustand mit dem rahmenartigen Element bewegt werden.
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Gemäß der Laserbearbeitungsvorrichtung 50,
wenn sie wie oben beschaffen ist, sollte das rahmenartige Element 11 durch
die Positioniereinrichtung 56 in der dickenbezogenen Richtung
immer zu dem Zeitpunkt der obigen Bewegung des Dünnschichtartikels 1 positioniert
werden, zu dem der Dünnschichtartikel 1 durch
die Bewegungseinrichtung 54 bewegt wird, was die weitere
Steigerung der Bearbeitungsgeschwindigkeit des Dünnschichtartikels 1 behindert.
Dieses Problem kann durch ein Verfahren beseitigt werden, mit dem
das rahmenartige Element 11 und der Dünnschichtartikel 1 relativ
zum als nächstes
zu bearbeitenden Teilstück 2 bewegt werden,
während
das rahmenartige Element den Dünnschichtartikel 1 weiter
ansaugt.
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In
der Zwischenzeit wird, im Fall der obigen Bewegung während des
Ansaugens, der gesamte Umfang des Teilstückes 2 durch die Kontaktfläche 11a des
rahmenartigen Elementes 11 in der Saughalteeinrichtung 52 der
Laserbearbeitungsvorrichtung 50 wie oben beschrieben angesaugt,
und deshalb reibt ein laserbearbeiteter Teil des Dünnschichtartikels 1,
das in 9 durch die gestrichelte Linie dargestellt ist,
ungünstigerweise
an der Kontaktfläche 11a des
rahmenartigen Elementes 11 bei dem obigen Verfahren der
relativen Bewegung des rahmenartigen Elementes 11 und des
Dünnschichtartikels 1,
wie es in 9 angegeben ist, mit dem Resultat,
daß der bearbeitete
Teil deformiert wird oder sich mit Fremdkörpern vermischt und in dem
dünnschichtartigen
Artikel festhält.
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Die
vorliegende Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung soll die oben beschriebene Unzulänglichkeit
beseitigen und hat zu ihrem Ziel, eine Vorrichtung und ein Verfahren
zum Bearbeiten dünnschichtartiger
Artikel vorzusehen, wobei die dünnschichtartigen
Artikel mit gesteigerter Verarbeitungsgeschwindigkeit im Vergleich
mit der bisherigen Vorrichtung und dem bisherigen Verfahren bearbeitet werden,
ohne Teile der dünnschichtartigen
Artikel nach der Bearbeitung mit Laserlicht zu deformieren und zu
verhindern, daß Fremdkörper mit
den dünnschichtartigen
Artikeln vermischt werden.
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Die
Ausführungsform
veranschaulicht dünnschichtartige
Artikel, die aus Harz gebildet sind, und für mehrschichtige Leiterplatten
von elektrischen Apparaten oder dergleichen verwendet werden und
die jeweils eine Dicke von ungefähr
0,15 – 0,2
mm haben. Das Material ist nicht begrenzt, sofern der Artikel wie
eine Dünnschicht
beschaffen ist. Obwohl die Laserbearbeitung als ein Beispiel eines
Bearbeitungsverfahrens des dünnschichtartigen
Artikels angenommen wurde, zum Beispiel zum Bilden von Durchgangsbohrungen
(Durchgangslöchern)
für Durchgangselektroden
der mehrschichtigen Leiterplatte, ist das Verfahren nicht auf die
Laserbearbeitung begrenzt. Insbesondere wurden in letzter Zeit wegen der
Miniaturisierung von elektronischen Geräten gedruckte Leiterplatten
mit in großer
Dichte montierten Komponenten gefordert. Die vorliegende Ausführungsform
kann auf die Herstellung solcher Leiterplatten angewandt werden.
Als ein Beispiel für
die Leiterplatte werden einige zehn oder hunderte Durchgangsbohrungen
in einer Platte aus dünnem Leiterplattenmaterial
mit einer Dicke von einigen zehn bis einigen hunderten Mikrometern
durch die Laserbearbeitung ausgebildet, dann wird in die ausgebildeten
Bohrungen leitfähige
Paste eingesetzt und dann werden die Platten aufeinander geschichtet,
um eine mehrschichtige Platte zu bilden, während die leitfähige Paste
in jeder Bohrung mit einer vorgegebenen Elektrode/Elektroden oder
einer Schaltung/Schaltungen verbunden wird. Während der obigen Bildung der
Durchgangsbohrung ist es notwendig, Durchgangsbohrungen in der Platte
auszubilden. Um solch eine mehrschichtige Platte mit hoher Genauigkeit
auszubilden, ist es zu bevorzugen, die vorliegende Ausführungsform
auf die Ausbildung solcher Durchgangsbohrungen anzuwenden, weil
die Durchgangsbohrungen mit hoher Genaugkeit und der optimalen Konfiguration
gebildet werden können, während jede
Platte als das Material ohne jedwede Behinderung des Ausbildens
der Durchgangsbohrungen gehalten wird. 1 zeigt
eine Laserbearbeitungsvorrichtung 101 für dünnschichtartige Artikel der
vorliegenden Ausführungsform.
