DE19840488A1 - Hochleistungs-Piezokeramik - Google Patents
Hochleistungs-PiezokeramikInfo
- Publication number
- DE19840488A1 DE19840488A1 DE19840488A DE19840488A DE19840488A1 DE 19840488 A1 DE19840488 A1 DE 19840488A1 DE 19840488 A DE19840488 A DE 19840488A DE 19840488 A DE19840488 A DE 19840488A DE 19840488 A1 DE19840488 A1 DE 19840488A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- piezoelectric ceramic
- ceramic material
- material according
- lead zirconate
- zirconate titanate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 21
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 title description 11
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract description 22
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims abstract description 19
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 claims abstract description 10
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 claims abstract description 5
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 claims abstract description 5
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims abstract description 5
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 4
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 claims abstract description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 3
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims abstract description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims abstract description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 24
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 claims description 7
- 230000032683 aging Effects 0.000 claims description 6
- 238000009472 formulation Methods 0.000 claims description 5
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910001420 alkaline earth metal ion Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 2
- 229910001413 alkali metal ion Inorganic materials 0.000 claims 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 abstract description 10
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 8
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 6
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 3
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 3
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 3
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 3
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 2
- 230000028161 membrane depolarization Effects 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000004848 polyfunctional curative Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 101100400378 Mus musculus Marveld2 gene Proteins 0.000 description 1
- 229910003237 Na0.5Bi0.5TiO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000370 acceptor Substances 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 1
- 239000000306 component Substances 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 1
- 238000006257 total synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007704 wet chemistry method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/48—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates
- C04B35/49—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates
- C04B35/491—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates based on lead zirconates and lead titanates, e.g. PZT
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/853—Ceramic compositions
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Description
Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein piezoelektrisches Keramikmaterial
auf Basis von Bleizirkonattitanat, das sich durch eine hervorragende thermische
und zeitliche Stabilität der funktionellen Kenngrößen auszeichnet.
Für den Einsatz von Piezokeramik für Sensoren, insbesondere in der KFZ-Tech
nik (Klopfsensoren, Drehraten-Sensoren, Rückfahrsensoren) sind Werkstoffe mit
hoher piezoelektrischer Aktivität bei hoher thermischer und zeitlicher Stabilität
(hohe Curie-Temperatur, geringen Temperaturkoeffizienten und niedrigen Alte
rungsraten) der funktionellen Kenngrößen erforderlich.
Für die Weiterführung der Entwicklung auf dem Gebiet der Vielschicht-Aktoren
werden Piezokeramiken mit großen Deformationsdefekten und hoher Curie-Tem
peratur benötigt.
Piezokeramische Werkstoffe bestehen seit langem aus Zusammensetzungen auf
der Basis der festen Lösungen (Mischkristalle) von Bleizirkonat (PbZrO3) und
Bleititanat (PbTiO3). Vielfältige Modifikationen des Grundsystems sind durch
Substitution und/oder Zusatz von Metallionen in begrenzten Konzentrationen
möglich, wenn die betreffenden Ionen Voraussetzungen bezüglich Wertigkeit, Io
nenradius und Charakter der chemischen Bindung erfüllen.
Unter Substitution im ursprünglichen Sinne ist der partielle Ersatz der Ionen Pb2+
bzw. Zr4+ und Ti4+ durch Ionen gleicher Wertigkeit und ähnlicher Ionenradien, wie
Ba2+, Sr2+, Mg2+ bzw. Sn4+ zu verstehen. Solche Substitutionen bewirken einerseits
eine Erhöhung der piezoelektrischen Aktivität, können andererseits aber auch die
thermische Stabilität des piezoelektrischen Zustandes beeinträchtigen.
Eine Modifikation der Grundzusammensetzung durch Dotierung mit Ionen abwei
chender Wertigkeit gegenüber den ursprünglichen Ionen führt zu einer weiterge
henden Diversifizierung der dielektrischen und elektromechanischen Eigenschaf
ten.
Ionen aus der "Weichmacher"-Gruppe La3+, Bi3+, Sb5+, Nb5+ wirken im Grundsy
stem als Donatoren und ergeben Piezokeramiken, die sich durch eine große Di
elektrizitätskonstante und eine hohe elektromechanische Aktivität auszeichnen,
aber auch durch hohe dielektrische und mechanische Verluste sowie eine Ab
hängigkeit der spezifischen Kenngrößen von starken elektrischen Feldern und
mechanischer Belastungen gekennzeichnet sind.
Eine Stabilisierung der Piezokeramiken auf der Basis von Bleizirkonattitanat er
gibt die Dotierung mit Ionen aus der "Härter"-Gruppe K⁺, Fe3+, Al3+: Diese Ionen
wirken als Akzeptoren, und in Wechselwirkung mit den Ionen des Grundsystems
bewirken sie eine Verringerung der dielektrischen und mechanischen Verluste,
führen aber auch zu einer Verringerung von Dielektrizitätskonstante, piezoelektri
scher Aktivität und spezifischem elektrischen Widerstand.
Durch gekoppelte Substitution von Ionen der Gruppe der "Weichmacher" mit Io
nen der Gruppe der "Härter" wiederum wird es möglich, die Stabilität von Piezoke
ramiken auf der Basis von Bleizirkonattitanat bei Aufrechterhaltung der piezoelek
trischen Aktivität und der hohen Dielektrizitätskonstante deutlich zu erhöhen.
