DE19858757A1 - Vorrichtung und Verfahren zum Komprimieren und Entkomprimieren von Musterdaten für ein Halbleiterprüfsystem - Google Patents

Abstract

Durch die vorliegende Erfindung wird eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Komprimieren und Entkomprimieren von Musterdaten zum Übertragen von Prüfmusterdaten von einer Speichervorrichtung eines Hostcomputers zu einem Musterspeicher eines Halbleiterprüfsystems zum Prüfen eines Halbleiterbausteins bereitgestellt um die für die Datenübertragung erforderliche Zeit zu reduzieren. Die Komprimierungs- und Entkomprimierungsvorrichtung weist auf: eine Komprimierungseinrichtung zum Klassifizieren von Vektordaten in den Prüfmusterdaten in eine in einen Kurzcode zu komprimierende erste Gruppe und eine nicht zu komprimierende zweite Gruppe und zum Erzeugen einer Tabelle, die den Zusammenhang zwischen dem Kurzcode und den Vektordaten der ersten Gruppe darstellt; eine komprimierte Prüfmusterdatei, in der das komprimierte Prüfmuster gespeichert ist, das den Kurzcode, die Vektordaten der zweiten Gruppe und die Tabelle aufweist; und eine im Halbleiterprüfsystem oder in seiner Nähe angeordnete Hardware-Entkomprimierungsschaltung zum Entkomprimieren des komprimierten Prüfmusters basierend auf dem Kurzcode und dem in der Tabelle dargestellten Zusammenhang und zum Übertragen des entkomprimierten Prüfmusters zum Musterspeicher des Halbleiterprüfsystems.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Komprimieren und Entkomprimieren von Musterdaten und eine Hardware-Entkomprimierungsschaltung für ein Halbleiter­ prüfsystem zum Prüfen von Halbleiterbausteinen und insbeson­ dere ein Verfahren zum Komprimieren und Entkomprimieren von Musterdaten und eine Schaltungsanordnung, durch die Prüfmu­ ster innerhalb einer kurzen Zeitdauer vor Beginn des Prüf­ vorgangs von einer Festplatte eines Verarbeitungsrechners oder Hostcomputers zu einem Musterspeicher des Halbleiter­ prüfsystems übertragen werden.

Beim Prüfen von Halbleiterbausteinen, wie beispielswei­ se von IC-Speicherbausteinen oder IC-Prozessoren, durch ein Halbleiterprüfsystem werden dem zu prüfenden Halbleiterbau­ stein Prüfmuster zugeführt, und die vom Halbleiterbaustein erhaltenen Ausgangssignale werden mit Erwartungswertmustern verglichen, um zu entscheiden, ob der Halbleiterbaustein korrekt arbeitet bzw. funktioniert oder nicht. Die Prüfmu­ ster und die Erwartungswertmuster einschließlich der zuge­ ordneten Steuerdaten werden in der Halbleiterprüfindustrie häufig als Prüfvektoren bezeichnet, weil der größte Teil der Muster beispielsweise auf einem mathematischen Algorithmus basierende, sich wiederholende bzw. wiederkehrende Muster sind.

Im allgemeinen werden solche Prüfmuster und Erwartungs­ wertmuster (die zusammengefaßt als "Prüfmuster" bezeichnet werden) durch einen im Halbleiterprüfsystem angeordneten Prüfmustergenerator unter der Steuerung durch eine im Prüfsystem angeordnete Prüfsystemsteuerung erzeugt. Die Prüfmuster sind für Halbleiterbausteintypen oder Arten von Bausteintests spezifisch oder eindeutig. Die Prüfmuster sind normalerweise auf einer Festplatte eines Hostcomputers, z. B. eines Unix-Hostcomputers, oder in externen Speichereinrich­ tungen gespeichert. Der Prüfmustergenerator weist einen Mu­ sterspeicher mit einer hohen Speicherkapazität zum Speichern der Prüfmuster auf. Daher werden die Prüfmuster vor dem Prüfvorgang von der Festplatte des Hostcomputers über die Prüfsystemsteuerung zum Musterspeicher des Mustergenerators übertragen.

Fig. 1 zeigt eine Grundstruktur eines Halbleiter­ prüfsystems. Ein Hostcomputer 11 ist ein Computer, auf den durch einen Benutzer zugegriffen werden kann und dessen Be­ triebssystem beispielsweise Unix ist. Ein Hardware- Halbleiterprüfsystem 10 weist einen Mustergenerator 15, eine Wellenformatiereinrichtung 17 und einen Vergleicher 19 auf. Das Hardware-Prüfsystem (Prüfvorrichtung) 10 wird durch eine Prüfsystemsteuerung (TC) 13 direkt gesteuert. Die Prüfsy­ stemsteuerung 13 ist ein ausschließlich dem Halbleiterprüfsy­ stem 10 zugeordneter Computer und wird durch den Benutzer nicht direkt gesteuert. Einem zu prüfenden Halbleiterbau­ stein (DUT) 12 wird über die Wellenformatiereinrichtung 17 ein Prüfmuster zugeführt, und die erhaltenen Ausgangssignale werden durch den Vergleicher 19 mit einem Erwartungswertmu­ ster verglichen.

Der Mustergenerator 15 weist einen Musterspeicher 18 zum Speichern von Prüfmustern (Prüfmuster und Erwartungs­ wertmuster) auf, die vom Hostcomputer 11 über die Prüfsy­ stemsteuerung 13 und einen Prüfsystembus 14 übertragen wer­ den. Die Prüfmuster sind normalerweise als Musterdateien auf einer Festplatte 16 des Hostcomputers 11 gespeichert und werden vor Beginn des Prüfvorgangs zum Musterspeicher über­ tragen.

Eine solche Übertragung von Prüfmustern findet häufig statt, wenn zu prüfende Bausteine ausgewechselt oder ver­ schiedene Prüfprogramme ausgeführt werden. Die Musterdateien können aufgrund der Komplexität moderner zu prüfender Halb­ leiterbausteine eine Größe von mehreren Megabyte oder mehre­ ren zehn Megabyte oder mehr aufweisen. Daher wird für die Übertragung der Prüfmuster vom Hostcomputer 11 zum Muster­ speicher 18 des Mustergenerators 15 eine wesentliche Zeit­ dauer benötigt.

Weil das Halbleiterprüfsystem ein teures, großformati­ ges Computersystem ist, muß erreicht werden, daß ein Benut­ zer das Prüfsystem auf die kosteneffizienteste Weise benutzen kann. Darüber hinaus besteht in der Halbleiterindustrie per­ manent eine starke Forderung nach einer Erhöhung der Prüfef­ fizienz, um die Gesamtherstellungskosten der Halbleiterbau­ steine zu reduzieren. Um das Halbleiterprüfsystem mit höch­ ster Effizienz zu betreiben, wurde es daher wichtig, die für die Übertragung der Prüfmuster vom Hostcomputer zum Muster­ speicher benötigte Zeitdauer zu reduzieren.

Daher ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Technologie zum Komprimieren und Entkomprimieren von Prüfmustern für ein Halbleiterprüfsystem bereitzustellen, um die Übertragungsgeschwindigkeit oder -rate der Prüfmusterda­ ten von einer Festplatte eines Hostcomputers zu einem Mu­ sterspeicher eines Halbleiterprüfsystems zu verbessern.