Die Laserbearbeitungsvorrichtung 101 für dünnschichtartige Artikel ist
im wesentlichen in der gleichen Art und Weise aufgebaut wie die
oben beschriebene Laserbearbeitungsvorrichtung 50. Die
Saughalteeinrichtung 120 und eine Steuereinrichtung 200,
die später
beschrieben wird, sind jedoch anders als bei der Laserbearbeitungsvorrichtung 50,
die die Laserbearbeitungsvorrichtung 101 für dünnschichtartige
Artikel der Ausführungsform
kennzeichnen.
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Die
Laserbearbeitungsvorrichtung 101 für dünnschichtartige Artikel hat
eine Spanneinrichtung 110, die der oben beschriebenen Aufspanneinrichtung 51 entspricht,
eine Saughalteeinrichtung 120, die der oben beschriebenen
Saughalteeinrichtung 52 entspricht, ausgenommen einige
Teile, eine Laserlichtprojektionseinrichtung 140, die der
oben beschriebenen Laserlichtprojektionseinrichtung 53 entspricht,
eine Bewegungseinrichtung 160, die der oben beschriebenen
Bewegungseinrichtung 54 entspricht, eine Positioniereinrichtung 180,
die der oben beschriebenen Positioniereinrichtung 56 entspricht, und
die Steuereinrichtung 200. Alle diese Teile werden unten
ausführlich
dargestellt.
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Die
Bewegungseinrichtung 160 mit der Spanneinrichtung 110 ist
auf einer Unterlage 102 angeordnet, die die Laserbearbeitungsvorrichtung 101 für dünnschichtartige
Artikel bildet. Die Bewegungseinrichtung 160 ist mit einem
Y-Tisch 161, der durch eine Antriebseinrichtung 162 in
eine Y-Richtung von in einer Ebene senkrecht zueinander liegenden
X-, Y-Richtungen geschoben wird, und einem X-Tisch 163 ausgerüstet, der über dem
Y-Tisch 161 angeordnet ist und durch eine Antriebseinrichtung 164 in
die X-Richtung geschoben wird. Die Antriebseinrichtungen 162, 164 sind
mit der Steuereinrichtung 200 verbunden. Die Steuereinrichtung 200 steuert
jede Bewegungsgröße des Y-Tisches 161 und
X-Tisches 163.
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Die
auf dem X-Tisch 163 angeordnete Spanneinrichtung 110 hat
ein feststehendes Aufspannelement 111 und ein bewegliches
Aufspannelement 112, die sich beide in die Y-Richtung erstrecken
und einander gegenüberliegen.
Ein mit Laserlicht zu bearbeitender, rechteckiger dünnschichtartiger
Artikel 1 ist in einem Bereich zwischen dem Aufspannelement 111 und
dem Aufspannelement 112 angeordnet. Während Seitenrandteile beispielsweise
parallel zur Y-Richtung des so angeordneten dünnschichtartigen Artikels 1 durch
das Aufspannelement 111 und das Aufspannelement 112 gehalten
werden, wird der dünnschichtartige
Artikel 1 in die X-Richtung gezogen. Insbesondere ist das
bewegliche Aufspannelement 112 derart befestigt, daß es in
die X-Richtung über
dem X-Tisch 163 beweglich ist und wird darüberhinaus
ständig
durch eine Expansionskraft einer Feder 113, die zwischen
einem Seitenrandteil 114 in der X-Richtung des X-Tisches 163 und
dem Aufspannelement 112 sitzt, zu dem Seitenrandteil 114 hin
beaufschlagt. Der dünnschichtartige
Artikel 1 wird demzufolge, wenn er zwischen dem Aufspannelement 111 und
Aufspannelement 112 gehalten wird, durch die auf das bewegliche
Aufspannelement 112 wirkende Expansionskraft in die X-Richtung
gezogen, so daß eine
Zugkraft auf den dünnschichtartigen
Artikel 1 ausgeübt
wird. Die Halterung des dünnschichtartigen
Artikels 1 durch die Aufspannelemente 111, 112 kann
bei Notwendigkeit gelöst
werden, nachdem der dünnschichtartige
Artikel 1 vollständig
bearbeitet ist oder aus einem ähnlichen
Grund.
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Die
Laserlichtprojektionseinrichtung 140 sendet Laserlicht
zu dem dünnschichtartigen
Artikel 1, das von oben aus einer dickenbezogenen Richtung
des dünnschichtartigen
Artikels 1 aufgebracht wird. Die Laserlichtprojektionseinrichtung 140 besteht
aus einer Laserlichterzeugungseinrichtung 141, einem Spiegel 142 und
einer Linse 143. Die Laserlichterzeugungseinrichtung 141 ist
in einen Rahmen 103 eingesetzt, der auf der Unterlage 102 angeordnet
ist. Das von der Laserlichterzeugungseinrichtung 141 ausgesendete
Laserlicht wird durch den Spiegel 142 zum dünnschichtartigen
Artikel 1 abgelenkt. Danach wird der Fokus des Laserlichtes
durch die Linse 143 eingestellt, so daß er auf eine Bearbeitungsfläche 1a des
dünnschichtartigen
Artikels 1 fällt,
und dann wird das Laserlicht auf die Bearbeitungsfläche 1a gesendet.
