-
Die
Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Suspensionen
und Pulvern von Indium-Zinn-Oxid, die dadurch erhältlichen
Produkte und deren Verwendung.
-
Indium-Zinn-Oxide
sind durch ihre optoelektronischen Eigenschaften gekennzeichnet.
Sie sind z. B. in Form von dünnen
transparenten Schichten in der Lage Infrarotlicht zu reflektieren
und zeichnen sich gleichzeitig durch eine relativ hohe elektronische Leitfähigkeit
bei vorhandener Transparenz in Schichtsystemen aus. Aus diesem Grunde
gibt es sehr viele Anwendungsmöglichkeiten
für Indium-Zinn-Oxid(ITO)-Systeme,
und dementsprechend auch sehr viele Untersuchungen zu ihrer Herstellung.
-
Die
gängigsten
Verfahren zum Auftragen von transparenten Schichten sind Gasphasentechniken, bei
denen das ITO aus der Gasphase auf das Substrat in Form einer zusammenhängenden
dünnen Schicht
abgeschieden wird. Als andere Verfahren werden der Sol-Gel-Prozeß oder Pulver-
und Pastentechnologien verwendet.
-
Das
Stoffsystem Indium und Sauerstoff ist durch eine Vielzahl von Verbindungen
gekennzeichnet. Die thermodynamisch stabilste ist In2O3. Indiumoxide der Zusammensetzung In4O3, In4O5, In2O und In7O9 werden üblicherweise
durch Reduktion von In2O3 in
Wasserstoffstrom gebildet. In2O3 ist
bei Zimmertemperatur dunkelgelb bis hellgelb, bei höheren Temperaturen
braun bis braunrot und in Mineralsäuren löslich. Röntgenographisch kann nur die
kubische Modifikation nachgewiesen werden.
-
Zur
Herstellung reiner Indiumoxidpulver wird in der Literatur überwiegend
die Präzipitation
aus Lösungen
beschrieben. Die gewählten
Hydroxide werden danach durch Calcinieren in die Oxide überführt. Wäßrige Salzlösungen werden
mit Alkalilösungen, mit
Ammoniak oder mit Harnstoff gefällt;
siehe z.B.
JP 06227815
A2 ,
JP 05193939
A2 ,
JP 04325415
A2 ,
JP 04219315
A2 und
DE 2127135
A .
-
Bisweilen
erfolgt die Fällung
auch in Gegenwart von Schwefelsäure
oder Sulfatlösungen;
siehe z.B.
JP 05058627
A2 . Es finden sich jedoch keine Angaben über den
Einfluß des
Fällungsmittels
auf die Pulverqualität.
Auch enthält
die Literatur keine oder sehr ungenaue Angaben zu Partikelgröße oder
Agglomerationszustand. Die Partikelgrößen, die in der Regel aus den
Messungen der BET-Oberfläche
der Pulver zurückgerechnet
werden, erstrecken sich vom Nanometerbereich bis in den Bereich
von 100 µm.
-
Indiumoxid
ist ein wide-gap n-Halbleiter, dessen intrinsische Elektronenleitung
auf Sauerstoffehlstellen beruht. Die Mobilität der Ladungsträger wird neben
intrakristallinen Effekten vor allem durch die Behinderung interkristalliner
Elektronenübergänge beschränkt. Eine
Möglichkeit,
die geringe Ladungsträgerdichte
des reinen Indiumoxids zu erhöhen,
ist der gezielte Einbau von vierwertigen Elementen wie z. B. Zinn.
-
Es
sind verschiedene Arten der Herstellung von Indiumoxid-Zinnoxid-Gemischen
bekannt. Beim einfachen Mixed-Oxide-Verfahren zur Herstellung von
ITO-Gemischen werden
Temperaturen zwischen 700°C
und 900°C
benötigt;
siehe z.B.
EP 654447
A1 . Die Sol-Gel-Technik eignet sich ebenfalls zur Herstellung
von ITO-Gemischen,
wobei spezifische Pulveroberflächen
von 10 m
2/g angegeben werden; siehe z.B.
JP 06293517 A ,
JP 06080422 A und
JP 05201731 A .
Weiter werden Elektrolyseverfahren beschrieben, bei denen durch
anodische Oxidation einer Indiumelektrode bzw. einer Indiumzinnelektrode Hydroxide
erzeugt werden, die man durch nachfolgendes Calcinieren in Oxide
umwandelt; siehe
JP 63195101
A2 ,
JP 06171937
A2 und
JP
06329415 A2 . Es werden auch Indiumzinnhydroxide in organischen Lösungsmitteln
dispergiert, durch azeotrope Destillation dehydriert und anschließend durch
Trocknen und Calcinierung in die Oxide überführt; siehe
JP 02006332 A2 . ITO-Pulver
lassen sich auch durch eine Lichtbogenentladung zwischen einer Wolframelektrode
und einer Indiumelektrode in einem Argon-Sauerstoff-Gemisch (Y. Endo et al.,
Funtai, Kogaku Kaishi (1995), 32 (12), 874–80) bzw. mittels Aerosolsprühpyrolyse
von Indiumacetat in Wasser in einem Argonträgergas (D.M. Speckmann et al.,
Mater. Res. Soc. Symp. Roc. (1995), 372 (Hollow and Solid Sphere
and Microspheres: Science and Technology Associated with Their Fabrication
and Application), 247–52
oder durch Versprühen
von Indiumzinnsalzlösungen
bei 800°C
herstellen (
JP 01087519
A ). Über
eine Kondensation von Indiumchlorid und Zinnchlorid aus der Gasphase
und nachfolgender Reaktionen mit Sauerstoff oder Wasser läßt sich
Indiumoxid oder Zinnoxid ebenso herstellen (
JP 05024836 A2 ) wie durch
eine Koronaentladung in reduzierender Atmosphäre bei 1000°C (
DE 4407774 C1 ).
