DE202008011817U1

DE202008011817U1 - Oszillierende Verdrängervakuumpumpe

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Publication number: DE202008011817U1
Application number: DE202008011817U
Authority: DE
Original assignee: Vacuubrand GmbH and Co KG
Current assignee: Vacuubrand GmbH and Co KG
Priority date: 2008-09-05
Filing date: 2008-09-05
Publication date: 2010-02-11
Anticipated expiration: 2018-09-06
Also published as: EP2163763B2; ATE499529T1; DE502009000394D1; EP2163763B1; EP2163763A1

Abstract

Oszillierende Verdrängervakuumpumpe
mit einem Gehäuse (2) und einer vorzugsweise im Gehäuse (2) angeordneten Antriebseinheit (3), wobei das Gehäuse (2) einen Innenraum bildet,
mit einem im Innenraum angeordneten, gegenüber dem Gehäuse (2) abdichtenden, oszillierenden Element (4),
wobei der Innenraum vom oszillierenden Element (4) in einen mit Einlaß- und Auslaßöffnungen (5, 6) versehenen Schöpfraum (7) über/vor dem Element (4) und einen Antriebsraum (8) unter/hinter dem Element (4) abdichtend unterteilt ist,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Antriebsraum (8) selbst zur Umgebungsatmosphäre hin zumindest weitgehend abgedichtet ist,
daß am Antriebsraum (8) ein Drucksensor (9) angeordnet ist, mit dem der Druck im Antriebsraum (8) gemessen wird und
daß bei Messung eines gegenüber dem normalerweise betriebsmäßig zu erwartenden Druckes im Antriebsraum (8) wesentlich niedrigeren Druck im Antriebsraum (8) durch den Drucksensor (9) von einer Auswerteschaltung (10) ein entsprechendes Warnsignal, Steuersignal oder Abschaltsignal generiert wird.

Description

Die Erfindung betrifft eine oszillierende Verdrängervakuumpumpe mit den Merkmalen des Oberbegriffs von Anspruch 1 bzw. 2.
Oszillierende Verdrängervakuumpumpen wie beispielsweise Membran- oder Kolbenvakuumpumpen oder kombinierte Membran-/Kolbenvakuumpumpen sind bekannt. Bei diesen Pumpentypen wird mindestens ein Schöpfraum durch (jeweils) ein oszillierendes Element periodisch verkleinert und vergrößert. Beim Vergrößern des Schöpfraums wird das zu fordernde Medium (Gas oder Dämpfe) durch mindestens eine Einlaßöffnung in den Schöpfraum hineingesaugt. Beim Verkleinern des Schöpfraums wird das im Schöpfraum befindliche Medium verdichtet und durch mindestens eine Auslaßöffnung ausgestoßen.
Das oszillierende Element dient dabei nicht nur zum Verkleinern und Vergrößern des Schöpfraums, sondern muß auch den Schöpfraum gegen den darunter befindlichen Antriebsraum mit Elementen zur Bewegung des oszillierenden Elements abdichten. Diese Abdichtung muß möglichst gut sein. Leckagen aus dem Schöpfraum in den Antriebsraum und umgekehrt würden die Effizienz des Pumpvorgangs verringern, und bei Vakuumpumpen auch zur Verschlechterung des erreichbaren Vakuumniveaus führen. Mit solchen oszillierenden Verdrängerpumpen, und hierbei besonders mit Membranpumpen, werden oft chemisch aggressive Gase und Dämpfe gefördert, die bei einer Leckage aus dem (in diesem Falle chemisch beständig gestalteten) Schöpfraum in den Antriebsraum zu Korrosionsangriff auf die mechanischen Komponenten wie Lager, Pleuel und Wellen im Antriebsraum führen würden.
Aus den zuvor aufgeführten Gründen wird sehr hoher konstruktiver Aufwand für eine möglichst gute und dauerhafte Abdichtung des Schöpfraums vom Antriebsraum betrieben. Bei Membranvakuumpumpen erfolgt diese Abdichtung durch eine gasdichte Einspannung der Membran am Außenumfang und – falls aufgrund einer Öffnung dort erforderlich – auch im Innenbereich. Bei Kolbenpumpen erfolgt die Abdichtung durch eine gleitende Dichtung des Kolbens in der Kolbenführung oder durch vergleichbare Mittel. In allen Fällen führt ein Versagen der Abdichtung, beispielsweise durch einen Riß in der Membran oder durch Verschleiß an der Kolbengleitdichtung, zu einem Funktionsausfall der Pumpe. Falls durch solchen Verschleiß aggressive Stoffe aus dem Schöpfraum in den Antriebsraum gelangen, kann dies zu einem Totalausfall der Pumpe mit erheblichen Folgekosten führen.
