DE19848120A1 - Einrichtung zur Messung der Strahlungsabsorption von Gasen - Google Patents
Einrichtung zur Messung der Strahlungsabsorption von GasenInfo
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Abstract
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Messung der Strahlungsabsorption von Gasen mit einer Strahlungsquelle mit Modulations- und Selektivierungseinrichtungen, einer Absorptionszelle sowie einem Detektor. Um bei einer Einrichtung dieser Art eine Absorptionszelle mit großer effektiver optischer Absorptionsweglänge zu realisieren, wobei die Einrichtung baulich einfach gestaltet und der Justageaufwand möglichst gering sein soll, ist erfindungsgemäß vorgeschlagen, daß das Eintritts- und/oder das Austrittsfenster der Zelle als teildurchlässige Spiegel ausgeführt ist bzw. sind.
Description
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Messung der Strahlungsabsorption von
Gasen, Flüssigkeiten oder Festkörpern, mit einer Strahlungsquelle, einer
Absorptionszelle sowie einem Detektor gemäß Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Der Grundaufbau solcher Einrichtungen besteht aus einer Strahlungsquelle, einer
Modulationseinrichtung, einer Absorptionszelle sowie einem Detektor und ggf. einer
Selektivierungseinrichtung. Die besagten Elemente sind dabei auf einer optischen
Achse oder zumindest hintereinander gereiht angeordnet. Das von der
Strahlungsquelle emittierte Licht einer charakteristischen Wellenlänge oder zumindest
eines charakteristischen Spektrums durchläuft die Modulationseinrichtung, die
Selektivierungseinrichtung, die Absorptionszelle, in welcher entweder Gase,
Flüssigkeiten oder Festkörper eingebracht bzw. eingefüllt sind. Hinter der von der
Strahlung beaufschlagten Absorptionszelle ist dann ein Detektor angeordnet, welcher
das nach Passieren der Absorptionszelle verbleibende Licht hinsichtlich seiner
Intensität mißt. Aus dieser errechnet sich die in der Absorptionszelle bewirkte
Absorption. Eine Selektivierungseinrichtung besteht ggf. aus Interferenz-, Farb oder
Gasfiltern; ggf mißt auch der Detektor selektiv, oder die Lampe strahlt eine spez.
Wellenlänge oder -kombination zur Selektivierung aus. Der Detektor selbst mißt in der
Regel in einem weiten Wellenlängenbereich sensitiv, da die Meßmethode auf die
jeweilige Absorptionsbande gewünschter Substanzen gerichtet ist. Der besagte Verlust
wird am Detektor gemessen, wobei dieser mit der Differenz zwischen der
Meßanordnung mit Meßgas und ohne Meßgas verglichen wird. Üblicherweise weisen
die Absorptionszellen zumindest zwei Fenster auf, ein Eintrittsfenster und ein
Austrittsfenster. Diese besagten Fenster sind bezüglich der Wellenlänge
charakteristischer Absorptionsbanden transparent. Da die besagten Absorptionszellen
durchstrahlt werden, befinden sich die transparenten Fenster bezogen auf den
Strahlengang an zwei gegenüber liegenden Seiten. Sind nun die Absorptionen
aufgrund einer geringen Konzentration der eigentlich selektiv zu ermittelnden
Gaskomponente im Gasgemisch klein oder ist die physikalisch im Meßgas bewirkte
wellenlängenbezogene Absorption klein, so ist auch die Intensitätsabnahme der
Strahlung hinter der Zelle gering. Eine genaue Messung geringerer Absorptionen oder
kleiner Konzentrationen ist damit unter der Maßgabe einer guten Genauigkeit nicht
mehr möglich. Hierzu werden bekanntermaßen die Absorptionszellen verlängert.
Vielfach besteht jedoch die Maßgabe, daß die so aufgebauten Meßeinrichtungen
transportabel sein müssen, wobei dann eine Absorptionszelle in der Länge von
mehreren Metern nicht mehr realisierbar ist. Aus diesem Grund werden sogenannte
Multireflexionszellen verwendet, wie z. B. die "White-Zelle".
