DE19826610A1 - Membranpumpe und Vorrichtung zur Steuerung derselben - Google Patents

Membranpumpe und Vorrichtung zur Steuerung derselben

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Membranpumpe mit einer Vorrichtung zur Steuerung der Lage einer den Förder- und Verdrängerraum trennende Membran. Als Ersatz der mechanischen Steuerung des Nachfüllvorganges ist im Verdrängerraum ein Drucksensor angeordnet, der mit einer Auswerteeinheit verbunden ist, die zur Erzeugung eines Nachfüllsignals ausgebildet ist, das mittels einer Wirkverbindung ein Nachfüllventil betätigend geschaltet ist. Mit Vorteil ist ein weiterer Sensor zum Erfassen des Kolbenweges vorgesehen, dessen Signal mit dem Signal des Drucksensors verknüpft wird. Außerdem betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Steuerung der Lage einer Membran.

Description

Die Erfindung betrifft eine Membranpumpe mit einer Vorrichtung zur Steuerung der Lage einer einen Förder- und einen Verdrängerraum trennenden Membran und mit einem Vorratsbehälter für das Hydraulikmedium, der über eine Nachfülleinheit mit dem Verdrängerraum in Verbindung steht.
Außerdem betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Steuerung der Lage einer Membran, die den Förder- und den Verdrängerraum einer Membranpumpe trennt und von einem oszillierenden Verdränger über ein Hydraulikmedium angetrieben ist, wobei der Verdrängerraum über eine Leitung mit Hydraulikmedium bei Bedarf nachgefüllt wird.
Derartige Pumpen sind beispielsweise als Kolbenmembranpumpe aus EP A1 0 085 725 bekannt. Die Kolbenmembranpumpe besitzt einen Verdrängerkolben, der oszillierend in einem vollständig mit Hydraulikmedium ausgefüllten Verdrängerraum hin- und herbewegt wird. Die zwischen dem Förderraum und dem Verdrängerraum angeordnete Membran führt dadurch einen dem Kolbenhubvolumen entsprechenden Membranhub aus.
Beim Saughub strömt über das Ansaugventil die zu fördernde Flüssigkeit in den Förderraum und wird beim Druckhub über das Druckventil ausgestoßen.
Im Verdrängerraum ist meist eine in einem begrenzten Bereich verschiebbare Stützplatte vorhanden, welche die Membran zum Ende des Saughubs gegen eine zu große Auslenkung schützt.
Wenn nach einer gewissen Betriebsdauer die unvermeidlich auftretenden Verluste an Hydraulikmedium dazu führen, daß sich die Membranstellung zum Ende des Saughubes langsam zum Verdrängerraum hin verschiebt, erreicht die Membran die Stützplatte oder einen die Membranlage abtastenden Stößel. Die Stützplatte oder der Stößel wird von der Membran gegen den Druck von Federn in Richtung auf den Verdrängerarbeitsraum verschoben. Der Stößel, der entweder direkt die Membranlage oder die Stützplatte abtastet, gibt dabei mechanisch ein Nachfüllventil frei, das sich in Folge des im Verdrängerarbeitsraum herrschenden Unterdrucks öffnet und aus einem Vorratsbehälter Hydraulikmedium in den Verdrängerarbeitsraum einströmen läßt. Hierdurch bewegen sich die Membran und die Stützplatte unter Druck der Federn wieder in Richtung auf den Förderraum. Während dieses Bewegungsablaufes gleitet auch die Zuhaltung des Nachfüllventils wieder in Richtung Förderraum und schließt das Nachfüllventil.
In Folge des Austreibens ursprünglich gelöster Luft aus dem Hydraulikmedium kann es zu einer Beeinträchtigung des Förderverhaltens der Membranpumpe kommen. In solchen Fällen muß Volumen aus dem Verdrängerraum entweichen können. Zu diesem Zweck ist ein sogenanntes Entlüftungsventil vorgesehen, das ein Entweichen überschüssigen Hydraulik- oder des freigewordenen Luftvolumens ermöglicht. Bei Erstinbetriebnahme einer Membranpumpe oder bei der Änderung der eingestellten Hublänge an dem angeschlossenen Pumpentriebwerk dient das Entlüftungsventil gleichzeitig dazu, überschüssiges Volumen an Hydraulikmedium aus dem Verdrängerraum auszutragen, um die Funktion der mechanischen Nachfülleinrichtung sicherzustellen.
