DE19837564C1 - Vereinzelungsvorrichtung für mikroelektronische Bauelemente - Google Patents

Abstract

Die Vereinzelungsvorrichtung für mikroelektronische Bauelemente (3) weist einen Stopperhebel (18) zur Bildung eines Staus von Bauelementen (3) auf sowie eine vordere Klemmhebelzangeneinrichtung (19) und eine hintere Klemmhebelzangeneinrichtung (34) zum beidseitigen Festklemmen des vordersten Bauelements (3') bzw. zweiten Bauelements (3''). Mittels einer gemeinsamen Betätigungseinrichtung werden die Klemmhebelzangeneinrichtungen (19, 34) in Richtung des Führungskanals (2) voneinander entfernt, wodurch ein aktives Trennen des vordersten Bauelements (3') vom nachfolgenden Bauelement (3'') bewirkt wird.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vereinzelungsvorrichtung für mikroelektronische Bauelemente, die in einem Führungskanal in einer Reihe hintereinander angeordnet sind.

Mikroelektronische Bauelemente werden nach ihrer Herstel­ lung häufig, beispielsweise zum Testen ihrer elektrischen und/oder mechanischen Eigenschaften, in Führungskanälen weitergefördert, in denen sie durch einen Stopphebel ge­ staut werden, so daß eine Vielzahl von mikroelektronischen Bauelementen in einer Reihe hintereinander angeordnet ist. Aus diesem Stau werden die Bauelemente dann mittels einer Vereinzelungsvorrichtung singularisiert, so daß jeweils nur das vorderste Bauelement intermittierend weiterge­ fördert werden kann, beispielsweise um dieses Bauelement einzeln zu testen.

Der lückenlose Stau der Bauelemente innerhalb des Füh­ rungskanals erfolgt bekannterweise durch Schwerkraft durch senkrechte oder schräge Anordnung des Führungskanals, so daß die Bauelemente selbstständig im Führungskanal glei­ ten. Bekannte alternative Fördermittel sind Luftkissen, Blasdüsen, Staubänder etc., die bei horizontalen Führungs­ kanälen eingesetzt werden.

Aus der DE 42 30 175 A1 ist eine Vorrichtung zur automati­ schen Entladung von Test- und Sortieranlagen bekannt, die leere Bauelementebehälter, beispielsweise Kunststoffröh­ ren, mit getesteten Bauelementen füllt. Diese Vorrichtung weist für jeden Führungskanal einen Steuerstift zur Bloc­ kierung oder Freigabe des Durchgangs der Bauelemente im Führungskanal auf, wobei der Steuerstift über ein No­ ckenfolgeglied von einer in den Führungskanal hineinragen­ den Blockierposition und einer angehobenen Freigabeposi­ tion bewegbar ist. In der Freigabeposition gleiten sämtli­ che Bauelemente, die sich im entsprechenden Führungskanal befinden, mittels Schwerkraft in den am unteren Ende des Führungskanals fluchtend positionierten Bauelementebehäl­ ter.

Aus der DE 32 49 420 A1 ist eine Vorrichtung zum Prüfen und Sortieren von elektronischen Bauelementen bekannt, welche im Führungskanal ein Stoppelement aufweist, welches eine Durchlass- und eine Stoppposition einnehmen kann. Um Stossbeschädigungen der zu prüfenden Bauelemente beim Auftreffen auf das Stoppelement zu verhindern, weist dort das Stoppelement einen elastischen Puffer auf. Zusätzlich ist dem Stoppelement im Führungskanal eine Abbremsein­ richtung für die Bauelemente vorgeschaltet, die von einem in den Führungskanal einschwenkbaren Bremshebel gebildet wird. Die Vereinzelungsvorrichtung selbst ist dort jedoch nicht näher beschrieben.

Die Vereinzelung wird bekannterweise mittels eines Druck­ stiftes durchgeführt, der auf das zweite Bauelement der sich im Stau befindenden Bauelemente gedrückt wird, so daß sich dieses im Führungskanal nicht mehr weiterbewegen kann. Anschließend wird der Stopperhebel, der sich vor dem ersten Bauelement befindet, aus der Förderbahn entfernt, so daß sich das erste Bauelement weiterbewegen kann, wäh­ rend das nachfolgende Bauelement und damit der gesamte Stau durch den Druckstift festgehalten wird. Mit dieser bekannten Vereinzelungsvorrichtung ist jedoch eine ein­ wandfreie und sichere Vereinzelung nicht immer möglich.

Bei der Förderung der elektronischen Bauelemente in den Führungskanälen besteht nämlich das Problem, daß die Bau­ elemente insbesondere aufgrund von Höhentoleranzen des Bauelementkörpers, die im Vergleich zur Körpergesamthöhe relativ groß sein können, im Führungskanal festklemmen können. Ein weiteres Problem stellen Spritzgrate dar, welche normalerweise an den Stirnflächen des Bauelement­ körpers vorhanden sind. Hierdurch ist es möglich, daß sich der Spritzgrad eines Bauelements unter oder über den Spritzgrat des vorhergehenden Bauelements schiebt. Hier­ durch werden Niveauunterschiede und Schräglagen, sowie Verzahnungen der Bauelemente zueinander und zum Teil auch Verkeilungen in den Führungskanälen verursacht, die bei der Vereinzelung Probleme bereiten.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Verein­ zelungsvorrichtung für mikroelektronische Bauelemente zu schaffen, die auch bei Bauelementen mit unterschiedlichen Abmessungen eine sichere und zuverlässige Vereinzelung des jeweils vordersten Bauelements ermöglicht.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind in den weiteren Ansprüchen beschrieben.