Es ist eine andere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Komprimierungs- und Entkomprimierungstechnik bereit zu­ stellen, durch die die zum Übertragen des Prüfmusters von der Hostcomputerdatei zum Musterspeicher des Mustergenera­ tors des Halbleiterprüfsystems benötigte Zeitdauer reduziert wird.

Es ist eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Kombination aus Komprimierungs-Software und Entkompri­ mierungs-Hardware bereitzustellen, um die zum Übertragen des Prüfmusters von der Hostcoinputerdatei zum Musterspeicher des Mustergenerators des Halbleiterprüfsystems benötigte Zeit­ dauer zu reduzieren.

Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Komprimierungs- und Entkomprimierungsvorrichtung bereitge­ stellt, die zum Übertragen von Prüfmusterdaten von einer Speichervorrichtung eines Hostcomputers zu einem Musterspei­ cher eines Halbleiterprüfsystems zum Prüfen eines Halblei­ terbausteins verwendet wird.

Die Komprimierungs- und Entkomprimierungsvorrichtung weist auf: eine Komprimierungseinrichtung zum Klassifizieren von Vektordaten in den Prüfmusterdaten in eine erste Gruppe von Daten, die zu einem Kurzcode komprimiert werden sollen, und in eine zweite Gruppe von Daten, die nicht komprimiert werden sollen, und zum Erzeugen einer Tabelle, die den Zu­ sammenhang bzw. die Beziehung zwischen dem Kurzcode und den Vektordaten der ersten Gruppe darstellt; eine komprimierte Prüfmusterdatei, in der komprimierte Prüfmuster gespeichert sind, die den Kurzcode, den Datenvektor der zweiten Gruppe und die Tabelle aufweisen; und eine im Halbleiterprüfsystem oder in ihrer Nähe angeordnete Hardware-Entkomprimierungs­ schaltung zum Entkomprimieren des komprimierten Prüfmusters basierend auf dem Kurzcode und der in der Tabelle darge­ stellten Beziehung, und zum Übertragen des entkomprimierten Prüfmusters zum Musterspeicher des Halbleiterprüfsystems.

Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Komprimierungs- und Entkomprimierungsverfahren zum Übertragen von Prüfmusterdaten von einer Speichervorrichtung eines Hostcomputers zu einem Musterspeicher eines Halblei­ terprüfsystems zum Prüfen von Halbleiterbausteinen bereitge­ stellt.

Das Komprimierungs- und Entkomprimierungsverfahren weist folgende Schritte auf: Extrahieren von Vektordaten von einer Prüfmusterdatei in der Speichervorrichtung; Klassifi­ zieren der Vektordaten in drei Gruppen: eine erste Gruppe mit einer größeren Datenwiederholungshäufigkeit, eine zweite Gruppe mit einer mittleren Datenwiederholungshäufigkeit und eine dritte Gruppe mit einer geringeren Datenwiederholungs­ häufigkeit als diejenige der ersten und der zweiten Gruppe; Umwandeln der Vektordaten in der ersten und in der zweiten Gruppe in einen Kurzcode bzw. in einen Langcode, die die Ordnung der Datenwiederholungshäufigkeit anzeigen, und Spe­ zifizieren oder Kennzeichnen der Vektordaten der dritten Gruppe durch einen Escape-Code und Anfügen der Vektordaten der dritten Gruppe an den Escape-Code; Erzeugen einer Über­ setzungstabelle, die den Zusammenhang zwischen dem Kurzcode und den Vektordaten der ersten Gruppe und zwischen dem Lang­ code und den Vektordaten der zweiten Gruppe darstellt; Mi­ schen oder Mergen des Kurzcodes, des Langcodes und des Escape-Codes, an den die Vektordaten der dritten Gruppe an­ gefügt sind, mit Nicht-Vektordaten von der Speichervorrich­ tung, um eine komprimierte Prüfmusterdatei zu erzeugen; Emp­ fangen des komprimierten Prüfmusters durch eine Entkompri­ mierungseinrichtung und Erfassen des Kurzcodes, des Lang­ codes und des Escape-Codes im komprimierten Prüfmuster; Übersetzen des Kurzcodes und des Langcodes in entsprechende Vektordaten der ersten und der zweiten Gruppe basierend auf dem in der Übersetzungstabelle dargestellten Zusammenhang durch die Entkomprimierungseinrichtung; und Übertragen der durch die Entkomprimierungseinrichtung übersetzten Vektorda­ ten der ersten und der zweiten Gruppe und der Vektordaten der dritten Gruppe zum Musterspeicher des Halbleiterprüfsy­ stems.

Erfindungsgemäß wird die Übertragungsgeschwindigkeit für die Prüfmuster von der Festplatte des Hostcomputers zum Musterspeicher des Halbleiterprüfsystems durch Komprimieren der Musterdaten, Übertragen der komprimierten Musterdaten zum Halbleiterprüfsystem und Entkomprimieren der komprimier­ ten Musterdaten im Halbleiterprüfsystem verbessert. Für die erfindungsgemäße Prüfmusterkomprimierung und -entkomprimie­ rung sind ein eindeutiges Codierungssystem mit einem Kurz-, einem Lang- und einem Escape-Code sowie eine Übersetzungsta­ belle vorgesehen, um eine optimale Effizienz und Einfachheit zu erhalten.

Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung kann der Komprimierungs- und Entkomprimierungsprozeß ausschließlich durch Software ausgeführt werden. Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung wird der Komprimierungsprozeß durch Software ausgeführt, während der Entkomprimierungspro­ zeß durch eine Hardware-Entkomprimierungsschaltung ausge­ führt wird. Durch die Kombination aus der Komprimierungs­ software und der Entkomprimierungshardware werden die vor­ teilhaftesten Wirkungen hinsichtlich einer Reduzierung der Zeit erhalten, die zum Übertragen des Prüfmusters von der Hostcomputerdatei zum Musterspeicher des Mustergenerators des Halbleiterprüfsystems benötigt wird.

Die Erfindung wird nachstehend anhand der Zeichnung nä­ her erläutert; es zeigen:

Fig. 1 ein schematisches Blockdiagramm zum Darstellen einer Grundstruktur eines Halbleiterprüfsystems zum Prüfen eines Halbleiterbausteins;

Fig. 2 ein Datenflußdiagramm zum Darstellen eines Grundkonzepts eines für ein erfindungsgemäßes Halbleiter­ prüfsystem verwendeten Prüfmusterkomprimierungs- und -ent­ komprimierungsschemas;

Fig. 3A und 3B Blockdiagramme, in denen jeweils eine Grundstruktur eines durch erfindungsgemäße Hardware ausge­ führten Prüfmusterentkomprimierungsprozesses dargestellt ist;

Fig. 4 ein Blockdiagramm zum Darstellen eines erfin­ dungsgemäßen Prüfmusterkomprimierungsprozesses;