-
Zur
Herstellung von ITO-Schichten werden z.B. direkt ITO-Pulver eingesetzt.
So verwenden z.B. die
JP
07118840 A ein ITO-Pulver mit einer spezifischen Oberfläche von
30 m
2/g, die
JP 06049394 A ein ITO-Pulver mit einem Durchmesser
von 200 nm und die
JP
05036314 A ein ITO-Pulver mit einer mittleren Partikelgröße von 30
nm.
-
Zusammenfassend
bedeutet dies, daß eine Vielzahl
an Herstellungsverfahren für
zinndotierte Indiumoxid (ITO)-Pulver vorliegen. Definierte Angaben über Pulverqualitäten in Verbindung
mit ihrer Herstellungsweise sind jedoch nicht beschrieben. Die Qualität der eingesetzten
Pulver wird üblicherweise über die
Anwendung definiert. In den letzten Jahren hat das Interesse an
einer definierten Herstellung und Anwendung transparenter leitfähiger Schichten
auf verschiedenen Substraten stark an Bedeutung gewonnen. Während die
Anwendung Sb- und F-dotierter Zinnoxidschichten auf Glassubstraten
aufgrund ihrer Leitfähigkeit,
ihrer Transparenz im sichtbaren Spektralbereich und ihrer Reflektionseigenschaften im
IR-Bereich für
die Oberflächenbeheizung
von Gläsern
für Flugzeuge,
Raumschiffe, Kameras und auch für
elektrostatische Abschirmzwecke schon lange bekannt ist, sind in
neuerer Zeit vielfältige
Anforderungen an derartige Schichten für die Anwendungen in der Mikro- und Optoelektonik
entstanden. Dazu gehören
z. B.
- 1. transparente Ansteuerelektroden für Flüssigkeitsdisplays,
Dünnfilmelektrolumineszenz-Displays
und Elektrochromie-Displays
- 2. transparente leitfähige
Schichten für
hochempfindliche Strahlungsdetektoren, ferroelektrische Photoleiter
und Speicheranordnungen
- 3. transparente leitfähige
Oxidfilme als Gate-Elektroden für
Ladungs-, Injektions- und
ladungsgekoppelte Anordnungen.
-
Diese
Anwendungen in der Optoelektronik sind gleichfalls mit höheren Anforderungen
an die Leitfähigkeit,
Transparenz und Strukturierbarkeit der Schichten verbunden. Aufgrund
der ungünstigen Strukturierungseigenschaften
dotierter Zinnoxidschichten bei der üblichen Strukturierung durch
chemische Ätztechnologien
haben sich für
diese Anwendungen überwiegend
zinndotierte Indiumoxidschichten (ITO) durchgesetzt.
-
Weiterhin
zeigen diese ITO-Schichten im Vergleich zu dotierten Zinnoxidschichten
eine wesentlich bessere Leitfähigkeit
und Transparenz. Zinndotierte Indiumoxidschichten stellen zur Zeit
die leitfähigsten
Beschichtungen dar, die kommerziell erhältlich sind. Im Routinebetrieb
liegt der erreichbare spezifische Widerstand bei etwa 1 – 2 × 10-4 Ohm.cm, was in Verbindung mit einer etwa
30 nm dicken Sperrschicht aus SiO2 bereits
bei 120 nm Schichtdicke zu einem Flächenwiderstand von 15 Ω/⎕ führt. (Transparenz > 90%). Bedingt durch
die Herstellung im Sputter- bzw.
CVD-Verfahren sind die Kosten für diese
Art der Beschichtung vergleichsweise hoch und großflächige Beschichtungen
sind nur schwer durchzuführen.
-
Die
hohe Ladungsträgerdichte
in Verbindung mit einer Ladungsträgermobilität im Bereich von 40–60 cm2/Vs führt
zu einer sehr hohen Transparenz im sichtbaren Bereich, bei gleichzeitig
hervorragender Reflexion im IR-Bereich. Der Anteil an Zinnoxid liegt üblicherweise
zwischen 7–12
Gew.%.
-
Für viele
Anwendungsgebiete, insbesondere in der Mikro- und Optoelektronik,
bei optischen und IR reflektierenden Beschichtungen ist es wichtig,
daß ITO-Pulver
verwendet werden, die aus nanoskaligen Partikeln bestehen. Solche
nanoskaligen Partikel weisen eine durchschnittliche Teilchengröße von bevorzugt
nicht mehr als 200 nm, insbesondere nicht mehr als 50 nm und besonders
bevorzugt nicht mehr als 30 nm auf. Ein besonders bevorzugter Bereich liegt
bei 5 bis 30 nm.
-
Bei
vielen Verfahren zur Herstellung von Indium-Zinn-Oxid-Pulvern oder
-Suspensionen werden Suspensionen von Vorstufen des Indium-Zinn-Oxid-Pulvers
erhalten, aus denen nach Trocknung die Indium-Zinn-Oxid-Pulver durch
Calcinierung hergestellt werden. Die Partikelgrößen der so hergestellten Pulvern
liegen aber nicht im gewünschten
nm-Bereich und die Pulver können
auch nicht wieder zu Suspensionen mit Partikelgrößen im nm-Bereich (nanoskalige
Partikel) aufgearbeitet werden, so daß mit derart hergestellten
dünnflüssigen Suspensionen
keine Beschichtungen über
Tauch-, Sprüh-
oder ähnliche
Verfahren mit Partikelgrößen im nm-Bereich
hergestellt werden können.
-
Zwar
entstehen bei der Bildung der ITO-Pulvervorstufen in Suspension
unter den geeigneten Bedingungen nanoskalige Primärpartikel
geeigneter Größe, bei
der Aufarbeitung, insbesondere bei der Calcinierung, aggregieren
diese Primärpartikel
aber zu größeren Partikeln.