Ein Ausfall der Abdichtung ist die häufigste Ausfallursache an solchen Pumpen, da das abdichtende Element wie beispielsweise die Membran bei einer Membranpumpe oder die Kolbendichtung an einer Kolbenpumpe einer sehr hohen mechanischen, thermischen und ggf. chemischen Belastung ausgesetzt ist. So werden für die Membrane in einer Membranpumpe typischerweise Standzeiten von 3.000–20.000 Stunden angegeben, bei Dauerbetrieb ist also mit einem solchen Ausfall innerhalb weniger Monate bzw. Jahre zu rechnen. Dementsprechend sind solche Membranvakuumpumpen im allgemeinen so konstruiert, daß ein Austausch des typischen Verschleißteils ”Membran” ohne großen Aufwand vom Kunden selbst durchgeführt werden kann.
Um die oben geschilderten erheblichen Folgeschäden durch einen Ausfall des Abdichtungselements zu vermeiden, wird in der Praxis eine vorbeugende Wartung mit einem Wartungsintervall nach Erfahrungswerten des Anwenders oder Empfehlungen des Herstellers vorgenommen. Dies kann – bei zu frühzeitigem Wechsel – zu unnötig hohen regelmäßigen Kosten führen. Bei vorzeitigem Verschleiß, beispielsweise durch das Fördern von abrasiven oder zu Ablagerungen neigenden Medien, kann die Wartung eventuell nicht früh genug erfolgen und damit sind Folgeschäden nicht zuverlässig zu vermeiden.
Der Erfindung liegt das Problem zugrunde, das Versagen des abdichtenden Elements in einer oszillierenden Verdrängervakuumpumpe zuverlässig und zeitnah zu erkennen.
Die Problemlösung erfolgt erfindungsgemäß durch eine Vorrichtung, die den Druckabfall im Raum hinter dem oszillierenden Element in Folge einer Leckage an dessen Abdichtung detektiert. Diese ist in einer ersten Variante in Anspruch 1, in einer zweiten Variante in Anspruch 2 beschrieben. Bevorzugte Ausgestaltungen sind Gegenstand der Unteransprüche.
Bei einer Leckage am abdichtenden Element erfolgt ein Gasaustausch aus dem Schöpfraum mit dem unter dem abdichtenden Element liegenden Bereich. Im Falle eines Unterdrucks im Schöpfraum, wie dies bei nahezu allen Betriebszuständen einer als Vakuumpumpe eingesetzten oszillierenden Verdrängerpumpe der Fall ist, wird Gas aus dem unter dem abdichtenden Element liegenden Bereich in den Schöpfraum gesaugt, der Druck im unter dem abdichtenden Element liegenden Bereich also abnehmen. Dies ist nicht im Widerspruch zu obiger Feststellung, daß es bei aggressiven Medien im Schöpfraum durch eine Leckage im abdichtenden Element zu Korrosionsangriff im Antriebsraum kommen kann, da in gewissem Maße stets ein Gasaustausch in beiden Richtungen erfolgt.
Der Antriebsraum wird bei vielen Bauarten oszillierender Verdrängervakuumpumpen relativ dicht aufgebaut, um Geräusche von der Rückseite des oszillierenden Elements in Folge von dessen schneller Bewegung zu dämpfen. Gleichzeitig ist der Antriebsraum – außer bei speziellen Abdichtungsmaßnahmen wie O-Ringen – aber kaum so gasdicht, daß er ohne Ausfall des abdichtenden Elements nicht – zumindest über einen längeren Zeitraum – den Umgebungsdruck annimmt. Überraschenderweise stellt man fest, daß bei vielen Bauarten von oszillierenden Verdrängervakuumpumpen der Antriebsraum jedoch hinreichend gasdicht ist, um einen Abfall des Drucks im Antriebsraum in Folge eines Ausfalls des abdichtenden Elements im Betrieb erkennen zu können.