Fig. 5A-5D ausführliche Diagramme zum Erläutern des erfindungsgemäßen Prüfmusterkomprimierungs- und -entkompri­ mierungsverfahrens anhand eines bestimmten Beispiels; Fig. 5A zeigt einen Satz von Prüfmustern vor der Komprimierung, und Fig. 5B zeigt Datenwiederholungshäufigkeiten für das Beispiel von Fig. 5A; Fig. 5C zeigt ein Beispiel einer auf der Basis von Fig. 5A und 5B erzeugten Übersetzungstabelle; und Fig. 5D zeigt den Prüfmustern von Fig. 5A entsprechen­ de komprimierte Daten;

Fig. 6A-6C zeigen schematische Diagramme zum Dar­ stellen erfindungsgemäßer komprimierter Datenstrukturen ba­ sierend auf den Beispielen von Fig. 5A und 5B; Fig. 6A zeigt eine Struktur eines 1-Byte-Codes; Fig. 6B zeigt eine Struktur eines 2-Byte-Codes; und Fig. 6C zeigt eine Struk­ tur eines 9-Byte-Codes, der eine Kombination aus einem In­ dexcode und 8-Byte-Musterdaten ist;

Fig. 7 zeigt ein Zustandsdiagramm zum Darstellen des durch erfindungsgemäße Software ausgeführten Prüfmusterkom­ primierungsprozesses; und

Fig. 8 zeigt ein Blockdiagramm zum Darstellen einer erfindungsgemaßen Prüfmusterkomprimierungsschaltung.

Fig. 2 zeigt ein schematisches Diagramm zum Darstellen eines Grundkonzepts eines erfindungsgemäßen Prüfmusterkom­ primierungs- und -entkomprimierungsschemas. Grundsätzlich wird das ursprüngliche Prüfmuster komprimiert und in einer komprimierten Musterdatei gespeichert. Beim Prüfen eines Halbleiterbausteins werden die komprimierten Musterdaten zur Halbleiterprüfvorrichtung übertragen, wo sie komprimiert werden, um die Gesamtübertragungsgeschwindigkeit des Prüfmu­ sters zu erhöhen. In Fig. 2 ist dieser Vorgang durch ein Datenflußdiagramm dargestellt.

In Schritt S11 werden die Prüfmusterdaten in der Prüf­ musterdatei in Vektordaten (sich wiederholende Daten) und in Nicht-Vektordaten (sich nicht wiederholende Daten) klassifi­ ziert. Die Vektordaten in der Musterdatei werden in Schritt S12 komprimiert, um komprimierte Vektoren zu erzeugen. Die komprimierten Vektoren werden in Schritt S13 mit den Nicht- Vektordaten in der Musterdatei gemischt, um eine von der in Schritt S11 gebildeten ursprünglichen Datei getrennte, kom­ primierte Musterdatei zu erzeugen. Daher ist die Musterdatei eine Kombination aus Nicht-Vektordaten und komprimierten Vektordaten. Wie später erläutert wird, weist die kompri­ mierte Musterdatei auch eine in einem Entkomprimierungspro­ zeß verwendete Übersetzungstabelle (Tabelle) auf.

Vor Beginn des Prüfvorgangs wird durch einen Hostcompu­ ter, z. B. eines Unix-Betriebssystems, in Schritt S14 eine Leseanforderung über den Festplattentreiber bereitgestellt, so daß die komprimierte Musterdatei in Schritt S15 über ei­ nen Lesepuffer zu einer Prüfsystemsteuerung (TC) übertragen wird. Die komprimierte Musterdatei wird in Schritt S16 durch einen später beschriebenen Entkomprimierungsprozeß entkom­ primiert. Dadurch wird das entkomprimierte Prüfmuster über den Prüfsystembus zu einem Musterspeicher 18 im Mustergene­ rator übertragen. Die zum Übertragen der Musterdaten vom Hostcomputer zum Musterspeicher benötigte (durch die Über­ tragungsgeschwindigkeiten vorgegebene) Gesamtzeit wird durch das in Fig. 2 dargestellten Komprimierungs- und Ent­ komprimierungsverfahren reduziert.

Wesentlich höhere Übertragungsgeschwindigkeiten können durch Verwendung einer Hardware-Entkomprimierungsschaltung erreicht werden. Fig. 3A und 3B zeigen Blockdiagramme, in denen jeweils eine Grundstruktur einer durch Hardware erhal­ tenen Prüfdatenkomprimierung dargestellt ist. Wie im in Fig. 2 dargestellten Beispiel eines erfindungsgemäßen Soft­ ware-Komprimierungs- und Entkomprimierungsschemas darge­ stellt ist, werden die entkomprimierten Prüfmuster von der Prüfsystemsteuerung TC über den Prüfsystembus zum Muster­ speicher 18 übertragen. Im Hardware-Entkomprimierungsprozeß werden die komprimierten Prüfmuster über den Prüfsystembus übertragen, und der Entkomprimierungsprozeß wird in der Prüfsystem-Hardware 10 oder außerhalb der Prüfsystem- Hardware 10 ausgeführt, bevor die Prüfmuster im Musterspei­ cher 18 gespeichert werden.

Fig. 3A zeigt ein Beispiel einer Grundstruktur des Hardware-Entkomprimierungsprozesses. In diesem Beispiel ist in der Prüfsystem-Hardware 10 in der Nähe des Musterspeichers 18 eine Hardware-Entkomprimierungsschaltung 23 angeordnet. Die beispielsweise in Schritt 13 von Fig. 2 erzeugte kom­ primierte Musterdatei wird vom Hostcomputer 11 und von der Prüfsystemsteuerung TC über den Prüfsystembus übertragen. Die komprimierte Datei wird durch die Hardware-Entkompri­ mierungsschaltung 23 empfangen, wo sie entkomprimiert wird, und wird im Musterspeicher 18 gespeichert.

Fig. 3B zeigt ein anderes Beispiel einer Grundstruktur des Hardware-Entkomprimierungsprozesses. In diesem Beispiel ist eine Hardware-Entkomprimierungsschaltung 23 außerhalb der Prüfsystem-Hardware 10 in der Nähe des Musterspeichers 18 angeordnet. Die gemäß dem vorstehend erwähnten Verfahren erzeugte komprimierte Musterdatei wird vom Hostcomputer 11 und von der Prüfsystemsteuerung TC über den Prüfsystembus übertragen. Die entkomprimierte Datei wird dann durch die Hardware-Entkomprimierungsschaltung 23 empfangen. Die ent­ komprimierte Musterdatei wird dann über eine beispielsweise auf einer gedruckten Schaltung bereitgestellte Busleitung zum Musterspeicher 18 in der Prüfsystem-Hardware 10 übertra­ gen.

Fig. 4 zeigt ein Blockdiagramm eines erfindungsgemäßen Prüfmusterkomprimierungsverfahrens. Wie unter Bezug auf Fig. 1 beschrieben wurde, werden zunächst die Vektordaten ex­ trahiert und schließlich nach dem Komprimierungsprozeß mit den Nicht-Vektordaten gemischt, um die Nicht-Vektorinfor­ mation zu sichern. Die gemischten Daten (komprimiertes Mu­ ster) werden wie in Schritt S13 von Fig. 2 in einer kompri­ mierten Musterdatei gespeichert.