Diese Aggregatbildung ist darauf zurückzuführen, daß mit abnehmender Partikelgröße auch
schwache Wechselwirkungskräfte,
wie z.B. van der Waals-Kräfte,
erheblich an Bedeutung gewinnen bzw. dominieren. Hinzu kommt, daß die Partikeloberfläche immer
mit funktionellen, d.h. kondensationsfähigen, Gruppen belegt ist,
die durch Kondensationsreaktionen zwischen einzelnen Primärpartikeln
zur Bildung harter Aggregate führen. Die
Primärpartikel
sind dann quasi über
Sinterhälse miteinander
verbunden. Diese aus Primärpartikeln bestehenden
Aggregate können
durch einen einfachen Dispergierungsschritt in einem nichtwäßrigen oder
wäßrigen Lösungsmittel
nicht mehr aufgebrochen werden.
-
Derartige über eine
Calcinierung hergestellte Pulver können nicht für hochtransparente
Schichten verwendet werden, da Partikel mit Größen über 50 nm schon zu optischen
Störungen
führen.
-
EP 0578584 A1 beschreibt
u.a. die Herstellung von Indium-Zinn-Oxid-Pulver, bei der Indiumoxid-
und Zinnoxid-Vorstufen in Gegenwart von Komplexierungsmitteln aus
Lösungen
gefällt
werden und das erhaltene Pulver anschließend calciniert wird. Als Komplexierungsmittel
wird z.B. Zitronensäure
genannt.
-
US 5700419 A beschreibt
die Herstellung von Formkörpern
aus einer Aufschlämmung
von Indiumoxid, Zinnoxid und Zusätzen
von Bindemitteln, die anschließend
gesintert werden.
-
Aufgabe
der vorliegenden Erfindung war es, Suspensionen und Pulver auf der
Basis von Zinn-Indium-Oxid so herzustellen, daß trotz Calcinierung nanoskalige
Partikel mit geeigneter Größe erhalten werden
und die Pulver in einem einfachen Dispergierungsschritt zu Suspensionen
verarbeitet werden können,
wobei die Primärpartikelgröße vollständig erhalten
bleibt.
-
Dies
gelingt erfindungsgemäß durch
ein Verfahren zur Herstellung von Suspensionen und Pulvern von Indium-Zinn-Oxid,
das dadurch gekennzeichnet ist, daß
- a) Indiumoxid-
und Zinnoxid-Vorstufen in Gegenwart einer oder mehrerer oberflächenmodifizierender
Komponenten aus Lösungen
in einem oder mehreren Lösungsmitteln
gefällt
werden,
- b) das erhaltene Pulver nach Entfernung des Lösungsmittels
calciniert wird,
- c) eine oder mehrere oberflächenmodifizierende Komponenten
und ein oder mehrere Lösungsmittel
zugegeben werden,
- d) die erhaltene Mischung einer Zerkleinerungs- oder Dispergierbehandlung
unterworfen wird und
- e) gegebenenfalls flüssige
Komponenten aus der Suspension abgetrennt werden, um ein Pulver
erhalten.
-
Das
erhaltene Pulver kann über
ein Formgebungsverfahren in einen Formkörper überführt wird.
-
In
dem erfindungsgemäßen Verfahren
werden überraschenderweise
Suspensionen und Pulver auf der Basis von Indium-Zinn-Oxid erhalten,
die im wesentlichen aus Primärpartikeln
bestehen und im wesentlichen keine durch Aggregation von Primärpartikeln
gebildete Agglomerate enthalten. Die Pulver lassen sich leicht zu
Suspensionen redispergieren, in denen die Primärpartikelgröße praktisch vollständig erhalten
bleibt.
-
Unter
einem Indium-Zinn-Oxid-Pulver, das auch als ITO-Pulver bezeichnet
wird, wird ein Pulver verstanden, das im wesentlichen aus einem
Mischoxid von Indium und Zinn besteht. Das Indium und das Zinn können darin
in einer oder in verschiedenen Oxidationsstufen vorliegen. Beispielsweise
liegen In(+I) und/oder In(+III) sowie Sn(+II) und/oder Sn(+IV) vor. Sn
liegt bevorzugt als Sn(+IV) vor. Gegebenenfalls können Indium
und Zinn auch teilweise als In(0) oder Sn(0) vorliegen. Auf der
Oberfläche
der Partikel des ITO-Pulvers sind auch die nachstehend beschriebenen
oberflächenmodifizierenden
Komponenten vorhanden.
-
Bevorzugt
handelt es sich bei dem ITO-Pulver um ein zinndotiertes Indiumoxid,
d.h. der Anteil an Zinnoxid ist geringer als der Anteil an Indiumoxid. Der
Anteil an Zinnoxid bezogen auf das Indium-Zinn-Oxid, ohne Berücksichtigung
der oberflächenmodifizierenden
Komponente, beträgt
beispielsweise 2 bis 30 Mol-%, bevorzugt 7 bis 12 Mol-%. Das ITO-Pulver
kann beispielsweise, ohne Berücksichtigung
der oberflächenmodifizierenden
Komponente, durch die Formel In2-ySnyO3 mit 0 ≤ y < 2, insbesondere
0 ≤ y < 1 ausgedrückt werden
(Ladungsüberschuß: e- y).
-
Selbstverständlich kann
das Indium-Zinn-Oxid-Pulver Verunreinigungen enthalten. Der akzeptierbare
Grad hängt
vom Verwendungszweck ab. Über
die Edukte kann z. B. SO4 2-,
Ca, Co, Cu, Fe, Ni, Pb, Zn, K oder Na enthalten sein. Durch Verwendung
reiner Edukte können
SO4 2-, Ca, Co, Cu, Fe,
Ni, Pb und Zn auf unter 0,005 Gew.-% und Na, K auf unter 0,01 Gew.%
gebracht werden. Über
das Verfahren kann z. B. NH4 + und
Cl- in das Produkt gelangen, das je nach
Anzahl der Waschcyclen praktisch gänzlich entfernt werden kann.