Eine solche White-Zelle besteht aus transparenten Eintritts- und Austrittsfenstern
sowie mehreren, innerhalb der Zelle angeordneten Spiegeln. Das einfallende und
ausfallende Licht muß dazu auf Spalte abgebildet werden und dann an den Spiegeln
bzw. zwischen den Spiegelanordnungen reflektiert, so daß das Licht mehrfach durch
die zu untersuchende Substanz hindurchläuft, wodurch sich in Summe die Absorption
erhöht.
Hierbei ergibt sich jedoch der Nachteil, daß die Anzahl der Bauteile im Vergleich zu
einer einfachen Absorptionszelle hoch ist, und darüber hinaus ist eine genaue Justage
der Spiegelpositionierungen zueinander notwendig. Durch die Abbildung auf Spalte
entstehen Energieverluste. Weiterhin können solche White-Zellen nicht anstelle
einfacher Absorptionszellen, z. B. in einem Spektrometer, verwendet werden, ohne daß
zum Teil eine Änderung in erheblichem Umfang notwendig wird.
Somit liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Absorptionszelle mit großer
effektiver optischer Absorptionsweglänge zu realisieren, wobei die Einrichtung baulich
einfach gestaltet und der Justageaufwand möglichst gering ist, z. B. daß die Eingangs-
und Ausgangsapertur identisch der einer einfachen, zylindrisch ausgeführten
Meßküvette ist.
Die gestellte Aufgabe wird bei einer Einrichtung der gattungsgemäßen Art
erfindungsgemäß durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruches 1
angegebenen Merkmale gelöst.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Einrichtung sind in den
abhängigen Ansprüchen angegeben.
Eine erfindungsgemäße Verwendung ist in Anspruch 11 angegeben.
Der Vorteil der Erfindung liegt darin, daß im Vergleich zu üblichen Zellen eine große
effektive absorbierende Wegstrecke entsteht. Diese entsteht dabei, ohne daß
komplizierte Spiegelanordnungen oder Abbildungsoptiken außerhalb und innerhalb der
Zelle mit entsprechendem Justageaufwand angeordnet sein müßten. Damit ist auch
eine Messung geringer Absorptionen möglich. Eine entsprechende Wahl der
Reflektivität der Spiegel bzw. der Spiegeloberflächen ermöglicht dabei, die optisch
durchstrahlte Wegstrecke zu bestimmen bzw zu bewirken. Da das Licht die Zelle auf
geradem Wege durchstrahlt, ist eine einfache Integration der Zelle in bestehende
Spektrometer möglich.
Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung besteht darin, die Anordnung der
Spiegelflächen im Abstand der Krümmungsradien derart zu gestalten, daß eine
konfokale Anordnung entsteht. Diese konfokale Anordnung hat den Vorteil, daß Licht
von schlechter Strahlungsqualität sehr lange zwischen den Spiegeln hin und zurück
reflektiert wird und nicht aus der Zelle herausläuft. Damit können auch lange
Wegstrecken für solche Licht- oder Strahlungsquellen realisiert werden, die nur eine
schlechte Strahlungsqualität haben.
Durch die Mehrfachreflexion in sich selbst wird natürlich nicht nur das
absorptionsbedingte count-rate-Signal erhöht, sondern auch das bspw.
extinktionsbedingte begleitende Rauschsignal angehoben. Dies stellt zwar ein weiteres
Problem dar, was aber im Zusammenhang mit der hier dargestellten Erfindung
zunächst nicht im Vordergrund steht.
Die Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und nachfolgend näher beschrieben.
Es zeigt:
Fig. 1 Der Grundaufbau der Zelle.
Fig. 2 Schematischer Strahlengang mit Darstellung der Absorptionen.
Fig. 3 Grundaufbau eines Fotometers mit Strahler, Modulationseinrichtung,
Meßzelle und Detektor.