Erfindungsgemäß findet die Musterdatenkomprimierung in zwei Arbeitsvorgängen statt, wie in Fig. 4 dargestellt. Beispielsweise kann das Muster aus einer großen Anzahl von Prüfmustern bestehen, die jeweils eine Länge von 8 Byte auf­ weisen. Die Prüfmuster sind in Vektordaten eingeteilt, die sich wiederholende Daten sind, und in Nicht-Vektordaten, die keine sich wiederholenden Daten sind. Die Vektordaten, die jeweils aus einem 8-Byte-Muster bestehen, werden basierend auf der Datenwiederholungshäufigkeit weiter unterteilt in eine kleine Anzahl von Gruppen.

Die erste Gruppe der Musterdaten in der Musterdatei, die größere Wiederholungshäufigkeiten aufweisen, werden durch eine zugeordnete Übersetzungstabelle durch 1-Byte- Codes dargestellt. Die zweite Gruppe von Musterdaten in der Musterdatei, die geringere Wiederholungshäufigkeiten aufwei­ sen, werden durch die zugeordnete Übersetzungstabelle durch 2-Byte-Codes dargestellt. Die dritte Gruppe von Musterdaten, die noch immer Vektormusterdaten sind, jedoch eine geringere Wiederholungshäufigkeit als die Daten der zweiten Gruppe aufweisen, werden nicht komprimiert.

Daher werden die Musterdaten in der ersten und in der zweiten Gruppe komprimiert und später entkomprimiert, nach­ dem sie zum Prüfsystem übertragen wurden. Die Musterdaten der dritten Gruppe werden dagegen nicht komprimiert, und werden in der Einheit von 9 Byte (Ein Indexbyte und 8 Byte für Musterdaten) zum Musterspeicher der Prüfsystem-Hardware übertragen. Im 1-Byte-Code, im 2-Byte-Code oder im 9-Byte- Code wird das erste Byte als Indexcode verwendet, um zu kennzeichnen, zu welcher Gruppe der betrachtete Code gehört, wie nachstehend ausführlicher erläutert wird.

Die erste, die zweite und die dritte Gruppe von Muster­ daten und die Übersetzungstabelle werden gemischt und als komprimierte Datei auf der Festplatte des Hostcomputers ge­ speichert. Wie vorstehend erwähnt, wird durch das erste Byte der Daten in der komprimierten Datei zwischen der ersten, der zweiten und der dritten Gruppe unterschieden. Dieser Un­ terscheidungsvorgang wird im später beschriebenen Entkompri­ mierungsprozeß ausgeführt.

Gemäß der vorstehenden Beschreibung werden die Muster­ daten als 8-Byte-Wörter behandelt. Die Sequenz- oder Folgen­ länge der Vektordaten kann jedoch auch 4 Byte betragen. Durch diese kürzere Sequenz- oder Folgenlänge wird eine grö­ ßere Wiederholungshäufigkeit erhalten, für die verbesserte Komprimierung ist jedoch ein wesentlich komplexerer Kompri­ mierungs- und Entkomprimierungsalgorithmus erforderlich. Em­ pirische Ergebnisse von Musterdateidaten zeigen, daß durch Codieren von 8-Byte-Mustern ein guter Kompromiß zwischen der Wiederholungshäufigkeit, dem Komprimierungsverhältnis und der Entkomprimierungsgeschwindigkeit erhalten wird.

Unter Bezug auf das besondere Beispiel von Fig. 4 wer­ den aus der in Schritt S11 erzeugten Musterdatei in Schritt S22 die darin enthaltenen Vektordaten extrahiert. Die Vek­ tordaten werden hinsichtlich der Datenwiederholungshäufig­ keit analysiert, und die Übersetzungstabelle wird in der Ordnung der Wiederholungshäufigkeit erstellt. Basierend auf der Häufigkeitstabelle werden die Vektordaten in drei Grup­ pen eingeteilt: in Schritt S23 in eine erste Gruppe mit grö­ ßeren Wiederholungshäufigkeiten (sich am häufigsten wieder­ holende Vektordaten), in Schritt S24 in eine zweite Gruppe mit geringeren Wiederholungshäufigkeiten als diejenigen der ersten Gruppe und in Schritt S26 in eine dritte Gruppe mit den geringsten Wiederholungshäufigkeiten.

In Schritt S25 werden alle Musterdaten der ersten Grup­ pe in der Ordnung der Wiederholungshäufigkeit in einen Kurz­ code, z. B. 1 Byte (8 Bit), umgewandelt. Außerdem werden alle Musterdaten der zweiten Gruppe in der Ordnung der Wiederho­ lungshäufigkeit in einen Langcode, z. B. 2 Byte (16 Bit), um­ gewandelt. Die im Entkomprimierungsprozeß zu verwendende Übersetzungstabelle (die die Umwandlungsregeln darstellende Tabelle) wird ebenfalls in Schritt S25 erstellt.

Weil die dritte Gruppe von Vektordaten die geringsten Wiederholungshäufigkeiten aufweist, wird durch den Kompri­ mierungs- und den Entkomprimierungsprozeß keine wesentliche Verbesserung der Übertragungsgeschwindigkeit erhalten. Daher werden, anders als für die erste und die zweite Gruppe, die Vektordaten der dritten Gruppe nicht durch Kurzcodes er­ setzt, sondern ihnen wird lediglich in Schritt S26 ein In­ dexcode zugeordnet. Die Musterdaten in dieser Gruppe werden beispielsweise aus 9 Byte gebildet, d. h. ein erstes Byte für den Index und die übrigen 8 Byte für die Musterdaten selbst in ihrer ursprünglichen Form.

Die codierten Vektoren und die Übersetzungstabelle, die in Schritt S25 erzeugt wurden, und die in Schritt S26 be­ stimmten uncodierten Vektoren werden in Schritt S27 als kom­ primierte Vektordaten kombiniert. Die in Schritt S27 gebil­ deten komprimierten Vektordaten und die in Schritt S11 er­ zeugten Nicht-Vektordaten in der Musterdatei werden in Schritt S13 gemischt, um die komprimierte Musterdatei zu bilden. Die komprimierte Musterdatei wird auf der Festplatte des Hostcomputers gespeichert und vor dem Prüfvorgang zum Prüfsystem übertragen, wo sie entkomprimiert wird.

Fig. 5A-5D zeigen detaillierte Diagramme zum Er­ läutern des erfindungsgemäßen Prüfmusterentkomprimierungs­ verfahrens anhand eines Beispiels. Fig. 5A zeigt ein sche­ matisches Diagramm zum Darstellen von Prüfmustern in der Mu­ sterdatei. Fig. 5B zeigt ein schematisches Diagramm zum Darstellen der Ordnung von Datenwiederholungshäufigkeiten in den Prüfmustern von Fig. 5A. Fig. 5C zeigt ein schemati­ sches Diagramm zum Darstellen eines Beispiels einer erfin­ dungsgemäßen Übersetzungstabelle für die Entkomprimierung der Prüfmuster von Fig. 5A. Fig. 5D zeigt ein schemati­ sches Diagramm zum Darstellen komprimierter Prüfmuster ba­ sierend auf der Übersetzungstabelle von Fig. 5C für die ur­ sprünglichen Prüfmuster von Fig. 5A.