Bezogen auf das Indium-Zinn-Oxid-Pulver sind aber unter Berücksichtigung
der oberflächenmodifizierenden
Komponente weniger als 5 Gew.-%, bevorzugt weniger als 1 Gew.-%,
insbesondere bevorzugt weniger als 0,1 Gew.-% Verunreinigungen enthalten.
-
In
dem erfindungsgemäßen Verfahren
werden Indiumoxid- und Zinnoxid-Vorstufen in Gegenwart einer oder
mehrerer oberflächenmodifizierender Komponenten
aus einem oder mehreren Lösungsmitteln
gefällt.
-
Bei
dem Fällungsprozeß bzw. dem
Co-Fällungsprozeß kann es
sich um jedes hierfür
nach dem Stand der Technik bekannte Verfahren handeln. Die Fällung kann
beispielsweise über
ein Sol-Gel-Verfahren, ein Elektrolyseverfahren, ein Dehydrierungsverfahren
oder ein Aerosolsprühpyrolyseverfahren,
wie sie vorstehend beschrieben wurden, durchgeführt werden. Bevorzugt erfolgt
die Fällung
aber durch ein Sol-Gel-Verfahren. Bei dem Sol-Gel-Verfahren werden
bei Anwesenheit von Wasser z. B. durch Zusatz von Basen oder Säuren Hydrolyse-
und Kondensationsreaktionen eingeleitet, die zur Fällung von
Hydroxo(Oxo)- kondensaten
führen.
Dabei werden zur Fällung
der Indiumoxid- und Zinnoxid-Vorstufen
besonders bevorzugt Basen, insbesondere primäre, sekundäre, tertiäre aliphatische oder aromatische
Amine, Tetramethylammoniumhydroxid, NaOH, KOH, Ammoniak, Ammoniumhydroxid
oder Mischungen davon eingesetzt. Besonders bevorzugt wird Ammoniumhydroxid
für die
Fällung
eingesetzt.
-
Als
Indiumoxid- und Zinnoxid-Vorstufen können alle Indium- bzw. Zinn-Verbindungen eingesetzt werden,
aus denen durch Fällung
und gegebenenfalls anschließender
Nachbearbeitung, wie beispielsweise einer Calcinierung, Indium-Zinn-Oxid-Pulver erhalten
werden können.
Naturgemäß richtet
sich die Wahl der Indium- und Zinn-Verbindungen nach dem eingesetzten
Fällungsverfahren.
Beispielsweise können
bei Elektrolyseverfahren Indiumelektroden oder Indiumzinnelektroden
und bei Dehydrierungsverfahren Indiumzinnhydroxide als Indiumoxid- und Zinnoxid-Vorstufen
dienen.
-
Bevorzugte
Indiumoxid- und Zinnoxid-Vorstufen sind, insbesondere bei Sol-Gel-Fällungsverfahren, Indiumchlorid,
Indiumiodid, Indiumnitrat, Indiumacetat, Indiumsulfat, Indiumalkoxide,
wie Indiummethoxid oder Indiumethoxid, oder Mischungen davon bzw.
Zinnchlorid, Zinnsulfat, Zinnalkoxide, wie Zinnmethoxid oder Zinnethoxid,
oder Mischungen davon, wobei Zinn in der Oxidationsstufe +2 oder
+4 und Indium in der Oxidationsstufe +3 oder beim Chlorid und Iodid
auch in der Oxidationsstufe +1 vorliegt.
-
Die
Indiumoxid- und Zinnoxid-Vorstufen werden gemeinsam aus einem oder
mehreren Lösungsmitteln
gefällt.
Die Indiumoxid- und Zinnoxid-Precursoren sind bevorzugt vollständig in
dem oder den Lösungsmittel(n)
gelöst.
Als Lösungsmittel
werden vorzugsweise Wasser und/oder organische Lösungsmittel eingesetzt. Ein
besonders bevorzugtes Lösungsmittel
ist destilliertes (reines) Wasser. Als organische Lösungsmittel
eignen sich sowohl polare als auch unpolare und aprotische Lösungsmittel.
Beispiele hierfür
sind Alkohole, wie z.B. aliphatische Alkohole mit 1 bis 6 Kohlenstoffatomen
(insbesondere Methanol, Ethanol, n- und i-Propanol und Butanol);
Ketone, wie z.B. Aceton und Butanon; Ester, wie z.B. Essigsäureethylester;
Ether, wie z.B. Diethylether, Tetrahydrofuran und Tetrahydropyran;
Amide, wie z.B. Dimethylacetamid und Dimethylformamid; Sulfoxide
und Sulfone, wie z.B. Sulfolan und Dimethylsulfoxid; und aliphatische
(gegebenenfalls halogenierte) Kohlenwasserstoffe, wie z.B. Pentan,
Hexan und Cyclohexan. Selbstverständlich können auch Mischungen derartiger
Lösungsmittel
eingesetzt werden.
-
Das
eingesetzte Lösungsmittel
hat vorzugsweise einen Siedepunkt, der eine problemlose Entfernung
desselben durch Destillation (gegebenenfalls unter Vakuum) ermöglicht.
Bevorzugt werden Lösungsmittel
mit einem Siedepunkt unter 200°C, insbesondere
unter 150°C.
-
Die
Fällung
findet in Gegenwart von oberflächenmodifizierenden
Komponenten statt. Bei der oder den oberflächenmodifizierenden Komponente(n)
kann es sich beispielsweise um kurzkettige organische Moleküle handeln.