Die Laserlichterzeugungseinrichtung 141 ist mit der Steuereinrichtung 200 verbunden,
und deshalb wird die Erzeugung des Laserlichtes durch die Steuereinrichtung 200 gesteuert.
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Grob
umrissen, besteht die Saughalteeinrichtung 120, die die
Ausführungsform
kennzeichnet, aus einem Halteelement 121, das einen Teil
des Randes einer Bearbeitungsfläche 104 des
durch das Laserlicht zu bearbeitenden dünnschichtartigen Artikels 1 durch
einen Saugvorgang hält,
um die Bearbeitungsfläche 104 durch
die oben genannte Zugkraft in einem planen Zustand zu halten, und
einer Saugeinrichtung 131, die an das Halteelement 121 angeschlossen
ist, um den Saugvorgang auszuführen. Das
Halteelement 121 der Saughalteeinrichtung 120 wird über dem
dünnschichtartigen
Artikel 1 von einer Positioniereinrichtung 180 getragen
und ist in die dickenbezogenen Richtung des dünnschichtartigen Artikels 1 bewegbar.
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Das
Halteelement 121 wird genauer dargestellt. Gemäß der vorliegenden
Ausführungsform
entspricht das Halteelement 121 dem rahmenartigen Element 11 und
ist ein wie ein Rahmen geformter, flacher Körper, der einen rechteckigen
Hohlteil 122 besitzt, der dem oben genannten Bearbeitungsbereich 104 entspricht,
wie es in 3 gezeigt ist. Ein Unterschied
zu dem zuvor erläuterten
rahmenartigen Element 11 besteht darin, daß nur eines
von vier Rahmenelementen 121-1, 121-2, 121-3 und 121-4 des Halteelementes 121,
zum Beispiel 121-4, an einer Kontaktfläche 123 in Berührung mit
dem dünnschichtartigen
Artikel 1 ist, wie es aus den 2 und 3 deutlich
ersichtlich ist, während
alle vier Rahmenelemente, die das rahmenartige Element 11 der 7 bilden,
in Berührung
mit dem dünnschichtartigen
Artikel 1 sind. Der Hohlteil 122 des Halteelementes 121 ist
in einer Größe ausgebildet,
die sich nicht mit einem durch die Linse 143 hindurchgehenden
Laserlicht 3 überlagert.
Das Halteelement 121 stimmt mit dem Rand jeder Bearbeitungsfläche 104 des dünnschichtartigen
Artikels 1 überein.
An der Kontaktfläche 123 sind Öffnungsteile 12a ausgebildet, um
den dünnschichtartigen
Artikel 1 durch den Saugvorgang zu halten. Die Öffnungsteile 12a werden über eine
Rohrleitung 12, die in dem Rahmenelement 121-4 ausgebildet
ist, und ein flexibles Rohr 13, das mit der Rohrleitung 12 verbunden
ist, zu der Saugeinrichtung 131 geführt.
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Während nur
die Kontaktfläche 123 in
Berührung
mit dem dünnschichtartigen
Artikel 1 gehalten wird, wodurch der dünnschichtartige Artikel 1 durch den
Saugvorgang gehalten wird, treibt die Bewegungseinrichtung 160 in
der Ausführungsform
das Halteelement 121 an, so daß es sich relativ zu dem dünnschichtartigen
Artikel 1 bewegt, wie es durch Pfeile 124 in 4 angezeigt
ist. Deshalb wird der dünnschichtartige
Artikel 1, obwohl der Saugvorgang beibehalten wird, auf
der gesamten Fläche
bearbeitet, d. h., in einer Matrix, wodurch Bearbeitungsflächen 104 erhalten
werden, ohne daß die
Kontaktfläche 123 in
Berührung
mit bereits bearbeiteten Flächen 104 gebracht
wird.
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Da
der dünnschichtartige
Artikel 1 durch den Saugvorgang an der Kontaktfläche 123 gehalten wird,
wird das Durchhängen
des dünnschichtartigen Artikels 1 aufgrund
seines eigenen Gewichtes verhindert und demzufolge eine genaue Laserbearbeitung für die Bearbeitungsflächen 104 ermöglicht.
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Eine
Richtung der relativen Bewegung zwischen der Kontaktfläche 123 und
dem Halteelement 121 zu dem dünnschichtartigen Artikel 1,
um die Kontaktfläche 123 nicht
auf den laserbearbeiteten Flächen
reiben zu lassen, das heißt,
eine Richtung, in der die Laserbearbeitung ausgeführt wird,
ist wie folgt. Gemäß der vorliegenden
Ausführungsform,
wie sie in 4 gezeigt und oben beschrieben
ist, wenn die Bearbeitungsflächen 104 in
einer Matrix in dem dünnschichtartigen
Artikel 1 ausgebildet sind und sich das Halteelement 121 relativ
zu dem dünnschichtartigen
Artikel 1 in einem versetzt angeordneten Ort bewegt, erstreckt
sich die Kontaktfläche 123 vorzugsweise
parallel zu einer Zeilenrichtung, d. h., in die Y-Richtung, und
ist vorzugsweise an der Seite einer Spaltenrichtung, nämlich in
der X-Richtung, angeordnet.