Den gestiegenen Anforderungen der praktischen Anwendung von Piezokeramiken
versuchte man schließlich durch Multikomponenten-Systeme gerecht zu werden,
in denen bleihaltige Ionenkomplexe ("komplexe Verbindungen") mit der allgemei
nen Formulierung PbB'1-αB''αO3, mit B': 5- bzw. 6-wertige Kationen und
B'': 2-wertige Kationen, (α=1/3 oder 1/2 in Abhängigkeit von der Wertigkeit des
Kations B', teilweise den Ionenkomplex Pb2+(Zr4+, Ti4+)O3 ersetzen.
Durch Substitution einer oder mehrerer der komplexen Verbindungen, die auch
als sog. Relaxor-Ferroelektrika bekannt sind, entstehen einphasige Mehrkompo
nenten-Systeme (z. B. als ternäre oder quaternäre feste Lösungen) mit Perows
kitstruktur.
Zur Verbesserung der Eigenschaften von Bleizirkonattitanat-Keramiken führt auch
die Substitution von bleifreien Verbindungen mit Perowskitstruktur wie BiFeO3,
KNbO3, NaNbO3, Na0,5Bi0,5TiO3.
Diese Piezokeramiken gehören zur großen Familie der (keramischen) Ferroelek
trika. Als keramische Ferroelektrika sind auch bleifreie Zusammensetzungen, wie
(K, Na)NbO3, (Sr1-xBax)Nb2O6 bekannt.
Insgesamt existiert mit den unterschiedlichsten Modifikationen des Grundsystems
der festen Lösungen von Bleizirkonattitanat eine große Zusammensetzungsviel
falt, mit der es in vielen Fällen möglich war, eine jeweils anwendungsgerechte
Spezifikation der dielektrischen und elektromechanischen Eigenschaften piezo
elektrischer Werkstoffe für unterschiedliche Wandlerfunktionen zu realisieren.
Aus [1] Eyraud, L., Eyrnud, P., Mathieu, J. C., Claudel, B. "Effect of Simultaneous
Heterovalent Substitutions on Both Cationic Sites on the Electrical Conductivitity
and Ageing of PZT Type Ceramics" (Ferroelectrics 50 (1983) 103-110), [2] Eyraud,
L. Eyraud, P. Claudel, B. "Influence of Simultaneous Heterovalent Substitutions in
Both Cationic Sites on the Ferroelectlic Properties of PZT Type Ceramics" (J. Solid
State Chem. 53 (1984) 266-272), [3] Ohenassion, H., Gonnard, P., Troccaz, L.,
Eyraud, L., Eyraud, P. "Characterisation de la stabilité d'un element piézoélec
trique du type PZT sous compression uniaxiale rapide" (Revue Phys. Appl.
18 (1983) 479-486) und [4] Eyraud, L., Eyraud, P., Bauer, F. "Current Research in
the Field of PZT Ceramics and Ferroelectric" (Polymeers Adv. Cer. Mat. 1 (1986) 3,
223-231) ist die Zusammensetzungsreihe
Pb0,995Sr0,015Ba0,005K0,0025Na0,0025(ZrxTi1-xNb0,02O3(1+0,02)
x=0,52 . . . 0,54
bekannt.
bekannt.
Die konkreten Zusammensetzungen wurden unkonventionell durch Oxalat-Misch
fällung in einem naßchemischen Prozeß präpariert. Ziel dieser Arbeiten war
die Herstellung von Zusammensetzungen mit sehr niedriger elektrischer Leitfä
higkeit durch Kompensation der Wertigkeit von heterovalenten Substituenten und
schließlich in der Stabilisierung der funktionellen Eigenschaften gegenüber grö
ßeren mechanischen Belastungen. Die optimale Konzentration der Substituenten
wurde durch Trial und Error gefunden, und als beständigste Zusammensetzung
bezüglich der mechanischen Belastbarkeit ergab sich die Formulierung mit dem
Zr4+-Gehalt x=0,53. Charakterisiert werden die Zusammensetzungen in [3] und
[4]. Das Stabilitätskriterium für diese Zusammensetzungen war die Beständigkeit
bezüglich mechanischer Belastung. Angaben zu Curietemperatur, Temperatur
koeffizienten und Alterungsraten wurden nicht gemacht. Die optimale Sintertem
peratur wurde mit 1230°C angegeben. Die in diesen Arbeiten zur Herstellung der
Verbindungen verwendete naßchemische Präparation ist großtechnisch nur mit
beträchtlichem Aufwand umsetzbar.
Die der vorliegenden Erfindung zugrundeliegende Aufgabe war, modifizierte Pie
zokeramiken auf der Basis von Bleizirkonattitanat mit hoher Depolarisationsfe
stigkeit bei hohen mechanischen (Stoß-)Belastungen (für Gaszünder) und insbe
sondere mit geringen Temperaturkoeffizienten und Alterungsraten der funktionel
len Kenngrößen, hoher Curietemperatur (für Sensoren) sowie großem Deformati
onseffekt (für Aktoren) bereitzustellen. Dabei sollten diese Piezokeramiken über
die konventionelle Mischoxid-Route synthetisiert und bei Temperaturen unter
1150°C gesintert werden können.
Gelöst wurde diese Aufgabe durch ein piezoelektrisches Keramikmaterial auf Ba
sis von Bleizirkonattitanat mit den Kennzeichen des 1. oder 2. Anspruchs. Vor
zugsweise Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen charakterisiert.