Ein solches Entlüftungsventil ist beispielsweise aus der Firmendruckschrift "AREX" der Anmelderin bekannt.
Als Ersatz der mechanischen Erfassung des monentanen Membranortes ist in der EP B1 0 607 308 die direkte Erkennung der Membrangrenzlagen mittels eines elektronischen Sensors vorgeschlagen worden. Das elektronische Signal des Lagesensors wird in einer Steuereinheit mit einem vorgegebenen Maximalwert verglichen. Bei Überschreiten des Maximalwertes wird ein Signal zur Öffnung eines Nachfüllventils erzeugt, das die Überlastung der Membran verhindert. Nachteilig an dieser vorbekannten Lösung ist, daß zur Erfassung der Membranlage an der Membran ein massebehafteter Magnet befestigt werden muß, dessen Magnetfeld zur Erfassung des Membranortes von dem elektronischen Sensor benötigt wird. Die dadurch bedingte unstetige Massebelegung der Membran kann zu einer örtlich stärkeren Belastung führen, die die Lebenserwartung der Membran nachteilig verringert. Aufgrund des Verzichts auf eine verdrängerraumseitige Membrananlage bzw. Stützplatte ist bei einem Betrieb mit einem Vordruckniveau in der Saugleitung, das über dem Umgebungsluftdruck liegt ein Nachfüllen des Hydraulikraums nur möglich, wenn die nachzufüllende Menge an Hydraulikflüssigkeit mittels eines zusätzlichen Druckerzeugers unter einen noch etwas größeren Druck als der Vordruck in der Saugleitung gebracht wird. Zusätzlich kann das Fehlen der Membrananlage bei bestimmten Betriebszuständen zu einer Überlastung der Membran führen.
Schließlich ist aus der DE A1 43 36 823 eine Vorrichtung zur elektronischen Membranlagenkontrolle in Membranprozeßpumpen bekannt, bei der mittels eines elektromechanischen oder elektronischen Gebers und Empfängers die Position der Membran bestimmt wird. Mittels einer elektronischen Auswerteeinheit wird zur exakten Regelung, durch die Bruch oder vorzeitiger Verschleiß durch Überlastung verhindert wird, ein Signal erzeugt, das den Zulauf des Hydraulikmediums in den Verdrängerraum kontrolliert. Zur Erkennung der Membranlage ist ein elektromechanischer Aufnehmer vorgeschlagen, der über einen federbelasteten Stößel die Lage der Membran direkt erfaßt. Auch in diesem Fall wird also die Membran durch die Kraft des Stößels zusätzlich belastet, was grundsätzlich zu einer verringerten Lebenserwartung der Membran führt.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Membranpumpe zu schaffen, bei der das Volumen des Verdrängerraumes möglichst einfach kontrolliert werden kann, so daß die Membran geschont wird und die Betriebssicherheit der Pumpe insgesamt erhöht wird.
Diese Aufgabe wird bei der gattungsgemäßen Membranpumpe dadurch gelöst, daß im Verdrängerraum ein Drucksensor angeordnet ist, der mit einer Auswerteeinheit verbunden ist, die zur Erzeugung eines Nachfüllsignals ausgebildet ist, das mittels einer Wirkverbindung eine Nachfülleinheit betätigend geschaltet ist. Der im Verdrängerraum angeordnete Drucksensor meldet das Entstehen des Unterdruckes während des Ansaughubes an die Auswerteeinheit. Dort wird dieses Signal beispielsweise mit einem vorgegebenen Grenzwert verglichen. Sobald der vorgegebene Grenzwert überschritten wird, erzeugt die Auswerteeinheit ein Signal, das die Nachfüllung des Verdrängerraumes mit Hydraulikflüssigkeit bewirkt. Auf diese Weise wird ein Überlasten der Membran mit Sicherheit vermieden. Der Grenzwert kann leicht an die verschiedenen Betriebsbedingungen angepaßt werden. Da der Drucksensor keine beweglichen Teile aufweist, wird die Betriebssicherheit gegenüber mechanischen Systemen vorteilhaft erhöht. Die Membran wird durch den Drucksensor nicht zusätzlich belastet, da dieser nicht im direkten Kontakt mit der Membran steht, sondern nur mit dem Hydraulikmedium in Berührung kommt.