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Gemäß der vorliegenden
Ausführungsform reibt
die Kontaktfläche 123 niemals
die bereits mit dem Laserlicht bearbeiteten Flächen und das Halteelement 121 und
der dünnschichtartige
Artikel 1 werden relativ zueinander zickzackförmig bewegt.
Das Bewegungsausmaß wird
auf ein Minimum gebracht. Da die Kontaktfläche 123 immer in Berührung mit
der noch nicht bearbeiteten Fläche
kommt, wird ein Totraum 106 zum Passierenlassen der Kontaktfläche 123,
wie er in 5 gezeigt ist, zwischen den
benachbarten Bearbeitungsflächen 104 in
der Spaltenrichtung beseitigt, so daß eine maximale Anzahl Bearbeitungsflächen 104 auf
einem dünnschichtartigen Artikel 1 erzeugt
werden.
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In
dem Fall, daß das
oben genannte Bewegungsausmaß und
die Anzahl der Bearbeitungsflächen 104 kleiner
als in der Ausführungsform
sein können,
sind zum Beispiel die Kontaktfläche 123 und Richtungen
der relativen Bewegungen annehmbar, die in den 5 und 6 gezeigt
sind.
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Als
eine Modifikation der Ausführungsform, wie
sie in den 10, 11 und 12 gezeigt
ist, sind die Rahmenelemente 121-3a und 121-1a zusätzlich an
dem Halteelement 1121 parallel zueinander in der Spaltenrichtung
des Halteelementes 1121 senkrecht zu der längeren Axialrichtung
der Kontaktfläche 123 des
Rahmenelementes 121-4, nämlich in der X-Richtung in
der Modifikation, angeordnet, und jedes der Rahmenelemente 121-3a und 121-1a hat eine
kürzere
Länge als
die Seitenlänge
der Bearbeitungsfläche 104 in
der X-Richtung. Jedes der Rahmenelemente 121-3a und 121-1a hat
an jeder einen Seite eine Führungsstange 401,
die durch ein C-förmiges
Führungselement 402 verschiebbar
gehalten und geführt
wird, das an dem Halteelement 1121 befestigt und in der
Vertikalrichtung des dünnschichtartigen
Artikels 1 verlängert
ist, und an jeder anderen Seite eine Antriebseinrichtung 400,
wie zum Beispiel ein an dem Halteelement 1121 befestigter Druckluftzylinder,
dessen Kolbenstange an einem am unteren Ende L-förmig gebogenen Teil 404 oder 405 des Rahmenelementes 121-3a oder 121-1a befestigt
ist. Somit werden die Rahmenelemente 121-3a und 121-1a,
wenn die Antriebseinrichtungen 400 angetrieben werden,
unabhängig
aufwärts
oder abwärts bewegt,
so daß die
am unteren Ende L-förmig
gebogenen Teile 404, 405 in Zwischenräumen 406 an
einem unteren Endteil des Halteelementes 1121 unabhängig aufwärts oder
abwärts
bewegt werden, um sie in Kontakt mit dem dünnschichtartigen Artikel 1 zu bringen
oder sie von diesem abzutrennen. In den Kontaktfläche 404a, 405a der
L-förmig
gebogenen Teile 404, 405 der Rahmenelemente 121-3a und 121-1a sind Öffnungen 12a ausgebildet,
um die Kontaktflächen 404a, 405a in
Kontakt mit dem dünnschichtartigen
Artikel 1 bringen zu können,
so daß der
dünnschichtartige
Artikel 1 durch die Öffnungen 12a angesaugt
und mit dem Saugzug gehalten werden kann.
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In
der Modifikation wird, in einem Fall, daß sich das Halteelement 1121 auf
dem dünnschichtartigen
Artikel 1, wie in 13 gezeigt,
im Zickzack relativ bewegt, wenn sich das Halteelement 1121 zum Beispiel
in die linke Richtung der 13 bewegt,
die folgende Operation ausgeführt.
Das heißt,
wie es durch die durchgehenden Linien in 13 gezeigt ist,
kommen die Kontaktfläche 404a des
linken Rahmenelementes 121-3a, die an der Vorderseite der Bewegungsrichtung
des Halteelementes 1121 liegt, und die Kontaktfläche 123 des
Rahmenelementes 121-4 in Kontakt mit dem dünnschichtartigen
Artikel 1, wobei der dünnschichtartige
Artikel 1 mit dem linken Rahmenelement 121-3a und
dem Rahmenelement 121-4 angesaugt und gehalten wird, während die
Kontaktfläche 405a des
rechten Rahmenelementes 121-1a, die an der Rückseite
der Bewegungsrichtung des Halteelementes 1121 liegt, vom
dünnschichtartigen
Artikel 1 getrennt ist. Unter solch einer Bedingung bewegt
sich das Halteelement 1121 auf der Bearbeitungsfläche 104 nach
links. Bewegt sich andererseits das Halteelement 1121 zum
Beispiel nach rechts der 13, wird
die folgende Operation ausgeführt.