Überraschenderweise wurde festgestellt, daß beim Bleizirkonattitanat (mit
Perowskitstruktur A2+B4+O3) durch partielle Substitution mit ferroelektrisch aktiven
Verbindungen die angestrebte Stabilisierung der Werkstoffe erreicht und gleich
zeitig die Verringerung der Sintertemperatur ermöglicht werden kann.
Erfindungsgemäß werden dazu die als Modifikationen von Bleizirkonattitanat
(Perowskitstruktur A2+B4+O3) an sich bekannten Erdalkalimetalle Sr2+, Ba2+, Alkali
metalle K⁺, Na⁺ und Metalle Nb5+, Sb5+, Tag über bleifreie Verbindungen mit der
allgemeinen Zusammensetzung
- - A1+B5+O3 oder
- - A2+B'0,25 1+B''0,75 5+O3
für heterovalente Ionenkombinationen (gegenüber A2+
B4+
O3
) mit Perowskitstruktur
und gegebenenfalls in Kombination mit einem Erdalkaliniobat (Ba1-x
Srx
)2
Nb2
O7
(Pyrochlor-Typ) über ternäre bzw. quaternäre feste Lösungen stöchiometrisch
eingebaut. Gegebenenfalls kann zur Erhöhung der piezoelektrischen Aktivität der
erfindungsgemäßen Zusammensetzungen auch mit einem Überschuß von
"Weichmacher"-Ionen (Nichtstöchiometrie <1 Gew.-%) gearbeitet werden.
Die allgemeine Formulierung der so gebildeten erfindungsgemäßen ternären bzw.
quaternären festen Lösungen sind:
(1-u)Pb(ZrxTi1-x)O3-uA2+(B'0,25 1+B''0,75 5+)O3(+wMe2 5+O5) [Typ 1]
(1-u-v)Pb(ZrxTi1-x)O3-uA1+B5+O3-v(Sr1-yBay)2Nb2O7 [Typ 2]
Für das Kation A2+ im Typ 1 kann zudem eine Kombination der Ionen Sr2+ und
Ba2+ in einem bestimmten Konzentrationsverhältnis, vorzugsweise die Kombina
tionen Sr0,7Ba0,3, Sr0,75Ba0,25 oder Sr0,8Ba0,2, besonders bevorzugt die Kombination
Sr0,75Ba0,25 stehen, und das Kation A1+ im Typ 2 kann durch K⁺, Na⁺ in einem be
stimmten Konzentrationsverhältnis, vorzugsweise durch die Kombinationen
K0,4Na0,6, K0,45Na0,55, K0,5Na0,5, K0,55Na0,45, K0,6Na0,4, besonders bevorzugt durch die
Kombination K0,5Na0,5 repräsentiert werden.
Die erfindungsgemäßen Keramikmaterialien vom Typ 1 können erhalten werden
durch Modifikation von Bleizirkonattitanat mit komplexen, bleifreien Perowskiten
der allgemeinen Zusammensetzung A2+B'0,25 1+B''0,75 5+O3 (Verbindung von Erdalka
limetallionen Ba2+, Sr2+ in Kombinationen von Alkalionen B'=K⁺, Na⁺ mit 5-werti
gen Metallionen B''=Nb, Ta, Sb), wobei
x = 0,40 . . . 0,55
u = 0 . . . 0,10
(w = 0 . . . 1 Gew.-%)
Me5+ = Nb5+, Ta5+, Sb5+ bedeutet.
x = 0,40 . . . 0,55
u = 0 . . . 0,10
(w = 0 . . . 1 Gew.-%)
Me5+ = Nb5+, Ta5+, Sb5+ bedeutet.
Der erfindungsgemäße Typ 2 kann erhalten werden durch Modifikation von
Bleizirkonattitanat mit Doppeloxiden (Perowskit) der allgemeinen Zusammenset
zung A1+B5+O3 von Alkalimetallen, vorzugsweise von K⁺ und/oder Na⁺, mit
fünfwertigen Metallen, beispielsweise mit den Metallionen Nb5+, Ta5+, Sb5+, vor
zugsweise mit Nb5+, in Kombination mit einem Erdalkaliniobat vom Pyrochlortyp,
vorzugsweise mit einem (Ba1-xSrx)2Nb2O7, wobei
x = 0,40 . . . 0,55
u+v = 0 . . . 0,05
y = 0 . . . 1,0 bedeutet.
x = 0,40 . . . 0,55
u+v = 0 . . . 0,05
y = 0 . . . 1,0 bedeutet.
Überraschenderweise wurde festgestellt, daß die erfindungsgemäßen Keramik
materialien sich durch eine hervorragende thermische und zeitliche Stabilität der
funktionellen Kenngrößen auszeichnen. Dabei zeichnen sich die erfindungsge
mäßen Keramikmaterialien durch folgende Stabilitätskriterien aus:
- - Temperaturkoeffizienten
(-40 . . . +150°C):
TKε <3.10-3K-1
Tkk <1.10-3K-1 - - Alterungsraten:
cε <1.10-2/Dekade
ck <5.10-3/Dekade - - Curietemperatur:
Tc <300°C - - Spannungsänderung bei
wiederholter mechan. Belastung
(Epot = 30 mWs
= 250 mm Fallhöhe einer
Kugel von 11,8 g, nach
1000 Stößen)
ΔU/U <3%
Die erfindungsgemäßen ternären und quaternären festen Lösungen mit heterova
lenten Substituenten (Ionenkombinationen mit Ladungskompensation) lassen sich
als stöchiometrische, einphasige Zusammensetzung über die konventionelle
Route der sog. Mischoxidtechnik in Totalsynthese aufbereiten.