In diesem Beispiel von Fig. 5A hat jedes der Prüfmu­ ster eine Länge von 8 Byte. Die Prüfmuster von Fig. 5A sind auf der Festplatte des Hostcomputers gespeichert. Vorzugs­ weise werden die Prüfmuster vor der Übertragung zur Prüfsy­ stem-Hardware in komprimierte Prüfmuster umgewandelt und zu­ sammen mit der Übersetzungstabelle auf der Festplatte in ei­ ner komprimierten Musterdatei gespeichert.

Alle Prüfmusterdaten von Fig. 5A werden gelesen, und ihre Datenwiederholungshäufigkeit wird analysiert. Das Er­ gebnis der Wiederholungshäufigkeitanalyse ist in der Häufig­ keitstabelle von Fig. 5B dargestellt. In diesem Beispiel hat das Muster B die größte Häufigkeit, gefolgt von den Mu­ stern D, A und F. Basierend auf der Häufigkeitstabelle wer­ den die Musterdaten in drei Gruppen eingeteilt. Diese Verar­ beitung wird in den Schritten S22-S24 von Fig. 4 ausge­ führt, wie vorstehend beschrieben.

Die erste Gruppe hat die größte Wiederholungshäufig­ keit. In diesem Beispiel weist die erste Gruppe 127 sich am häufigsten wiederholende Musterdaten auf. Daher werden die Prüfmuster in der ersten Gruppe in 1-Byte-Codes umgewandelt, die die Indexzahl von 0-126 in der Ordnung der Wiederho­ lungshäufigkeit darstellen, wie in der Übersetzungstabelle von Fig. 5C dargestellt. Die zweite Gruppe der Prüfmuster weist eine geringere Wiederholungshäufigkeit auf als die Prüfmuster der ersten Gruppe. Die zweite Gruppe von Prüfmu­ stern kann 1920 Prüfmuster aufweisen. Die Prüfmuster der zweiten Gruppe werden in 2-Byte-Codes umgewandelt, die die Indexzahlen von 128-2047 in der Ordnung der Wiederholungs­ häufigkeit darstellen, wie im unteren Teil von Fig. 5C dar­ gestellt.

Die dritte Gruppe der Prüfmuster hat die geringste Wie­ derholungshäufigkeit. Bei der dritten Gruppe wird berück­ sichtigt, daß durch den Komprimierungs- und den Entkompri­ mierungsprozeß keine wesentliche Verbesserung der Übertra­ gungsgeschwindigkeit der Prüfmuster erhalten wird. Daher werden, anders als bei der ersten und der zweiten Gruppe, die Vektordaten der dritten Gruppe nicht durch Kurzcodes er­ setzt, sondern ihnen wird der Indexcode zugeordnet. Bei­ spielsweise werden die Musterdaten in dieser Gruppe aus 9 Byte gebildet, wobei das erste Byte den die Zahl "127" dar­ stellenden Index anzeigt, dem die übrigen 8 Byte folgen, die die Musterdaten in der ursprünglichen Form darstellen.

Wie in der Übersetzungstabelle von Fig. 5C darge­ stellt, wird das Prüfmuster B in "0" umgewandelt, und das Prüfmuster D wird in "1" umgewandelt. Ahnlicherweise werden die Prüfmuster A, F, E und G in "2", "3", "4" bzw. "5" umge­ wandelt. Basierend auf dieser Übersetzung wird das Prüfmu­ ster von Fig. 5A in das komprimierte Prüfmuster von Fig. 5D umgewandelt. In Fig. 5D wird jedes der komprimierten Prüfmuster durch ein Byte dargestellt, weil die Prüfmuster von Fig. 5A innerhalb der ersten 127 sich am häufigsten wiederholenden Prüfmuster liegen.

Wenn eine Wiederholungshäufigkeit eines Prüfmusters von Fig. 5A kleiner ist als 127, d. h. im Bereich zwischen 128 und 2047 liegt, werden die entsprechenden komprimierten Prüfmuster von Fig. 5D durch zwei Bytes dargestellt. In der Übersetzungstabelle von Fig. 5C wird, wenn das erste Byte eine Zahl "127" anzeigt, das entsprechende 8-Byte-Prüfmuster nicht kompriiniert, sondern es wird lediglich an das erste Byte angefügt, wie in Fig. 6C dargestellt.

Das komprimierte Prüfmuster von Fig. 5D und die Über­ setzungstabelle von Fig. 5C werden in der komprimierten Mu­ sterdatei gespeichert. Die komprimierte Musterdatei wird vor dem Prüfvorgang für einen Halbleiterbaustein zum Halbleiter­ prüfsystem übertragen, um einen Entkomprimierungsprozeß aus­ zuführen.

Die Fig. 6A-6C zeigen die Struktur des 1-Byte-, des 2-Byte- und des 9-Byte-Codes des zum Halbleiterprüfsy­ stem zu übertragenden erfindungsgemäßen Prüfmusters. Wie vorstehend erwähnt, wird das erste Byte als Indexcode ver­ wendet. In Fig. 6A stellt der 1-Byte-Code (Indexcode) die erste Gruppe von Prüfmustern mit der größten Wiederholungs­ häufigkeit dar. In diesem Beispiel stellt der 1-Byte-Code die Zahlen 0-127 in der Ordnung der Wiederholungshäufigkeit dar. Wenn der Code eine Zahl "0" darstellt, wird dadurch das Prüfmuster B dargestellt, das im Beispiel von Fig. 5 die größte Wiederholungshäufigkeit aufweist. Wenn der 1-Byte- Code eine Zahl "4" darstellt, wird dadurch im Beispiel von Fig. 5 das Prüfmuster E dargestellt.

Fig. 6B zeigt den erfindungsgemäßen 2-Byte-Code. Der 2-Byte-Code wird zum Darstellen der zweiten Gruppe von Prüf­ mustern verwendet, die eine geringere Wiederholungshäufig­ keit als diejenigen der ersten Gruppe aufweisen. Im 2-Byte- Code zeigt das erste Byte (Indexcode) Zahlen an, die größer sind als "127". Im Beispiel der Fig. 5 und 6 werden die Prüfmuster, deren Wiederholungshäufigkeit im Bereich von 128-2047 liegt, zu den in Fig. 6B dargestellten 2-Byte-Codes komprimiert. Wenn beispielsweise der 2-Byte-Code eine Zahl "128" darstellt, stellt er im Beispiel von Fig. 5 das Prüf­ muster Q dar. Wenn der 2-Byte-Code eine Zahl "2047" dar­ stellt, stellt er im Beispiel von Fig. 5 das Prüfmuster x dar.

Fig. 6C zeigt den erfindungsgemäßen 9-Byte-Code. Der 9-Byte-Code ist ein Escape-Code, der nicht dem erfindungsge­ mäßen Komprimierungs- oder Entkomprimierungsprozeß unterzo­ gen wird. Weil die Datenwiederholungshäufigkeit in bestimm­ ten Prüfmustern sehr gering ist, werden die 8-Byte-Wörter nicht komprimiert, sondern stattdessen an den Indexcode an­ gefügt. Der Indexcode zum Identifizieren dieser Gruppe von Musterdaten ist beispielsweise eine Zahl "127". Daher werden die 9-Byte-Codes von Fig. 6C zusammen mit den 1-Byte-Codes und den 2-Byte-Codes in der komprimierten Datei gespeichert.