Fig. 1 zeigt den grundsätzlichen Aufbau. Von einer Strahlungsquelle oder einer
Lichtquelle L ausgehend wird über ein Linsen- oder Filtersystem das Licht über eine
hier nicht weiter dargestellte Modulationseinrichtung auf die Zelle gerichtet. Die Zelle
selbst wird von den Spiegeln Sp1 und Sp2 jeweils stirnseitig begrenzt. Eine einfache
Umrüstung bestehender Spektrometer kann darin bestehen, die bereits vorhandene
Zelle Z, die auch als Küvette bezeichnet wird, stirnseitig mit den dargestellten
verspiegelten Fenstern Sp1 und Sp2 zu versehen. Das Licht einer ausgedehnten
Lichtquelle L wird dabei über die besagte Linse F in die Zelle eingestrahlt. Die beiden
Spiegel Sp1 und Sp2 sind dabei teildurchlässig. Die Krümmungsradien der Spiegel
entsprechen dem Abstand der Spiegel r1 = r2 = I. Hinter der Zelle ist ein Detektor D
angeordnet, der die Intensität des Lichtes, welches nach Passieren der Zelle Z noch
vorhanden ist, mißt. Kann die Lichtquelle in der Emmissionswellenlänge abgestimmt
werden, so läßt sich wellenlängenaufgelöst die Absorption der in der Zelle
eingeschlossen Substanz bestimmen.
Fig. 2 zeigt anhand eines Prinzipbildes den eigentlichen Strahlengang und die
bewirkte Absorption. Das Licht der Intensität I0 trifft auf das verspiegelte Eintrittsfenster
und der Teil I0 × R wird zurückreflektiert. Der Teil I0(1-R) passiert das besagte
verspiegelte Fenster, welches in Fig. 2 auch durch Sp1 dargestellt ist. Das besagte
eintretende Licht tritt in die Länge der Zelle der Länge L ein.
Das Licht wird von der Substanz mit dem Absorptionskoeffizenten α nach dem
Lambert-Beerschen-Gesetz geschwächt und der Teil
I = I0(1-R)2e- α l (1)
verläßt das verspiegelte Austrittsfenster der Zelle. Der Teil
I0(1-R)Reα l
wird in die Zelle zurück reflektiert und nach dem Lambert-Beerschen-Gesetz
geschwächt. Nach der Reflexion am Eintrittsfenster und weiterer Absorption verläßt
der Teil
I0 (1-R)2R2e-3 α l (2)
das Austrittsfenster. Ein Teil des Lichtes wird in die Zelle zurück reflektiert und nach
einem weiteren Umlauf verläßt der Teil
I0 (1-R)2R4e-5 α l (3)
das Austrittsfenster. Nach jedem Umlauf in der Zelle kommt ein weiterer
Intensitätsbeitrag zu der Intensität I∞ am Austrittsfenster hinzu. Die resultierende
Intensität ergibt sich zu
I∞ = I0 (1-R)2e- α l(1 + R2e-2 α l + R4e-4 α l +. . .). (4)
Bei dieser Summe handelt es sich um eine geometrische Reihe, die sich zu
umschreiben läßt. Da das Licht mehrfach in der Zelle umläuft und dabei jeweils nach
dem Lambert-Beerschen Gesetz geschwächt wird, führt die Anordnung in Zeichnung 1
zu einer Verlängerung der optischen Wegstrecke. Diese Verlängerung λ läßt sich über
berechnen. Es ergibt sich eine Verlängerung um den Faktor
Dieser Faktor ist abhängig von der Absorption α der Substanz. Mit höherer
Konzentration, d. h. mit größerem α, nimmt die Zahl der Umläufe in der Zelle ab und
folglich wird auch die optische Wegstrecke λl geringer. Für eine verschwindende
Absorption α → 0 läßt sich λ zu
berechnen.
Die Intensität hinter dem Austrittsfenster der Zelle mit den verspiegelten Fenstern ist
im Vergleich zu einer Zelle mit den unverspiegelten Fenstern geringer, da das
Eintrittsfenster nur der Anteil I0(1-R) passieren kann. Der Verlust an Intensität durch
die verspiegelten Fenster im Vergleich zu den unverspiegelten Fenstern ergibt sich zu
Für eine verschwindende Absorption von α = 0 läßt sich der intensitätsverlust mit
berechnen.
Für eine Reflektivität der Spiegel von R = 95% ergibt sich eine Verlängerung der
optischen Wegstrecke um den Faktor λ0 = 19,5. Der Intensitätsverlust beläuft sich auf
0 = 39. Der optische Längengewinn ist halb so groß wie der Identitätsverlust. Dieser
Identitätsverlust kann z. B. durch eine intensivere Lichtquelle oder durch empfindlichere
Detektoren ausgeglichen werden.