Die so hergestellten Keramiken sintern überraschenderweise bei Temperaturen
unterhalb 1150°C, so daß einer Verdampfung von PbO weitgehend entgegenge
wirkt wird.
Mit den erfindungsgemäßen Werkstoffen sind in bestimmten Zusammenset
zungsbereichen auch für Multilayer-Aktoren geeignete Werkstoffe mit niedriger
Sintertemperatur, großem Dehnungseffekt und hoher Curietemperatur verfügbar.
Die erfindungsgemäßen Werkstoffe zeichnen sich insbesondere durch geringe
Alterungsraten und Temperaturkoeffizienten der funktionellen Kenngrößen aus
und sind daher für Sensoren besonders geeignet.
Aufgrund ihrer hohen Depolarisationsfestigkeit bei wiederholter mechanischer
Stoß-Belastung sind die erfindungsgemäßen Werkstoffe auch für Zündelemente
geeignet.
Die stabilisierten erfindungsgemäßen piezokeramischen Werkstoffe mit großer
piezoelektrischer Aktivität können vorzugsweise für die Sensorik und Aktorik und
in bestimmten Fällen für Zündelemente zum Einsatz kommen.
Die nachfolgenden Beispiele sollen die Erfindung erläutern, ohne sie jedoch ein
zuschränken:
Erfindungsgemäß hergestellt wurde folgende Verbindung:
0,98Pb(Zr0,52Ti0,48)O3-0,02Sr(K0,25Nb0,75)O3
Dazu wurden die Rohstoffe als Metalloxide beziehungsweise -carbonate
oder -niobate entsprechend der stöchiometrischen Zusammensetzung eingewogen und
in einem geeigneten Medium in einer Kugelmühle über einen Zeitraum von 10 h
gemischt und gemahlen. Anschließend wurde die Mischung getrocknet, bei einer
Temperatur von 850°C kalziniert, feingemahlen, in einem Sprühtrockner
granuliert und dann unter einem Druck von 100 MPa zu scheibenförmigen
Prüfkörpern verpreßt. Die Prüfkörper wurden danach bei 1120°C bei einer
Haltezeit von 1 h dichtgesintert. Erhalten wurden runde Scheiben mit einem
Durchmesser von 10 mm und einer Dicke von 1 mm.
An den so erhaltenen Prüfkörper wurden nach Metallisierung durch Einbrennen
einer Silbersiebdruckpaste und Polung mit einer Spannung von 2,5 kV über eine
Zeit von 5 min bei einer Temperatur von 100°C die funktionellen Kenngrößen
ermittelt. Dazu wurde u. a. folgendes Meßgerät benutzt:
Impedanz Analyser HP 4194A für die Messung der Kapazität (Dielektrizitätszahl) und der elektromechanischen Kenngröße kp nach dem Resonator-Meßverfahren im Einklang mit DIN IEC 483.
Impedanz Analyser HP 4194A für die Messung der Kapazität (Dielektrizitätszahl) und der elektromechanischen Kenngröße kp nach dem Resonator-Meßverfahren im Einklang mit DIN IEC 483.
Für die Prüfkörper gemäß Beispiel 1 ergaben sich folgende Meßwerte:
ε33 T/ε0: 1989
tanδ: 0,012
Tc: 347,3°C
kp: 0,63
d33: 440.10-12m/V
TKε: 2,5.10-3K-1
Tkk: -5,2.10-4K-1
cε: -2,9.10-3/Dekade
ck: 1,7.10-3/Dekade
Ts: 1120°C
tanδ: 0,012
Tc: 347,3°C
kp: 0,63
d33: 440.10-12m/V
TKε: 2,5.10-3K-1
Tkk: -5,2.10-4K-1
cε: -2,9.10-3/Dekade
ck: 1,7.10-3/Dekade
Ts: 1120°C
Wie in Beispiel 1 beschrieben wurde die Verbindung:
0,98Pb(Zr0,53Ti0,47)O3-0,02Sr(K0,25Nb0,75)O3
hergestellt.
Für die Prüfkörper gemäß Beispiel 2 ergaben sich folgende Meßwerte:
ε33 T/ε0: 2220
tanδ: 0,015
Tc: 331,1°C
kp: 0,63
d33: 475.10-12m/V
TKε: 1,9.10-3K-1
TKk: -5,9.10-4K-1
cε: -9,4.10-3/Dekade
ck: 2,6.10-3/Dekade
Ts: 1120°C
tanδ: 0,015
Tc: 331,1°C
kp: 0,63
d33: 475.10-12m/V
TKε: 1,9.10-3K-1
TKk: -5,9.10-4K-1
cε: -9,4.10-3/Dekade
ck: 2,6.10-3/Dekade
Ts: 1120°C
Wie in Beispiel 1 beschrieben wurde die Verbindung:
0, 99Pb(Zr0,52Ti0,48)O3-0,005(K0,5Na0,5)NbO3-0,005(Sr0,75Ba0,25)2Nb2O7
hergestellt.