Die erfindungsgemäße Vereinzelungsvorrichtung weist eine vordere Klemmhebelzangeneinrichtung auf, die von einer geöffneten Position, in welcher sie außer Eingriff mit den Bauelementen ist, in eine Klemmposition bringbar ist, in welcher sie das jeweils erste Bauelement von zwei gegen­ überliegenden Seiten her festklemmt. Weiterhin ist eine hintere Klemmhebelzangeneinrichtung vorgesehen, die von einer geöffneten Position, in welcher sie außer Eingriff mit den Bauelementen ist, in eine Klemmposition bringbar ist, in welcher sie das jeweils zweite Bauelement von zwei gegenüberliegenden Seiten her festklemmt. Die erfindungs­ gemäße Vereinzelungsvorrichtung weist ferner eine Betäti­ gungseinrichtung zur Betätigung zumindest der vorderen und hinteren Klemmhebelzangeneinrichtung auf, wobei entweder die vordere oder die hintere Klemmhebelzangeneinrichtung zusammen mit dem festgeklemmten Bauelement in Längsrich­ tung des Führungskanals verschiebbar ist.

Für die erfindungsgemäße Vereinzelungsvorrichtung ist es somit charakteristisch, daß zwei Klemmhebelzangeneinrich­ tungen vorgesehen sind, welche sowohl das erste, d. h. das vorderste, als auch das nachfolgende Bauelement von beiden Seiten her greifen und diese beiden Bauelemente aufgrund der nachfolgenden Verschiebung einer Klemmhebelzangenein­ richtung in Längsrichtung des Führungskanals aktiv ausein­ anderziehen. Da die Klemmhebelzangeneinrichtungen die Bauelemente von gegenüberliegenden Seiten her greifen, werden die Bauelemente nicht einseitig auf die Führungs­ bahn gedrückt, so daß sie hierdurch nicht beschädigt wer­ den können. Baulemente mit sich überlappenden Spritzgraten werden nicht senkrecht zur Führungsbahn zusätzlich bela­ stet, so daß es auch zu keinem Abscheren der Spritzgrate und damit zu keiner zusätzlichen Verschmutzung kommt. Ferner ist es unproblematisch, wenn die Bauelemente unter­ schiedliche Dicken aufweisen, da die Klemmhebelzangenein­ richtungen ohne weiteres so ausgeführt werden können, daß sie sich der jeweiligen Dicke und Höhenlage des Bauele­ ments automatisch anpassen. Von besonderem Vorteil ist weiterhin das aktive Auseinanderziehen des vordersten vom nachfolgenden Bauelement, da auf diese Weise unter allen Bedingungen eine sichere und zuverlässige Singularisierung des jeweils vordersten Bauelements möglich ist.

Vorzugsweise wird die vordere Klemmhebelzangeneinrichtung nach dem Ergreifen des vordersten Bauelements in Längs­ richtung des Führungskanals nach vorne verschoben, während die hintere Klemmhebelzangeneinrichtung nicht in Längs­ richtung verschoben wird und das zweite Bauelement fest­ hält. Alternativ hierzu ist es jedoch auch denkbar, das vorderste Bauelement festzuhalten und das zweite Bauele­ ment und damit die gesamte nachfolgende Reihe von Bau­ elementen nach hinten zu schieben, um die beiden vorder­ sten Bauelemente voneinander zu trennen.

Vorteilhafterweise weist die vordere Klemmhebelzangenein­ richtung zwei schwenkbar gelagerte Zangenglieder auf, die das erste Bauelement von gegenüberliegenden Seiten her umgreifen, in ihre geöffnete Position vorgespannt und durch Verschieben eines gemeinsamen, in Längsrichtung des Führungskanals verschiebbaren ersten Wiegebalkens in ihre Klemmposition bringbar sind. Der Wiegebalken ermöglicht hierbei auf besonders einfache Weise eine Selbstnivellie­ rung der Klemmhebelzangeneinrichtung, d. h. eine Anpassung an unterschiedliche Höhen der Bauelemente. Die hintere Klemmhebelzangeneinrichtung kann in gleicher Weise aufge­ baut sein und ebenfalls durch einen in Längsrichtung des Führungskanals verschiebbaren zweiten Wiegebalken betätigt werden.

Zweckmäßigerweise sind die Betätigungshebel für den Stop­ perhebel und die vordere Klemmhebelzangeneinrichtung ei­ nerseits und für die hintere Klemmhebelzangeneinrichtung andererseits in zwei voneinander getrennten Lagerböcken gelagert, um den zweiten Lagerbock relativ zum ersten Lagerbock in Längsrichtung des Führungskanals in verschie­ denen Positionen befestigen zu können. Hierdurch kann eine Anpassung der Vereinzelungsvorrichtung an unterschiedlich lange Bauelemente vorgenommen werden.