Die Verwendung einer solchen Zelle als Absorptionsküvette bei nicht-dispersiven-
Infrarot-Spektrometern verschafft eine erheblich höhere Sensitivität und Selektivität.
Fig. 3 zeigt ein typisches Fotometer, in das die Meßzelle gemaß Fig. 1 integriert
werden kann. Von einer Strahlungsquelle S ausgehend wird das emittierte Licht über
ein Filterrad FR mit darin enthaltenen Gasfiltern einer Linse L zugeführt. Dabei ist der
Linsenschliff so, daß die Strahlungsquelle ungefähr im Brennpunkt dieser bikonvexen
Linse ist. Hinter der Linse L ist ein Filter. Nachfolgend trifft das Licht auf einen
Strahlenteiler, der einen Teil geradlinig durchläßt und einen Teil rechtwinklig reflektiert.
Der geradlinige Anteil trifft auf einen Referenzdetektor RD und der andere Teil
durchstrahlt die Meßküvette, durch welche Meßgas hindurchgeleitet wird. Die
Strahlungswege sind linear und ohne zusätzliche Abbildungsoptiken ausgeführt. Da
die Eintritts- und Austrittsapertur identisch sind, kann die erfindungsgemäße Meßzelle
Z gemäß Fig. 1 hier als durchströmte Meßküvette MK ausgebildet werden.
Nach Durchgang durch das oben erwähnte Filter trifft die Strahlung auf einen
Strahlenteiler und von hier direkt auf den erwähnten Referenzdetektor RD; der andere
Teilstrahl geht über die Meßküvette zum Meßdetektor MD. Die 2-mal-2-
Detektorsignale werden beispielsweise durch doppelte Quotientenbildung miteinander
verknüpft, wobei störende Einflüsse beispielsweise durch Lampenalterung,
Verschmutzung der Küvette und ähnliche herabgesetzt werden können.
Mit dem Einsatz dieser erfindungsgemäßen Meßzelle sind alle vorstehend genannten
Vorteile derselben für die hier dargestellte Meßtechnik anwendbar.
Claims (11)
1. Einrichtung zur Messung der Strahlungsabsorption von Gasen mit einem
Absorptionsfotometer mit einer Strahlungsquelle, einer Modulations- und
Selektivierungseinrichtung, einer Absorptionszelle sowie einem Detektor,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Eintritts- und/oder das Austrittsfenster der Absorptionszelle als
teildurchlässiger Spiegel (SP1, SP2) ausgeführt ist bzw. sind.
2. Einrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Spiegel (SP1, SP2) über ihre gesamte Fläche jeweils eine konstante
Reflektivität aufweisen.
3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die teildurchlässigen Spiegel (SP1, SP2) als plankonkave Spiegel ausgeführt
sind, wobei die konkave Seite dem Zelleninneren zugewandt ist bzw. sind.
4. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Krümmungsradien der Spiegel (SP1, SP2) dem Abstand der Spiegel
zueinander entsprechen.
5. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Zelle (Z) eine Meßküvette innerhalb einer Spektrometeranordnung ist.
6. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Spiegelflächen der Spiegel (SP1, SP2) aus dielektrischen Schichten
bestehen, die durch Bedampfung aufgebracht sind.
7. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß ein Teil der einfallenden Strahlung vor der Multireflexionsküvette über einen
Teilspiegel (ST) ausgeblendet und zur Signalkorrektur von einem Referenzdetektor
(RD) miterfaßt wird.
8. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Strahlungsquelle (S) breitbandig ist.
9. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Strahlungsquelle (S) ein schwarzer Strahler ist.
10. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Strahlungsquelle (S) ein selektiver Strahler ist.
11. Verwendung einer Einrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden
Ansprüche,
für ein nicht-dispersives Infrarot(NDIR)-Spektrometer.