Für die Prüfkörper gemäß Beispiel 3 ergaben sich folgende Meßwerte:
ε33 T/ε0: 1926
tanδ: 0,0125
Tc: 347,5°C
kp: 0,64
d33: 452.10-12m/V
TKε: 3,0.10-3K-1
TKk: -5,6.10-4K-1
cε: -6,2.10-3/Dekade
ck: 0,7.10-3/Dekade
Ts: 1120°C
tanδ: 0,0125
Tc: 347,5°C
kp: 0,64
d33: 452.10-12m/V
TKε: 3,0.10-3K-1
TKk: -5,6.10-4K-1
cε: -6,2.10-3/Dekade
ck: 0,7.10-3/Dekade
Ts: 1120°C
Claims (11)
1. Piezoelektrisches Keramikmaterial auf Basis von Bleizirkonattitanat, dadurch
gekennzeichnet, daß es der allgemeinen Formulierung
(1-u)Pb(ZrxTi1-x)O3-uA2+(B'0,25 1+B''0,75 5+)O3(+wMe2 5+O5)
entspricht, worin
A2+ für Erdalkalimetallionen, vorzugsweise für Sr2+ und/oder Ba2+,
B' für Alkalimetall, vorzugsweise für Na und/oder K,
B'' und Me für ein 5-wertiges Metall aus der Reihe Nb, Ta oder Sb, vor zugsweise für Nb steht und x, u und w die folgende Bedeutung haben:
x = 0,40 . . . 0,55
u = 0 . . . 0,10
(w = 0 . . . 1 Gew.-%).
(1-u)Pb(ZrxTi1-x)O3-uA2+(B'0,25 1+B''0,75 5+)O3(+wMe2 5+O5)
entspricht, worin
A2+ für Erdalkalimetallionen, vorzugsweise für Sr2+ und/oder Ba2+,
B' für Alkalimetall, vorzugsweise für Na und/oder K,
B'' und Me für ein 5-wertiges Metall aus der Reihe Nb, Ta oder Sb, vor zugsweise für Nb steht und x, u und w die folgende Bedeutung haben:
x = 0,40 . . . 0,55
u = 0 . . . 0,10
(w = 0 . . . 1 Gew.-%).
2. Piezoelektrisches Keramikmaterial auf Basis von Bleizirkonattitanat, dadurch
gekennzeichnet, daß es der allgemeinen Formulierung
(1-u-v)Pb(ZrxTi1-x)O3-uA1+B5+O3-v(Sr1-yBay)2Nb2O7
entspricht, worin
A1+ für Alkalimetallionen, vorzugsweise für Na⁺ und/oder K⁺,
B5+ für ein 5-wertiges Metallion aus der Reihe Nb, Ta oder Sb, vorzugs weise für Nb steht und x, y, u und v die folgende Bedeutung haben:
x = 0,40 . . . 0,55
y = 0 . . . 1,0
u, v = 0 . . . 0,05.
(1-u-v)Pb(ZrxTi1-x)O3-uA1+B5+O3-v(Sr1-yBay)2Nb2O7
entspricht, worin
A1+ für Alkalimetallionen, vorzugsweise für Na⁺ und/oder K⁺,
B5+ für ein 5-wertiges Metallion aus der Reihe Nb, Ta oder Sb, vorzugs weise für Nb steht und x, y, u und v die folgende Bedeutung haben:
x = 0,40 . . . 0,55
y = 0 . . . 1,0
u, v = 0 . . . 0,05.
3. Piezoelektrisches Keramikmaterial gemäß Anspruch 1 oder 2, dadurch ge
kennzeichnet, daß es folgende Stabilitätskriterien erfüllt:
- - Temperaturkoeffizienten
(-40 . . . +150°C):
TKε <3.10-3K-1
Tkk <1.10-3K-1 - - Alterungsraten:
cε <1.10-2/Dekade
ck <5.10-3/Dekade - - Curietemperatur:
Tc <300°C - - Spannungsänderung bei
wiederholter mechan. Belastung
(Epot = 30 mWs = 250 mm
Fallhöhe einer Kugel von
11,8 g, nach 1000 Stößen):
ΔU/U <3%
4. Piezoelektrisches Keramikmaterial gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß für das Kation A2+ eine Kombination der Ionen Sr2+ und Ba2+ in einem
bestimmten Konzentrationsverhältnis, vorzugsweise die Kombinationen
Sr0,7Ba0,3, Sr0,75Ba0,25 oder Sr0,8Ba0,2, besonders bevorzugt die Kombination
Sr0,75Ba0,25 steht.
5. Piezoelektrisches Keramikmaterial gemäß Anspruch 2, dadurch gekennzeich
net, daß das Kation A1+ durch K⁺, Na⁺ in einem bestimmten Konzentrations
verhältnis, vorzugsweise durch die Kombinationen K0,4Na0,6, K0,4Na0,55,
K0,5Na0,5, K0,55Na0,45, K0,6Na0,4, besonders bevorzugt durch die Kombination
K0,5Na0,5 repräsentiert wird.
6. Piezoelektrisches Keramikmaterial gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß es der Formel
0,98Pb(Zr0,52Ti048)O3-0,02Sr(K0,25Nb0,75)O3 oder
0,98Pb(Zr0,53Ti0,47)O3-0,02Sr(K0,25Nb0,75)O3
entspricht.
0,98Pb(Zr0,52Ti048)O3-0,02Sr(K0,25Nb0,75)O3 oder
0,98Pb(Zr0,53Ti0,47)O3-0,02Sr(K0,25Nb0,75)O3
entspricht.