Die Erfindung beruht somit auf der elektronischen Auswertung des zeitlichen Druckverlaufs im Verdrängerraum einer hydraulisch angelenkten Membranpumpe. Mit Vorteil erfolgt wahlweise auch eine Zuordnung dieses Druckverlaufs zur Verdrängerposition. Die richtige Befüllung des Verdrängerraums wird durch einen auf einer Rechnereinheit ablaufenden Algorithmus und von einer über eine Wirkverbindung betätigte Nachfülleinheit sichergestellt. Auftretende Leckagen oder ein Mangel an Hydraulikmedium im Verdrängerraum werden erkannt und wieder ergänzt.
Wenn eine Stützplatte für die Membran im Verdrängerraum angeordnet ist, wird im Verdrängerraum ein zusätzlicher stärker ausgeprägter Unterdruckimpuls erzeugt, sobald sich die Membran beim Saughub an die Stützplatte anlegt. Dieser Unterdruckimpuls läßt sich von der Auswerteeinheit noch präziser auswerten und daraus ein Signal zum Nachfüllen erzeugen, was die Betriebssicherheit der Pumpe vorteilhaft erhöht. Zur Einleitung des Nachfüllvorgangs können dann beispielsweise zwei Kriterien gleichzeitig als erfüllt von Auswerteeinheit überprüft werden, d. h. die Membran erreicht ihre rückwärtige Anlage und der Druck im Hydraulikraum liegt geringfügig unter dem Umgebungsdruck im Vorratsbehälter.
Besonders vorteilhaft läßt sich das Nachfüllen verwirklichen, wenn die Nachfülleinheit als Ventil ausgebildet ist, vorzugsweise als elektrisch betätigtes Ventil, das in der Nachfülleitung angeordnet ist. Eine Verbindung zwischen dem Verdrängerraum und dem Vorratsbehälter für das Hydraulikmedium herstellen kann. Mit Vorteil lassen sich auch im Betrieb befindliche Membranpumpen einfach nachrüsten, so daß die Vorteile der elektronischen Ansteuerung des Nachfüllventils auch bei älteren Pumpen zu nutzen sind.
Dadurch, daß die Auswerteeinheit ein Entlüftungssignal erzeugend ausgebildet ist, das eine Entlüftungseinheit betätigend geschaltet ist, kann zu einem Zeitpunkt während eines Arbeitszyklus des Verdrängers, in dem der Druck im Verdrängerraum größer ist als der Umgebungsdruck im Vorratsbehälter für die Hydraulikflüssigkeit, bei Bedarf auch freigewordene, ursprünglich in dem Hydraulikmedium gelöste Luft aus dem Verdrängerraum ausgetragen werden.
Da das Entlüften und das Nachfüllen des Verdrängerraums zu unterschiedlichen Zeitpunkten erfolgt, kann mit Vorteil auf separate Ventile verzichtet werden. Beide Funktionen können von demselben Ventil erfüllt werden, wenn das Entlüftungsventil und das Nachfüllventil als Baueinheit ausgebildet sind. Alternativ kann die freigewordene ursprünglich im Hydraulikmedium gelöste Luft sowohl durch das Nachfüllventil selbst als auch durch ein weiteres, beispielsweise elektromagnetisch angesteuertes baugleiches Entlüftungsventil aus dem Verdrängerraum ausgetragen werden. Das nachfüll- und das Entlüftungsventil können baugleich ausgeführt werden. Der Entlüftungs- und der Nachfüllvorgang erfolgen je nach Bedarf und nicht notwendigerweise bei jedem Arbeitszyklus.