Derartige Verbindungen weisen vorzugsweise nicht mehr als insgesamt
24, insbesondere nicht mehr als insgesamt 18 und besonders bevorzugt
nicht mehr als 12 Kohlenstoffatome auf. Die Anlagerung an die Oberfläche der
entstehenden Primärpartikel
kann beispielsweise über
eine kovalente oder ionische Bindung und/oder polare (Dipol-Dipol-Wechselwirkung) oder
van-der-Waals-Kräfte
erfolgen. Bevorzugt weisen die oberflächenmodifizierenden Komponenten
eine oder mehrere funktionelle Gruppen auf. Die funktionellen Gruppen,
die diese Verbindungen tragen, richten sich in erster Linie nach
den Oberflächengruppen
des resultierenden ITO-Pulvers und darüber hinaus auch nach der gewünschten
Wechselwirkung. Beispiele für
bevorzugte funktionelle Gruppen sind Carbonsäuregruppen, Säureamidgruppen
(primäre,
sekundäre
und tertiäre)
Aminogruppen, Hydroxylgruppen und C-H-acide Gruppierungen, wie in β-Dicarbonylverbindungen.
Es können
auch mehrere dieser Gruppen gleichzeitig in einem Molekül vorhanden
sein (Betaine, Aminosäuren,
EDTA, usw.).
-
Demgemäß sind Beispiele
für die
oberflächenmodifizierenden
Komponenten gesättigte
oder ungesättigte
Mono- und Polycarbonsäuren
(vorzugsweise Monocarbonsäuren)
mit 1 bis 24 Kohlenstoffatomen.
-
Beispiele
für weitere
geeignete oberflächenmodifizierenden
Komponenten sind Mono- und
Polyamine, insbesondere solche der allgemeinen Formel R3-nNHn, worin n = 0, 1 oder 2 und die Reste R
unabhängig
voneinander Alkylgruppen mit 1 bis 12, insbesondere 1 bis 6 und
besonders bevorzugt 1 bis 4 Kohlenstoffatomen darstellen (z.B. Methyl,
Ethyl, n- und i-Propyl und Butyl) und Polyethylenamine; β-Dicarbonylverbindungen
mit 4 bis 12, insbesondere 5 bis 8 Kohlenstoffatomen; Organoalkoxysilane,
wie z.B. diejenigen, die zur Oberflächenmodifizierung von kolloidaler
Kieselsäure
eingesetzt werden (z.B. solche der allgemeinen Formel R4-mSi(OR')m worin die
Gruppen R und R' unabhängig voneinander C1-C4-Alkyl darstellen
und m 1, 2, 3 oder 4 ist); und modifizierte Alkoholate, bei denen
ein Teil der GR-Gruppen (R wie oben definiert) durch inerte organische
Gruppen substituiert ist und über
die noch vorhandenen GR-Gruppen eine Anbindung (Kondensation) auf
der Partikeloberfläche
erfolgt und die organischen Gruppen die Abschirmung übernehmen.
Beispiele hierfür
sind z.B. Zirkon- und Titanalkoholate M(OR)4 (M
= Ti, Zr), bei denen ein Teil der OR-Gruppen durch einen Komplexbildner,
wie z.B. eine 1-Dicarbonylverbindung oder eine (Mono)carbonsäure ersetzt
ist.
-
Eine
weitere Gruppe von verwendbaren oberflächenmodifizierenden Komponenten
sind Tenside, z.B. kationische, anionische, nicht-ionische und amphotere
Tenside. Bevorzugt werden nicht-ionische Tenside, wobei Polyethylenoxid-Derivate
besonders bevorzugt sind. Es kann sich dabei z. B. um Derivate mit
gesättigten
oder ungesättigten
(Mono)carbonsäuren
handeln, insbesondere mit Carbonsäuren mit mehr als 7, bevorzugt
mehr als 11 Kohlenstoffatomen, z. B. Polyethylenoxid-Derivate mit
Stearin-, Palmitin- oder Ölsäure. Es
kann sich auch um Derivate mit Sorbitanestern (Sorbitan + Carbonsäure) handeln,
wobei als Carbonsäure
beispielsweise die vorstehend genannten in Frage kommen. Weiter
können Polyethylenoxid(mono)alkylether,
beispielsweise mit Alkoholen mit mehr als 7, bevorzugt mehr als
11 Kohlenstoffatomen verwendet werden.
-
Konkrete
Beispiele für
einsetzbare oberflächenmodifizierende
Komponenten sind
- a. Mono- und Polycarbonsäuren wie
Ameisensäure,
Essigsäure,
Propionsäure,
Buttersäure,
Pentansäure,
Hexansäure,
Acrylsäure,
Methacrylsäure, Crotonsäure, Citronensäure, Adipinsäure, Bernsteinsäure, Glutarsäure, Oxalsäure, Maleinsäure, Fumarsäure, Itaconsäure, Stearinsäure und
insbesondere 3,6,9-Trioxadecansäure
sowie die entsprechenden Anhydride,
- b. Diketone wie Acetylaceton, 2,4-Hexandion, 3,5-Heptandion,
Acetessigsäure,
Acetessigsäure-C1-C4-Alkyl-ester
wie Acetessigsäureethylester,
Diacetyl und Acetonylaceton,
- c. Aminosäuren,
insbesondere β-Alanin,
aber auch Glycin, Valin, Aminocapronsäure, Leucin und Isoleucin,
- d. Polyethylenoxid-Derivate, insbesondere Sorbitan-monooleat-polyoxyalkylen,
aber auch Hexaglycolmonostearat, ein Ölsäurederivat und Polyoxyethylenlaurylether,
- e. Säureamide,
insbesondere Caprolactam, und
- f. Amine wie z.B. Methylamin, Dimethylamin. Trimethylamin, Anilin,
N-Methylanilin, Diphenylamin, Triphenylamin, Toluidin, Ethylendiamin,
Diethylentriamin.
-
Diese
oberflächenmodifizierenden
Komponenten können
einzeln oder als Mischung eingesetzt werden. Besonders bevorzugte
Verbindungen sind 3,6,9-Trioxadecansäure, β-Alanin, Sorbitan-monooleat-polyoxyalkylen
und Caprolactam.