7. Piezoelektrisches Keramikmaterial gemäß Anspruch 2, dadurch gekennzeich
net, daß es der Formel
0,99Pb(Zr0,5Ti0,48)O3-0,005(K0,5Na0,5)NbO3-0,005(Sr0,75Ba0,25)2Nb2O7
entspricht.
0,99Pb(Zr0,5Ti0,48)O3-0,005(K0,5Na0,5)NbO3-0,005(Sr0,75Ba0,25)2Nb2O7
entspricht.
8. Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Keramikmaterials gemäß
einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß in Bleizirkonatti
tanat die entsprechenden bleifreien Perowskite der allgemeinen Zusammen
setzung A1+B5+O3 bzw. A2+B'0,25 1+B''0,75 5+O3, gegebenenfalls in Kombination mit
den entsprechenden Erdalkaliniobaten vom Pyrochlortyp über ternäre bzw.
quaternäre feste Lösungen stöchiometrisch eingebaut werden, wobei die
Rohstoffe als Metalloxide bzw. -carbonate eingesetzt, nach der Mischoxid-Route
verarbeitet und die erhaltenen Grünkörper bei einer Sintertemperatur
von <1150°C dicht gesintert werden.
9. Verwendung des piezoelektrischen Keramikmaterials gemäß einem der An
sprüche 1 bis 7 für Sensoren.
10. Verwendung des piezoelektrischen Keramikmaterials gemäß einem der An
sprüche 1 bis 7 für Aktoren.
11. Verwendung des piezoelektrischen Keramikmaterials gemäß einem der An
sprüche 1 bis 7 für Zündelemente.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19840488A DE19840488A1 (de) | 1997-09-05 | 1998-09-04 | Hochleistungs-Piezokeramik |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19738793 | 1997-09-05 | ||
DE19840488A DE19840488A1 (de) | 1997-09-05 | 1998-09-04 | Hochleistungs-Piezokeramik |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19840488A1 true DE19840488A1 (de) | 1999-03-11 |
Family
ID=7841254
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19840488A Ceased DE19840488A1 (de) | 1997-09-05 | 1998-09-04 | Hochleistungs-Piezokeramik |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6692651B2 (de) |
EP (1) | EP1025061B1 (de) |
JP (2) | JP2001515835A (de) |
KR (1) | KR101438053B1 (de) |
CN (1) | CN1096439C (de) |
BR (1) | BR9812150A (de) |
DE (1) | DE19840488A1 (de) |
ES (1) | ES2450150T3 (de) |
PT (1) | PT1025061E (de) |
WO (1) | WO1999012865A1 (de) |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001093345A1 (en) * | 2000-05-26 | 2001-12-06 | Ceramtec Ag | Internal electrode material for piezoceramic multilayer actuators |
WO2002055450A1 (de) * | 2001-01-12 | 2002-07-18 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelektrisches keramisches material, verfahren zu dessen herstellung und elektrokeramisches mehrlagenbauteil |
WO2005069396A1 (de) | 2004-01-15 | 2005-07-28 | Epcos Ag | Keramikmaterial |
US7065846B2 (en) | 2002-07-11 | 2006-06-27 | Ceramtec Ag Innovative Ceramic Engineering | Insulation for piezoceramic multilayer actuators |
DE102006039858A1 (de) * | 2006-01-02 | 2007-07-12 | Ceramtec Ag Innovative Ceramic Engineering | Monolithisches Biegeelement |
CN100371297C (zh) * | 2004-11-10 | 2008-02-27 | 哈尔滨工程大学 | 锆钛酸铅纳米粉体的制备方法 |
DE102008042965A1 (de) | 2007-10-18 | 2009-04-23 | Ceramtec Ag | Piezokeramisches Vielschichtelement |
DE102009046852A1 (de) | 2008-11-20 | 2010-06-17 | Ceramtec Ag | Vielschichtaktor mit Außenelektroden als metallische, poröse, dehnbare Leitschicht |
WO2010081590A2 (de) * | 2009-01-15 | 2010-07-22 | Robert Bosch Gmbh | Dotierungszusammensetzung für pzt-keramiken |
EP2249409A2 (de) | 2009-05-06 | 2010-11-10 | Robert Bosch GmbH | Piezokeramik für Aktoren |
DE102010001246A1 (de) | 2010-01-27 | 2011-07-28 | Robert Bosch GmbH, 70469 | Verfahren und Stoffe zur Herstellung einer Piezokeramik für einen Piezoaktor oder ein Piezoaktormodul |
US7999448B2 (en) | 2007-03-02 | 2011-08-16 | Epcos Ag | Piezoelectric material, multilayer actuator and method for manufacturing a piezoelectric component |
DE102013200257A1 (de) | 2012-01-11 | 2013-07-11 | Ceramtec Gmbh | Aktormodul mit einem in einem Gehäuse angeordneten Vielschichtaktor und konstant extrem niedrigen Leckstrom an der Aktoroberfläche |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004038103A1 (de) | 2004-08-05 | 2006-02-23 | Epcos Ag | Vielschichtbauelement und Verfahren zu dessen Herstellung |
KR100984447B1 (ko) * | 2005-12-08 | 2010-09-29 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 적층형 압전 소자 및 그 제조방법 |
JP5329863B2 (ja) * | 2008-07-31 | 2013-10-30 | 富士フイルム株式会社 | 圧電素子及び圧電素子の製造方法、液体吐出装置 |