Die Betätigungseinrichtung umfaßt zweckmäßigerweise einen linear bewegbaren Druckstempel, an dem sämtliche Betäti­ gungselemente zur zeitlich aufeinander abgestimmten Be­ tätigung des Stopperhebels sowie der vorderen und hinteren Klemmhebelzangeneinrichtung angeordnet sind. Der Druck­ stempel weist hierbei drei Betätigungselemente auf, die auf die freien Hebelenden von drei Betätigungshebeln in zeitlich abgestimmter Reihenfolge aufgesetzt werden kön­ nen, die schwenkbar in den Lagerböcken gelagert sind und sämtliche Bewegungen des Stopperhebels und der vorderen und hinteren Klemmhebelzangeneinrichtung steuern. Auf diese Weise ist die Synchronisation der Bewegungsabläufe durch ein einziges linear bewegbares Stellglied, bei­ spielsweise einen Pneumatikzylinder, sichergestellt. Alternativ hierzu ist es jedoch auch möglich, die Betäti­ gungshebel mit einer anders gearteten Betätigungseinrich­ tung zu betätigen, beispielsweise mit einer Nockenscheibe.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnungen beispielshaft näher erläutert. In diesen zeigen:

Fig. 1: eine perspektivische Darstellung der er­ findungsgemäßen Vereinzelungsvorrichtung schräg von vorn ohne Betätigungseinrich­ tung,

Fig. 2: eine perspektivische Darstellung der Ver­ einzelungsvorrichtung von Fig. 1 schräg von hinten mit Betätigungseinrichtung,

Fig. 3: eine perspektivische Darstellung der Ver­ einzelungsvorrichtung von Fig. 1 ohne Betätigungseinrichtung und ohne Führungs­ kanal, aus einer anderen Richtung gesehen,

Fig. 4: eine perspektivische Darstellung der Ver­ einzelungsvorrichtung von Fig. 3, vom gleichen Blickwinkel aus wie in Fig. 1 gesehen,

Fig. 5: eine Seitenansicht einer Hälfte der Ver­ einzelungsvorrichtung in Richtung des Pfeils V von Fig. 6,

Fig. 6: eine Draufsicht auf die Vereinzelungsvor­ richtung ohne Betätigungseinrichtung und ohne Führungskanal,

Fig. 7: eine Seitenansicht einer Hälfte der Ver­ einzelungsvorrichtung in Richtung des Pfeils VII von Fig. 6,

Fig. 8: einen mittigen Längsschnitt durch die Ver­ einzelungsvorrichtung, wobei sich die Be­ tätigungsvorrichtung in einer ersten Stel­ lung befindet,

Fig. 9: einen mittigen Längsschnitt durch die Ver­ einzelungsvorrichtung, wobei sich die Be­ tätigungseinrichtung in einer etwas weiter abgesenkten zweiten Stellung befindet,

Fig. 10: einen mittigen Längsschnitt durch die Ver­ einzelungsvorrichtung, wobei sich die Be­ tätigungseinrichtung in einer nochmals weiter abgesenkten dritten Stellung befin­ det,

Fig. 11: eine Seitenansicht der Betätigungseinrich­ tung,

Fig. 12: eine Vorderansicht der Betätigungseinrich­ tung, und

Fig. 13: eine perspektivische Darstellung der Be­ tätigungseinrichtung.

Die Fig. 1 und 2 zeigen eine Führungsstange 1 mit einem innenliegenden Führungskanal 2, in dem mikroelektronische Bauelemente 3 in der Form von Chips längsverschiebbar aufgenommen sind. Die Führungsstange 1 ist derart schräg zur Horizontalebene angeordnet, daß die Bauelemente 3 allein durch Schwerkraft innerhalb des Führungskanals 2 abwärts gleiten.

Am vorderen Ende der Führungsstange 1 ist eine Verein­ zelungsvorrichtung 4 vorgesehen, die aus einem an der Führungsstange 1 befestigten Vereinzelungshebelwerk 5 und einer auf das Vereinzelungshebelwerk 5 aufsetzbaren Be­ tätigungseinrichtung 6 besteht. Die Betätigungseinrichtung 6 ist in Fig. 2 teilweise dargestellt und wird anhand der Fig. 11 bis 13 später noch näher erläutert.

Das Vereinzelungshebelwerk 5 ist mittels zweier Befesti­ gungsplatten 7, 8, die sich auf den gegenüberliegenden Seiten der Führungsstange 1 seitlich nach außen erstrec­ ken, an der Führungsstange 1 festgeschraubt. Hierzu weisen die Befestigungsplatten 7, 8 jeweils einen seitlich nach außen vorstehenden Befestigungsabschnitt 9 auf, an dessen vorderem und hinterem Ende Anlageleisten 10 vertikal ab­ stehen. Die Anlageleisten 10 werden an die Seitenflächen der Führungsstange 1 angelegt und mit Schrauben 11 an­ geschraubt. Die Befestigungsplatten 7, 8 liegen einander direkt gegenüber, wobei auch die Befestigungsabschnitte 9 in derselben Ebene geringfügig unterhalb der Führungs­ stange 1 liegen.

Auf der Befestigungsplatte 7 ist ein erster stationärer Lagerbock 12 befestigt, beispielsweise festgeschraubt, der seitlich neben der Führungsstange 1 angeordnet ist und sich über diese nach oben hinaus erstreckt. Dieser Lager­ bock 12 besteht, wie aus Fig. 3 ersichtlich, aus einem quaderförmigen Sockel 13, der an seinem oberen Ende einen nach hinten vorstehenden oberen Lagerfortsatz 14 aufweist. Der erste stationäre Lagerbock 12 dient zur Schwenklage­ rung eines ersten Betätigungshebels 15 und eines weiteren Betätigungshebels 16 im Lagerfortsatz 14 sowie zur trans­ latorischen Lagerung eines Schiebelagerbocks 17, der an der vorderen Stirnseite des quaderförmigen Sockels 13 längsverschiebbar angeordnet ist.