Die in Fig. 5D dargestellten komprimierten Prüfmuster (d. h. die Codes von Fig. 6) und die Übersetzungstabelle von Fig. 5C werden zum Prüfsystem übertragen, wodurch ein Ent­ komprimierungsprozeß ausgeführt wird. Der Entkomprimierungs­ prozeß kann entweder durch ein Software-Programm oder durch eine Hardware-Entkomprimierungsschaltung ausgeführt werden. Die Software-Entkomprimierungsverarbeitung wird durch eine mit der Prüfsystem-Hardware verbundene Prüfsystemsteuerung TC ausgeführt. Wie in Fig. 3 dargestellt, wird die Hard­ ware-Entkomprimierungsverarbeitung durch die Entkomprimie­ rungsschaltung ausgeführt, die in der Prüfsystem-Hardware 11 in der Nähe des Musterspeichers im Mustergenerator oder au­ ßerhalb der Prüfsystem-Hardware 11 angeordnet ist.

Fig. 7 zeigt ein Zustandsdiagramm zum Darstellen des durch eine erfindungsgemäße Software-Entkomprimierungsverar­ beitung ausgeführten Prüfmuster-Entkomprimierungsprozesses. Der erfindungsgemäße Entkomprimierungsalgorithmus kann als eine Codierfolge von 1, 2 oder 9 Bytes in ein 64-Bit- Datenwort beschrieben werden. Aus diesen Codefolgen wird ein Datenstrom erzeugt, wodurch ein decodierter Ausgangsstrom von 64-Bit-(8-Byte-)Datenwörtern erhalten wird. Wie vor­ stehend erwähnt, werden die komprimierten Prüfmuster, d. h. die 1-Byte-, 2-Byte- und 9-Byte-Codes, und die Übersetzungs­ tabelle (Tabelle) von Fig. 5 und 6 vor dem Entkomprimie­ rungsprozeß zum Prüfsystem übertragen.

Der Entkomprimierungsprozeß beginnt in Schritt S3l, um das erste Byte (Indexcode) des komprimierten Prüfmusters zu lesen und zu erfassen, ob der betrachtete Code ein Kurzcode (1-Byte-Code), ein Langcode (2-Byte-Code) oder ein Escape- Code (9-Byte-Code) ist. Wenn das erste Byte anzeigt, daß der betrachtete Code ein 1-Byte-Code ist, wird der 1-Byte-Code in Schritt S32 in eine Indexzahl umgewandelt. Im Beispiel von Fig. 5 und 6 ist diese Indexzahl kleiner als "127". Das durch diese Indexzahl angezeigte 64-Bit-Wort (Prüfmuster) wird in Schritt S35 aus der Übersetzungstabelle abgerufen.

Das übersetzte Prüfmuster wird in Schritt S36 ausgegeben und zum Musterspeicher in der Prüfsystem-Hardware übertragen.

Wenn das erste Byte anzeigt, daß der betrachtete Code ein 2-Byte-Code ist, wird in Schritt S33 das zweite Byte ge­ lesen, und der 2-Byte-Code wird in eine Indexzahl umgewan­ delt. Im Beispiel von Fig. 5 und 6 ist diese Indexzahl grö­ ßer als 127 und kleiner als 2048. Das durch die Indexzahl angezeigte 64-Bit-Wort wird in Schritt S35 in der Überset­ zungstabelle abgerufen. Das übersetzte Prüfmuster wird in Schritt S36 ausgegeben und zum Musterspeicher in der Prüfsy­ stein-Hardware übertragen.

Wenn das erste Byte anzeigt, daß der Code ein 9-Byte- Code ist, wird in Schritt S34 das an das erste Byte angefüg­ te 8-Byte-Wort gelesen und in Schritt S36 direkt als Prüfmu­ ster ausgegeben. Jedesmal wenn das Prüfmuster in Schritt S36 ausgegeben wird, springt die Verarbeitung zu Schritt S3l zu­ rück, um die vorstehend beschriebenen Schritte zu wiederho­ len. Wenn beim Lesen der Codes oder beim Übersetzen der In­ dexzahlen ein Fehler auftritt, tritt in Schritt S37 der Ver­ arbeitung eine Störung auf. Wenn das letzte komprimierte Da­ tenelement im Entkomprimierungsprozeß ausgeführt wird, endet die Verarbeitung in Schritt S38.

Fig. 8 zeigt ein Blockdiagramm der erfindungsgemäßen Prüfmusterentkomprimierungsschaltung. Die Entkomprimierungs­ schaltung weist einen Signalspeicher 41, eine Steuerlogik 43, eine UND-Schaltung 45, einen Speicher 47 und eine Aus­ wahleinrichtung 49 auf. Die Steuerlogik 43 steuert die ge­ samte Operation der in der Entkomprimierungsschaltung ausge­ führten Entkomprimierungsverarbeitung. Am Beginn der Entkom­ primierungsverarbeitung wird im Speicher 47 die in Fig. 5C dargestellte, von der komprimierten Musterdatei erhaltene Übersetzungstabelle (Tabelle) gespeichert.

Die komprimierten Musterdaten von der komprimierten Mu­ sterdatei werden dem Eingang "Din7-0" der Entkomprimierungs­ schaltung von Fig. 8 als Datenstrom zugeführt. Die Kommuni­ kation zwischen der komprimierten Datei und der Entkompri­ mierungsschaltung und zwischen der Entkomprimierungsschal­ tung und dem Musterspeicher erfolgt beispielsweise im Quit­ tungsbetrieb über in Fig. 8 dargestellte Leitungen, die durch Freigabesignale "WriteStrobe", "ReadyIn", "DataReady" und "DataAccepted" geschaltet werden. Obwohl nicht darge­ stellt, weist die Entkomprimierungsschaltung eine Eingangs­ vorrichtung und eine Ausgangsvorrichtung zum Empfangen und Übertragen der Musterdaten auf.

Wenn "ReadyIn" und "WriteStrobe" wahr sind, taktet die Steuerlogik 43 den Signalspeicher 41 so, daß ein Byte der komprimierten Musterdaten über die Eingangsvorrichtung im Signalspeicher 41 gespeichert wird. Die Steuerlogik 43 prüft, ob das durch den Signalspeicher 41 gespeicherte Byte "D7-0" einem 1-Byte-, einem 2-Byte- oder einem 9-Byte-Code zugeordnet ist. Gleichzeitig setzt die Steuerlogik 43 "Rea­ dyIn" auf unwahr.

Wenn die durch die Entkomprimierungsschaltung empfange­ nen komprimierten Daten ein 1-Byte-Code sind, wird das Byte "D7-0" durch die Tabelle im Speicher 47 in ein 64-Bit- Musterdatenelement "M63-0" übersetzt. Die Steuerlogik 43 stellt die Auswahleinrichtung 49 so ein, daß das Datenele­ ment "M63-0" als Ausgangsdatenelement "Dout63-0" ausgewählt wird, und stellt die UND-Schaltung 45 so ein, daß das Aus­ gangssignal (das zweite Byte) "A14-8" null wird. Wenn "Da­ taAccepted" wahr ist, wird die durch "DataReady" geschaltete Leitung freigegeben, um das Datenelement "Dout63-0" zur Aus­ gangsvorrichtung zu takten. Daraufhin wird "Readyln" auf wahr gesetzt.