DE102009029511A1 (de) * | 2009-09-16 | 2011-04-07 | Robert Bosch Gmbh | Keramikmaterial für eine piezoelektrische Aktor- und/oder Sensorvorrichtung und Herstellungsverfahren für ein Keramikmaterial für eine piezoelektrische Aktor- und/oder Sensorvorrichtung |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2708244A (en) * | 1954-03-24 | 1955-05-10 | Jaffe Bernard | Piezoelectric transducers using lead titanate and lead zirconate |
JPS4945118B1 (de) * | 1973-08-20 | 1974-12-02 | ||
US4087366A (en) * | 1973-11-30 | 1978-05-02 | Tdk Electronic Company | Method of preparing a piezoelectric ceramic composition |
JPS5453298A (en) * | 1978-06-26 | 1979-04-26 | Tdk Corp | Ferrodielectric piezo-electric porcelain material |
JPS596833B2 (ja) * | 1981-03-28 | 1984-02-14 | 財団法人小林理学研究所 | 強誘電性透明磁器組成物 |
JPH04130682A (ja) * | 1990-09-20 | 1992-05-01 | Mitsubishi Kasei Corp | アクチュエータ用圧電セラミック組成物 |
JPH04209762A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電磁器の製造方法 |
JP2820000B2 (ja) * | 1993-08-05 | 1998-11-05 | トヨタ自動車株式会社 | アクチュエータ用圧電材料組成物 |
JPH07330428A (ja) * | 1994-06-06 | 1995-12-19 | Tdk Corp | 圧電セラミック組成物 |
-
1998
- 1998-08-27 ES ES98949975.1T patent/ES2450150T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1998-08-27 CN CN98808785A patent/CN1096439C/zh not_active Expired - Lifetime
- 1998-08-27 PT PT98949975T patent/PT1025061E/pt unknown
- 1998-08-27 JP JP2000510682A patent/JP2001515835A/ja not_active Withdrawn
- 1998-08-27 BR BR9812150-2A patent/BR9812150A/pt not_active IP Right Cessation
- 1998-08-27 WO PCT/EP1998/005439 patent/WO1999012865A1/de active Application Filing
- 1998-08-27 KR KR1020007002286A patent/KR101438053B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1998-08-27 EP EP98949975.1A patent/EP1025061B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-08-27 US US09/486,001 patent/US6692651B2/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-09-04 DE DE19840488A patent/DE19840488A1/de not_active Ceased
-
2009
- 2009-05-21 JP JP2009123248A patent/JP5700916B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001093345A1 (en) * | 2000-05-26 | 2001-12-06 | Ceramtec Ag | Internal electrode material for piezoceramic multilayer actuators |
WO2002055450A1 (de) * | 2001-01-12 | 2002-07-18 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelektrisches keramisches material, verfahren zu dessen herstellung und elektrokeramisches mehrlagenbauteil |
US6773621B2 (en) | 2001-01-12 | 2004-08-10 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelectric ceramic material, method for production thereof and electroceramic multi-layer component |
US7065846B2 (en) | 2002-07-11 | 2006-06-27 | Ceramtec Ag Innovative Ceramic Engineering | Insulation for piezoceramic multilayer actuators |
WO2005069396A1 (de) | 2004-01-15 | 2005-07-28 | Epcos Ag | Keramikmaterial |
US8858822B2 (en) | 2004-01-15 | 2014-10-14 | Epcos Ag | Ceramic material |
CN100371297C (zh) * | 2004-11-10 | 2008-02-27 | 哈尔滨工程大学 | 锆钛酸铅纳米粉体的制备方法 |
DE102006039858A1 (de) * | 2006-01-02 | 2007-07-12 | Ceramtec Ag Innovative Ceramic Engineering | Monolithisches Biegeelement |
US7999448B2 (en) | 2007-03-02 | 2011-08-16 | Epcos Ag | Piezoelectric material, multilayer actuator and method for manufacturing a piezoelectric component |
DE102008042965A1 (de) | 2007-10-18 | 2009-04-23 | Ceramtec Ag | Piezokeramisches Vielschichtelement |
EP2207758B1 (de) * | 2007-10-18 | 2017-08-30 | CeramTec GmbH | Piezokeramisches vielschichtelement |
US9598319B2 (en) | 2007-10-18 | 2017-03-21 | Ceramtec Gmbh | Piezoceramic multi-layer element |
DE102009046852A1 (de) | 2008-11-20 | 2010-06-17 | Ceramtec Ag | Vielschichtaktor mit Außenelektroden als metallische, poröse, dehnbare Leitschicht |
WO2010081590A2 (de) * | 2009-01-15 | 2010-07-22 | Robert Bosch Gmbh | Dotierungszusammensetzung für pzt-keramiken |
WO2010081590A3 (de) * | 2009-01-15 | 2010-09-30 | Robert Bosch Gmbh | Dotierungszusammensetzung für pzt-keramiken |
DE102009002835A1 (de) | 2009-05-06 | 2010-11-11 | Robert Bosch Gmbh | Piezokeramik für einen Piezoaktor oder ein Piezoaktormodul |
EP2249409A2 (de) | 2009-05-06 | 2010-11-10 | Robert Bosch GmbH | Piezokeramik für Aktoren |
DE102010001246A1 (de) | 2010-01-27 | 2011-07-28 | Robert Bosch GmbH, 70469 | Verfahren und Stoffe zur Herstellung einer Piezokeramik für einen Piezoaktor oder ein Piezoaktormodul |
WO2011091939A2 (de) | 2010-01-27 | 2011-08-04 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren und stoffe zur herstellung einer piezokeramik für einen piezoaktor oder ein piezoaktormodul |