-
Der
Anteil der oberflächenmodifizierenden Komponente(n),
bezogen auf das ITO-Pulver,
liegt bevorzugt zwischen 2 und 30 Gew.-%, besonders bevorzugt zwischen
2 und 6 Gew.-%.
-
Die
Fällung
in Gegenwart der oberflächenmodifizierenden
Komponente(n) erfolgt bevorzugt bei einer Temperatur von Raumtemperatur
(20°C) bis zur
Siedetemperatur des Lösungsmittels.
Besonders bevorzugt sind Temperaturen im Bereich von 20 bis 100°C. Die oberflächenmodifizierenden
Komponenten sind üblicherweise
teilweise oder vollständig
auf der Oberfläche
der entstehenden Indium-Zinn-Oxid-Pulverpartikel angelagert. Ohne
an eine Theorie gebunden zu sein, wird davon ausgegangen, daß die oberflächenmodifizierenden
Komponenten nach Entfernung des Lösungsmittel und der Calcinierung
zumindest teilweise auf der Oberfläche der Pulverpartikel verbleiben
können.
Es ist aber auch möglich,
daß die
oberflächenmodifizierenden Komponenten
im Endprodukt nicht mehr vorhanden sind.
-
Anschließend wird
das Lösungsmittel
beispielsweise durch Filtrieren, Verdampfen und/oder Zentrifugieren
und gegebenenfalls Trocknen, beispielsweise unter Vakuum und/oder
erhöhter
Temperatur (z.B. bei Temperaturen bis zu 250°C oder bis zu 200°C) oder durch
Gefriertrocknen entfernt. Bei dem so erhaltenen Pulver handelt es
sich üblicherweise um
Partikel aus einem Indium-Zinn-Oxid/Hydroxid-Gemisch, wobei die
Partikel gegebenenfalls an der Oberfläche modifiziert sind.
-
Das
erhaltene Pulver wird dann calciniert. Bevorzugt wird dies in einem
Ofen ausgeführt.
Die Calcinierung erfolgt beispielsweise bei Temperaturen zwischen
200 und 400°C,
bevorzugt zwischen 230 und 280°C,
besonders bevorzugt 250°C.
Die isotherme Haltezeit beträgt
beispielsweise zwischen 15 und 120 min, bevorzugt zwischen 45 und
90 min, besonders bevorzugt 60 min.
-
Die
Calcinierung erfolgt bevorzugt unter reduzierenden Bedingungen,
wobei ebenfalls die vorstehend genannten Verfahrensbedingungen zur
Anwendung kommen. Die reduzierenden Bedingungen werden bevorzugt
durch Durchleiten eines reduzierenden Gases/Gasgemisches oder eines
reduzierenden Dampfes erhalten. Vor Einsatz der reduzierenden Komponente
kann der Ofen mit einem Inertgas, z. B. Stickstoff gespült werden.
Als reduzierendes Gas/Gasgemisch oder reduzierender Dampf kann beispielsweise
Kohlenmonoxid, Kohlenmonoxid/Stickstoff, eine Wasserdampf-Atmosphäre oder Formiergas
(Wasserstoff/Stickstoff) verwendet werden. Dabei ist die Verwendung
von Formiergas besonders bevorzugt. Der eingesetzte Gasfluß hängt von
der Menge des zu calcinierenden Pulvers und der reduzierenden Komponente
ab.
-
Sofern
das Pulver nicht unter reduzierenden Bedingungen calciniert wurde,
kann die Reduktion auch nach der Calcinierung durchgeführt werden, beispielsweise
durch Sinterung des Pulvers oder Formkörpers unter reduzierenden Bedingungen.
Zur Reduktion können
dann ebenfalls die vorstehend genannten Gase/Gasgemische oder Dämpfe eingesetzt
werden.
-
Das
calcinierte, gegebenenfalls reduzierte Pulver ist in dieser Form
trotz des Einsatzes von oberflächenmodifizierenden
Komponenten durch einfache Dispergierung nur noch unvollständig in eine
Suspension mit Primärpartikelgröße, die üblicherweise
im unteren nm-Bereich liegt, zu überführen.
-
Erfindungsgemäß wird das
calcinierte Pulver einer Zerkleinerungs- oder Dispergierungsbehandlung
unter Zugabe weiterer oberflächenmodifizierender
Komponenten und eines oder mehrerer Lösungsmittel unterworfen. Die
Zerkleinerungs- oder Dispergierungsbehandlung kann auf jede denkbare
Weise erfolgen; bevorzugt handelt es sich um eine Zerkleinerungsbehandlung.
Besonders bevorzugt ist die mechanische Zerkleinerungsbehandlung
und/oder die Zerkleinerungsbehandlung mittels Ultraschall.
-
Der
mechanische Zerkleinerungsschritt kann z. B. in Mühlen, Knetern
oder Walzenstühlen
durchgeführt
werden. Geeignete Vorrichtungen für die mechanische Zerkleinerung
sind beispielsweise Planetkugelmühlen,
Rührwerkskugelmühlen und
insbesondere Mörsermühlen und
Dreiwalzenstühle.
Die Zerkleinerung, die Z. B. aus Mahlen und Homogenisieren bestehen
kann, wird bevorzugt bei Raumtemperatur ausgeführt. Die Dauer hängt von
der Art der Mischung und der verwendeten Zerkleinerungsvorrichtung
ab.
-
Die
Zerkleinerung oder Dispergierung erfolgt unter Zusatz von einer
oder mehreren oberflächenmodifizierenden
Komponenten. Prinzipiell handelt es sich dabei um dieselben Verbindungen,
die bereits vorstehend als oberflächenmodifizierende Komponenten
für den
Einsatz bei der Fällung
beschrieben wurden. Dabei können
in dieser Stufe dieselben Verbindungen als oberflächenmodifizierende
Komponenten eingesetzt werden, die bei der Fällung verwendet wurden. Alternativ
können
aber auch bei der Fällung
und bei der Zerkleinerung unterschiedliche oberflächenmodifizierende
Komponenten verwendet werden.