Falls bauartbedingt eine hinreichende Gasdichtigkeit des Antriebsraums nicht gegeben oder erreichbar ist, so kann in einer weiteren erfindungsgemäßen Ausführung unterhalb des oszillierenden Elements ein weiteres synchron oszillierendes Element angebracht werden, das den Zwischenraum zwischen sich und dem abdichtenden Element gasdicht abschließt. In diesem Fall läßt sich der Druckabfall infolge einer Leckage des abdichtenden Elements in diesem Zwischenraum detektieren.
Bei Kolbenpumpen mit gerade laufendem Pleuel kann dieses unter dem abdichtenden Element angebrachte zweite Element auch feststehend angeordnet sein, mit gleitender Dichtung zum sich bewegenden Pleuel.
Das erfindungsgemäße Prinzip läßt sich vorteilhaft auch auf oszillierende Verdrängervakuumpumpen mit mehreren Pumpstufen mit einem gemeinsamen Antriebsraum und mit einem gemeinsamen Druckabfalldetektor am Antriebsraum übertragen. Im Falle eines nicht hinreichend gasdichten Antriebsraums können die Zwischenräume zwischen dem abdichtenden und dem darunter liegenden zweiten Element mit Gasleitungen verbunden werden und so ebenfalls mit nur einem Druckabfallsensor alle Pumpstufen erfaßt werden.
Für die Detektion des Druckabfalls kommen praktischerweise Relativdrucksensoren zum Einsatz, die den Druck unterhalb des abdichtenden Elements relativ zum Umgebungsdruck messen. Damit lassen sich Einflüsse durch Variationen des Umgebungsdrucks durch Wetter oder Höhenlage ausschließen.
Wie oben erwähnt, ist bei vielen Bauarten von Verdrängervakuumpumpen der Antriebsraum bzw. – im Falle eines nicht hinreichend gasdichten Antriebsraums – der Zwischenraum zwischen dem abdichtenden Element und dem darunter liegenden Element zwar hinreichend gasdicht, um einen eindeutig meßbaren Druckabfall im Falle einer Undichtigkeit des abdichtenden Elements zu ergeben, andererseits aber nicht so gasdicht, daß es ohne diese Undichtigkeit nicht zu einer Druckangleichung mit der Umgebung kommt. Daher läßt sich der Druckabfall in Folge einer Undichtigkeit des abdichtenden Elements mit einem Relativdrucksensor bezogen auf den Umgebungsdruck einfach und preisgünstig detektieren.
Das Signal des Drucksensors kann beispielsweise in einer nachgeschalteten Elektronik mit einem Vorgabewert verglichen und bei einem Druckabfall größer als ein vorgegebener Grenzwert ein Warnsignal o. ä. ausgelöst werden. Dieses Warnsignal kann in einer nachgeordneten Steuerung auch zur Prozeßsteuerung bzw. -abschaltung verwendet werden, um so Folgeschäden durch den Ausfall des abdichteten Elements zu vermeiden. Im einfachsten Fall kann der Drucksensor als druckgesteuert schaltendes Relais ausgelegt sein, um die Pumpe abzuschalten.
Die schnelle Oszillation des oszillierenden Elements der Verdrängervakuumpumpe ist für die Auswertung des Signals des Drucksensors dann unkritisch, wenn der Drucksensor selbst ein solches Ansprechverhalten hat, daß Druckschwankungen im Antriebsraum bzw. im Zwischenraum mit der betriebsmäßig auftretenden Oszillationsfrequenz des oszillierenden Elements meßtechnisch garnicht erst aufgelöst werden, sondern nur der resultierende Mittelwert des Druckes vom Drucksensor ermittelt wird.
Bei mehreren Pumpstufen, die in einem gemeinsamen Antriebsraum arbeiten, kann sich auch eine solche Konstellation ergeben (insbesondere bei Boxeranordnung), daß sich das Gesamtvolumen des Antriebsraums bei Bewegung der oszillierenden Elemente nicht ändert und damit der Druck ohnehin hier normalerweise betriebsmäßig konstant ist.
In anderen Fällen bzw. mit empfindlicheren Drucksensoren kann man aber auch einen betriebsmäßig zu erwartenden Druckverlauf im Antriebsraum bzw. im Zwischenraum abspeichern und den tatsächlichen, vom Drucksensor dann gemessenen Druck mit dem abgespeicherten Druckverlauf vergleichen.