Wie in 12 gezeigt ist, kommt die Kontaktfläche 405a des
rechten Rahmenelementes 121-1a,
die an der Vorderseite der Bewegungsrichtung des Halteelementes 1121 liegt,
und die Kontaktfläche 123 des
Rahmenelementes 121-4 in Kontakt mit dem dünnschichtartigen
Artikel 1, wobei der dünnschichtartige
Artikel 1 mit dem rechten Rahmenelement 121-1a und
dem Rahmenelement 121-4 angesaugt und gehalten wird, während die
Kontaktfläche 404a des
linken Rahmenelementes 121-3a, die an der Rückseite
der Bewegungsrichtung des Halteelementes 1121 liegt, von
dem dünnschichtartigen Artikel 1 getrennt
ist. Unter solch einer Bedingung bewegt sich das Halteelement 1121 auf
der Bearbeitungsfläche 104 nach
rechts. Auf diese Art und Weise wird eine der Kontaktflächen 404a und 405a,
die an der Vorderseite der Bewegungsrichtung liegt, beim Ausführen der
Zickzack-Arbeitsweise auf der gleichen Höhe wie der dünnschichtartige
Artikel 1 gehalten, um den dünnschichtartigen Artikel 1 ansaugen und
halten zu können,
und die andere von ihnen wird nach oben auf eine Höhe bewegt,
die sie nicht in Kontakt mit dem dünnschichtartigen Artikel 1 bringt. Diese
Vorgänge
werden in einer Position ausgeführt, wo
die Bewegungsrichtung des Halteelemtes 1121 von rechts
nach links oder links nach rechts geändert wird, so daß die Kontaktfläche, die
an der Vorderseite der Bewegungsrichtung liegt, nach unten bewegt wird,
um sie in Kontakt mit dem dünnschichtartigen Artikel 1 zu
bringen, während
die Kontaktfläche,
die an der Rückseite
der Bewegungsrichtung liegt, nach oben bewegt wird, um sie nicht
in Kontakt mit dem dünnschichtartigen
Artikel 1 zu bringen, das heißt, sie von dem dünnschichtartigen
Artikel 1 zu trennen. Gemäß dem oben genannten Höhenwechselvorgang
an den Kontaktflächen
an den Vorder- und Rückseiten der
Bewegungsrichtung reibt das Halteelement 1121 mit den Kontaktfläche 123, 404a, 405a nicht
an den bereits laserbearbeiteten Flächen und die Bearbeitung kann
kontinuierlich ausgeführt
werden. Gemäß der obigen
Anordnung können
zwei Seitenränder
der rechteckigen Bearbeitungsfläche 104 immer
mit dem Saugzug gehalten werden und auf diese Weise kann die Bearbeitungsfläche 104 des
dünnschichtartigen Artikels 1 in
der vertikalen Richtung mit verbesserter Stabilität positioniert
werden, im Vergleich mit einem Fall, bei dem ein Seitenrand der
rechteckigen Bearbeitungsfläche 104 immer
mit dem Saugzug gehalten wird.
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Ein
Beispiel des Halteelementes 121 ist wie ein rechteckiger
Rahmen mit dem Hohlteil 122 von ungefähr 10 cm × 10 cm ausgebildet, bei dem
die Kontaktfläche 123 eine
Breite von ungefähr
1 cm und die Öffnung 12a ein
Kreis mit einem Durchmesser von ungefähr 1 mm ist und eine Vielzahl Öffnungen 12a durch
einen Abstand von ungefähr
1 cm ausgebildet sind. Ein Beispiel für den Vakuumdruck für den Saugvorgang 240 m
bar iso (180 mmHg)
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Die
Saugeinrichtung 131 hat Stellventile 125, 126,
die mit dem zuvor erwähnten
Rohr 13 verbunden sind, eine Austragseinrichtung 127,
die mit dem Stellventil 125 verbunden ist, und eine Vakuumpumpe 130,
die mit dem Stellventil 126 verbunden ist. Die Stellventile 125, 126 werden
durch die Steuereinrichtung 200 geschaltet, um das Rohr 13 selektiv
mit der Austragseinrichtung 127 oder der Vakuumpumpe 130 zu
verbinden. Mit anderen Worten, im normalen Zustand ist das Rohr 13 durch
das Stellventil 126 durch die Filter 129 mit der
Vakuumpumpe 130 verbunden, um den Saugvorgang auszuführen. Zu
dieser Zeit ist das Rohr 13 durch das Stellventil 125 von der
Austragseinrichtung 127 getrennt. Die Austragseinrichtung 127 umfaßt einen
Kompressor 128 zum Erzeugen von Druckluft. Wenn das Rohr 13 und
die Austragseinrichtung 127 durch das Stellventil 125 miteinander
verbunden sind, wird die Verbindung zwischen dem Rohr 13 und
der Vakuumpumpe 130 durch das Stellventil 126 geschlossen.