-
Organische
Carbonsäuren
und ihre Derivate, wie Anhydride und Säureamide, werden bevorzugt als
oberflächenmodifizierende
Komponente bei der Zerkleinerung oder Dispergierung eingesetzt.
Es wird auf die vorstehend aufgeführten Beispiele verwiesen. Besonders
bevorzugt ist der Einsatz von 3,6,9-Trioxadecansäure.
-
Bei
der Zerkleinerung oder Dispergierung wird die oberflächenmodifizierende
Komponente, bezogen auf das eingesetzte Indium-Zinn-Oxid-Pulver, bevorzugt
in einer Menge von 2 bis 30 Gew.-%, besonders bevorzugt von 2 bis
10 Gew.-%, zugegeben.
-
Die
Zerkleinerung oder Dispergierung wird unter Zusatz von einem oder
mehreren Lösungsmitteln
durchgeführt.
Als Lösungsmittel
können
die Lösungsmittel
verwendet werden, die vorstehend für den Fällungsschritt beschrieben wurden.
Bevorzugt werden als Lösungsmittel
aber hochsiedende Flüssigkeiten
verwendet. Unter hochsiedenden Flüssigkeiten werden dabei z.
B. Flüssigkeiten
mit einem Siedepunkt über
120°C, bevorzugt über 150°C verstanden.
Bevorzugt werden hochsiedende Glycole oder Glycolether eingesetzt,
beispielsweise Ethylen-, Propylen- oder Butylenglycol oder die entsprechenden
Di-, Tri-, Tetra-, Penta- oder Hexamere, sowie die entsprechenden
Mono- oder Diether, wobei eine oder beide Hydroxygruppen durch z.B.
eine Methoxy, Ethoxy, Propoxy oder Butoxygruppe ersetzt sind. Weitere
Beispiele sind Terpene, z.B. Terpineol; Polyole, z.B. 2-Methyl-2,4-pentandiol; und
Polyethylenglycole und deren Ether, wie Diethylenglycol, Triethylenglycol,
Tetraethylenglycol, Diethylenglycoldiethylether, Tetraethylenglycoldimethylether
oder Diethylenglycolmonobutylether. Ethylenglycol, Diethylenglycol
und Diethylenglycolmonobutylether werden bevorzugt eingesetzt. Selbstverständlich können auch
Mischungen aus zwei oder mehreren dieser Lösungsmittel eingesetzt werden,
beispielsweise im Volumenverhältnis
von 2:1 bis 1:2.
-
Das
Lösungsmittel
kann bei der Zerkleinerung oder Dispergierung, bezogen auf das eingesetzte
Indium-Zinn-Oxid-Pulver, in einer Menge von 5 bis 150 Gew.-%, bevorzugt
von 10 bis 100 Gew.-%, besonders bevorzugt von 30 bis 50 Gew.-%
zugegeben werden. Eine besonders bevorzugtes Verhältnis von Pulver
zu Lösungsmittel
ist 75:25. Bevorzugt wird die Menge des Lösungsmittels so gewählt, daß pastöse bzw.
hochviskose Suspensionen erhalten werden.
-
Die
so erhaltene ITO-Suspension kann direkt, beispielsweise für Beschichtungszwecke
verwendet werden. Gegebenenfalls kann vorher noch zur Erhöhung der
Viskosität
weiteres Lösungsmittel (entweder
das bereits eingesetzte oder ein anderes der vorstehend beschriebenen
Lösungsmittel)
zugefügt
werden.
-
Aus
der ITO-Suspension kann aber auch durch Entfernung der flüssigen Komponenten
(z. B. durch Filtrieren, Verdampfen, Zentrifugieren und/oder Trocknen)
ein ITO-Pulver erhalten werden.
-
Das
so erhaltene ITO-Pulver und die ITO-Suspension enthalten überraschenderweise
nanoskalige Partikel, die überwiegend
aus Primärpartikeln
bestehen und praktisch nicht als Aggregate vorliegen. Durch das
erfindungsgemäße Verfahren
ist es somit möglich,
Pulver, Suspensionen und Formkörper
auf der Basis von Indium-Zinn-Oxid
bereitzustellen, bei denen die Partikelgröße nicht mehr als 200 nm beträgt. Insbesondere
können
Partikelgrößen von
unter 50 bzw. unter 20 nm und sogar von etwa 10 bis 11 nm erhalten
werden. Die Partikelgröße liegt meist über 2 nm,
noch häufiger über 5 nm. Überraschenderweise
können
die so erhaltenen Pulver ohne weiteres z. B. in alkoholischen Lösungen (z.B. Ethanol),
aber auch in Wasser, auf ihre vollständige Primärteilchengröße dispergiert werden, wobei
die vorstehend genannte Partikelgröße erhalten bleibt, also die
Primärpartikel
ohne Aggregatbildung erhalten bleiben. Für die Dispergierung der ITO-Pulver können prinzpiell
alle geeigneten Lösungsmittel
verwendet werden, beispielsweise die vorstehend für die Fällung beschriebenen
Lösungsmittel.
-
Es
ist möglich,
das Indium-Zinn-Oxid als Pulver aufzubewahren und bei Bedarf entweder
als Pulver, Paste oder Suspension zu verwenden. Dabei kann die bevorzugt
verwendete Suspension durch eine einfache Dispergierung erhalten
werden und z.B. zur Beschichtung z.B. mittels Tauch- oder Sprühverfahren
verwendet werden.
-
Aus
dem ITO-Pulver lassen sich über
die dem Fachmann bekannten Formgebungsverfahren Formkörper herstellen.