Eine weitere Möglichkeit, ohne die Verwendung eines Lagesensors besteht in der Anordnung eines Drucksensors in den Förderraum der Membranpumpe mit einer Signalverbindung zur Auswerteeinheit zusätzlich zu dem Drucksensor im Verdrängerraum. In der Auswerteeinheit kann eine Verknüpfung der beiden Sensorsignale beispielsweise über eine Differenzbildung erfolgen und die Nachfüll- bzw. Entlüftungssignale erzeugt werden.
Hierdurch ist ebenfalls ein sicheres Schalten des Nachfüll- und des Entlüftungsventils auch unter allen Betriebsbedingungen gewährleistet.
Die Drucksensoren können alternativ als Sensoren zur Erfassung der Dehnung der Gehäusebauteile des Förderraums und des Verdrängerraums ausgeführt sein. Diese liefern Signale, die den Drucksignalen proportional sind. Mit entsprechenden Signalverbindungen zur Auswerteeinheit kann die Auswertung zur Erzeugung der Nachfüll- bzw. Entlüftungssignale erfolgen.
Mit Vorteil erfolgt zusätzlich zur Erfassung des Drucks im Verdrängerraum die Bestimmung der Verdrängerposition, indem ein Lagesensor zur Signalisierung der Verdrängerlage vorgesehen ist und eine Signalverbindung vom Lagesensor zur Auswerteeinheit vorgesehen ist. Diese zusätzliche Information der Lage des Kolbens und die Verknüpfung der Kolbenlage mit dem Drucksignal ermöglicht zusätzliche Verriegelungen, die das Schalten der Entlüftungs- bzw. Belüftungsventile zum falschen Zeitpunkt sicher verhindern.
Darüber hinaus ist die Anordnung von je einem Drucksensor im Förderraum, einem Drucksensor im Verdrängerraum und eines Lagersensors zur Erfassung der Verdrängerposition mit ihren jeweiligen Signalverbindungen zur Auswerteeinheit und die kombinierte Auswertung aller drei Sensorsignale möglich.
Bei einem Verfahren zur Steuerung der Lage einer Membran, die den Förder- und den Verdrängerraum einer Membranpumpe trennt, wobei der mit einer von dem Hydraulikmedium durchströmbaren Stützplatte für die Membran ausgestattete Verdrängerraum über eine Nachfülleinheit mit dem Verdrängerraum in Verbindung steht, sieht die erfindungsgemäße Lösung der Aufgabe vor, daß das Drucksignal im Verdrängerraum von einem Sensor erfaßt und einer Auswerteeinheit zugeleitet wird, die daraus nach einem bestimmten Algorithmus bei Bedarf das Nachfüllen des Verdrängerraums mit Hydraulikmedium und bei Bedarf das Entlüften des Verdrängerraums von freiwerdenden ursprünglich in dem Hydraulikmedium gelösten, Gasanteilen bewirkt.
Unter bestimmten Voraussetzungen kann statt des gemessenen Istdrucksignals auch eine Ableitung nach der Zeit oder nach dem Weg als Signal verarbeitet werden.
Mit Vorteil wird zusätzlich der Druck im Verdrängerraum von einem Sensor erfaßt und einer Auswerteeinheit zugeleitet, die daraus nach einem bestimmten Algorithmus das Entlüften des Verdrängerraumes bewirkt.
Die Zuverlässigkeit des Verfahrens wird weiter durch die Maßnahme gehoben, daß die Lage des Verdrängers erfaßt, beispielsweise durch einen Winkelgeber an der Antriebswelle, und der Auswerteeinheit zugeleitet wird und das Signal mit dem Druck im Verdrängerraum von der Auswerteeinheit verknüpft wird.
Alternativ oder ergänzend kann auch zur Bewirkung des Nachfüllens und/oder Entlüftens des Verdrängerraumes der Druck im Förderraum erfaßt und der Auswerteeinheit zugeleitet werden und mit dem Druck im Verdrängerraum von der Auswerteeinheit verknüpft werden.