Im Schiebelagerbock 17 sind ein Stopperhebel 18 und eine vordere Klemmhebelzangeneinrichtung schwenkbar gelagert. Der Stopperhebel 18 weist eine Schwenkachse 20 auf. Von der Schwenkachse 20 erstreckt sich der Stopperhebel 18 zunächst nach vorne parallel zur Führungsstange 1 und anschließend quer zu dieser bis zur Mitte des Führungs­ kanals 2, anschließend nach unten. Der Stopperhebel 18 ist durch eine nicht näher dargestellte Feder in seine Stopppo­ sition vorgespannt, in welcher das freie Ende so weit in den Führungskanal 2 hineinragt, daß die Bauelemente 3 an einer Weiterbewegung in Förderrichtung innerhalb des Füh­ rungskanals 2 gehindert werden. Die Bauelemente 3 bilden somit hinter den Stopperhebel 18 einen Stau, in dem die Bauelemente 3 lückenlos in einer Reihe hintereinander angeordnet sind. Diese Situation ist in den Fig. 1 und 2 dargestellt.

Die vordere Klemmhebelzangeneinrichtung 19 weist, wie insbesondere aus den Fig. 4 und 5 ersichtlich, zwei Zangenglieder 19a, 19b auf, die schwenkbar im Schiebela­ gerbock 17 gelagert und ähnlich wie der Stopperhebel 18 ausgebildet sind. Die Schwenkachsen sind mit den Bezugs­ zeichen 21a, 21b bezeichnet. Die Zangenglieder 19a, 19b sind derart ausgebildet und angeordnet, daß sie das je­ weils vorderste Bauelement 3', das direkt am Stopperhebel 18 anliegt, von gegenüberliegenden Seiten, d. h. sowohl von oben als auch von unten, ergreifen und damit zwischen sich einklemmen können. Das Zangenglied 19a verläuft oberhalb des Führungskanals 2, während das Zangenglied 19b symme­ trisch zum Zangenglied 19a unterhalb des Führungskanals 2 verläuft. Von den Schwenkachsen 21a, 21b erstrecken sich die Zangenglieder 19a, 19b zunächst in fast vertikaler Richtung nach oben bzw. unten, anschließend parallel zum Führungskanal 2 nach vorne, dann quer zur Führungsstange 1 und wieder in Richtung des Führungskanals 2, so daß sich der Körper des vordersten Bauelements 3' zwischen den freien Enden der Zangenglieder 19a, 19b befindet. Die Zangenglieder 19a, 19b sind durch eine gemeinsame, in Fig. 5 dargestellte Feder 22 in Öffnungsrichtung vor­ gespannt, so daß die freien Enden der Zangenglieder 19a, 19b in ihrer Öffnungsstellung das vorderste Bauelement 3' nicht berühren.

Die Zangenglieder 19a, 19b werden durch einen ersten Wie­ gebalken 23 gemeinsam betätigt, der am unteren Ende des ersten Betätigungshebels 15 schwenkbar gelagert ist. Die mittig im Wiegebalken 23 angeordnete Schwenkachse ist mit dem Bezugszeichen 24 bezeichnet. Der Wiegebalken 23 ist jochartig ausgebildet und liegt mit seinen freien Enden oberhalb der Schwenkachse 21a bzw. unterhalb der Schwenk­ achse 21b am oberen Zangenglied 19a bzw. unteren Zangen­ glied 19b an, so daß durch eine Längsverschiebung des Wiegebalkens 23 nach links (Fig. 5) die Zangenglieder 19a, 19b geschlossen und durch Zurückführen des Wiegebal­ kens 23 in die in Fig. 5 gezeigte Ausgangslage wieder geöffnet werden.

Aufgrund der schwenkbaren Lagerung des Wiegebalkens 23 können sich hierbei die Zangenglieder 19a, 19b automatisch unterschiedlichen Höhen der Bauelemente 3 anpassen.

Der erste Betätigungshebel 15 ist, von der Seite her gese­ hen, L-förmig ausgebildet und im Lagerfortsatz 14 des Lagerbocks 12 schwenkbar gelagert. Die Schwenkachse 25 ist im Knickbereich des ersten Betätigungshebels 15 angeord­ net. Das obere freie Ende des Betätigungshebels 15 steht über den Lagerbock 12 nach oben vor und weist ein rollen­ förmiges Kontaktelement 26 auf, auf das die Betätigungs­ einrichtung 6 aufgesetzt werden kann.

Wie bereits erläutert, ist der Schiebelagerbock 17 längs­ verschiebbar am ersten stationären Lagerbock 12 gelagert. Hierzu erstrecken sich vom hinteren Ende des Schiebelager­ bocks 17 zwei parallele Lagerstangen 56 durch den Sockel 13 hindurch nach hinten, die an ihrem hinteren Ende mit­ tels eines Jochs 27 verbunden sind. Das Joch 27 weist in der Fig. 5 gezeigten Ausgangsstellung, in welcher der Schiebelagerbock 17 am Sockel 13 des Lagerbocks 12 an­ liegt, einen abstand auf, der den Verschiebeweg des Jochs 27 und damit denjenigen des Schiebelagerbocks 17 bestimmt. Zwischen dem Joch 27 und dem Sockel 13 ist eine Druckfeder 28 vorgesehen, durch welche der Schiebelagerbock 17 in die zurückgezogene Ausgangsstellung vorgespannt ist.