Die am Kompressor 128 erzeugte Druckluft wird über das
Stellventil 125, das Rohr 13 und die Rohrleitung 12 aus den Öffnungen 12a ausgeströmt. Wegen
des Ausströmens
der Druckluft können
Reste von der Bearbeitung, die in die Rohrleitung 12 gesaugt
wurden oder an der Saugfläche
des dünnschichtartigen
Artikels 1 beim Saugvorgang verbleiben, weggeblasen und
entfernt werden.
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Die
Positioniereinrichtung 180 trägt das Halteelement 121 über dem
dünnschichtartigen
Artikel 1 in einer Art und Weise, daß die Kontaktfläche 123 in Kontakt
mit dem dünnschichtartigen
Artikel 1 sein kann. Die Positioniereinrichtung 180 bewegt
das Halteelement 121 auch in die dickenbezogene Richtung des
dünnschichtartigen
Artikels 1, um die Kontaktfläche 123 des Halteelementes 121 mit
der Bearbeitungsfläche 1a des
dünnschichtartigen
Artikels 1 zu verbinden oder zu trennen. Die Positioniereinrichtung 180 wird
durch einen Arm 105 getragen, der an dem Rahmen 103 angebracht
ist. Konkret, die Positioniereinrichtung 180 hat eine Antriebseinrichtung 181,
die das Halteelement 121 in die dickenbezogene Richtung
bewegt. Die Antriebseinrichtung 181 ist mit der Steuereinrichtung 200 verbunden,
die die Bewegung in der dickenbezogenen Richtung steuert.
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Wie
oben erläutert
wurde, steuert die Steuereinrichtung 200 die Arbeitsvorgänge der
Anordnungsteile, wie zum Beispiel der Antriebseinrichtungen 162, 164 der
Bewegungseinrichtung 160 usw. Insbesondere in der oben
beschriebenen Ausführungsform
steuert die Steuereinrichtung 200 Arbeitsweisen der Laserlichterzeugungseinrichtung 141 und der
Antriebseinrichtungen 162, 164 der Bewegungseinrichtung 60,
so daß die
Bearbeitungsflächen 104 aufeinanderfolgend
in Richtung der Pfeile 124 der 4 laserbearbeitet
werden, während
die Kontaktfläche 123 des
Halteelementes 121 in Berührung mit der Bearbeitungsfläche 1a des
dünnschichtartigen Artikels 1 gehalten
wird und der dünnschichtartige
Artikel 1 angesaugt gehalten wird.
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Die
Arbeitsweise der Laserbearbeitungsvorrichtung 101 für dünnschichtartige
Artikel, die die oben beschriebene Konstruktion aufweist, wird nachfolgend
beschrieben. Jeder Arbeitsgang wird durch die Steuereinrichtung 200 gesteuert.
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Der
mit Laser zu bearbeitende dünnschichtartige
Artikel 1 wird durch die Aufspannelemente 111, 112 der
Spanneinrichtung 110 festgehalten und durch das Aufspannelelement 112 in
die X-Richtung gezogen. Der X-Tisch 163 und der Y-Tisch 161 der Bewegungseinrichtung 160 werden
für die
Laserbearbeitung, zum Beispiel der Bearbeitungsfläche 104-1 der 4,
angetrieben. Infolgedessen wird der Hohlteil 122 des Halteelementes 121 so
angeordnet, daß er
der Bearbeitungsfläche 104-1 entspricht.
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Das
Halteelement 121 wird durch die Positioniereinrichtung 180 zu
dem dünnschichtartigen
Artikel 1 bewegt, wodurch die Kontaktfläche 123 des Halteelementes 121 in
Berührung
mit der Bearbeitungsfläche 1a des
dünnschichtartigen
Artikels 1 kommt. Nach dem Kontakt saugt die Vakuumpumpe 130 der
Saugeinrichtung 131 den dünnschichtartigen Artikel 1 an
und hält
den dünnschichtartigen
Artikel 1 an der Kontaktfläche 123 fest, und
der dünnschichtartige
Artikel 1 wird an dem Halteelement 121 festgehalten.
Genauer gesagt, es ist so aufgebaut, daß der dünnschichtartige Artikel 1 durch
die von den Aufspannelementen 111, 112 aufgebrachte
Zugkraft gezogen wird, um eine plane Ebene zu bilden. Gegenwärtig ist
es möglich,
daß der
dünnschichtartige
Artikel 1 an Teilen, ausgenommen in der Nähe der Aufspannelemente 111, 112,
leicht nach unten durchhängt,
zum Beispiel um ungefähr
0,2 mm, und somit solch ein Durchhängen die feine Laserbearbeitung behindert.
Um jene Unzulänglichkeit
zu vermeiden, wird die Umgebung der Bearbeitungsfläche des dünnschichtartigen
Artikels 1 angesaugt und durch das Halteelement 121 gehalten,
um den dünnschichtartigen
Artikel 1 in der vorgegebenen planen Ebene zu halten. Deshalb
wird das Halteelement 121 durch die Positioniereinrichtung 180 in
eine spezielle Position zu dem dünnschichtartigen
Artikel 1 bewegt, das heißt, eine Position, in der der
dünnschichtartige Artikel 1 in
der vorgegebenen planen Ebene angeordnet ist, wenn der dünnschichtartige
Artikel 1 angesaugt und an der Kontaktfläche 123 des
Halteelementes 121 durch das Halteelement 121 gehalten wird.