Im folgenden wird die Erfindung anhand einer lediglich Ausführungsbeispiele darstellenden Zeichnung näher erläutert. In der Zeichnung zeigt
1 eine schematische Darstellung einer oszillierenden Verdrängervakuumpumpe mit einem hinreichend abgedichteten Antriebsraum,
2 eine schematische Darstellung einer oszillierenden Verdrängervakuumpumpe mit einem nicht hinreichend dichten Antriebsraum.
1 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel einer oszillierenden Verdrängervakuumpumpe 1, bei der es sich um eine Kolbenvakuumpumpe oder, vorzugsweise, eine Membranvakuumpumpe handeln kann. Das dargestellte Ausführungsbeispiel zeigt der Einfachheit halber eine Kolbenvakuumpumpe.
Die dargestellte Verdrängervakuumpumpe 1 weist ein Gehäuse 2 und eine vorzugsweise im Gehäuse 2 angeordnete motorische Antriebseinheit 3 auf. Das Gehäuse 2 bildet einen Innenraum. Im Innenraum ist ein gegenüber dem Gehäuse 2 abdichtendes, oszillierendes Element 4 angeordnet. Im dargestellten Ausführungsbeispiel einer Kolbenvakuumpumpe handelt es sich bei dem abdichtenden, oszillierenden Element 4 um einen Pumpenkolben. Bei einer Membranvakuumpumpe handelt es sich um die umfangseitig eingespannte elastische Membran.
Der Innenraum im Gehäuse 2 wird von dem oszillierenden Element 4 in einen mit Einlaß- und Auslaßöffnungen 5, 6 versehenen Schöpfraum 7 über/vor dem Element 4 und einen Antriebsraum 8 unter/hinter dem Element 4 abdichtend unterteilt.
In dem in 1 dargestellten ersten Ausführungsbeispiel ist der Antriebsraum 8 selbst zur Umgebungsatmosphäre hin zumindest weitgehend abgedichtet. Am Antriebsraum 8 ist ein Drucksensor 9 angeordnet. Mit diesem kann der Druck im Antriebsraum 8 gemessen werden. Bei Messung eines gegenüber dem normalerweise betriebsmäßig zu erwartenden Druckes im Antriebsraum 8 wesentlich niedrigeren Druck im Antriebsraum 8 durch den Drucksensor 9 wird von einer Auswerteschaltung 10, an die der Drucksensor 9 angeschlossen ist, ein entsprechendes Warnsignal, Steuersignal oder Abschaltsignal generiert. Ein Benutzer wird also entweder gewarnt oder es wird sicherheitshalber sogleich die Antriebseinheit 3 der Verdrängervakuumpumpe abgeschaltet, um größere Folgeschäden zu vermeiden.
1 zeigt Verbindungsleitungen zwischen der Antriebseinheit 3 und der Auswerteschaltung 10, die in Form einer typischen elektronischen Steuerung, vorzugsweise mit einem Mikroprozessor, ausgeführt ist. Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist eine erste Leitung vorgesehen, um die Auswerteschaltung 10 mit einem Signal zu versorgen, das die jeweilige Position der Antriebseinheit 3 zeigt, die auf den normalerweise betriebsmäßig zu erwartenden Druck im Antriebsraum 8 schließen läßt. Die zweite Leitung ist vorgesehen, um ein Abschaltsignal von der Auswerteschaltung 10 an die Antriebseinheit 3 zu übermitteln.
2 zeigt ein anderes Ausführungsbeispiel einer oszillierenden Verdrängervakuumpumpe 1, bei der der Antriebsraum 8 selbst zur Umgebungsatmosphäre hin nicht oder wenig abgedichtet ist. Hier ist vorgesehen, daß im An triebsraum 8 unter/hinter dem abdichtenden, oszillierenden Element 4 mit Abstand ein weiteres abdichtendes Element 11 angeordnet ist. Am Antriebsraum 8 ist im Zwischenraum 12 zwischen den Elementen 4, 11 ein Drucksensor 9 angeordnet, mit dem der Druck im Zwischenraum 12 gemessen wird. Bei Messung eines gegenüber dem normalerweise betriebsmäßig zu erwartenden Druck im Zwischenraum 12 wesentlich niedrigeren Druck im Zwischenraum 12 durch den Drucksensor 9 wird von einer Auswerteschaltung 10 ein entsprechendes Warnsignal, Steuersignal oder Abschaltsignal generiert.