Beispielsweise seien Extrusion, Schlickerguß, Spritzgießen, Elektrophorese,
Foliengießen
oder Siebdruck genannt. Es können
dabei, je nach dem angewendeten Verfahren, auch Bindemittel eingesetzt
werden. Als Formkörper
können
z. B. Schichten oder Sinterkörper,
insbesondere Targets hergestellt werden. Targets werden insbesondere
beim Sputter-Verfahren zur Beschichtung von Substraten eingesetzt.
Ein besonderer Vorteil der erfindungsgemäßen Materialien besteht darin,
daß für die Formgebung
der Formkörper
gegenüber
den üblichen
Indium-Zinn-Oxid-Materialien wesentlich geringere Temperaturen benötigt werden.
-
Die
erfindungsgemäß hergestellten
ITO-Materialien finden bevorzugt als Beschichtungsmaterial in der
Opto- und Mikroelektronik oder für
optische (transparente), IR-reflektierende oder leitfähige Beschichtungen
Verwendung. Außerdem
können
sie für Siebdruckpasten
verwendet werden. Sie können
beispielsweise bevorzugt eingesetzt werden für transparente Ansteuerelektroden
für Flüssigkeitsdisplays, Dünnfilmelektrolumineszenz-Displays,
Elektrochromie-Displays,
transparente leitfähige
Schichten für hochempfindliche
Strahlungsselektoren, ferroelektrische Photoleiter, Speicheranordnungen,
transparente leitfähige
Oxidfilme als Gateelektroden für
Ladungs-, Injektions- und ladungsgekoppelte Anordnungen, sowie zur
Herstellung von Druckpasten, die sich für die Bedruckung von Glas,
Keramik und Kunststoffen eignen, zur Abschirmung von elektromagnetischen
Wellen, für
IR-reflektierenden Schichten bzw. Kunststoffe, leitfähige Elektroden
für Solarzellen
oder antistatische Filme, z.B. für
Fernsehröhren,
Monitore und Kontaktbildschirme.
-
Das
folgende Beispiel erläutert
die Erfindung, ohne sie zu beschränken.
-
Beispiel
-
a) Herstellung der Vorstufe InO (OH)
-
- – 140
g Indium(+III)chlorid (0,63 mol wasserfrei)
- – 18
g Zinn(+IV)chlorid × 5
H2O
- – 5,6
g Caprolactam
-
- werden in 1400 ml Wasser gegeben und gerührt. Nachdem eine klare Lösung entstanden
ist, wird diese auf 50°C
erwärmt.
Nachdem die Temperatur erreicht ist, tropft man unter heftigem Rühren 105
ml Ammoniumhydroxidlösung
(25%ig) zu. Die Suspension wird bei einer Temperatur von 50°C weitere
24 Stunden gerührt.
Zur vollständigen
Fällung
werden dem Gemisch danach noch 280 ml Ammoniumhydroxidlösung hinzugefügt. Es bildet
sich ein weißer
Niederschlag aus Indiumoxidhydroxid, der abzentrifugiert wird (30
min bei 4000 U/min). Das Pulver wird im Vakuumtrockenschrank bei
190°C so
lange getrocknet, bis eine leichte Gelbfärbung des Pulvers festzustellen
ist (Übergang
zu kristallinem Indiumoxid).
-
b) Nachbehandlung des getrockneten Indiumoxidhydroxids
-
Das
getrocknete Pulver wird fein gemörsert, in
Kristallisierschalen verteilt und in einen Formiergas-Ofen gestellt.
Der Ofen wird evakuiert, dann mit Stickstoff geflutet. Der Ofen
wird mit einer Heizrate von 250°C/Stunde
auf 250°C
aufgeheizt bei einem Stickstoffluß von 200 Liter/Stunde. Diese
Temperatur wird für
60 Minuten unter Formiergasatmosphäre bei einem Gasfluß von 300
Liter/Stunde gehalten. Danach kühlt
der Ofen unter Stickstoffatmosphäre
bis auf Raumtemperatur ab (Dauer: ca. 5 Stunden). Hieraus resultiert
ein dunkelblaues Pulver, das mittels Röntgenanalyse als reine Indiumoxidphase
identifizierbar war.
-
c) Aufarbeitung des Indiumoxidpulvers
-
In
einer Mörsermühle legt
man 25 g eines Gemisches aus Ethylenglycol, Dibutylenglycolether (alternativ
können
Diethylenglycol für
Ethylenglycol und/oder Diethylenglycolmonobutylether für Dibutylenglycolether
verwendet werden) sowie 5,6 g 3,6,9-Trioxadecansäure vor. 75 g ITO-Pulver werden langsam
hinzugefügt
und es wird 1 Stunde gemahlen. Danach ergibt sich eine dunkelblaue
hochviskose Suspension, die für
ca. 20 Minuten in einem Walzenstuhl homogenisiert wird. Die so erhaltene
Suspension wird in Ethanol redispergiert und für Beschichtungszwecke verwendet.
-
Durch
Abtrennen des Ethanols erhält
man ITO-Pulver, die sich in Ethanol auf eine Teilchengröße unter
20 nm redispergieren lassen. Die Primärteilchengröße liegt bei 10 bis 11 nm,
die spezifische Oberfläche
bei 70 m2/g. Isoelektrischer Punkt: 7,2. Der
Gehalt an Zinn liegt üblicherweise
bei 8 mol-%. Aus diesen Pulvern lassen sich Sol-Gel-Schichten applizieren, die bei einer
Filmdicke von 400 nm bei einer Einbrenntemperatur von 550°C auf Glas
eine Transmission > 90
% und einen Flächenwiderstand von
160 Ω/⎕ realisieren
können.
Der Auftrag mehrerer Schichten ist möglich, wobei der Flächenwiderstand
weiter abgesenkt wird. So liegt der erzielte Flächenwiderstand bei einem Zweischichter
(600 nm Schichtdicke) bereits bei 100 Ω/⎕.