Wenn das Halteelement 121 nach unten in die vorgegebene
Position bewegt wird, selbst wenn die Kontaktfläche 123 des Halteelementes 121 nicht
in Berührung
mit der Bearbeitungsfläche 1a des
dünnschichtartigen
Artikels 1 kommt, wird die Vakuumpumpe 130 der
Saugeinrichtung 131 betrieben, um den dünnschichtartigen Artikel 1 zur
Kontaktfläche 123 zu
saugen und festzuhalten, und der dünnschichtartige Artikel 1 wird
an dem Halteelement 121 gehalten, wobei der dünnschichtartige
Artikel 1 in der vorgegebenen planen Ebene angeordnet ist.
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Mit
Beendigung des Saugens wird das Laserlicht aus der Laserlichtprojektions einrichtung 140 auf
die Bearbeitungsfläche 1a des
dünnschichtartigen
Artikels 1 gesendet, wodurch die Bearbeitungsfläche 104-1 bearbeitet
wird, zum Beispiel Durchgangsbohrungen in der Bearbeitungsfläche 104-1 gebildet
werden. Zu dieser Zeit wird, wie es zum Beispiel in den 2 und 3 gezeigt
ist, Druckluft durch eine Druckluftinjektionseinrichtung 500 aus
einer in dem Rahmenelement 121-3 ausgebildeten Durchgangsbohrung 122p in
den Hohlteil 122 geblasen und die Druckluft wird von einer
Saugeinrichtung 501 durch eine in dem Rahmenelement 121-1,
das dem Rahmenelement 121-3 gegenüberliegt, ausgebildete Durchgangsbohrung 122p angesaugt
und ausgetragen, um bei der Laserbearbeitung verursachte Reste der
Bearbeitung aus dem Hohlteil 122 zu saugen und auszutragen.
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Wenn
die Bearbeitungsfläche 104-1 vollständig durch
das Laserlicht bearbeitet ist, zum Beispiel, wenn alle auszubildenden
Durchgangsbohrungen in der Bearbeitungsfläche 104-1 ausgebildet
sind, während
der dünnschichtartige
Artikel 1 an der Kontaktfläche 123 festgehalten
wird, werden der X-Tisch 163 und der Y-Tisch 161 bewegt,
um das Halteelement 121 relativ zu dem dünnschichtartigen
Artikel 1 in der Pfeilrichtung 124a der 4 zu
bewegen. Der Hohlteil 122 ist demzufolge so angeordnet,
daß er
auf die Bearbeitungsfläche 104-2 neben
der Bearbeitungsfläche 104-1 trifft.
Die Bearbeitungsfläche 104-2 wird
dann mit dem Laserlicht bearbeitet. In der gleichen Art und Weise
wird danach das Halteelement 121 relativ zu dem dünnschichtartigen
Artikel 1 in den Zeilen- und Spaltenrichtungen gemäß den Pfeilen 124 bewegt
und jede Bearbeitungsfläche 104 wird
somit aufeinanderfolgend bearbeitet.
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Nachdem
die gesamte Fläche
des dünnschichtartigen
Artikels 1 bearbeitet ist, wird die Vakuumpumpe 130 angehalten
und dadurch der Saugvorgang an dem dünnschichtartigen Artikel 1 beendet. Das
Halteelement 121 wird durch die Positioniereinrichtung 180 in
eine zum dünnschichtartigen
Artikel entgegengesetzte Richtung bewegt. Die Halterung des dünnschichtartigen
Artikels 1 durch die Aufspannelemente 111, 112 wird
gelöst
und der laserbearbeitete dünnschichtartige
Artikel 1 wird aus der Bearbeitungsvorrichtung 101 herausgenommen.
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Wenn
ein anderer, zu bearbeitender dünnschichtartiger
Artikel 1 verbleibt, wird der oben beschriebene Prozeß wiederholt.
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Die
Stellventile 125, 126 können umgestellt werden, zum
Beispiel, wenn ein dünnschichtartiger Artikel 1 fertig
bearbeitet ist, wodurch die Druckluft aus dem Kompressor 128 durch
die Öffnungen 12a ausströmt, um die
während
des Saugvorganges in die Rohrleitung 12 gesaugten oder
an der Saugfläche des
dünnschichtartigen
Artikels 1 verbliebenen Reste von der Bearbeitung herauszublasen.
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Obwohl
in der obigen Ausführungsform
der Fall beschrieben ist, daß die
gesamte Fläche
des dünnschichtartigen
Artikels 1 bearbeitet wird, kann die vorliegende Erfindung
auf einen Fall angewandt werden, bei dem eine Teilfläche des
dünnschichtartigen
Artikels 1 bearbeitet wird.