Das Verschieben des Schiebelagerbocks 17 entgegen der Vorspannkraft der Druckfeder 28 erfolgt mittels des weite­ ren Betätigungshebels 16, der in gleicher oder ganz ähnli­ cher Weise wie der erste Betätigungshebel 15 ausgebildet ist. Am unteren Ende des weiteren Betätigungshebels 16 ist ein rollenförmiges Druckelement 29 fest angebracht, das am Joch 27 anliegt. Weiterhin ist der weitere Betätigungs­ hebel 16 mittels einer Schwenkachse 30 am Lagerfortsatz 14 des ersten Lagerbocks 12 schwenkbar gelagert. Der obere Endbereich des weiteren Betätigungshebels 16 ragt nach oben gleichweit wie der erste Betätigungshebel 15 über den Lagerschenkel 14 hinaus und trägt wiederum ein rollenför­ miges Kontaktelement 31, auf das die Betätigungseinrich­ tung 6 aufgesetzt werden kann. Der weitere Betätigungs­ hebel 16 dient zum Öffnen der vorderen Klemmhebelzangen­ einrichtung 19 und des Stopperhebels 18.

Das Öffnen der vorderen Klemmhebelzangeneinrichtung 19 erfolgt deswegen, da sich bei einer Vorwärtsbewegung des Schiebelagerbocks 17 die Schwenkachsen 21a, 21b der Zan­ genglieder 19a, 19b nach vorne bewegen, während der erste Wiegebalken 23 an Ort und Stelle bleibt. Die Feder 22 kann daher die Zangenglieder 19a, 19b auseinanderziehen. Das Hochschwenken des Stopperhebels 18 erfolgt, da bei der Vorwärtsbewegung des Schiebelagerbocks 17 ein oberhalb der Schwenkachse 20 des Stopperhebels 18 angeordneter, seit­ lich nach außen abstehender Anschlagstift 32 (Fig. 3) an einem vorderen Endanschlag 33 der Befestigungsplatte 7 (Fig. 1) anstößt.

Um das hinter dem vordersten Bauelement 3' nachfolgende zweite Bauelement 3'' festzuhalten, wenn die vordere Klemm­ hebelzangeneinrichtung 19 zusammen mit dem vordersten Bauelement 3' nach vorne bewegt wird, ist weiterhin eine hintere Klemmhebelzangeneinrichtung 34 vorgesehen, die in ganz ähnlicher Weise wie die vordere Klemmhebelzangenein­ richtung 19 aufgebaut ist. Die hintere Klemmhebelzangen­ einrichtung 34 weist ein oberes Zangenglied 34a und ein unteres Zangenglied 34b auf, die in einem zweiten statio­ nären Lagerbock 35 schwenkbar gelagert sind, der sich auf der gegenüberliegenden Seite der Führungsstange 1 befindet und auf der Befestigungsplatte 8 festgeschraubt ist.

Um den Abstand der hinteren Klemmhebelzangeneinrichtung 34 von der vorderen Klemmhebelzangeneinrichtung 19 in Längs­ richtung des Führungskanals 2 variieren und damit eine Anpassung an unterschiedlich lange Bauelemente 3 vorzuneh­ men können, ist der zweite Lagerbock 35 in verschiedenen Längspositionen auf der Befestigungsplatte 8 befestigbar. Eine Führungsnut 37 im Befestigungsabschnitt 9 und ein in die Führungsnut 37 eingreifender Längssteg 38 auf der Unterseite des Lagerbocks 35 gewährleisten eine parallele Längsverschiebung des Lagerbocks 35 relativ zur Führungs­ stange 1.

Wie aus Fig. 7 ersichtlich, welche die hintere Klemm­ hebelzangeneinrichtung 34 auf den Kopf gestellt zeigt, da sie die hintere Klemmhebelzangeneinrichtung 34 in Richtung des Pfeils VII von Fig. 6 zeigt, sind die hinteren Zan­ genglieder 34a, 34b mittels Schwenkachsen 36a bzw. 36b in gleicher Weise wie die Zangenglieder 19a, 19b schwenkbar gelagert. Weiterhin sind die hinteren Zangenglieder 34a, 34b entsprechend zu den vorderen Zangengliedern 19a, 19b gestaltet und angeordnet, erstrecken sich jedoch von der gegenüberliegenden Seite der Führungsstange 1 in den Be­ reich des Führungskanals 2. Die hinteren Zangenglieder 34a, 34b werden durch eine gemeinsame Feder 39 in die geöffnete Stellung vorgespannt. Um die Zangenglieder 34a, 34b zu schließen, ist ein zweiter Wiegebalken 40 vorgese­ hen, der in gleicher Weise wie der erste Wiegebalken 23 jochartig ausgebildet und am unteren Ende eines zweiten Betätigungshebels 41 schwenkbar gelagert ist. Die Schwenk­ achse ist mit dem Bezugszeichen 57 bezeichnet. Die freien Enden des zweiten Wiegebalkens 40 liegen oberhalb bzw. unterhalb der Schwenkachsen 36a, 36b an den Zangengliedern 34a, 34b an.

Der zweite Betätigungshebel 41 ist in gleicher Weise wie der erste Betätigungshebel 15 L-förmig ausgebildet und in seinem Knickbereich im oberen Bereich des zweiten statio­ nären Lagerbocks 35 schwenkbar gelagert. Die Schwenkachse des zweiten Betätigungshebels 41 ist in den Fig. 3 und 7 mit dem Bezugszeichen 42 bezeichnet. Das obere freie Ende des zweiten Betätigungshebels 41 befindet sich auf gleicher Höhe wie der erste Betätigungshebel 15 und der weitere Betätigungshebel 16 und trägt ebenfalls ein rol­ lenförmiges Kontaktelement 43, auf das die Betätigungsein­ richtung 6 aufgesetzt werden kann.