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---|---|
DE (1) | DE19848120C2 (de) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1314971A1 (de) * | 2001-11-22 | 2003-05-28 | CARL ZEISS JENA GmbH | Gasprobenbehälter für einen Gasanalysator |
EP1853897A1 (de) * | 2004-10-18 | 2007-11-14 | Elt Inc. | Gaszelle mit zwei konkaven parabolspiegeln und verfahren zur herstellung eines gassensors damit |
EP1899709A1 (de) * | 2005-06-16 | 2008-03-19 | Elt Inc. | Optische kavität für gassensor |
EP2012110A1 (de) * | 2007-07-06 | 2009-01-07 | Bp Oil International Limited | Optische Zelle |
DE102014104043A1 (de) * | 2014-03-24 | 2015-09-24 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Multireflexionszellenanordnung |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1143040B (de) * | 1959-02-20 | 1963-01-31 | Tno | Messkuevette fuer Absorptionsmessungen |
EP0106431A2 (de) * | 1982-10-18 | 1984-04-25 | Hewlett-Packard Company | Quelle für Infrarotstrahlung |
DE2938056C2 (de) * | 1979-09-20 | 1986-12-11 | Gesellschaft für Strahlen- und Umweltforschung mbH, 8000 München | Vorrichtung zur fluorometrischen Untersuchung von Proben |
US4885469A (en) * | 1987-06-10 | 1989-12-05 | Horiba Ltd. | Infrared gas analyzer |
DE19652513A1 (de) * | 1996-12-17 | 1998-06-18 | Messer Griesheim Gmbh | Küvette, Transferoptik und Spektroskopievorrichtung für die Absorptionsspektroskopie von Gasen |
-
1998
- 1998-10-20 DE DE1998148120 patent/DE19848120C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1143040B (de) * | 1959-02-20 | 1963-01-31 | Tno | Messkuevette fuer Absorptionsmessungen |
DE2938056C2 (de) * | 1979-09-20 | 1986-12-11 | Gesellschaft für Strahlen- und Umweltforschung mbH, 8000 München | Vorrichtung zur fluorometrischen Untersuchung von Proben |
EP0106431A2 (de) * | 1982-10-18 | 1984-04-25 | Hewlett-Packard Company | Quelle für Infrarotstrahlung |
US4885469A (en) * | 1987-06-10 | 1989-12-05 | Horiba Ltd. | Infrared gas analyzer |
DE19652513A1 (de) * | 1996-12-17 | 1998-06-18 | Messer Griesheim Gmbh | Küvette, Transferoptik und Spektroskopievorrichtung für die Absorptionsspektroskopie von Gasen |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
Japanese Journal of Applied Physics, 14, 1975, S. 521-525 * |
Meas. Sci. Technol. 3, 1992, S. 191-195 * |
Technisches Messen tm, 52, 1985, S. 151-153 * |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1314971A1 (de) * | 2001-11-22 | 2003-05-28 | CARL ZEISS JENA GmbH | Gasprobenbehälter für einen Gasanalysator |
DE10157275A1 (de) * | 2001-11-22 | 2003-06-05 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Gasprobenbehälter für einen Gasanalysator |
EP1853897A1 (de) * | 2004-10-18 | 2007-11-14 | Elt Inc. | Gaszelle mit zwei konkaven parabolspiegeln und verfahren zur herstellung eines gassensors damit |
EP1853897A4 (de) * | 2004-10-18 | 2008-07-02 | Elt Inc | Gaszelle mit zwei konkaven parabolspiegeln und verfahren zur herstellung eines gassensors damit |
EP1899709A1 (de) * | 2005-06-16 | 2008-03-19 | Elt Inc. | Optische kavität für gassensor |
EP1899709A4 (de) * | 2005-06-16 | 2010-02-17 | Elt Inc | Optische kavität für gassensor |
EP2012110A1 (de) * | 2007-07-06 | 2009-01-07 | Bp Oil International Limited | Optische Zelle |
WO2009007699A1 (en) * | 2007-07-06 | 2009-01-15 | Bp Oil International Limited | Optical cell |
US8379210B2 (en) | 2007-07-06 | 2013-02-19 | Bp Oil International Limited | Optical cell |
EA018131B1 (ru) * | 2007-07-06 | 2013-05-30 | Бп Ойл Интернешнл Лимитед | Способ оптического анализа образца |
DE102014104043A1 (de) * | 2014-03-24 | 2015-09-24 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Multireflexionszellenanordnung |
DE102014104043B4 (de) * | 2014-03-24 | 2016-06-30 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Multireflexionszellenanordnung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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DE19848120C2 (de) | 2001-09-27 |
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