Die Erfindung wird in einer bevorzugten Ausführungsform unter Bezugnahme auf eine Zeichnung beschrieben, wobei weitere vorteilhafte Einzelheiten den Figuren der Zeichnung zu entnehmen sind. Funktionsmäßig gleiche Teile sind dabei mit denselben Bezugszeichen versehen.
Die Zeichnungen zeigen im einzelnen:
Fig. 1 Skizze eines hydraulisch angelenkten Membranpumpenkopfes mit elektronischer Regelung der Befüllung des Verdrängerraums,
Fig. 2 Diagramm des Druckverlaufes im Förderraum einer hydraulisch angelenkten Membranpumpe ohne Nachfüllvorgang, und
Fig. 3 Diagramm des Druckverlaufes im Verdrängerraum einer hydraulisch angelenkten Membranpumpe
In Fig. 1 ist der Aufbau eines hydraulisch angelenkten Membranpumpenkopfes mit einer erfindungsgemäßen elektronischen Regelung dargestellt. Im Förderraum 1 dieses Membranpumpenkopfes 12 tritt in Abhängigkeit von der Zeit typischerweise ein Druckverlauf gemäß Fig. 2 auf. Die oszillierende Bewegung des Verdrängers 3 wird hierbei durch die im Verdrängerraum 2 enthaltene, unter Wechseldruck stehende Hydraulikmedium auf die Membran 4 übertragen. Tritt beabsichtigte oder unvorhergesehene Leckage im Verdrängerraum 2 auf, so stellt sich dort ein Mangel an Hydraulikflüssigkeit ein. Als Folge erreicht die Membran 4 zum Ende des Saughubes die im Verdrängerraum angeordnete durchströmbare, vorzugsweise Ihre Verdränger als Lochplatte 5 ausgebildete rückwärtige Anlage, bevor der Verdränger 3 seine hintere Totlage erreicht hat. Die Bewegung der Membran 4 und des Verdrängers 3 entkoppeln sich dadurch. Der Druck im Förderraum 1, der von einem Drucksensor 19 erfaßt wird, verbleibt daraufhin auf dem Druckniveau in der Saugleitung 13. Der Druck im Verdrängerraum 2 fällt unter das Niveau im Förderraum I bis hin zum Dampfdruck der Hydraulikflüssigkeit ab. Der typischer Weise im Verdrängerraum 2 des hydraulisch angelenkten Membranpumpenkopfes nach Fig. 1 sich einstellende und mit dem Drucksensor 6 erfaßbare zeitliche Druckverlauf ist in Fig. 3 dargestellt. Deutlich ist im Vergleich zu Fig. 2 die Absenkung des Drucks zum Ende des Saughubs erkennbar, der sich bei Anlage der Membran 4 an die Lochplatte 5 einstellt.
Der Nachfüllvorgang kann nun durch das Nachfüllventil 9 stattfinden, da ein Druckgefälle von der unter Umgebungsluftdruck stehenden Hydraulikflüssigkeit im Vorratsbehälter 11 hin zum Verdrängerraum 2 besteht. Die Erkennung der Druckabsenkung im Hydraulikraum 2 zum Ende des Saughubs erfolgt über die Auswertung des Signals des Drucksensors 6 und bei Bedarf zusätzlich durch Verknüpfung mit dem Signal des Positionssensors 7 in der Auswerteeinheit 8. Die Auswerteeinheit ist als frei programmierbare Rechnereinheit ausgebildet ist. Der Positionssensor 7 gibt die momentane Lage des Verdrängers 3 an. Die Verknüpfung der Signale von Positionssensor 7 und Drucksensor 6 verhindert, daß beispielsweise störende Druckabsenkungen im Verdrängerraum 2 infolge von Flüssigkeitsschwingungen oder Androsselungen durch Querschnittsverengungen in der Saugleitung zur Bewirkung des Nachfüllvorgangs führen. Der auf der Auswerteeinheit 8 ablaufende Algorithmus entscheidet somit sinnvoll über Sperrung und Freigabe des Nachfüllvorgangs durch das Nachfüllventil 9.