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Wenn
das Halteelement 121 in 4 relativ zum
dünnschichtartigen
Artikel 1 in der Zeilen- und Spaltenrichtung gemäß den Pfeilen 124 bewegt
und jede Bearbeitungsfläche 104 somit
aufeinanderfolgend bearbeitet wird, kommt das Halteelement 121 an
jeder Bearbeitungsfläche 104 am
Endteil in der Y-Richtung, das heißt, die Zeile benachbart und
parallel zum Aufspannelement 112, in Kontakt mit dem Aufspannelement 112,
so daß das
Halteelement 121 anders als bei den anderen Bearbeitungsflächen daran
gehindert wird, den dünnschichtartigen
Artikel 1 anzusaugen. In solch einem Fall kann das Halteelement 121 den
dünnschichtartigen
Artikel 1 nicht ansaugen und halten. In derartiger Nähe des Aufspannelementes 112 kann
die Feinbearbeitung dort ohne Ansaugen und Halten des dünnschichtartigen
Artikels 1 ausgeführt
werden, da das Ausmaß des Durchhängens des
dünnschichtartigen
Artikels 1 durch die Zugkraft vom Aufspannelement 112 auf
einen vernachlässigbaren
Wert unterdrückt
ist.
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Wie
oben beschrieben wurde, werden in der Laserbearbeitungsvorrichtung 101 für dünnschichtartige
Artikel der Ausführungsform
das Halteelement 121 und der dünnschichtartige Artikel 1 relativ
bewegt, während
das Halteelement 121 den dünnschichtartigen Artikel 1 angesaugt
hält. Deshalb
ist es nicht notwendig, das Halteelement 121 in der dickenbezogenen
Richtung des dünnschichtartigen
Artikels 1 immer dann zu bewegen, wenn sich das Halteelement 121 zwischen
den Bearbeitungsflächen 104 bewegt.
Die für
die Bearbeitung des dünnschichtartigen Artikels 1 erforderliche
Zeit kann demzufolge im Vergleich mit der bisherigen Vorrichtung
und dem bisherigen Verfahren verkürzt werden.
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Da
desweiteren nur die Kontaktfläche 123 des
Rahmenelementes 121-4 des Halteelementes 121 für die Berührung mit
dem dünnschichtartigen Artikel 1 angepaßt ist,
wird verhindert, daß die
Kontaktfläche 123 auf
den bereits bearbeiteten Flächen reibt,
selbst wenn die relative Bewegung bei aufrechterhaltenem Saugzustand,
wie oben erwähnt,
ausgeführt
wird. Eine Deformation der laser bearbeiteten Teile, eine Vermischung
mit Fremdkörpern
usw. kann vermieden werden.
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Obwohl
die Ausführungsform
des Verfahrens auf den Fall gerichtet ist, bei dem der dünnschichtartige
Artikel 1 mit Laserlicht bearbeitet wird, ist das Verfahren
nicht auf diese Laserbearbeitung beschränkt. Die vorliegende Ausführungsform
ist zum Beispiel auf die Bearbeitung eines dünnschichtartigen Artikels anwendbar,
der durch die Spannelemente gehalten wird.
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Obwohl
der dünnschichtartige
Artikel 1 in der Ausführungsform
in die X-, Y-Richtungen bewegt wird, können umgekehrt das Halteelement
und die Laserlichtprojektionseinrichtung bewegt werden, während der
dünnschichtartige
Artikel 1 feststehend ist.
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Wie
es oben ausführlich
beschrieben ist, kann gemäß der Bearbeitungsvorrichtung
für dünnschichtartige
Artikel und dem Bearbeitungsverfahren für dünnschichtartige Artikel der
vorliegenden Erfindung, da der dünnschichtartige
Artikel während
des Aufbringens einer Zugkraft auf den Artikel gehalten wird und
ein Teil des Randes einer Bearbeitungsfläche des dünnschichtartigen Artikels durch
das Halteelement gehalten wird, wenn der dünnschichtartige Artikel bearbeitet
wird, die Laserbearbeitung, wie zum Beispiel die Durchgangsbohrungausbildung,
in dünnschichtartigen
Artikeln mit Laserlicht ohne jedwede Beschädigung eines Elementes zum
Tragen der Artikel ausgeführt
werden. Wenn der dünnschichtartige
Artikel bearbeitet wird, während
er durch einen Teil des Halteelementes gehalten wird, werden darüberhinaus
der dünnschichtartige
Artikel und das Halteelement relativ in einer Art und Weise bewegt,
daß das
Halteelement nicht auf den bereits bearbeiteten Flächen des
dünnschichtartigen
Artikels reibt. Deshalb muß das
Halteelement nicht bei jeder relativen Bewegung in die dickenbezogene
Richtung des dünnschichtartigen
Artikels bewegt werden und eine Bearbeitungsgeschwindigkeit des
dünnschichtartigen
Artikels wird im Vergleich mit der bisherigen Vorrichtung und dem
bisherigen Verfahren gesteigert. Darüberhinaus wird verhindert,
daß die
bereits bearbeiteten Flächen
in körperlichen
Kontakt mit dem Halteelement kommen, demzufolge kann eine Deformation
der bearbeiteten Flächen
oder eine Vermischung von Fremdkörpern
beseitigt werden.