DE19839619A1 - Verfahren zum Herstellen eines Streustrahlenrasters und ein somit hergestelltes Streustrahlenraster eines Strahlendiagnosegerätes - Google Patents

Abstract

Erfindungsgemäß werden Ausnehmungen (2) in einem Grundträger (1) durch ein anisotrop wirkendes Trockenätzverfahren ausgebildet. Es können somit besonders gleichmäßige und präzise Strukturen erzeugt werden, wie sie für Streustrahlenraster erforderlich sind.

Description

Solche Streustrahlenraster werden in der Strahlendiagnostik, insbesondere der Röntgendiagnostik, eingesetzt, um Streu­ strahlen, die beim Durchstrahlen des Objektes entstehen und nicht zur Bildgebung beitragen, vom Strahlenempfänger mög­ lichst fernzuhalten. Diese Streustrahlenraster sind als Viel­ linienraster ausgebildet, was bedeutet, daß eine Vielzahl von Bleilamellen im engen Abstand zueinander angeordnet sind. Diese Bleilamellen sind vorzugsweise auf den Fokus des Strah­ lensenders ausgerichtet. Insbesondere in der modernen Rönt­ gendiagnostik und bei hochauflösenden Strahlenempfängern ist es erforderlich, Viellinienraster einzusetzen, die beispiels­ weise 80 Bleilamellen auf einem Zentimeter aufweisen. Die Bleilamellen müssen also ausgesprochen dünn ausgebildet wer­ den und einen sehr geringen Abstand zueinander haben.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Verfahren zum Her­ stellen eines Streustrahlenrasters und ein Streustrahlenra­ ster derart auszubilden, daß dieses bei geringem Fertigungs­ aufwand eine gute Streustrahlenabsorption gewährleistet.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch den Gegenstand der Pa­ tentansprüche 1 und 6 gelöst.

Vorteil der Erfindung ist, daß Ausnehmungen in einem Grund­ träger durch ein anisotrop wirkendes Trockenätzverfahren aus­ gebildet werden. Durch dieses Ätzverfahren können individuel­ le Formen, insbesondere der Ausnehmungen in den Grundträger, bei hoher Präzision geätzt werden, so daß die Ausnehmungen einen engen Abstand haben können.

Als Trockenätzverfahren hat sich das Ionenstrahlätzen oder das reaktive Ionenstrahlätzen besonders vorteilhaft herausge­ stellt.

Weist der Grundträger Silizium oder Aluminium auf und werden die durch das Trockenätzen hergestellten Ausnehmungen im Grundträger mit einem Material gefüllt, welche Strahlung stärker schwächt als das Material des Grundträgers, so kann auf kostengünstige Weise ein sehr wirkungsvolles Streustrah­ lenraster hergestellt werden.

Alternativ kann der Grundträger auch derart geätzt werden, daß gegenüber einer Basis erhöhte Strukturen erhalten werden. Es wird somit ein Streustrahlenraster erhalten, bei dem keine Ausnehmungen mit einem Material aufgefüllt werden müssen. Be­ sonders vorteilhaft umfaßt der Grundträger hierbei eine Blei aufweisende Folie, in die die Ausnehmungen eingebracht sind und wobei die Folie aus Blei auf einer Kunststoffolie aufge­ bracht ist. Der Bleifolie wird somit eine zusätzliche Stabi­ lität gegeben.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels anhand der Zeichnungen in Verbindung mit den Unteransprüchen. Es zeigen:

Fig. 1 einen Ausschnitt eines ersten Ausführungsbeispieles eines Streustrahlenrasters nach der Erfindung,

Fig. 2 eine Teilaufsicht auf das Streustrahlenraster gemäß der Fig. 1,

Fig. 3 eine weitere Teilaufsicht auf ein weiteres Ausfüh­ rungsbeispiel eines Streustrahlenrasters nach der Fig. 1, und

Fig. 4 ein weiteres Ausführungsbeispiel eines erfindungsge­ mäßen Streustrahlenrasters in prinzipieller Darstel­ lung.

In der Fig. 1 ist ein Grundträger mit dem Bezugszeichen 1, eine Ausnehmung mit dem Bezugszeichen 2, eine Oberfläche des Grundträgers mit dem Bezugszeichen 3 und Absorptionselemente mit dem Bezugszeichen 4 gekennzeichnet. Ausgehend vom Grund­ träger 1, der beispielsweise Silizium oder Aluminium auf­ weist, wird im Verfahren zum Herstellen eines Streustrahlen­ rasters beispielsweise eine Fotomaske aufgebracht, durch die dem Grundträger 1 durch Ätzen Strukturen z. B. in Form von Lö­ chern oder Linien beibringbar sind. Solche Fotoätzverfahren sind aus der Halbleitertechnologie bekannt und finden daher keine Erläuterung. Um eine besonders hohe Präzision der An­ ordnung und der Ausbildung der Ausnehmungen zu erreichen, wird erfindungsgemäß ein anisotrop wirkendes Trockenätzver­ fahren angewendet, welches sich insbesondere sehr stark ent­ lang der Kristallorientierung, insbesondere bei einem Silizi­ um aufweisenden Grundträger, ausbreitet, wodurch die Ausneh­ mungen 2 exakt rechtwinklig zur Oberfläche 3 des Grundträgers 1 ausgerichtet werden. Nach dem Ätzverfahren wird in die Aus­ nehmungen 2 ein Material eingebracht, das eine größere Strah­ lenabsorption aufweist als die des Grundträgers 1. Vorzugs­ weise eignet sich hierzu flüssiges Blei, das unter Druck in die Ausnehmungen 2 eingebracht wird.

Alternativ hierzu kann ein Streustrahlenraster auch dadurch hergestellt werden, daß ein Grundträger 1 aus Strahlung stark absorbierendem Material durch eine entsprechende Fotomaske derart durch das Trockenätzverfahren behandelt wird, daß ge­ genüber einer Basis 5 erhabene Strukturen 6 erhalten werden, die als Säulen oder Linien ausgeführt sind. Die Säulen können hierzu vorzugsweise in Reihen angeordnet werden; sie können aber auch statistisch verteilt angeordnet sein. Um dem somit gebildeten Grundträger 1 eine höhere Stabilität zu verleihen, ist dieser auf einem Träger 7 aufgebracht, der vorzugsweise als Kunststoffolie ausgebildet ist.

Claims (6)

1. Verfahren zum Herstellen eines Streustrahlenrasters eines Strahlendiagnosegerätes, wobei Ausnehmungen (2) in einem Grundträger (1) durch ein anisotrop wirkendes Trockenätzverfahren ausgebildet werden.

2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei als Trockenätzverfahren das Ionenstrahlätzen oder das reaktive Ionenstrahlätzen Anwendung findet.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Grundträger (1) Silizium oder Aluminium aufweist, und wobei die Ausnehmungen (2) mit einem Material gefüllt werden, welches Strahlung stärker schwächt als das Material des Grundträgers (1).

4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Grundträger (1) derart geätzt wird, daß gegenüber einer Basis (5) erhöhte Strukturen (6) erhalten werden.

5. Verfahren nach Anspruch 4, wobei der Grundträger (1) eine Blei aufweisende Folie umfaßt, in die die Ausnehmungen (2) eingebracht sind und wobei die Folie aus Blei auf einem Träger (7), insbesondere einer Kunststoffolie, aufgebracht ist.

6. Streustrahlenraster, hergestellt nach einem der Verfahren 1 bis 5.