Zusätzlich kann der Algorithmus auf der Rechnereinheit 8 das Entlüftungsventil 10 zu einem anderen Zeitpunkt als das Nachfüllventil 9 freigeben, sobald ein Druckgefälle von Verdrängerraum 2 hin zum Vorratsbehälter 11 besteht. Auf diese Art und Weise kann überschüssiges Hydraulikmedium zum Beispiel in Folge einer Hubveränderung am Pumpentriebwerk und/oder frei gewordene, ursprünglich in der Hydraulikmedium gelöste Gase aus dem Verdrängerraum 2 ausgestoßen werden. Durch die zeitliche Trennung des Nachfüll- und des Entlüftungsvorganges ist es möglich, beide Funktionen der ansonst baugleichen Ventile 9 und 10 mit nur einem Bauteil zu verwirklichen.
Zum Zeitpunkt t0 befindet sich der Kolben in seiner membranseitigen Endlage. Zu diesem Zeitpunkt schließt das Druckventil 16. Der Kolben entspannt anschließend das zwischen dem geschlossenen Druckventil 16 und Ansaugventil 15 eingeschlossene Fördermedium einschließlich des im Verdrängerraum enthaltenen Hydraulikmediums, bis die Medien zum Zeitpunkt t1 den mittleren Druck in der Saugleitung psm erreichen und das Ansaugventil 15 öffnet. Der Kolben bewegt sich weiter und saugt nun aus der Förderleitung Fördermedium an, bis zum Zeitpunkt t2 die Membran 4 an der Lochplatte 5 anliegt und der Druck im Verdrängerraum 2 unter den mittleren Druck der Ansaugleitung psm absinkt. Zum Zeitpunkt t3 öffnet das Nachfüllventil 9 kurzzeitig. Der Kolben überschreitet damit seine Umkehrposition und läßt zum Zeitpunkt t4 das Ansaugventil 15 schließen. Das im Förderraum eingeschlossene Medium wird anschließend bis auf den mittleren Druck und der Druckleitung pdm verdichtet. Sobald dieser erreicht ist, öffnet zum Zeitpunkt t5 das Druckventil. Während der weiteren Bewegung des Kolbens wird das Fördervolumen aus dem Förderraum 1 durch das Druckventil 16 ausgestoßen, bis der Kolben seine andere Umkehrposition erreicht und das Druckventil zum Zeitpunkt t6 geschlossen wird. Anschließend beginnt ein neues Arbeitsspiel. Das Diagramm ist eine idealisierte Darstellung. In der Praxis sind Abweichungen üblich. Beispielsweise können durch Stöße in der Saug- und Druckleitung sowie Entlüftungsvorgänge das Diagramm verändern.
Durch einen Zähler in der Auswerteeinheit 8, der das Bewirken des Nachfüllvorgangs protokolliert und die Häufigkeit ermittelt, kann auch die Funktionen der Dichtungen überprüft werden. Je nach Leckageverhalten kann eine Wartung bei Bedarf erfolgen. Schließlich wird auch die Montage der Pumpe bequemer, da ein Justieren der mechanischen Nachfülleinrichtung entfällt. Die notwendigen Einstellvorgänge können direkt an der Auswerteeinheit während des Betriebes vorgenommen werden.
Mit Vorteil weist deshalb die Auswerteeinrichtung einen nicht flüchtigen Datenspeicher auf, der die entsprechenden Daten für eine Anzahl Hübe im Falle einer Betriebsunterbrechung zur späteren Diagnose speichert und anschließend auslesbar zur Verfügung stellt.
Wenn die Auswerteeinheit 8 zusätzlich mit einer Schnittstelle zu einem Kommunikationsnetz ausgerüstet ist, ist es möglich, die Arbeitsweise der Pumpe aus der Ferne zu prüfen und gegebenenfalls Fehler zu ermitteln.
Auf diese Weise ist eine Membranpumpe geschaffen worden, die es ermöglicht, die Pumpe in ein Netzwerk einzugliedern, das weitere nützliche Informationen über den Produktionsprozeß liefert.