Wird der zweite Betätigungshebel 41 durch Aufsetzen der Betätigungseinrichtung 6 geschwenkt, wird der zweite Wie­ gebalken 40 nach vorn gedrückt, so daß sich die hinteren Zangenglieder 34a, 34b schließen und das zweite Bauelement 3'' von gegenüberliegenden Seiten her, d. h. von oben und von unten, zwischen sich einklemmen.

Sämtliche Schwenkachsen 20, 21a, 21b, 24, 25, 30, 36a, 36b, 42, 57 verlaufen parallel zueinander und quer zur Längsachse der Führungsstange 1.

Anhand der Fig. 11 bis 13 wird im folgenden die in Fig. 2 dargestellte Betätigungseinrichtung 6 im einzelnen erläutert. Die Betätigungseinrichtung 6 besteht im wesent­ lichen aus einer Basisplatte 44 mit einem mittig angeord­ neten, nach oben vorstehenden Achszapfen 45. Mittels des Achszapfens 45 wird die Betätigungseinrichtung 6 an eine nicht dargestellte Hubeinrichtung, beispielsweise einen Pneumatikzylinder, angekoppelt.

Von der Unterseite der Basisplatte 44 erstrecken sich in den Randbereichen drei Betätigungselemente nach unten, nämlich ein erstes Betätigungselement 46, ein zweites Betätigungselement 47 und ein weiteres Betätigungselement 48, die auf die rollenförmigen Kontaktelemente 26, 43 bzw. 31 aufgesetzt werden können.

Das erste Betätigungselement 46 ist als zylindrischer Bolzen ausgebildet, der in einer Lagerbuchse 49 federnd gelagert ist. Das zweite Betätigungselement 47 besteht aus einer zur Basisplatte 44 parallelen Leiste 50, die mittig von einem Haltebolzen 51 gehaltert und an einem Ende zu­ sätzlich von einem Führungsstift 52 relativ zur Basis­ platte 44 geführt wird. Der Haltebolzen 51 ist ebenfalls in einer Lagerbuchse 53 federnd gelagert. Das weitere Betätigungelement 48 ist als feststehender, zylindrischer Bolzen ausgebildet.

Wie aus Fig. 11 ersichtlich, erstrecken sich das erste Betätigungselement 46 und das zweite Betätigungselement 47 von der Basisplatte 44 aus gleichweit nach unten, während das weitere Betätigungselement 48, das auf den weiteren Betätigungshebel 31 aufsetzbar ist, um ein Maß a kürzer ausgebildet ist.

Beim Aufsetzen der Betätigungseinrichtung 6 auf die rol­ lenförmige Kontaktelemente 26, 31, 43 werden somit der erste Betätigungshebel 15 für die vordere Klemmhebelzan­ geneinrichtung 19 und der zweite Betätigungshebel 41 für die hintere Klemmhebelzangeneinrichtung 34 zuerst und gleichzeitig bewegt, während das weitere Betätigungsele­ ment 48 aufgrund seiner geringeren Länge später auf den weiteren Betätigungshebel 16 zum Öffnen der vorderen Klemmhebelzangeneinrichtung 19 und zum Hochschwenken des Stopperhebels 18 aufgesetzt wird. Damit ist die Synchroni­ sation der Bewegungsabläufe durch ein einziges Stellglied in der Form der stempelartigen Betätigungseinrichtung 6 sichergestellt.

Anhand der Fig. 8 bis 10 wird im folgenden die Funk­ tionsweise der erfindungsgemäßen Vereinzelungsvorrichtung erläutert.

Fig. 8 zeigt die Ausgangsstellung der Vereinzelungsvor­ richtung, in welcher die Betätigungseinrichtung 6 noch so weit von den Betätigungshebeln 15, 16, 41 abgehoben ist, daß sich deren obere Schenkel in ihrer maximalen Höhenlage befinden. In dieser Ausgangsstellung liegt der Schiebela­ gerbock 17 am ersten stationären Lagerbock 12 an. Der Stopperhebel 18 befindet sich in seiner abgesenkten Stop­ position, in welcher er eine Weiterförderung der Bauele­ mente 3 behindert. Das vorderste Bauelement 3' liegt somit am Stopperhebel 18 an, während sich die nachfolgenden Bauelemente 3 dahinter lückenlos stauen. Die hintere Klemmhebelzangeneinrichtung 34 befindet sich ebenfalls in ihrer geöffneten Stellung.