Wenn die Eingangsdaten ein 2-Byte-Code sind, setzt die Steuerlogik 43 "ReadyIn" auf wahr und taktet den Signalspei­ cher 41, um das im Eingangssignal "Din7-0" angeordnete näch­ ste Byte zu empfangen. Das durch den Signalspeicher 41 emp­ fangene zweite Byte ist in Fig. 8 durch den Code "D14-6" dargestellt. Die Steuerlogik 43 stellt die UND-Schaltung 45 so ein, daß der Code "D14-8" durchgelassen und als Code "A14-8" ausgegeben wird. Das erste Byte "D7-0" und das zwei­ te Byte "A14-8" greifen auf den Speicher 47 zu, um das ent­ komprimierte 8-Byte-Musterdatenelement "M63-0" durch die Ta­ belle zu erzeugen. Die Steuerlogik 43 stellt die Auswahlein­ richtung 49 so ein, daß das Datenelement "M63-0" als Aus­ gangsdatenelement "Dout63-0" ausgewählt wird. Wenn "DataAc­ cepted" wahr ist, wird die "DataReady"-Leitung freigegeben, um das Datenelement "Dout63-0" zur Ausgangsvorrichtung zu takten. Daraufhin wird "ReadyIn" auf wahr gesetzt.

Wenn die Eingangsdaten ein 9-Byte-Code sind, setzt die Steuerlogik 43 "ReadyIn" auf wahr und taktet den Signalspei­ cher 41, um die im Eingangssignal "Din7-0" angeordneten nächsten 8 Byte anzunehmen, indem die Quittungsfreigabesi­ gnale "WriteStrobe" und "ReadyIn" achtmal wiederholt werden. Die so durch die Signalspeicherschaltung 41 gespeicherten acht Bytes sind in Fig. 8 das Musterdatenelement "D63-0". Die Steuerlogik 43 stellt die Auswahleinrichtung 49 so ein, daß das Musterdatenelement "D63-0" als Ausgangsdatenelement "Dout63-0" ausgewählt wird. Wenn "DataAccepted" wahr ist, wird die durch "DataReady" geschaltete Leitung freigegeben, um das Datenelement "Dout63-0" zur Ausgangsvorrichtung zu takten. Daraufhin wird "ReadyIn" auf wahr gesetzt.

Gemäß der vorstehenden Beschreibung wird der Entkompri­ mierungsprozeß durch die Hardware-Entkomprimierungsschaltung ausgeführt. Durch Verwendung der Hardware-Entkomprimierung sind die den Prüfsystembus 14 von Fig. 1 durchlaufenden Da­ ten weiterhin die komprimierten Musterdaten, so daß die höchste Übertragungsgeschwindigkeit erhalten werden kann.

Erfindungsgemäß wird die Übertragungsgeschwindigkeit der Musterdaten von der Festplatte des Hostcomputers zum Mu­ sterspeicher des Halbleiterprüfsystems durch Komprimieren der Musterdaten, Übertragen der komprimierten Musterdaten zum Halbleiterprüfsystem und Entkomprimieren der komprimier­ ten Musterdaten im Halbleiterprüfsystem wesentlich verbes­ sert. Für die erfindungsgemäße Prüfmusterkomprimierung und - entkomprimierung werden ein eindeutiges Codierungssystem mit einem Kurzcode, einem Langcode und einem Escape-Code und ei­ ne Übersetzungstabelle verwendet, um eine optimale Effizienz und Einfachheit zu erhalten.

Der Komprimierungs- und der Entkomprimierungsprozeß können gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung aus­ schließlich durch Software ausgeführt werden. Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung wird der Kompri­ mierungsprozeß durch Software ausgeführt, während der Ent­ komprimierungsprozeß durch eine Hardware-Entkomprimierungs­ schaltung ausgeführt wird. Durch die Kombination aus Kompri­ mierungssoftware und Entkomprimierungshardware werden die vorteilhaftesten Wirkungen zum Reduzieren der Zeit erreicht, die zum Übertragen der Prüfmuster von der Hostcomputerdatei zum Musterspeicher des Mustergenerators des Halbleiter­ prüfsystems benötigt wird.

Claims (15)

1. Komprimierungs- und Entkomprimierungsverfahren zum Übertragen von Prüfmusterdaten von einer Speichervor­ richtung eines Hostcomputers zu einem Musterspeicher eines Halbleiterprüfsystems zum Prüfen eines Halblei­ terbausteins mit den Schritten:
Extrahieren von Vektordaten von einer Prüfmuster­ datei in der Speichervorrichtung;
Klassifizieren der Vektordaten in drei Gruppen:
eine erste Gruppe mit einer größeren Datenwiederho­ lungshäufigkeit, eine zweite Gruppe mit einer mittleren Datenwiederholungshäufigkeit und eine dritte Gruppe mit einer geringeren Datenwiederholungshäufigkeit als die­ jenige der ersten oder der zweiten Gruppe;
Umwandeln der Vektordaten in der ersten und in der zweiten Gruppe in einen Kurzcode bzw. in einen Lang­ code, Kennzeichnen einer Ordnung der Datenwiederho­ lungshäufigkeit und Kennzeichnen der Vektordaten in der dritten Gruppe durch einen Escape-Code und Anhängen der Vektordaten der dritten Gruppe an den Escape-Code;
Erzeugen einer Übersetzungstabelle, die den Zusam­ menhang zwischen dem Kurzcode und den Vektordaten in der ersten Gruppe und zwischen dem Langcode und den Vektordaten in der zweiten Gruppe darstellt;
Mischen des Kurzcodes, des Langcodes und des Escape-Codes, an den die Vektordaten der dritten Gruppe angefügt sind, mit Nicht-Vektordaten von der Speicher­ vorrichtung, um eine komprimierte Prüfmusterdatei zu erzeugen;
Empfangen der komprimierten Prüfmuster durch eine Entkomprimierungseinrichtung und Erfassen des Kurz­ codes, des Langcodes und des Escape-Codes im kompri­ mierten Prüfmuster;
Übersetzen des Kurzcodes und des Langcodes in ent­ sprechende Vektordaten der ersten und der zweiten Grup­ pe basierend auf dem in der Übersetzungstabelle darge­ stellten Zusammenhang durch die Entkomprimierungsein­ richtung; und
Übertragen der durch die Entkomprimierungseinrich­ tung übersetzten Vektordaten der ersten und der zweiten Gruppe und der Vektordaten der dritten Gruppe zum Mu­ sterspeicher des Halbleiterprüfsystems.

2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei jedes der Vektorda­ tenelemente in der Musterdatei durch acht Byte (64 Bit), der Kurzcode durch ein Byte und der Langcode durch zwei Byte gebildet wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1, wobei jedes der Vektorda­ tenelemente in der Musterdatei durch acht Byte (64 Bit), der Kurzcode durch ein Byte, der Langcode durch zwei Byte und der Escape-Code durch ein Byte gebildet wird, an das acht Byte Vektordaten der dritten Gruppe angefügt sind.