Bezugszeichenliste
1
Förderraum
2
Verdrängerraum
3
Kolben (Verdränger)
4
Membran
5
Lochplatte (Stützplatte)
6
Drucksensor
7
Positionssensor
8
Auswerteeinheit
9
Nachfüllventil
10
Entlüftungsventil
11
Vorratsbehälter für Hydraulikflüssigkeit
12
Membranpumpenkopf
13
Saugleitung
14
Druckleitung
15
Ansaugventil
16
Druckventil
17
Steuerleitung
18
Signalleitung
19
Drucksensor

Claims (12)

1. Membranpumpe mit einer Vorrichtung zur Steuerung der Lage einer einen Förder- und einen Verdrängerraum trennenden Membran und mit einem Vorratsbehälter für das Hydraulikmedium, der über eine Nachfülleinheit mit dem Verdrängerraum in Verbindung steht, dadurch gekenn­ zeichnet, daß im Verdrängerraum (2) ein Drucksensor (6) angeordnet ist, der mit einer Auswerteeinheit (8) verbunden ist, die zur Erzeugung eines Nachfüllsignals ausgebildet ist, das mittels einer Wirkverbindung (17) die Nachfülleinheit betätigend geschaltet ist.
2. Membranpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß im Verdrängerraum (2) eine Stützplatte (5) für die Membran (4) angeordnet ist.
3. Membranpumpe nach Anspruch 1 oder 2, da­ durch gekennzeichnet, daß die Nachfülleinheit als Ventil (9) ausgebildet ist, vorzugsweise als elektrisch betätigtes Ventil, das in der Nachfülleitung angeordnet ist.
4. Membranpumpe nach Anspruch 1, 2 oder 3, da­ durch gekennzeichnet, daß die Auswerteeinheit (8) ein Entlüftungssignal erzeugend ausgebildet ist, das ein Entlüftungsventil betätigend geschaltet ist.
5. Membranpumpe nach Anspruch 1, 2, 3 oder 4, da­ durch gekennzeichnet, daß das Entlüftungsventil (10) und das Nachfüllventil (9) als Baueinheit ausgebildet sind.
6. Membranpumpe nach einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß ein zweiter Drucksensor (22) im Förderraum (1) angeordnet ist, der eine Signalverbindung (18) zur Auswerteeinheit (8) aufweist.
7. Membranpumpe nach einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Drucksensor (21) als Dehnungssensor ausgebildet ist, der die Dehnung des Gehäuses erfaßt.
8. Membranpumpe nach einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß ein Lagesensor (7) zur Signalisierung der Verdrängerlage (3) vorgesehen ist und eine Signalverbindung (18) vom Lagesensor (7) zur Auswerteeinheit (8) vorgesehen ist.
9. Verfahren zur Steuerung der Lage einer Membran, die den Förder- und den Verdrängerraum einer Membranpumpe trennt und von einem oszillierenden Verdränger über ein Hydraulikmedium angetrieben ist, wobei der Verdrängerraum über eine Leitung mit Hydraulikmedium bei Bedarf nachgefüllt wird, dadurch gekennzeichnet, daß der Druck im Verdrängerraum von einem Sensor erfaßt und einer Auswerteeinheit zugeleitet wird, die daraus nach einem bestimmten Algorithmus das Nachfüllen des Verdrängerraumes mit Hydraulikmedium bewirkt.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Druck im Verdrängerraum von einem Sensor erfaßt und einer Auswerteeinheit zugeleitet wird, die daraus nach einem bestimmten Algorithmus das Entlüften des Verdrängerraumes bewirkt.
11. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10 da­ durch gekennzeichnet, daß zur Bewirkung des Nachfüllens und/oder Entlüftens des Verdrängerraumes die Lage des Verdrängers erfaßt und der Auswerteeinheit zugeleitet wird und mit dem Druck im Verdrängerraum von der Auswerteeinheit verknüpft wird.
12. Verfahren nach Anspruch 9, 10 oder 11, da­ durch gekennzeichnet, daß zur Bewirkung des Nachfüllens und/oder Entlüftens des Verdrängerraumes der Druck im Förderraum erfaßt und der Auswerteeinheit zugeleitet wird und mit dem Druck im Verdrängerraum von der Auswerteeinheit verknüpft wird.
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