Nach bevorzugter Konstruktion des Ausführungsbeispiels von 2 ist das weitere abdichtende Element 11 ein mit dem ersten Element 4 synchron oszillierendes Element 11, so daß der Zwischenraum 12 normalerweise betriebsmäßig im wesentlichen ein unverändertes Volumen beibehält. Damit bleibt der Druck im Zwischenraum 12 betriebsmäßig im wesentlichen konstant. Die Messung eines Druckabfalls durch den Drucksensor 9 ist auswertungstechnisch sehr einfach.
Bei einem gerade laufenden Pleuel einer Kolbenpumpe kann das unter dem abdichtenden, oszillierenden Element 4 angebrachte weitere abdichtende Element 11 auch feststehend angeordnet sein, mit gleitender Dichtung zum hin- und hergehenden Pleuel. Dann ist die Drucksituation im Zwischenraum 12 etwas komplexer und muß über die Auswerteschaltung 10 berücksichtigt werden.
Für beide Ausführungsvarianten gilt, daß zweckmäßigerweise von der Auswerteschaltung 10 die Verdrängervakuumpumpe 1 einem Abschaltsignal folgend abgeschaltet wird, um Folgeschäden zu vermeiden.
Besonders interessant ist es, wenn, wie bereits im allgemeinen Teil der Beschreibung erläutert worden ist, der Drucksensor 9 als Relativdrucksensor ausgebildet ist, der den Druck im Antriebsraum bzw. im Zwischenraum 12 relativ zum Umgebungsdruck erfaßt.
Nach weiter bevorzugter Lehre der Erfindung kann man von vorneherein den Drucksensor 9 als druckgesteuert schaltendes Relais ausführen.
Im Normalfall wird man mit einem passenden Drucksensor 9 als Relativdrucksensor arbeiten und dabei erreichen, daß in der Auswerteschaltung 10 ein vorzugsweise verstellbarer Grenzwert für den Differenzdruck gespeichert ist, daß der Drucksensor 9 ein solches Ansprechverhalten hat, daß Druckschwankungen im Antriebsraum 8 bzw. im Zwischenraum 12 mit der betriebsmäßig auftretenden Oszillationsfrequenz des oszillierenden Elements 4 nicht aufgelöst werden, sondern nur der resultierende Mittelwert des Druckes im Antriebsraum 8 bzw. im Zwischenraum 12 ermittelt wird, und daß, wenn der Grenzwert überschritten wird, von der Auswerteschaltung 10 ein entsprechendes Warnsignal, Steuersignal oder Abschaltsignal generiert wird.
Ist ein empfindlicherer Drucksensor 9 eingesetzt, so empfiehlt es sich, daß in der Auswerteschaltung 10 der normalerweise betriebsmäßig auftretende Druckverlauf im Antriebsraum 8 bzw. im Zwischenraum 12 gespeichert ist, der tatsächliche Druck im Antriebsraum 8 bzw. Zwischenraum 12 mit dem jeweils gespeicherten Druck verglichen wird und bei einer einen bestimmten Grenzwert überschreitenden Abweichung des gemessenen Druckes vom gespeicherten Druck ein entsprechendes Warnsignal, Steuersignal oder Abschaltsignal generiert wird.
Von besonderer Bedeutung ist die erfindungsgemäße Lehre bei einer Membranvakuumpumpe zur Detektion eines eventuellen Membranrisses. Hier ist der Druckabfall besonders deutlich und tritt auch schlagartig auf, so daß eine schnell Reaktion der Auswerteschaltung 10 von großer Bedeutung ist.
Die Erweiterung der zuvor erläuterten Anordnungen auf Pumpen mit mehreren oszillierenden Pumpstufen ergibt sich aus der Beschreibung und den Abbildungen.

Claims

Oszillierende Verdrängervakuumpumpe mit einem Gehäuse (2) und einer vorzugsweise im Gehäuse (2) angeordneten Antriebseinheit (3), wobei das Gehäuse (2) einen Innenraum bildet, mit einem im Innenraum angeordneten, gegenüber dem Gehäuse (2) abdichtenden, oszillierenden Element (4), wobei der Innenraum vom oszillierenden Element (4) in einen mit Einlaß- und Auslaßöffnungen (5, 6) versehenen Schöpfraum (7) über/vor dem Element (4) und einen Antriebsraum (8) unter/hinter dem Element (4) abdichtend unterteilt ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Antriebsraum (8) selbst zur Umgebungsatmosphäre hin zumindest weitgehend abgedichtet ist, daß am Antriebsraum (8) ein Drucksensor (9) angeordnet ist, mit dem der Druck im Antriebsraum (8) gemessen wird und daß bei Messung eines gegenüber dem normalerweise betriebsmäßig zu erwartenden Druckes im Antriebsraum (8) wesentlich niedrigeren Druck im Antriebsraum (8) durch den Drucksensor (9) von einer Auswerteschaltung (10) ein entsprechendes Warnsignal, Steuersignal oder Abschaltsignal generiert wird.