4. Verfahren nach Anspruch 1, wobei jedes der Vektorda­ tenelemente in der Musterdatei durch acht Byte (64 Bit) gebildet wird, und der Kurzcode 127 am häufigsten wie­ derholte Vektordaten der ersten Gruppe darstellt, wäh­ rend der Langcode die nächsten 1920 am häufigsten wie­ derholten Vektordaten der zweiten Gruppe darstellt.

5. Komprimierungs- und Entkomprimierungsvorrichtung zum Übertragen von Prüfmusterdaten von einer Speichervor­ richtung eines Hostcomputers zu einem Musterspeicher eines Halbleiterprüfsystems zum Prüfen eines Halblei­ terbausteins mit:
einer Komprimierungseinrichtung zum Klassifi­ zieren von Vektordaten in den Prüfmusterdaten in eine erste Gruppe, die zu einem Kurzcode komprimiert werden soll, und in eine zweite Gruppe, die nicht komprimiert werden soll, und zum Erzeugen einer Tabelle zum Dar­ stellen des Zusammenhangs zwischen dem Kurzcode und den Vektordaten der ersten Gruppe;
einer komprimierten Prüfmusterdatei, in der ein komprimiertes Prüfmuster gespeichert ist, das den Kurz­ code, die Vektordaten der zweiten Gruppe und die Tabel­ le enthält; und
einer im Halbleiterprüfsystem oder in seiner Nähe angeordneten Hardware-Entkomprimierungsschaltung zum Entkomprimieren des komprimierten Prüfmusters basierend auf dem Kurzcode und dem in der Tabelle dargestellten Zusammenhang, und zum Übertragen des entkomprimierten Prüfmusters zum Musterspeicher des Halbleiterprüfsy­ stems.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, wobei die Komprimierungs­ einrichtung die Vektordaten basierend auf den Datenwie­ derholungshäufigkeiten in der Prüfmusterdatei klassifi­ ziert und die komprimierte Prüfmusterdatei mit dem kom­ primierten Prüfmuster und Nicht-Vektordaten in den Prüfmusterdaten gemischt wird.

7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, wobei die Hardware- Entkomprimierungsschaltung aufweist:
eine Steuerlogik zum Steuern der gesamten Entkom­ primierungsverarbeitung;
einen Signalspeicher zum Empfangen des komprimier­ ten Prüfmusters unter der Steuerung durch die Steuerlo­ gik;
einen Speicher zum Speichern der von der kompri­ mierten Prüfmusterdatei übertragenen Tabelle zum Lesen der Prüfmusterdaten basierend auf dem Kurzcode; und
eine Auswahleinrichtung zum Auswählen der Aus­ gangsdaten des Speichers oder der Ausgangsdaten des Si­ gnalspeichers unter der Steuerung durch die Steuerlo­ gik.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, wobei die Hardware- Entkomprimierungsschaltung außerdem eine UND-Schaltung aufweist, die durch die Steuerlogik gesteuert wird, um ein zweites Byte im Kurzcode zum Speicher zu übertra­ gen.

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 8, wobei je­ des der Vektordatenelemente in den Prüfmusterdaten durch acht Byte (64 Bit) gebildet wird und der Kurzcode durch ein oder zwei Bit gebildet wird.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 8, wobei je­ des der Vektordatenelemente in den Prüfmusterdaten durch acht Byte (64 Bit) gebildet wird und der Kurzcode durch ein oder zwei Bit gebildet wird, und wobei die Vektordaten in der zweiten Gruppe einen durch ein Byte gebildeten Escape-Code aufweisen.

11. Komprimierungs- und Entkomprimierungsvorrichtung zum Übertragen von Prüfmusterdaten von einer Speichervor­ richtung eines Hostcomputers zu einem Musterspeicher eines Halbleiterprüfsystems zum Prüfen eines Halblei­ terbausteins mit:
einer Einrichtung zum Extrahieren von Vektordaten von einer Prüfmusterdatei in der Speichervorrichtung;
einer Einrichtung zum Klassifizieren der Vektorda­ ten in drei Gruppen: eine erste Gruppe mit einer größe­ ren Datenwiederholungshäufigkeit, eine zweite Gruppe mit einer mittleren Datenwiederholungshäufigkeit und eine dritte Gruppe mit einer geringeren Datenwiederho­ lungshäufigkeit als diejenige der ersten oder der zwei­ ten Gruppe;
einer Einrichtung zum Umwandeln der Vektordaten in der ersten und in der zweiten Gruppe in einen Kurzcode bzw. einen Langcode, zum Kennzeichnen einer Ordnung der Datenwiederholungshäufigkeit, und zum Kennzeichnen der Vektordaten in der dritten Gruppe durch einen Escape- Code und zum Anfügen der Vektordaten in der dritten Gruppe an den Escape-Code;
einer Einrichtung zum Erzeugen einer Übersetzungs­ tabelle, die den Zusammenhang zwischen dem Kurzcode und den Vektordaten in der ersten Gruppe und zwischen dem Langcode und den Vektordaten in der zweiten Gruppe dar­ stellt;
einer Einrichtung zum Mischen des Kurzcodes, des Langcodes und des Escape-Codes, an den die Vektordaten der dritten Gruppe angefügt sind, mit Nicht-Vektordaten von der Speichervorrichtung, um eine komprimierte Prüf­ musterdatei zu erzeugen;
einer im Halbleiterprüfsystem oder in seiner Nähe angeordneten Steuerlogik zum Steuern des gesamten Ent­ komprimierungsprozesses;
einem Signalspeicher zum Empfangen des komprimier­ ten Prüfmusters unter der Steuerung durch die Steuerlo­ gik;
einem Speicher zum Speichern der von der kompri­ mierten Prüfmusterdatei übertragenen Übersetzungstabel­ le zum Lesen der Prüfmusterdaten basierend auf dem Kurz- und dem Langcode; und
einer Auswahleinrichtung zum Auswählen der Aus­ gangsdaten des Speichers oder der Ausgangsdaten des Si­ gnalspeichers unter der Steuerung durch die Steuerlo­ gik.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, ferner mit einer durch die Steuerlogik gesteuerten UND-Schaltung zum Zuführen eines zweiten Bytes im Langcode zum Speicher.

13. Vorrichtung nach Anspruch 11 oder 12, wobei jedes der Vektordatenelemente in der Musterdatei durch acht Byte (64 Bit), der Kurzcode durch ein Byte und der Langcode durch zwei Byte gebildet wird.

14. Vorrichtung nach Anspruch 11 oder 12, wobei jedes der Vektordatenelemente in der Musterdatei durch acht Byte (64 Bit), der Kurzcode durch ein Byte, der Langcode durch zwei Byte und der Escape-Code durch ein Byte ge­ bildet wird, an das das 8-Byte-Vektordatenelement der dritten Gruppe angefügt ist.

15. Vorrichtung nach Anspruch 11 oder 12, wobei jedes der Vektordatenelemente in der Musterdatei durch acht Byte (64 Bit) gebildet wird und der Kurzcode 127 am häufig­ sten wiederholte Vektordaten darstellt, während der Langcode die nächsten 1920 am häufigsten wiederholten Vektordaten in der Musterdatei darstellt.