DE102013200257A1 (de) | 2012-01-11 | 2013-07-11 | Ceramtec Gmbh | Aktormodul mit einem in einem Gehäuse angeordneten Vielschichtaktor und konstant extrem niedrigen Leckstrom an der Aktoroberfläche |
WO2013104710A1 (de) | 2012-01-11 | 2013-07-18 | Ceramtec Gmbh | Aktormodul mit einem in einem gehäuse angeordneten vielschichtaktor und konstant extrem niedrigen leckstrom an der aktoroberfläche |
DE202013012023U1 (de) | 2012-01-11 | 2015-04-29 | Ceramtec Gmbh | Aktormodul mit einem in einem Gehäuse angeordneten Vielschichtaktor und konstant extrem niedrigen Leckstrom an der Aktoroberfläche |
EP2990638A1 (de) | 2012-01-11 | 2016-03-02 | CeramTec GmbH | Aktormodul mit einem in einem gehäuse angeordneten vielschichtaktor und konstant extrem niedrigen leckstrom an der aktoroberfläche |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1025061A1 (de) | 2000-08-09 |
EP1025061B1 (de) | 2013-12-04 |
PT1025061E (pt) | 2014-03-05 |
CN1269773A (zh) | 2000-10-11 |
WO1999012865A1 (de) | 1999-03-18 |
JP2001515835A (ja) | 2001-09-25 |
KR101438053B1 (ko) | 2014-10-24 |
ES2450150T3 (es) | 2014-03-24 |
JP2009179561A (ja) | 2009-08-13 |
BR9812150A (pt) | 2000-07-18 |
US20020190237A1 (en) | 2002-12-19 |
US6692651B2 (en) | 2004-02-17 |
CN1096439C (zh) | 2002-12-18 |
JP5700916B2 (ja) | 2015-04-15 |
KR20010023635A (ko) | 2001-03-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE19840488A1 (de) | Hochleistungs-Piezokeramik | |
DE102007016854B4 (de) | Piezoelektrische, bleifreie keramische Zusammensetzung, Verfahren zu deren Herstellung sowie ein dieses Material unfassendes piezoelektrisches Bauelement | |
EP1362020B1 (de) | Piezoelektrisches keramisches material, verfahren zu dessen herstellung und elektrokeramisches mehrlagenbauteil | |
EP1704602B1 (de) | Keramikmaterial | |
KR101318088B1 (ko) | 변형율이 높은 무연 압전 세라믹 조성물 | |
DE102015104869B4 (de) | Piezoelektrische Zusammensetzung und piezoelektrisches Element | |
JP3296640B2 (ja) | 圧電セラミックス | |
DE69923635T2 (de) | Piezoelektrische Keramiken | |
DE112005001951B4 (de) | Piezoelektrische Keramikzusammensetzung und ihre Verwendung | |
WO2008068096A1 (de) | Niedrig sinterndes, piezoelektrisches material auf blei-zirkonat-titanat-mischkristall-basis, verfahren zu dessen herstellung sowie ein dieses material umfassendes piezoelektrisches bauelement | |
DE102014116518B4 (de) | Piezoelektrische Zusammensetzung und piezoelektrisches Element | |
DE102017116925B4 (de) | Harte PZT-Keramik, piezoelektrisches Vielschichtbauelement und Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Vielschichtbauelements | |
EP1436848B1 (de) | Piezoelektrische keramische werkstoffe auf der basis von bleizirkonattitanat (pzt) mit kristallstruktur des perowskits | |
DE102015101594B4 (de) | Piezoelektrische Zusammensetzung und piezoelektrisches Element | |
EP2445849B1 (de) | Keramikmaterial und verfahren zur herstellung des keramikmaterials | |
EP0619279B1 (de) | Piezokeramischer Werkstoff mit grosser piezoelektrischer Aktivität und hoher Dielektrizitätszahl | |
DE102020100340A1 (de) | Piezoelektrische zusammensetzung und piezoelektrische vorrichtung | |
DE4327993C1 (de) | Verfahren zur Herstellung von PZT-Werkstoffen mit hoher Depolarisationsfestigkeit und niedriger Sintertemperatur | |
DE1646820B1 (de) | Piezoelektrischer keramikstoff | |
DE10041304A1 (de) | Piezoelektrische Keramikzusammensetzung und diese nutzendes piezoelektrisches Keramikbauteil | |
DE2001290B2 (de) | Piezoelektrische keramik | |
EP0579048A2 (de) | Bei niedrigen Temperaturen sinterbarer Versatz zur Herstellung von piezoelektrischen, keramischen Formkörpern und daraus durch Sintern hergestellte Formkörper | |
DE1646675C2 (de) | Piezoelektrische Keramik | |
DE1646691C2 (de) | Piezoelektrische Keramik | |
DE1646525B2 (de) | Piezoelektrische keramik |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: CERAMTEC AG, 73207 PLOCHINGEN, DE |
|
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: CERAMTEC GMBH, 73207 PLOCHINGEN, DE |
|
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: CERAMTEC GMBH, DE Free format text: FORMER OWNER: CERAMTEC AG, 73207 PLOCHINGEN, DE Effective date: 20110216 |
|
R002 | Refusal decision in examination/registration proceedings | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R125 | Request for further processing filed | ||
R126 | Request for further processing allowed | ||
R002 | Refusal decision in examination/registration proceedings | ||
R003 | Refusal decision now final |