Oszillierende Verdrängervakuumpumpe mit einem Gehäuse (2) und einer vorzugsweise im Gehäuse (2) angeordneten Antriebseinheit (3), wobei das Gehäuse (2) einen Innenraum bildet, mit einem im Innenraum angeordneten, gegenüber dem Gehäuse (2) abdichtenden, oszillierenden Element (4), wobei der Innenraum vom oszillierenden Element (4) in einen mit Einlaß- und Auslaßöffnungen (5, 6) versehenen Schöpfraum (7) über/vor dem Element (4) und einen Antriebsraum (8) unter/hinter dem Element (4) abdichtend unterteilt ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Antriebsraum (8) selbst zur Umgebungsatmosphäre hin nicht oder wenig abgedichtet ist, daß im Antriebsraum (8) unter/hinter dem abdichtenden, oszillierenden Element (4) mit Abstand davon ein weiteres abdichtendes Element (11) angeordnet ist, daß am Antriebsraum (8) im Zwischenraum (12) zwischen den Elementen (4, 11) ein Drucksensor (9) angeordnet ist, mit dem der Druck im Zwischenraum (12) gemessen wird und daß bei Messung eines gegenüber dem normalerweise betriebsmäßig zu erwartenden Druckes im Zwischenraum (12) wesentlich niedrigeren Druck im Zwischenraum (12) durch den Drucksensor (9) von einer Auswerteschaltung (10) ein entsprechendes Warnsignal, Steuersignal oder Abschaltsignal generiert wird.
Verdrängervakuumpumpe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das weitere abdichtende Element als mit dem abdichtenden, oszillierenden Element (4) synchron oszillierendes Element (11) ausgeführt ist.
Verdrängervakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß von der Auswerteschaltung (10) die Verdrängervakuumpumpe (1) einem Abschaltsignal folgend abgeschaltet wird.
Verdrängervakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Drucksensor (9) als Relativdrucksensor ausgebildet ist, der den Druck relativ zum Umgebungsdruck mißt.
Verdrängervakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Drucksensor (9) als druckgesteuert schaltendes Relais ausgeführt ist.
Verdrängervakuumpumpe nach Anspruch 5 und ggf. Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß in der Auswerteschaltung (10) ein vorzugsweise verstellbarer Grenzwert für den Differenzdruck gespeichert ist, daß der Drucksensor (9) ein solches Ansprechverhalten hat, daß Druckschwankungen im Antriebsraum (8) bzw. im Zwischenraum (12) mit der be triebsmäßig auftretenden Oszillationsfrequenz des oszillierenden Elements (4) nicht aufgelöst werden, sondern nur der resultierende Mittelwert des Druckes im Antriebsraum (8) bzw. im Zwischenraum (12) ermittelt wird, und daß, wenn der Grenzwert überschritten wird, von der Auswerteschaltung (10) ein entsprechendes Warnsignal, Steuersignal oder Abschaltsignal generiert wird.
Verdrängervakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß in der Auswerteschaltung (10) der normalerweise betriebsmäßig auftretende Druckverlauf im Antriebsraum (8) bzw. im Zwischenraum (12) gespeichert ist, daß der tatsächliche, vom Drucksensor (9) gemessene Druck im Antriebsraum (8) bzw. Zwischenraum (12) mit dem entsprechenden Druck des gespeicherten Druckverlaufs verglichen wird und daß, wenn der gemessene Druck vom gespeicherten Druck um mehr als einen bestimmten Grenzwert abweicht, von der Auswerteschaltung (10) ein entsprechendes Warnsignal, Steuersignal oder Abschaltsignal generiert wird.
Verdrängervakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteschaltung (10) mit der Antriebseinheit (3) meßtechnisch und steuerungstechnisch verbunden ist.