Anhand von Fig. 9 wird nun die aktive Trennung des ersten Bauelements 3' vom nachfolgenden Bauelement 3'' beschrie­ ben. Bei der Bewegung der Betätigungseinrichtung 6 in Schließstellung, d. h. in Fig. 9 vertikal nach unten, drücken zuerst und gleichzeitig die Betätigungselemente 46, 47 der Betätigungseinrichtung 6 auf den ersten Be­ tätigungshebel 15 bzw. den zweiten Betätigungshebel 41, so daß diese im Uhrzeigersinn schwenken. Die Wiegebalken 23, 40, die symmetrisch zu den Zangengliedern 19a, 19b bzw. 34a, 34b gelagert sind, werden hierdurch nach vorn gescho­ ben, wodurch die vordere Klemmhebelzangeneinrichtung 19 und die hintere Klemmhebelzangeneinrichtung 34 gleich­ zeitig geschlossen werden. Die vordere Klemmhebelzangen­ einrichtung 19 klemmt hierbei das vorderste Bauelement 3' ein, während die hintere Klemmhebelzangeneinrichtung 34 das zweite Bauelement 3'' einklemmt. Liegen die vorderen Zangenglieder 19a, 19b am vordersten Bauelement 3' auf, wird der erste Betätigungshebel 15 noch etwas weiter im Uhrzeigersinn geschwenkt, bis das rollenförmige Kontakt­ element 26 am Boden einer Anschlagmulde 34 des stationären Lagerbocks 12 zur Anlage kommt. Diese weitere Schwenkbewe­ gung bewirkt, daß der erste Wiegebalken 23 und damit die vordere Klemmhebelzangeneinrichtung 19 zusammen mit dem eingeklemmten vordersten Bauelement 3' und dem Schiebela­ gerbock 17 zusammen mit dem Stopperhebel 18 nochmals ein Stück nach vorn gedrückt werden, wodurch das vorderste Bauelement 3' aktiv vom festgeklemmten zweiten Bauelement 3'' getrennt wird.

Liegt das rollenförmige Kontaktelement 26 in der Anschlag­ mulde 54 auf, wird die Betätigungseinrichtung 6 noch wei­ ter abgesenkt, wobei das erste Betätigungselement 46 ent­ gegen der Federkraft in die Lagerbuchse 49 eingedrückt wird. Der Stopperhebel 18 kann bereits durch Anfahren seines Anschlagstifts 32 an den Endanschlag 33 der Be­ festigungsplatte 7 je nach Dicke des Bauelements 3' be­ reits etwas geöffnet sein, ohne das Bauelement 3' frei­ zugeben.

In gleicher Weise wird das zweite Betätigungselement 47 der Betätigungseinrichtung 6 in die Lagerbuchse 53 einge­ drückt, wenn die Schwenkbewegung des zweiten Betätigungs­ hebels 41 durch das Aufsetzen der hinteren Klemmhebelzan­ geneinrichtung 34 auf dem zweiten Bauelement 3'' gestoppt wird. Das rollenförmige Kontaktelement 43 liegt hierbei in einer oberen Aussparung 55 des Lagerbocks 35 (Fig. 7). Dabei bleibt die hintere Klemmhebelzangeneinrichtung 34 geschlossen, d. h. das zweite Bauelement 3'' wird festgehal­ ten und die Bauelementkolonne nach dem separierten vorder­ sten Bauelement 3' bleibt unbewegt.

Anhand von Fig. 10 wird nun die Freigabe des vordersten Bauelements 3' beschrieben. Entsprechend der Abstufung des weiteren Betätigungselements 48 zu den Betätigungselemen­ ten 46, 47 wird als letzter Arbeitsgang bis zum Hubende der Betätigungseinrichtung 6 nun der weitere Betätigungs­ hebel 31 zeitverzögert nach unten gedrückt, wodurch dieser ebenfalls im Uhrzeigersinn gedreht wird. Dies ist möglich, da zwischen dem Sockel 13 des Lagerbocks 12 und dem Joch 27 noch ein vorbestimmter Freiraum vorhanden ist. Das Joch 27 wird dadurch weiter nach vorn geschoben, bis es am Sockel 13 anliegt. Über das Joch 27 und die beiden Lager­ stangen 56 wird der Schiebelagerbock 17 ebenfalls weiter nach vorn bewegt, wodurch der Stopperhebel 18 vollständig angehoben und die vordere Klemmhebelzangeneinrichtung 19 geöffnet wird. Das vorderste Bauelement 3' wird hierdurch freigegeben, so daß es sich durch Schwerkraft weiter in Förderrichtung bewegen kann.

Wird die Betätigungseinrichtung 6 vom Vereinzelungshebel­ werk 5 wieder entfernt, wird zunächst der weitere Betäti­ gungshebel 16 über das Joch 27 unter Einwirkung der Druck­ feder 28 zurückgeschwenkt. Der Schiebelagerbock 17 bewegt sich hierdurch ebenfalls genügend weit zurück, so daß der Stopperhebel 18 geschlossen wird. Anschließend werden auch die Betätigungshebel 15, 41 freigegeben, so daß die Klemm­ hebelzangeneinrichtungen 19, 34 öffnen. Die Bauelemente 3 können hierdurch wieder nach vorn gleiten, bis das nunmehr vorderste Bauelement 3' am Stopperhebel 18 anliegt.

Claims (14)

1. Vereinzelungsvorrichtung für mikroelektronische Bau­ elemente, die in einem Führungskanal (2) in einer Reihe hintereinander angeordnet sind, mit einem Stopperhebel (18), der von einer Stopposition, in welcher er eine Wei­ terbewegung des ersten Bauelements (3') innerhalb des Führungskanals (2) behindert, in eine Freigabeposition bringbar ist, in welcher sich das erste Bauelement (3') weiterbewegen kann, gekennzeichnet durch
eine vordere Klemmhebelzangeneinrichtung (19), die von einer geöffneten Position, in welcher sie außer Eingriff mit den Bauelementen (3) ist, in eine Klemmposition bring­ bar ist, in welcher sie das jeweils erste Bauelement (3') von zwei gegenüberliegenden Seiten her festklemmt,
eine hintere Klemmhebelzangeneinrichtung (34), die von einer geöffneten Position, in welcher sie außer Eingriff mit den Bauelementen (3) ist, in eine Klemmposition bring­ bar ist, in welcher sie das jeweils zweite Bauelement (3'') von zwei gegenüberliegenden Seiten her festklemmt, und
eine Betätigungseinrichtung (6) zur Betätigung zumindest der vorderen und hinteren Klemmhebelzangeneinrichtung (19, 34), wobei entweder die vordere oder die hintere Klemm­ hebelzangeneinrichtung (19, 34) zusammen mit dem fest­ geklemmten Bauelement in Längsrichtung des Führungskanals (2) verschiebbar ist.

2. Vereinzelungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Stopperhebel (18) und die vordere Klemmhebelzangeneinrichtung (19) in einem Schiebelagerbock (17) schwenkbar gelagert sind, der längsverschiebbar an einem ersten stationären Lagerbock (12) gehaltert ist.

3. Vereinzelungsvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Stopperhebel (18) in die Stopposi­ tion vorgespannt und durch eine Verschiebung des Schiebe­ lagerbocks (17) in seine Freigabeposition verschwenkbar ist.

4. Vereinzelungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die vordere Klemm­ hebelzangeneinrichtung (19) zwei schwenkbar gelagerte Zangenglieder (19a, 19b) aufweist, die das erste Bauele­ ment (3') von gegenüberliegenden Seiten her umgreifen, in ihre geöffnete Position vorgespannt und durch Verschieben eines gemeinsamen, in Längsrichtung des Führungskanals (2) verschiebbaren ersten Wiegebalkens (23) in ihre Klemm­ position bringbar sind.

5. Vereinzelungsvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch ge­ kennzeichnet, daß im ersten stationären Lagerbock (12) ein erster Betätigungshebel (15) schwenkbar gelagert ist, an dessen einem Ende der erste Wiegebalken (23) schwenkbar gelagert ist und dessen anderes Ende als freies Hebelende ausgebildet ist, mit dem die Betätigungseinrichtung (6) in Druckkontakt bringbar ist.

6. Vereinzelungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Schiebelagerbock (17) mittels der vorderen Klemmhebelzangeneinrichtung (19) und des an der Klemmhebelzangeneinrichtung (19) angreifen­ den ersten Wiegebalkens (23) um eine vorbestimmte erste Strecke längsverschiebbar ist, wenn sich die Klemmhebel­ zangeneinrichtung (19) in ihrer Klemmposition befindet.

7. Vereinzelungsvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch ge­ kennzeichnet, daß im ersten stationären Lagerbock (12) ein weiterer Betätigungshebel (16) schwenkbar gelagert ist, dessen eines Ende mit dem Schiebelagerbock (17) in Wirk­ verbindung steht, um diesen unabhängig vom ersten Betäti­ gungshebel (15) über die erste Strecke hinaus um eine weitere zweite Strecke zu verschieben, wodurch sich die vordere Klemmhebelzangeneinrichtung (19) öffnet, und des­ sen anderes Ende als freies Hebelende ausgebildet ist, mit dem die Betätigungseinrichtung (6) in Druckkontakt bring­ bar ist.

8. Vereinzelungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die hintere Klemm­ hebelzangeneinrichtung (34) zwei an einem zweiten statio­ nären Lagerbock (35) schwenkbar gelagerte Zangenglieder (34a, 34b) aufweist, die das zweite Bauelement (3'') von gegenüberliegenden Seiten her umgreifen, in die geöffnete Position vorgespannt und durch Verschieben eines gemein­ samen, in Längsrichtung des Führungskanals (2) verschieb­ baren zweiten Wiegebalkens (40) in ihre Klemmposition bringbar sind.

9. Vereinzelungsvorrichtung nach Anspruch 8, dadurch ge­ kennzeichnet, daß im zweiten stationären Lagerbock (35) ein zweiter Betätigungshebel (41) schwenkbar gelagert ist, an dessen einem Ende der zweite Wiegebalken (40) schwenk­ bar gelagert ist und dessen anderes Ende als freies Hebel­ ende ausgebildet ist, mit dem die Betätigungseinrichtung (6) in Druckkontakt bringbar ist.

10. Vereinzelungsvorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, da­ durch gekennzeichnet, daß der zweite Lagerbock (35) rela­ tiv zum ersten Lagerbock (12) in Längsrichtung des Füh­ rungskanals (2) in verschiedenen Positionen befestigbar ist.

11. Vereinzelungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Betätigungsein­ richtung (6) einen linear bewegbaren Druckstempel umfaßt, an dem sämtliche Betätigungselemente (46, 47, 48) zur zeitlich aufeinander abgestimmten Betätigung des Stop­ perhebels (18) sowie der vorderen und hinteren Klemmhebel­ zangeneinrichtung (19, 34) angeordnet sind.

12. Vereinzelungsvorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Druckstempel drei Betätigungs­ elemente (46, 47, 48) aufweist, die auf die freien Hebel­ enden der Betätigungshebel (15, 41, 16) in abgestimmter Reihenfolge aufsetzbar sind.

13. Vereinzelungsvorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Druckstempel eine Basisplatte (44) aufweist, an der die Betätigungselemente (46, 47, 48) gehaltert sind, die in der Form von über die Basisplatte (44) vorstehenden Bolzen und/oder Leisten (50) ausgebildet sind.

14. Vereinzelungsvorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Betätigungselemente (46, 47, 48) zumindest teilweise federnd in der Basisplatte (44) gehal­ tert sind.